JP4697354B2 - 弾性波フィルタ及び通信機 - Google Patents

Description

本発明は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性波フィルタ及びそれを備えた通信機に関する。

近年、携帯電話機などの通信機の小型化や軽量化を図るために、構成部品の削減や小型化が進んでおり、さらには、複数の機能を複合した部品の開発も進んできている。このような状況を背景に、通信機のＲＦ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）回路において、平衡−不平衡変換機能、いわゆるバランの機能を持たせた弾性表面波フィルタが使用されている。

しかしながら、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタでは、第１の平衡信号端子と第２の平衡信号端子とから出力される信号の平衡度が悪いという問題があった。ここで、平衡度とは、振幅平衡度及び位相平衡度をいう。

下記の特許文献１には、このような平衡度が改善された平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタが提案されている。

特許文献１の図１では、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って第１〜第３のくし型電極部（ＩＤＴ）が配置された、３ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタが開示されている。第１〜第３のＩＤＴが配置されている領域の弾性表面波の伝搬方向両側には、第１及び第２の反射器が配置されている。中央に位置している第２のＩＤＴは、第１及び第２の分割くし歯状電極を有する。第１及び第２の分割くし歯状電極は、第２のＩＤＴを構成するくし歯状電極の１つが弾性表面波の伝搬方向において２分割されることにより形成されている。第１及び第２の分割くし歯状電極は、それぞれ、第１及び第２の平衡信号端子に接続されている。第１及び第３のＩＤＴは、共通接続されて、不平衡信号端子に接続されている。特許文献１では、弾性表面波の伝搬方向に直交する方向に延びる仮想中心軸Ａを中心として、一方側と他方側とにおいて、第１〜第３のＩＤＴと第１及び第２の反射器とのうち少なくとも一つの設計パラメータが異ならされている。それによって、平衡度が改善されると述べられている。

また、特許文献１の図１３では、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って５つのＩＤＴが配置された、５ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタが開示されている。５つのＩＤＴが配置されている領域の弾性表面波の伝搬方向両側には、第１及び第２の反射器が配置されている。特許文献１では、このような５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいても、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの実施例と同様に、弾性表面波の伝搬方向に直交する方向に延びる仮想中心軸を中心として、一方側と他方側とにおいて、５つのＩＤＴと第１及び第２の反射器とのうち少なくとも一つの設計パラメータを異ならせた構造を採用すればよい旨が示唆されている。

ＷＯ２００５／０３１９７１

しかしながら、特許文献１には、５ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、仮想中心軸を中心として、一方側と他方側とをどのように異ならせるかについては具体的には何ら記載されていない。

他方、特許文献１の図１３に示されているような５ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタでは、仮想中心軸を中心として、一方側と他方側とを異ならせるための構成が、３ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタに比べて多くなっている。従って、単に仮想中心軸を中心として、一方側と他方側とを非対称とするだけでは、平衡度を十分に改善することができず、平衡度がかえって悪化することもあった。

本発明の目的は、弾性波の伝搬方向に沿って５つのＩＤＴが配置されている平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性波フィルタにおいて、第１及び第２の平衡信号端子間における信号の平衡度をより一層確実に改善することを可能とする弾性波フィルタを提供することにある。

本願の第１の発明によれば、圧電基板と、圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ第１の分割くし歯状電極は第２のＩＤＴに近い側に、第２の分割くし歯状電極は第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、第１のＩＤＴと第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴと第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、第２及び第４のＩＤＴは、第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極による部分と第２の分割くし歯状電極による部分とは、仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチのみを有し、第１のＩＤＴの電極指ピッチが第５のＩＤＴの電極指ピッチよりも小さくされており、第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、第１のＩＤＴを流れる信号の位相と第２のＩＤＴを流れる信号の位相とが同相である、弾性波フィルタが提供される。

本願の第２の発明によれば、圧電基板と、圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ第１の分割くし歯状電極は第２のＩＤＴに近い側に、第２の分割くし歯状電極は第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、第１のＩＤＴと第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴと第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、第２及び第４のＩＤＴは、第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極による部分と第２の分割くし歯状電極による部分とは、仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチのみを有し、第１のＩＤＴの電極指ピッチが第５のＩＤＴの電極指ピッチよりも小さくされており、第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外側電極指の極性が同じである、弾性波フィルタが提供される。

本願の第３の発明によれば、圧電基板と、圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ第１の分割くし歯状電極は第２のＩＤＴに近い側に、第２の分割くし歯状電極は第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、第１のＩＤＴと第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴと第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、第２及び第４のＩＤＴは、第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極による部分と第２の分割くし歯状電極による部分とは、仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部とを有し、第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチが第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、あるいは第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、第１のＩＤＴを流れる信号の位相と第２のＩＤＴを流れる信号の位相とが同相である、弾性波フィルタが提供される。

本願の第４の発明によれば、圧電基板と、圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ第１の分割くし歯状電極は第２のＩＤＴに近い側に、第２の分割くし歯状電極は第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、第１のＩＤＴと第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴと第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、第２及び第４のＩＤＴは、第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極による部分と第２の分割くし歯状電極による部分とは、仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部とを有し、第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチが第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、あるいは第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外側電極指の極性が同じである、弾性波フィルタが提供される。

本願の第５の発明によれば、圧電基板と、圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ第１の分割くし歯状電極は第２のＩＤＴに近い側に、第２の分割くし歯状電極は第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、第１のＩＤＴと第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴと第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、第２及び第４のＩＤＴは、第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極による部分と第２の分割くし歯状電極による部分とは、仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチのみを有し、第１のＩＤＴのデューティ比が第５のＩＤＴのデューティ比よりも小さくされており、第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、第１のＩＤＴを流れる信号の位相と第２のＩＤＴを流れる信号の位相とが同相である、弾性波フィルタである。

本願の第６の発明によれば、圧電基板と、圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ第１の分割くし歯状電極は第２のＩＤＴに近い側に、第２の分割くし歯状電極は第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、第１のＩＤＴと第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴと第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、第２及び第４のＩＤＴは、第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極による部分と第２の分割くし歯状電極による部分とは、仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチのみを有し、第１のＩＤＴのデューティ比が第５のＩＤＴのデューティ比よりも小さくされており、第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外側電極指の極性が同じである、弾性波フィルタが提供される。
本願の第７の発明によれば、圧電基板と、圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ第１の分割くし歯状電極は第２のＩＤＴに近い側に、第２の分割くし歯状電極は第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、第１のＩＤＴと第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴと第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、第２及び第４のＩＤＴは、第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極による部分と第２の分割くし歯状電極による部分とは、仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部とを有し、第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部のデューティ比が第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされており、あるいは第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部のデューティ比が第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされており、第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、第１のＩＤＴを流れる信号の位相と第２のＩＤＴを流れる信号の位相とが同相である、弾性波フィルタが提供される。
また、本願の第８の発明によれば、圧電基板と、圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ第１の分割くし歯状電極は第２のＩＤＴに近い側に、第２の分割くし歯状電極は第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、第１のＩＤＴと第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴと第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、第２及び第４のＩＤＴは、第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極による部分と第２の分割くし歯状電極による部分とは、仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部とを有し、第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部のデューティ比が第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされており、あるいは第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部のデューティ比が第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされており、第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外側電極指の極性が同じである、弾性波フィルタが提供される。

本発明に係る弾性波フィルタは、弾性波として弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタであってもよく、あるいは弾性波として弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタであってもよい。

本発明に係る通信機は、本発明の弾性波フィルタを備えることを特徴とする。

本願の第１〜第６の発明によれば、弾性波の伝搬方向に沿って第１〜第５のＩＤＴが配置されており、中央に位置している第３のＩＤＴが第１及び第２の分割くし歯状電極を有する、５ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性波フィルタにおいて、最外側に位置する第１のＩＤＴの電極指ピッチまたはデューティ比が第５のＩＤＴの電極指ピッチまたはデューティ比と異ならされているため、第１及び第２の平衡信号端子間における信号の平衡度を効果的に改善することが可能となる。

特許文献１に記載の３ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタでは、単に仮想中心軸を中心として、一方側と他方側との構成を異ならせるだけで、平衡度の改善が図られていた。５ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性波フィルタでは、仮想中心軸を中心として、一方側と他方側との構成数が多いため、単に仮想中心軸を中心として、一方側と他方側との構成を異ならせるだけでは、必ずしも平衡度を改善することはできなかった。本発明に従って、５ＩＤＴ型の平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性波フィルタにおいて、最外側に位置する第１のＩＤＴの電極指ピッチやデューティ比を第５のＩＤＴの電極指ピッチやデューティ比と異ならせることにより、平衡度を効果的に改善することが可能となる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。 図２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの底面図である。 図３は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構造を示す模式的正面断面図である。 図４は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ及び第１の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。 図５は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ及び第１の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。 図６は、第２の比較例の弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。 図７は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第２の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。 図８は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第２の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。 図９は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第３の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。 図１０は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第３の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。 図１１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第４の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。 図１２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第４の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。 図１３は、本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。 図１４は、本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第５の比較例の弾性表面波フィルタ、第６の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。 図１５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第５の比較例の弾性表面波フィルタ、第６の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。 図１６は、本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。 図１７は、本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第７の比較例の弾性表面波フィルタ、第８の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。 図１８は、本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第７の比較例の弾性表面波フィルタ、第８の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。 図１９は、本発明の第４の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。 図２０は、本発明の第４の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第９の比較例の弾性表面波フィルタ、第１０の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。 図２１は、本発明の第４の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第９の比較例の弾性表面波フィルタ、第１０の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。 図２２は、本発明の第５の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１１の比較例の弾性表面波フィルタ、第１２の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。 図２３は、本発明の第５の実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１１の比較例の弾性表面波フィルタ、第１２の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。 図２４は、本発明に係る弾性境界波フィルタの一例を示す模式的正面断面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

〔第１の実施形態〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ２００の電極構造を示す模式的平面図である。本実施形態の弾性表面波フィルタ２００は、弾性表面波を利用する弾性波フィルタである。

なお、本実施形態及び以下の各実施形態では、ＰＣＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ｓｅｒｖｉｃｅｓ）受信用フィルタとして用いられる弾性波フィルタを説明する。なお、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域は１９３０〜１９９０ＭＨｚである。

本実施形態の弾性表面波フィルタ２００では、圧電基板Ｐ上に、図１に示すような電極構造が形成されている。圧電基板Ｐとしては、４０°±５°ＹカットＸ伝搬のＬｉＴａＯ_３基板が用いられている。電極構造は、特に限定されるわけではないが、本実施形態では、アルミニウムを主体とする金属材料により形成されている。

圧電基板Ｐ上に上記電極構造を形成することにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２００Ａと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２００Ａに直列に接続された弾性表面波共振子２１４とが形成されている。

縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２００Ａは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５を有する。第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５が配置されている領域の弾性表面波の伝搬方向両側に、第１及び第２の反射器２０６，２０７が配置されている。第１及び第２の反射器２０６，２０７は、複数本の電極指を両端で短絡してなるグレーティング型反射器である。

第１のＩＤＴ２０１を例にとり、ＩＤＴの構造を説明する。第１のＩＤＴ２０１は、一対のくし歯状電極２０１ａ，２０１ｂを有する。くし歯状電極２０１ａは、バスバーと、バスバーに一端が連ねられた複数本の電極指とを有する。同様に、くし歯状電極２０１ｂもまた、バスバーと、バスバーに一端が連ねられた複数本の電極指とを有する。そして、くし歯状電極２０１ａの複数本の電極指と、くし歯状電極２０１ｂの複数本の電極指とが互いに間挿し合うように、くし歯状電極２０１ａ，２０１ｂが対向している。複数本の電極指は、弾性表面波の伝搬方向と直交する方向に延ばされている。

第２〜第５のＩＤＴ２０２〜２０５も同様に、複数のくし歯状電極を有する。もっとも、中央に位置している第３のＩＤＴ２０３は、くし歯状電極２０３ａと、第１及び第２の分割くし歯状電極２０３ｂ，２０３ｃとを有する。第１及び第２の分割くし歯状電極２０３ｂ，２０３ｃは、くし歯状電極２０３ａに対向している他方側のくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向において２分割されることにより形成されている。第１及び第２の分割くし歯状電極２０３ｂ，２０３ｃは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている。

第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４の一端は、弾性表面波共振子２１４を介して、不平衡信号端子２１１に接続されている。第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４の他端は、グラウンド電位に接続されている。第１及び第５のＩＤＴ２０１，２０５の一端は、グラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ２０１の他端と第３のＩＤＴ２０３の第１の分割くし歯状電極２０３ｂとは、共通接続されて、第１の平衡信号端子２１２に接続されている。第３のＩＤＴ２０３の第２の分割くし歯状電極２０３ｃと第５のＩＤＴ２０５の他端とは、共通接続されて、第２の平衡信号端子２１３に接続されている。

また、中央に位置している第３のＩＤＴ２０３のくし歯状電極２０３ａは、グラウンド電位に接続されている。

不平衡信号端子２１１から信号が入力された際に、第１及び第２の平衡信号端子２１２，２１３から出力される信号の位相が１８０°異なるように、また、第１及び第２の平衡信号端子２１２，２１３から位相が１８０°異なる信号が入力された際に、不平衡信号端子２１１から信号が出力されるように、第４のＩＤＴ２０４は、第２のＩＤＴ２０２に対して反転されている。従って、弾性表面波フィルタ２００は、平衡−不平衡変換機能を有する。

図３は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ２００の構造を示す模式的正面断面図である。図３に示すように、弾性表面波フィルタ２００は、図１に示す電極構造が形成された圧電基板Ｐと、圧電基板Ｐがフリップチップボンディングされたベース基板２２２と、圧電基板Ｐとベース基板２２２と覆うように形成された樹脂層２２３とを有する。すなわち、弾性表面波フィルタ２００は、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）型の弾性表面波フィルタである。実際には、集合ベース基板上に複数の圧電基板Ｐをフリップチップボンディングし、しかる後樹脂により封止し、次に切断することにより、弾性表面波フィルタ２００を得る。

図２は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ２００の底面図である。図２に示すように、弾性表面波フィルタ２００の底面、すなわち、ベース基板２２２の下面には、外部と電気的に接続するための端子電極３０１〜３０５が形成されている。端子電極３０１〜３０５は、それぞれ、Ｗなどの適宜の電極材料からなる。

ここで、端子電極３０１は、不平衡信号端子２１１に電気的に接続されている。また、端子電極３０２，３０３は、それぞれ第１及び第２の平衡信号端子２１２，２１３に電気的に接続されている。端子電極３０４，３０５は、グラウンド電位に接続される端子電極である。

ベース基板２２２の下面は矩形の形状を有し、端子電極３０１は、一方の短辺に沿うように、かつ該短辺の中央に配置されている。そして、この短辺の中心を通り、長辺に平行な中心軸に対し、端子電極３０２，３０４と、端子電極３０３，３０５とが対称に配置されている。このように、端子電極３０２，３０４と、端子電極３０３，３０５とが中心軸を中心として対称に配置されていることが好ましく、それによって、第１及び第２の平衡信号端子２１２，２１３間における信号の平衡度をより一層高めることができる。平衡度をより一層高めるためには、この中心軸は、後述の仮想中心軸Ａと重なる位置にあることが好ましい。

図１に示すように、第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５における２つのＩＤＴ同士が隣り合う部分では、ＩＤＴの端部に位置する最外側電極指を含む複数本の電極指の電極指ピッチが、当該ＩＤＴの他の部分の電極指ピッチよりも小さくされている。この相対的に電極指ピッチが小さくされている部分は、狭ピッチ電極指部と称されているものである。図１において、狭ピッチ電極指部を模式的にＮで示す。ＩＤＴにおけるＮで示されている部分（狭ピッチ電極指部）以外の部分は、狭ピッチ電極指部とは異なる電極指ピッチの電極指部、すなわちメインピッチ電極指部と称することとする。ここで、電極指ピッチとは、互いに隣り合う電極指の中心間距離である。

周知のように、狭ピッチ電極指部を設けることにより、ＩＤＴ同士が隣接している部分における弾性表面波の伝搬特性の連続性を高めることができる。

本実施形態の弾性表面波フィルタ２００は、以下のように構成されている。第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分及びくし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

本実施形態の弾性表面波フィルタ２００の特徴は、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることにある。より具体的には、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチは、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチに対して約０．２％分、小さくされている。それによって、後述の実施例で示すように、平衡度が改善される。

なお、第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５の電極指の本数は下記の表１に示す通りである。括弧内の数字は、狭ピッチ電極指部の電極指の本数を示す。その他の数字は、メインピッチ電極指部の電極指の本数を示す。なお、ＩＤＴ２０３については、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分と、くし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分とを分けて示している。

図１に示すように、第１のＩＤＴ２０１と第２のＩＤＴ２０２とが隣り合っている部分において、第１のＩＤＴ２０１の最外側電極指及び第２のＩＤＴ２０２の最外側電極指は、いずれもグラウンド電位に接続されている電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。

これに対して、第４のＩＤＴ２０４と第５のＩＤＴ２０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ２０４の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指であり、第５のＩＤＴ２０５の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指である。すなわち、両電極指の極性は異なっている。

第２のＩＤＴ２０２と第３のＩＤＴ２０３とが隣り合っている部分において、第２のＩＤＴ２０２の最外側電極指及び第３のＩＤＴ２０３の最外側電極指は、いずれもグラウンド電位に接続されている電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。

これに対して、第３のＩＤＴ２０３と第４のＩＤＴ２０４とが隣り合っている部分においては、第３のＩＤＴ２０３の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指であり、第４のＩＤＴ２０４の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指である。すなわち、両電極指の極性は異なっている。

従って、第１のＩＤＴ２０１と第２のＩＤＴ２０２とが隣り合っている部分においては、第２のＩＤＴ２０２を流れる信号の位相と、第１のＩＤＴ２０１を流れる信号の位相とは、同相となっている。一方、第４のＩＤＴ２０４と第５のＩＤＴ２０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ２０４を流れる信号の位相と、第５のＩＤＴ２０５を流れる信号の位相とは、逆相となっている。

すなわち、本実施形態では、第１の平衡信号端子２１２に接続されており、最外側に位置する第１のＩＤＴ２０１と、不平衡信号端子２１１に接続されている第２のＩＤＴ２０２とが隣り合っている部分並びに、第２の平衡信号端子２１３に接続されており、最外側に位置する第５のＩＤＴ２０５と、不平衡信号端子２１１に接続されている第４のＩＤＴ２０４とが隣り合っている部分において、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が逆相である第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

なお、本実施形態では、第１のＩＤＴ２０１と第５のＩＤＴ２０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせたことを除いては、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸Ａを中心として、圧電基板Ｐ上の構造は対称とされている。それによって、平衡度が高められる。これは、中央に位置している第３のＩＤＴ２０３と隣り合っている第２及びの第４のＩＤＴ２０２，２０４において、第３のＩＤＴ２０３に対して隣り合っている最外側電極指の極性が、第２のＩＤＴ２０２と第４のＩＤＴ２０４とで異なっていることを除いては、不平衡成分がほぼ発生しないことによる。

本実施形態の弾性表面波フィルタ２００との比較のために、第１の比較例の弾性表面波フィルタを用意した。第１の比較例の弾性表面波フィルタは、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチとを等しくしたことを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様の構成を有する。

具体的には、第１の比較例は、以下のように構成されている。第１及び第５のＩＤＴ２０１，２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分及びくし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。

図４及び図５は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ２００と第１の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図４及び図５において、実線は本実施形態の弾性表面波フィルタ２００を示し、破線は第１の比較例の弾性表面波フィルタを示す。

振幅平衡度は、第１の平衡信号端子２１２から出力される信号の振幅と、第２の平衡信号端子２１３から出力される信号の振幅との差である。位相平衡度は、第１の平衡信号端子２１２から出力される信号の位相と、第２の平衡信号端子２１３から出力される信号の位相との差である。平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタでは、通過帯域内において、振幅平衡度が０ｄＢ、位相平衡度が１８０°であることが理想である。一般には、通過帯域内において、振幅平衡度が−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲内であること、位相平衡度が１６８°〜１９２°の範囲内であることが求められている。

また、振幅平衡度及び位相平衡度を評価する場合には、通過帯域内における振幅平衡度及び位相平衡度の最も悪い値の大きさが重要である。すなわち、通過帯域内において、振幅平衡度の最も悪い値の絶対値が小さいこと、位相平衡度の最も悪い値が１８０°に近いことが求められる。

図４から明らかなように、本実施形態及び第１の比較例のいずれにおいても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第１の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は約−１．０ｄＢである。これに対して、本実施形態では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は−０．８ｄＢである。従って、本実施形態によれば、振幅平衡度が第１の比較例よりも約０．２ｄＢ改善されている。これは、第１の平衡信号端子２１２から出力される信号と、第２の平衡信号端子２１３から出力される信号との間の位相のずれが、第１のＩＤＴ２０１と第５のＩＤＴ２０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせることにより補正されていることによる。

他方、図５から明らかなように、位相平衡度については、本実施形態では、第１の比較例よりも若干悪化している。しかしながら、本実施形態においても、位相平衡度の最も悪い値は、１６８°〜１９２°の範囲内におさまっている。従って、本実施形態によれば、位相平衡度をさほど悪化させることなく、振幅平衡度を飛躍的に改善し得ることがわかる。

次に、第２の比較例の弾性表面波フィルタを用意した。図６は、第２の比較例の弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。第２の比較例の弾性表面波フィルタでは、圧電基板Ｐ上に、図６に示すような電極構造が形成されている。第２の比較例の弾性表面波フィルタは、本実施形態の弾性表面波フィルタ２００とは逆に、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチに対して約０．２％分、小さくされている。第２の比較例の弾性表面波フィルタは、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様の構成を有する。

具体的には、第２の比較例は、以下のように構成されている。第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分及びくし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

図７及び図８は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ２００、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第２の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図７及び図８において、実線は本実施形態の弾性表面波フィルタ２００を示し、破線は第１の比較例の弾性表面波フィルタを示し、一点鎖線は第２の比較例の弾性表面波フィルタを示す。

図７から明らかなように、第２の比較例においても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第２の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が−１．４ｄＢであり、第１の比較例よりも悪化している。更に、第２の比較例では、振幅平衡度が、求められる範囲である−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。また、図８から明らかなように、第２の比較例では、位相平衡度が悪化している。

次に、第３の比較例の弾性表面波フィルタを用意した。表２に、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第３の比較例の弾性表面波フィルタのそれぞれにおける、第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを示す。なお、ＩＤＴ２０３については、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分と、くし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分とを分けて示している。

本実施形態は、以下のように構成されている。第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ３と等しくされている。第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分及びくし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ４と等しくされている。第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチをλ２×０．９９９、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチをλ２×１．００１とされている。すなわち、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

第１の比較例は、以下のように構成されている。第１及び第５のＩＤＴ２０１，２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ２と等しくされている。第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ３と等しくされている。第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分及びくし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ４と等しくされている。

そして、第３の比較例の弾性表面波フィルタは、以下のように構成されている。第１及び第５のＩＤＴ２０１，２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ２と等しくされている。第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分及びくし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ４と等しくされている。第２のＩＤＴ２０２のメインピッチ電極指部の電極指ピッチをλ３×１．００１、第４のＩＤＴ２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチをλ３×０．９９９とされている。すなわち、第２のＩＤＴ２０２のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第４のＩＤＴ２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチとが異ならされている。第３の比較例は、第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様の構成を有する。

図９及び図１０は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ２００、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第３の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図９及び図１０において、実線は本実施形態の弾性表面波フィルタ２００を示し、破線は第１の比較例の弾性表面波フィルタを示し、一点鎖線は第３の比較例の弾性表面波フィルタを示す。

なお、第３の比較例では、第３のＩＤＴ２０３の最外側電極指は、中性点電位、すなわちグラウンド電位に接続されている電極指であり、第２のＩＤＴ２０２における第３のＩＤＴ２０３側の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指であり、第４のＩＤＴ２０４における第３のＩＤＴ２０３側の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指であるため、上記のように第２のＩＤＴ２０２のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを、第４のＩＤＴ２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも大きくされている。

図９から明らかなように、第３の比較例においても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第３の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が−１．７ｄＢであり、第１の比較例よりも悪化している。更に、第３の比較例では、振幅平衡度が、求められる範囲である−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。これは、第２のＩＤＴ２０２と第４のＩＤＴ２０４とが電気的に接続されているので、一方のＩＤＴにおけるパラメータの変化が他方のＩＤＴに悪影響を及ぼしていることによると考えられる。

次に、第４の比較例の弾性表面波フィルタを用意した。表３に、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第４の比較例の弾性表面波フィルタのそれぞれにおける、第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを示す。なお、ＩＤＴ２０３については、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分と、くし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分とを分けて示している。また、表３のλ２〜λ４は、表２中のλ２〜λ４と同じ値である。

表３から明らかなように、第４の比較例の弾性表面波フィルタは、以下のように構成されている。第１及び第５のＩＤＴ２０１，２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ２と等しくされている。第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ３と等しくされている。第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチをλ４×１．００１、くし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチをλ４×０．９９９とされている。すなわち、第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、くし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチとが異ならされている。第４の比較例は、第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様の構成を有する。

図１１及び図１２は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ２００、第１の比較例の弾性表面波フィルタ、第４の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図１１及び図１２において、実線は本実施形態の弾性表面波フィルタ２００を示し、破線は第１の比較例の弾性表面波フィルタを示し、一点鎖線は第４の比較例の弾性表面波フィルタを示す。

図１１から明らかなように、第４の比較例においても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第４の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が−１．４ｄＢであり、第１の比較例よりも悪化している。更に、第４の比較例では、振幅平衡度が、求められる範囲である−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。これは、第３のＩＤＴ２０３における第１及び第２の分割くし歯状電極２０３ｂ，２０３ｃの電極指同士が隣り合っており、音響的結合が強くなっているため、一方の分割くし歯状電極におけるパラメータの変化が、他方の分割くし歯状電極に悪影響を及ぼしているためと考えられる。

上記第１の実施形態及び第１〜第４の比較例の結果から明らかなように、第１の平衡信号端子２１２に接続されており、最外側に位置する第１のＩＤＴ２０１と、不平衡信号端子２１１に接続されている第２のＩＤＴ２０２とが隣り合っている部分並びに、第２の平衡信号端子２１３に接続されており、最外側に位置する第５のＩＤＴ２０５と、不平衡信号端子２１１に接続されている第４のＩＤＴ２０４とが隣り合っている部分において、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が逆相である第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくなるように設定することが必要であり、それによって、平衡度を飛躍的に改善し得ることがわかる。

なお、第１の実施形態では、第１及び第５のＩＤＴ２０１，２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを全て異ならせたが、ＩＤＴのメインピッチ電極指部において、一部の電極指部の電極指ピッチのみを異ならせてもよい。また、第１のＩＤＴ２０１の狭ピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ２０５の狭ピッチ電極指部の電極指ピッチとを異ならせてもよい。その場合においても、上記第１の実施形態と同様に、平衡度を改善することができる。

また、第１の実施形態では、第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５において狭ピッチ電極指部が設けられていたが、狭ピッチ電極指部を設けず、一定の電極指ピッチとしてもよい。このような場合でも、一定の電極指ピッチを有する第１及び第５のＩＤＴ２０１，２０５において、一部または全部の電極指ピッチを異ならせることで、平衡度を改善することができる。

なお、第１の実施形態では、圧電基板Ｐとして、４０°±５°ＹカットＸ伝搬のＬｉＴａＯ_３基板を用いたが、本発明の効果が得られる原理からも明らかなように、本発明は、これに限らず、他の圧電単結晶基板が用いられてもよい。例えば、６４°〜７２°ＹカットＸ伝搬のＬｉＮｂＯ_３基板や４１°ＹカットＸ伝搬のＬｉＮｂＯ_３基板などを用いても、同様の効果を得ることができる。

また、第１の実施形態において、第３のＩＤＴ２０３における、第１及び第２の分割くし歯状電極２０３ｂ，２０３ｃと対向する、くし歯状電極２０３ａの電極指は、浮き電極指であってもよく、その場合においても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。

〔第２の実施形態〕
図１３は、本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタ４００の電極構造を示す模式的平面図である。

第２の実施形態の弾性表面波フィルタ４００では、圧電基板Ｐ上に、図１３に示すような電極構造が形成されている。第２の実施形態の弾性表面波フィルタ４００は、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部４００Ａと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部４００Ａに直列に接続された弾性表面波共振子４１４とを有する。第２の実施形態の弾性表面波フィルタ４００は、基本的な構造において、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様であるため、同一部分については、２００番台の参照番号に代えて、４００番台の参照番号を付することにより、その詳細な説明は省略する。

第２の実施形態においても、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部４００Ａは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴ４０１〜４０５を有する。中央に位置している第３のＩＤＴ４０３は、くし歯状電極４０３ａと、第１及び第２の分割くし歯状電極４０３ｂ，４０３ｃとを有する。第１及び第２の分割くし歯状電極４０３ｂ，４０３ｃは、くし歯状電極４０３ａに対向している他方側のくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向において２分割されることにより形成されている。第１及び第２の分割くし歯状電極４０３ｂ，４０３ｃは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている。第１〜第５のＩＤＴ４０１〜４０５が配置されている領域の弾性表面波の伝搬方向両側に、第１及び第２の反射器４０６，４０７が配置されている。なお、第２の実施形態の弾性表面波フィルタ４００では、第２及び第４のＩＤＴ４０２，４０４が、それぞれ、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００における第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４に対して反転されている。

第２及び第４のＩＤＴ４０２，４０４の一端は、弾性表面波共振子４１４を介して、不平衡信号端子４１１に接続されている。第２及び第４のＩＤＴ４０２，４０４の他端は、グラウンド電位に接続されている。第１及び第５のＩＤＴ４０１，４０５の一端は、グラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ４０１の他端と第３のＩＤＴ４０３の第１の分割くし歯状電極４０３ｂとは、共通接続されて、第１の平衡信号端子４１２に接続されている。第３のＩＤＴ４０３の第２の分割くし歯状電極４０３ｃと第５のＩＤＴ４０５の他端とは、共通接続されて、第２の平衡信号端子４１３に接続されている。また、中央に位置している第３のＩＤＴ４０３のくし歯状電極４０３ａは、グラウンド電位に接続されている。

第２の実施形態では、平衡−不平衡変換機能を実現するために、第１の実施形態の場合と同様に、第２のＩＤＴ４０２に対し、第４のＩＤＴ４０４が反転されている。

図１３に示すように、第１〜第５のＩＤＴ４０１〜４０５における２つのＩＤＴ同士が隣り合う部分では、狭ピッチ電極指部が設けられている。狭ピッチ電極指部では、ＩＤＴの端部に位置する最外側電極指を含む複数本の電極指の電極指ピッチが、当該ＩＤＴの他の部分の電極指ピッチよりも小さくされている。図１３において、狭ピッチ電極指部を模式的にＮで示す。ＩＤＴにおけるＮで示されている部分（狭ピッチ電極指部）以外の部分は、狭ピッチ電極指部とは異なる電極指ピッチの電極指部、すなわちメインピッチ電極指部である。

図１３に示すように、第１のＩＤＴ４０１と第２のＩＤＴ４０２とが隣り合っている部分においては、第１のＩＤＴ４０１の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指であり、第２のＩＤＴ４０２の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指である。すなわち、両電極指の極性は異なっている。

これに対して、第４のＩＤＴ４０４と第５のＩＤＴ４０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ４０４の最外側電極指及び第５のＩＤＴ４０５の最外側電極指は、いずれもグラウンド電位に接続されている電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。

第２のＩＤＴ４０２と第３のＩＤＴ４０３とが隣り合っている部分において、第２のＩＤＴ４０２の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指であり、第３のＩＤＴ４０３の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指である。すなわち、両電極指の極性は異なっている。

これに対して、第３のＩＤＴ４０３と第４のＩＤＴ４０４とが隣り合っている部分においては、第３のＩＤＴ４０３の最外側電極指及び第４のＩＤＴ４０４の最外側電極指は、いずれもグラウンド電位に接続されている電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。

従って、第１のＩＤＴ４０１と第２のＩＤＴ４０２とが隣り合っている部分においては、第２のＩＤＴ４０２を流れる信号の位相と、第１のＩＤＴ４０１を流れる信号の位相とは、逆相となっている。一方、第４のＩＤＴ４０４と第５のＩＤＴ４０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ４０４を流れる信号の位相と、第５のＩＤＴ４０５を流れる信号の位相とは、同相となっている。

本実施形態の弾性表面波フィルタ４００は、以下のように構成されている。第２及び第４のＩＤＴ４０２，４０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第３のＩＤＴ４０３における、くし歯状電極４０３ａと第１の分割くし歯状電極４０３ｂとによる部分及びくし歯状電極４０３ａと第２の分割くし歯状電極４０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

本実施形態の弾性表面波フィルタ４００の特徴は、第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることにある。より具体的には、第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチは、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチに対して約０．２％分、小さくされている。

すなわち、本実施形態では、第１の平衡信号端子４１２に接続されており、最外側に位置する第１のＩＤＴ４０１と、不平衡信号端子４１１に接続されている第２のＩＤＴ４０２とが隣り合っている部分並びに、第２の平衡信号端子４１３に接続されており、最外側に位置する第５のＩＤＴ４０５と、不平衡信号端子４１１に接続されている第４のＩＤＴ４０４とが隣り合っている部分において、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が逆相である第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

なお、本実施形態では、第１のＩＤＴ４０１と第５のＩＤＴ４０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせたことを除いては、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸Ａを中心として、圧電基板Ｐ上の構造は対称とされている。それによって、平衡度が高められる。これは、中央に位置している第３のＩＤＴ４０３と隣り合っている第２及びの第４のＩＤＴ４０２，４０４において、第３のＩＤＴ４０３に対して隣り合っている最外側電極指の極性が、第２のＩＤＴ４０２と第４のＩＤＴ４０４とで異なっていることを除いては、不平衡成分がほぼ発生しないことによる。

本実施形態の弾性表面波フィルタ４００との比較のために、第５の比較例の弾性表面波フィルタと、第６の比較例の弾性表面波フィルタとを用意した。第５の比較例の弾性表面波フィルタは、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチとを等しくしたことを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ４００と同様の構成を有する。第６の比較例の弾性表面波フィルタは、本実施形態の弾性表面波フィルタ４００とは逆に、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも、第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチに対して約０．２％分、小さくされている。第６の比較例の弾性表面波フィルタは、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ４００と同様の構成を有する。

図１４及び図１５は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ４００、第５の比較例の弾性表面波フィルタ、第６の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図１４及び図１５において、実線は本実施形態の弾性表面波フィルタ４００を示し、破線は第５の比較例の弾性表面波フィルタを示し、一点鎖線は第６の比較例の弾性表面波フィルタを示す。

図１４から明らかなように、本実施形態及び第５の比較例のいずれにおいても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第５の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は−１．１ｄＢである。これに対して、本実施形態では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は−０．８ｄＢである。従って、本実施形態によれば、振幅平衡度が第５の比較例よりも０．３ｄＢ改善されている。これは、第１の平衡信号端子４１２から出力される信号と、第２の平衡信号端子４１３から出力される信号との間の位相のずれが、第１のＩＤＴ４０１と第５のＩＤＴ４０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせることにより補正されていることによる。

他方、図１５から明らかなように、位相平衡度については、本実施形態では、第５の比較例よりも若干悪化している。しかしながら、本実施形態においても、位相平衡度の最も悪い値は、１６８°〜１９２°の範囲内におさまっている。

また、図１４から明らかなように、第６の比較例においても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第６の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が約−１．４ｄＢであり、第５の比較例よりも悪化している。更に、第６の比較例では、振幅平衡度が、求められる範囲である−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。また、図１５から明らかなように、第６の比較例では、位相平衡度が悪化している。従って、図１４及び図１５から明らかなように、第２の実施形態においても、位相平衡度をさほど悪化させることなく、振幅平衡度を改善し得ることがわかる。

〔第３の実施形態〕
図１６は、本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波フィルタ５００の電極構造を示す模式的平面図である。第３の実施形態の弾性表面波フィルタ５００では、圧電基板Ｐ上に、図１６に示すような電極構造が形成されている。第３の実施形態の弾性表面波フィルタ５００もまた、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５００Ａと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５００Ａに直列に接続された弾性表面波共振子５１４とを有する。第３の実施形態の弾性表面波フィルタ５００は、基本的な構造において、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様であるため、同一部分については、２００番台の参照番号に代えて、５００番台の参照番号を付することにより、その詳細な説明を省略する。

第３の実施形態においても、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５００Ａは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴ５０１〜５０５を有する。中央に位置している第３のＩＤＴ５０３は、くし歯状電極５０３ａと、第１及び第２の分割くし歯状電極５０３ｂ，５０３ｃとを有する。第１及び第２の分割くし歯状電極５０３ｂ，５０３ｃは、くし歯状電極５０３ａに対向している他方側のくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向において２分割されることにより形成されている。第１及び第２の分割くし歯状電極５０３ｂ，５０３ｃは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている。第１〜第５のＩＤＴ５０１〜５０５が配置されている領域の弾性表面波の伝搬方向両側に、第１及び第２の反射器５０６，５０７が配置されている。なお、第３の実施形態の弾性表面波フィルタ５００では、第１及び第５のＩＤＴ５０１，５０５が、それぞれ、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００における第１及び第５のＩＤＴ２０１，２０５に対して反転されていると共に、第３のＩＤＴ５０３の最外側電極指が信号端子に接続されている電極指とされている。

第２及び第４のＩＤＴ５０２，５０４の一端は、弾性表面波共振子５１４を介して、不平衡信号端子５１１に接続されている。第２及び第４のＩＤＴ５０２，５０４の他端は、グラウンド電位に接続されている。第１及び第５のＩＤＴ５０１，５０５の一端は、グラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ５０１の他端と第３のＩＤＴ５０３の第１の分割くし歯状電極５０３ｂとは、共通接続されて、第１の平衡信号端子５１２に接続されている。第３のＩＤＴ５０３の第２の分割くし歯状電極５０３ｃと第５のＩＤＴ５０５の他端とは、共通接続されて、第２の平衡信号端子５１３に接続されている。また、中央に位置している第３のＩＤＴ５０３のくし歯状電極５０３ａは、グラウンド電位に接続されている。

第３の実施形態では、平衡−不平衡変換機能を実現するために、第１の実施形態の場合と同様に、第２のＩＤＴ５０２に対し、第４のＩＤＴ５０４が反転されている。

図１６に示すように、第１〜第５のＩＤＴ５０１〜５０５における２つのＩＤＴ同士が隣り合う部分では、狭ピッチ電極指部が設けられている。狭ピッチ電極指部では、ＩＤＴの端部に位置する最外側電極指を含む複数本の電極指の電極指ピッチが、当該ＩＤＴの他の部分の電極指ピッチよりも小さくされている。図１６において、狭ピッチ電極指部を模式的にＮで示す。ＩＤＴにおけるＮで示されている部分（狭ピッチ電極指部）以外の部分は、狭ピッチ電極指部とは異なる電極指ピッチの電極指部、すなわちメインピッチ電極指部である。

図１６に示すように、第１のＩＤＴ５０１と第２のＩＤＴ５０２とが隣り合っている部分においては、第１のＩＤＴ５０１の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指であり、第２のＩＤＴ５０２の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指である。すなわち、両電極指の極性は異なっている。

これに対して、第４のＩＤＴ５０４と第５のＩＤＴ５０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ５０４の最外側電極指及び第５のＩＤＴ５０５の最外側電極指は、いずれも信号端子に接続されている電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。

第２のＩＤＴ５０２と第３のＩＤＴ５０３とが隣り合っている部分において、第２のＩＤＴ５０２の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指であり、第３のＩＤＴ５０３の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指である。すなわち、両電極指の極性は異なっている。

これに対して、第３のＩＤＴ５０３と第４のＩＤＴ５０４とが隣り合っている部分においては、第３のＩＤＴ４０３の最外側電極指及び第４のＩＤＴ４０４の最外側電極指は、いずれも信号端子に接続されている電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。

従って、第１のＩＤＴ５０１と第２のＩＤＴ５０２とが隣り合っている部分においては、第２のＩＤＴ５０２を流れる信号の位相と、第１のＩＤＴ５０１を流れる信号の位相とは、逆相となっている。一方、第４のＩＤＴ５０４と第５のＩＤＴ５０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ５０４を流れる信号の位相と、第５のＩＤＴ５０５を流れる信号の位相とは、同相となっている。

本実施形態の弾性表面波フィルタ５００は、以下のように構成されている。第２及び第４のＩＤＴ５０２，５０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第３のＩＤＴ５０３における、くし歯状電極５０３ａと第１の分割くし歯状電極５０３ｂとによる部分及びくし歯状電極５０３ａと第２の分割くし歯状電極５０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

本実施形態の弾性表面波フィルタ５００の特徴は、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることにある。より具体的には、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチは、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチに対して約０．２％分、小さくされている。すなわち、本実施形態では、第１の平衡信号端子５１２に接続されており、最外側に位置する第１のＩＤＴ５０１と、不平衡信号端子５１１に接続されている第２のＩＤＴ５０２とが隣り合っている部分並びに、第２の平衡信号端子５１３に接続されており、最外側に位置する第５のＩＤＴ５０５と、不平衡信号端子５１１に接続されている第４のＩＤＴ５０４とが隣り合っている部分において、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が逆相である第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

なお、本実施形態では、第１のＩＤＴ５０１と第５のＩＤＴ５０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせたことを除いては、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸Ａを中心として、圧電基板Ｐ上の構造は対称とされている。それによって、平衡度が高められる。これは、中央に位置している第３のＩＤＴ５０３と隣り合っている第２及びの第４のＩＤＴ５０２，５０４において、第３のＩＤＴ５０３に対して隣り合っている最外側電極指の極性が、第２のＩＤＴ５０２と第４のＩＤＴ５０４とで異なっていることを除いては、不平衡成分がほぼ発生しないことによる。

本実施形態においても、第１〜第５のＩＤＴ５０１〜５０５が上記のように構成されているため、平衡度を改善することができる。これを、図１７及び図１８を参照して説明する。

本実施形態の弾性表面波フィルタ５００との比較のために、第７の比較例の弾性表面波フィルタと、第８の比較例の弾性表面波フィルタとを用意した。第７の比較例の弾性表面波フィルタは、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチとを等しくしたことを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ５００と同様の構成を有する。第８の比較例の弾性表面波フィルタは、本実施形態の弾性表面波フィルタ５００とは逆に、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチに対して約０．２％分、小さくされている。第８の比較例の弾性表面波フィルタは、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ５００と同様の構成を有する。

図１７及び図１８は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ５００、第７の比較例の弾性表面波フィルタ、第８の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図１７及び図１８において、実線は本実施形態の弾性表面波フィルタ５００を示し、破線は第７の比較例の弾性表面波フィルタを示し、一点鎖線は第８の比較例の弾性表面波フィルタを示す。

図１７から明らかなように、本実施形態及び第７の比較例のいずれにおいても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近において振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第７の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は約−１．２ｄＢである。これに対して、本実施形態では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は約−１．１ｄＢである。従って、本実施形態によれば、振幅平衡度が第７の比較例よりも約０．１ｄＢ改善されている。これは、第１の平衡信号端子５１２から出力される信号と、第２の平衡信号端子５１３から出力される信号との間の位相のずれが、第１のＩＤＴ５０１と第５のＩＤＴ５０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせることにより補正されていることによる。

他方、図１８から明らかなように、位相平衡度については、本実施形態では、第７の比較例よりも若干悪化している。しかしながら、本実施形態においても、位相平衡度の最も悪い値は、１６８°〜１９２°の範囲内におさまっている。

また、図１７から明らかなように、第８の比較例においても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第８の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が約−１．４ｄＢであり、第７の比較例よりも悪化している。更に、第８の比較例では、振幅平衡度が、求められる範囲である−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。

また、図１８から明らかなように、第８の比較例では、位相平衡度が悪化している。

従って、図１７及び図１８から明らかなように、第３の実施形態においても、位相平衡度をさほど悪化させることなく、振幅平衡度を改善し得ることがわかる。

〔第４の実施形態〕
図１９は、本発明の第４の実施形態に係る弾性表面波フィルタ６００の電極構造を示す模式的平面図である。第４の実施形態の弾性表面波フィルタ６００では、圧電基板Ｐ上に、図１９に示すような電極構造が形成されている。

第４の実施形態の弾性表面波フィルタ６００は、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６００Ａと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６００Ａに直列に接続された弾性表面波共振子６１４とを有する。第４の実施形態の弾性表面波フィルタ６００は、基本的な構造において、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様であるため、同一部分については、２００番台の参照番号に代えて、６００番台の参照番号を付することにより、その詳細な説明を省略する。

第４の実施形態においても、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６００Ａは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴ６０１〜６０５を有する。中央に位置している第３のＩＤＴ６０３は、くし歯状電極６０３ａと、第１及び第２の分割くし歯状電極６０３ｂ，６０３ｃとを有する。第１及び第２の分割くし歯状電極６０３ｂ，６０３ｃは、くし歯状電極６０３ａに対向している他方側のくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向において２分割されることにより形成されている。第１及び第２の分割くし歯状電極６０３ｂ，６０３ｃは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている。第１〜第５のＩＤＴ６０１〜６０５が配置されている領域の弾性表面波の伝搬方向両側に、第１及び第２の反射器６０６，６０７が配置されている。なお、第４の実施形態の弾性表面波フィルタ６００では、第１のＩＤＴ６０１，第２のＩＤＴ６０２，第４のＩＤＴ６０４，第５のＩＤＴ６０５が、それぞれ、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００における第１のＩＤＴ２０１，第２のＩＤＴ２０２，第４のＩＤＴ２０４，第５のＩＤＴ２０５に対して反転されていると共に、第３のＩＤＴ６０３の最外側電極指が信号端子に接続されている電極指とされている。

第２及び第４のＩＤＴ６０２，６０４の一端は、弾性表面波共振子６１４を介して、不平衡信号端子６１１に接続されている。第２及び第４のＩＤＴ６０２，６０４の他端は、グラウンド電位に接続されている。第１及び第５のＩＤＴ６０１，６０５の一端は、グラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ６０１の他端と第３のＩＤＴ６０３の第１の分割くし歯状電極６０３ｂとは、共通接続されて、第１の平衡信号端子６１２に接続されている。第３のＩＤＴ６０３の第２の分割くし歯状電極６０３ｃと第５のＩＤＴ６０５の他端とは、共通接続されて、第２の平衡信号端子６１３に接続されている。また、中央に位置している第３のＩＤＴ６０３のくし歯状電極６０３ａは、グラウンド電位に接続されている。

第４の実施形態では、平衡−不平衡変換機能を実現するために、第１の実施形態の場合と同様に、第２のＩＤＴ６０２に対し、第４のＩＤＴ６０４が反転されている。

図１９に示すように、第１〜第５のＩＤＴ６０１〜６０５における２つのＩＤＴ同士が隣り合う部分では、狭ピッチ電極指部が設けられている。狭ピッチ電極指部では、ＩＤＴの端部に位置する最外側電極指を含む複数本の電極指の電極指ピッチが、当該ＩＤＴの他の部分の電極指ピッチよりも小さくされている。図１９において、狭ピッチ電極指部を模式的にＮで示す。ＩＤＴにおけるＮで示されている部分（狭ピッチ電極指部）以外の部分は、狭ピッチ電極指部とは異なる電極指ピッチの電極指部、すなわちメインピッチ電極指部である。

図１９に示すように、第１のＩＤＴ６０１と第２のＩＤＴ６０２とが隣り合っている部分においては、第１のＩＤＴ６０１の最外側電極指及び第２のＩＤＴ６０２の最外側電極指は、いずれも信号端子に接続されている電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。

これに対して、第４のＩＤＴ６０４と第５のＩＤＴ６０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ６０４の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指であり、第５のＩＤＴ６０５の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指である。すなわち、両電極指の極性は異なっている。

第２のＩＤＴ６０２と第３のＩＤＴ６０３とが隣り合っている部分において、第２のＩＤＴ６０２の最外側電極指及び第３のＩＤＴ６０３の最外側電極指は、いずれも信号端子に接続されている電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。

これに対して、第３のＩＤＴ６０３と第４のＩＤＴ６０４とが隣り合っている部分においては、第３のＩＤＴ６０３の最外側電極指は信号端子に接続されている電極指であり、第４のＩＤＴ６０４の最外側電極指はグラウンド電位に接続されている電極指である。すなわち、両電極指の極性は異なっている。

従って、第１のＩＤＴ６０１と第２のＩＤＴ６０２とが隣り合っている部分においては、第２のＩＤＴ６０２を流れる信号の位相と、第１のＩＤＴ６０１を流れる信号の位相とは、同相となっている。一方、第４のＩＤＴ６０４と第５のＩＤＴ６０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ６０４を流れる信号の位相と、第５のＩＤＴ６０５を流れる信号の位相とは、逆相となっている。

本実施形態の弾性表面波フィルタ６００は、以下のように構成されている。第２及び第４のＩＤＴ６０２，６０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第３のＩＤＴ６０３における、くし歯状電極６０３ａと第１の分割くし歯状電極６０３ｂとによる部分及びくし歯状電極６０３ａと第２の分割くし歯状電極６０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが等しくされている。第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

本実施形態の弾性表面波フィルタ６００の特徴は、第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることにある。より具体的には、第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチは、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチに対して約０．２％分、小さくされている。

すなわち、本実施形態では、第１の平衡信号端子６１２に接続されており、最外側に位置する第１のＩＤＴ６０１と、不平衡信号端子６１１に接続されている第２のＩＤＴ６０２とが隣り合っている部分並びに、第２の平衡信号端子６１３に接続されており、最外側に位置する第５のＩＤＴ６０５と、不平衡信号端子６１１に接続されている第４のＩＤＴ６０４とが隣り合っている部分において、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、隣り合っている両方のＩＤＴを流れる信号の位相が逆相である第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。

なお、本実施形態では、第１のＩＤＴ６０１と第５のＩＤＴ６０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせたことを除いては、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸Ａを中心として、圧電基板Ｐ上の構造は対称とされている。それによって、平衡度が高められる。これは、中央に位置している第３のＩＤＴ６０３と隣り合っている第２及びの第４のＩＤＴ６０２，６０４において、第３のＩＤＴ６０３に対して隣り合っている最外側電極指の極性が、第２のＩＤＴ６０２と第４のＩＤＴ６０４とで異なっていることを除いては、不平衡成分がほぼ発生しないことによる。

本実施形態の弾性表面波フィルタ６００との比較のために、第９の比較例の弾性表面波フィルタと、第１０の比較例の弾性表面波フィルタとを用意した。

第９の比較例の弾性表面波フィルタは、第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチとを等しくしたことを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ６００と同様の構成を有する。

第１０の比較例の弾性表面波フィルタは、本実施形態の弾性表面波フィルタ６００とは逆に、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも、第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチに対して約０．２％分、小さくされている。第１０の比較例の弾性表面波フィルタは、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタ６００と同様の構成を有する。

図２０及び図２１は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ６００、第９の比較例の弾性表面波フィルタ、第１０の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図２０及び図２１において、実線は本実施形態の弾性表面波フィルタ６００を示し、破線は第９の比較例の弾性表面波フィルタを示し、一点鎖線は第１０の比較例の弾性表面波フィルタを示す。

図２０から明らかなように、本実施形態及び第９の比較例のいずれにおいても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近において振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第９の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は約−１．２ｄＢである。これに対して、本実施形態では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は約−１．１ｄＢである。従って、本実施形態によれば、振幅平衡度が第９の比較例よりも約０．１ｄＢ改善されている。これは、第１の平衡信号端子６１２から出力される信号と、第２の平衡信号端子６１３から出力される信号との間の位相のずれが、第１のＩＤＴ６０１と第５のＩＤＴ６０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせることにより補正されていることによる。

他方、図２１から明らかなように、位相平衡度については、本実施形態では、第９の比較例よりも若干悪化している。しかしながら、本実施形態においても、位相平衡度の最も悪い値は、１６８°〜１９２°の範囲内におさまっている。

また、図２０から明らかなように、第１０の比較例においても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第１０の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が約−１．４ｄＢであり、第９の比較例よりも悪化している。更に、第１０の比較例では、振幅平衡度が、求められる範囲である−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。また、図２１から明らかなように、第１０の比較例では、位相平衡度が悪化している。

従って、図２０及び図２１から明らかなように、第４の実施形態においても、位相平衡度をさほど悪化させることなく、振幅平衡度を改善し得ることがわかる。

〔第５の実施形態〕
本発明の第５の実施形態の弾性表面波フィルタは、第１のＩＤＴと第５のＩＤＴとにおいて、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００のようにメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせるのではなく、下記の表４に示すように、メインピッチ電極指部のデューティ比を異ならせた点においてのみ、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と相違する。従って、第５の実施形態の弾性表面波フィルタの電極構造は、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様であるため、以下の第５の実施形態の説明においては、図１に示した第１の実施形態を援用することとする。

表４に示すように、本実施形態の弾性表面波フィルタは、以下のように構成されている。第２及び第４のＩＤＴ２０２，２０４のメインピッチ電極指部のデューティ比が等しくされている。第３のＩＤＴ２０３における、くし歯状電極２０３ａと第１の分割くし歯状電極２０３ｂとによる部分及びくし歯状電極２０３ａと第２の分割くし歯状電極２０３ｃとによる部分のメインピッチ電極指部のデューティ比が等しくされている。第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部のデューティ比が、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされている。

本実施形態の弾性表面波フィルタの特徴は、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部のデューティ比が、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされていることにある。より具体的には、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部のデューティ比は、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部のデューティ比よりも、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部のデューティ比に対して約６％分、小さくされている。

本実施形態の弾性表面波フィルタとの比較のために、第１１の比較例の弾性表面波フィルタと、第１２の比較例の弾性表面波フィルタとを用意した。第１１の比較例の弾性表面波フィルタは、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部のデューティ比と、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部のデューティ比とを等しくしたことを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタと同様の構成を有する。第１２の比較例の弾性表面波フィルタは、本実施形態の弾性表面波フィルタとは逆に、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部のデューティ比が、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部のデューティ比よりも、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部のデューティ比に対して約６％分、小さくされている。第１２の比較例の弾性表面波フィルタは、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部のデューティ比が、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされていることを除いては、本実施形態の弾性表面波フィルタと同様の構成を有する。

図２２及び図２３は、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ、第１１の比較例の弾性表面波フィルタ、第１２の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。

図２２及び図２３において、実線は本実施形態の弾性表面波フィルタを示し、破線は第１１の比較例の弾性表面波フィルタを示し、一点鎖線は第１２の比較例の弾性表面波フィルタを示す。

図２２から明らかなように、本実施形態及び第１１の比較例のいずれにおいても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近において振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第１１の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は約−１．１ｄＢである。これに対して、本実施形態では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は約−０．９ｄＢである。従って、本実施形態によれば、振幅平衡度が第１１の比較例よりも約０．２ｄＢ改善されている。これは、第１の平衡信号端子２１２から出力される信号と、第２の平衡信号端子２１３から出力される信号との間の位相のずれが、第１のＩＤＴ２０１と第５のＩＤＴ２０５とのメインピッチ電極指部のデューティ比を異ならせることにより補正されていることによる。

他方、図２３から明らかなように、位相平衡度については、本実施形態では、第１１の比較例よりも若干悪化している。しかしながら、本実施形態においても、位相平衡度の最も悪い値は、１６８°〜１９２°の範囲内におさまっている。

また、図２２から明らかなように、第１２の比較例においても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が、最も悪い値となっている。第１２の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が約−１．２ｄＢであり、第１１の比較例よりも悪化している。また、図２３から明らかなように、第１２の比較例では、位相平衡度が悪化している。

図２２及び図２３から明らかなように、第５の実施形態においても、位相平衡度をさほど悪化させることなく、振幅平衡度を改善し得ることがわかる。従って、第５の実施形態から明らかなように、電極指ピッチに代えて、デューティ比を異ならせることによっても、平衡度を改善し得ることがわかる。

〔その他〕
なお、第１〜第５の実施形態では、弾性表面波フィルタにつき説明したが、本発明は、上記のように、第１〜第５のＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構造により平衡度の改善効果を得るものである。そのため、弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタだけでなく、弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタにも本発明を適用することができる。

図２４は、本発明に係る弾性境界波フィルタ７０１の一例を示す模式的正面断面図である。弾性境界波フィルタ７０１では、圧電体からなる圧電基板７０２上に、誘電体７０３が積層されている。圧電基板７０２と誘電体７０３との界面に、ＩＤＴを含む電極構造７０４が設けられている。この電極構造７０４として、前述した各実施形態の電極構造を形成することにより、本発明に従って、弾性境界波フィルタを提供することができる。

２００…弾性表面波フィルタ
２００Ａ…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
２０１〜２０５…ＩＤＴ
２０１ａ，２０１ｂ，２０３ａ…くし歯状電極
２０３ｂ，２０３ｃ…分割くし歯状電極
２０６，２０７…反射器
２１１…不平衡信号端子
２１２…第１の平衡信号端子
２１３…第２の平衡信号端子
２１４…弾性表面波共振子
２２２…ベース基板
２２３…樹脂層
３０１〜３０５…端子電極
４００…弾性表面波フィルタ
４００Ａ…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
４０１〜４０５…ＩＤＴ
４０３ａ…くし歯状電極
４０３ｂ，４０３ｃ…分割くし歯状電極
４０６，４０７…反射器
４１１…不平衡信号端子
４１２…第１の平衡信号端子
４１３…第２の平衡信号端子
４１４…弾性表面波共振子
５００…弾性表面波フィルタ
５００Ａ…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
５０１〜５０５…ＩＤＴ
５０３ａ…くし歯状電極
５０３ｂ，５０３ｃ…分割くし歯状電極
５０６，５０７…反射器
５１１…不平衡信号端子
５１２…第１の平衡信号端子
５１３…第２の平衡信号端子
５１４…弾性表面波共振子
６００…弾性表面波フィルタ
６００Ａ…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
６０１〜６０５…ＩＤＴ
６０３ａ…くし歯状電極
６０３ｂ，６０３ｃ…分割くし歯状電極
６０６，６０７…反射器
６１１…不平衡信号端子
６１２…第１の平衡信号端子
６１３…第２の平衡信号端子
６１４…弾性表面波共振子
７０１…弾性境界波フィルタ
７０２…圧電基板
７０３…誘電体
７０４…電極構造
Ｐ…圧電基板

Claims (11)

1. 圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
   前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
   前記第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは、前記第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、
   前記第３のＩＤＴの前記第１の分割くし歯状電極による部分と前記第２の分割くし歯状電極による部分とは、前記仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、
   前記第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチのみを有し、前記第１のＩＤＴの電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの電極指ピッチよりも小さくされており、
   前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号の位相と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相とが同相である、弾性波フィルタ。
2. 圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
   前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
   前記第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは、前記第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、
   前記第３のＩＤＴの前記第１の分割くし歯状電極による部分と前記第２の分割くし歯状電極による部分とは、前記仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、
   前記第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチのみを有し、前記第１のＩＤＴの電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの電極指ピッチよりも小さくされており、
   前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外側電極指の極性が同じである、弾性波フィルタ。
3. 圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
   前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
   前記第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは、前記第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、
   前記第３のＩＤＴの前記第１の分割くし歯状電極による部分と前記第２の分割くし歯状電極による部分とは、前記仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、
   前記第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部とを有し、前記第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、あるいは前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、
   前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号の位相と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相とが同相である、弾性波フィルタ。
4. 圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
   前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
   前記第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは、前記第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、
   前記第３のＩＤＴの前記第１の分割くし歯状電極による部分と前記第２の分割くし歯状電極による部分とは、前記仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数と電極指ピッチとが等しくされており、
   前記第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部とを有し、前記第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、あるいは前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、
   前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外側電極指の極性が同じである、弾性波フィルタ。
5. 圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
   前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
   前記第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは、前記第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、
   前記第３のＩＤＴの前記第１の分割くし歯状電極による部分と前記第２の分割くし歯状電極による部分とは、前記仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、
   前記第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチのみを有し、前記第１のＩＤＴのデューティ比が前記第５のＩＤＴのデューティ比よりも小さくされており、
   前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号の位相と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相とが同相である、弾性波フィルタ。
6. 圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
   前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
   前記第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは、前記第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、
   前記第３のＩＤＴの前記第１の分割くし歯状電極による部分と前記第２の分割くし歯状電極による部分とは、前記仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、
   前記第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチのみを有し、前記第１のＩＤＴのデューティ比が前記第５のＩＤＴのデューティ比よりも小さくされており、
   前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外側電極指の極性が同じである、弾性波フィルタ。
7. 圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
   前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
   前記第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは、前記第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、
   前記第３のＩＤＴの前記第１の分割くし歯状電極による部分と前記第２の分割くし歯状電極による部分とは、前記仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、
   前記第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部とを有し、前記第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部のデューティ比が前記第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされており、あるいは前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部のデューティ比が前記第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされており、
   前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号の位相と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相とが同相である、弾性波フィルタ。
8. 圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
   前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
   前記第３のＩＤＴは、弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
   前記第２及び第４のＩＤＴは、前記第３のＩＤＴにおいて弾性波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、
   前記第３のＩＤＴの前記第１の分割くし歯状電極による部分と前記第２の分割くし歯状電極による部分とは、前記仮想中心軸を中心として対称に配置されており、かつ、電極指の本数とデューティ比とが等しくされており、
   前記第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部とを有し、前記第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部のデューティ比が前記第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされており、あるいは前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部のデューティ比が前記第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部のデューティ比よりも小さくされており、
   前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外側電極指の極性が同じである、弾性波フィルタ。
9. 弾性波が弾性表面波であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
10. 弾性波が弾性境界波であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
11. 請求項１〜１０のいずれか１項に記載の弾性波フィルタを備えることを特徴とする、通信機。

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