JP4695122B2 - リソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
1. ステップモードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度に(すなわち、単一静止露光)ターゲット部分C上に投影する。基板テーブルWTは、つぎにXおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cが露光されることが可能になる。ステップモードにおいては、露光フィールドの最大サイズよって、単一静止露光時に投影されるターゲット部分Cのサイズが限定される。
2. スキャンモードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。スキャンモードにおいては、露光領域の最大サイズよって、単一動的露光時のターゲット部分の幅(非スキャン方向)が限定される一方、スキャン動作の長さによって、ターゲット部分の高さ(スキャン方向)が決まる。
3. 別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持しつつ、マスクテーブルMTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、または、スキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中、連続する放射パルスの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、上述のタイプのプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (8)
- 放射ビームを形成するために放射を発し、前記放射が前記装置内の低圧環境中にプラズマを生成しうるタイプのものである放射源と、
前記放射ビームを反射するための反射面を有するミラーが入れ子状に配置されているコレクタと、
を備え、
前記コレクタは、前記ミラーの前記反射面の裏面から、該裏面と向かい合う他の前記ミラーの前記反射面に向かって突出した、プラズマを消滅させるための複数のプレートレットを有し、
前記各プレートレットは前記放射ビームの光路に合わせて延在し、前記各プレートレットの表面が前記ミラーの反射面と同じ材料を備える、
リソグラフィ装置。 - 前記プレートレットに電圧を印加する手段を備える、
請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 前記プレートレットの突出長さは、前記2つのミラー間の距離の半分よりも大きい、
請求項1または2に記載のリソグラフィ装置。 - 各プレートレットが1mm未満の厚さおよび少なくとも1cmの長さを有する、
請求項1〜3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 隣り合うプレートレット間の最も近い距離が約1cmから10cmの範囲である、
請求項1〜4のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 少なくとも50のプレートレットを備える、
請求項1〜5のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 前記プレートレットが、使用中、少なくとも50%の密度で前記プラズマを消滅させるように構成されている、
請求項1〜6のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 前記プレートレットが、前記プラズマと前記光コンポーネントとの間の電位の低下を20V未満の値にまで低減するように構成されている、
請求項1〜7のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/512,432 | 2006-08-30 | ||
US11/512,432 US7714306B2 (en) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008060570A JP2008060570A (ja) | 2008-03-13 |
JP4695122B2 true JP4695122B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=39150199
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007217736A Expired - Fee Related JP4695122B2 (ja) | 2006-08-30 | 2007-08-24 | リソグラフィ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7714306B2 (ja) |
JP (1) | JP4695122B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2004816A (en) * | 2009-07-07 | 2011-01-10 | Asml Netherlands Bv | Euv radiation generation apparatus. |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2003007611A (ja) * | 2001-01-10 | 2003-01-10 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ投影装置、素子製造方法、およびそれによって製造される素子 |
US20040065817A1 (en) * | 2001-01-23 | 2004-04-08 | Carl Zeiss Smt Ag | Collector having unused region for illumination systems using a wavelength less than or equal to 193 nm |
JP2004165639A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-06-10 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ投影装置及び前記装置で使用する微粒子バリヤ |
JP2004165638A (ja) * | 2002-08-15 | 2004-06-10 | Asml Netherlands Bv | リソグラフ投影装置およびこの装置用の反射鏡アセンブリ |
JP2005005666A (ja) * | 2002-11-22 | 2005-01-06 | Asml Netherlands Bv | 複数の抑制メッシュを備えたリトグラフ投影装置 |
JP2005136393A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-05-26 | Asml Netherlands Bv | 動的保護層をミラーに供給する方法及び装置 |
JP2006165579A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2006191061A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-20 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置、放射系およびフィルタ装置 |
JP2006216966A (ja) * | 2005-01-10 | 2006-08-17 | Asml Netherlands Bv | 放射線源によって放出される放射線から粒子をフィルタ除去するためのフィルタ・システム、放射線源とこの放射線源によって放出される放射線から粒子をフィルタ除去するためのフィルタ・システムと放射線を処理するための処理システムとを有する装置、そのような装置を有するリソグラフィ装置、および放射線源から放出されて伝搬している放射線から粒子をフィルタ除去する方法 |
JP2006352081A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-12-28 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3716700B2 (ja) * | 2000-02-25 | 2005-11-16 | 日新電機株式会社 | イオン源およびその運転方法 |
US7251012B2 (en) | 2003-12-31 | 2007-07-31 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus having a debris-mitigation system, a source for producing EUV radiation having a debris mitigation system and a method for mitigating debris |
-
2006
- 2006-08-30 US US11/512,432 patent/US7714306B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-08-24 JP JP2007217736A patent/JP4695122B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002504746A (ja) * | 1998-02-19 | 2002-02-12 | スティクティング・ヴーア・デ・テクニシェ・ウェッテンシャペン | 放射源と放射源からの放射を処理する処理機構とを含む遠紫外線リソグラフィに適した装置、ならびに放射源から放射された望ましくない原子および微小粒子を抑制するためのフィルタ |
JP2003007611A (ja) * | 2001-01-10 | 2003-01-10 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ投影装置、素子製造方法、およびそれによって製造される素子 |
US20040065817A1 (en) * | 2001-01-23 | 2004-04-08 | Carl Zeiss Smt Ag | Collector having unused region for illumination systems using a wavelength less than or equal to 193 nm |
JP2004165638A (ja) * | 2002-08-15 | 2004-06-10 | Asml Netherlands Bv | リソグラフ投影装置およびこの装置用の反射鏡アセンブリ |
JP2004165639A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-06-10 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ投影装置及び前記装置で使用する微粒子バリヤ |
JP2005005666A (ja) * | 2002-11-22 | 2005-01-06 | Asml Netherlands Bv | 複数の抑制メッシュを備えたリトグラフ投影装置 |
JP2005136393A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-05-26 | Asml Netherlands Bv | 動的保護層をミラーに供給する方法及び装置 |
JP2006165579A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2006191061A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-20 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置、放射系およびフィルタ装置 |
JP2006216966A (ja) * | 2005-01-10 | 2006-08-17 | Asml Netherlands Bv | 放射線源によって放出される放射線から粒子をフィルタ除去するためのフィルタ・システム、放射線源とこの放射線源によって放出される放射線から粒子をフィルタ除去するためのフィルタ・システムと放射線を処理するための処理システムとを有する装置、そのような装置を有するリソグラフィ装置、および放射線源から放出されて伝搬している放射線から粒子をフィルタ除去する方法 |
JP2006352081A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-12-28 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7714306B2 (en) | 2010-05-11 |
JP2008060570A (ja) | 2008-03-13 |
US20080054189A1 (en) | 2008-03-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100819 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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