JP4692210B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサ100のエンジン200への取付構造を示す概略断面図である。本圧力センサ100は、エンジン200の燃焼室202内の圧力を検出する燃焼圧センサとして適用されるものである。
図3は、本発明の第2実施形態に係る圧力センサ110の要部構成を示す図であり、(a)は概略断面図、(b)は(a)のA方向から見た概略平面図である。なお、(a)では配線部材30を省略し、(b)ではさらにハウジング30は省略してある。また、本実施形態を含め以下の各実施形態においては、図中、圧力センサの要部を示してあるが、図に現れない部分は、上記第1実施形態の圧力センサ100と同様の構成である。
図4は、本発明の第3実施形態に係る圧力センサ120の要部構成を示す図であり、(a)は概略断面図、(b)は(a)のB方向から見た概略平面図である。なお、(a)では配線部材30を省略し、(b)ではさらにハウジング30は省略してある。
図5は、本発明の第4実施形態に係る圧力センサ130の要部構成を示す図であり、(a)は概略断面図、(b)は(a)のC方向から見た概略平面図である。なお、(a)では配線部材30を省略し、(b)ではさらにハウジング30は省略してある。
図6は、本発明の第5実施形態に係る圧力センサ140の要部構成を示す図であり、(a)は概略断面図、(b)は(a)のD方向から見た概略平面図である。なお、(a)では配線部材30を省略し、(b)ではさらにハウジング30は省略してある。
図7は、本発明の第6実施形態に係る圧力センサ150の要部構成を示す図であり、(a)は概略断面図、(b)は(a)のE方向から見た概略平面図である。なお、(a)では配線部材30を省略し、(b)ではさらにハウジング30は省略してある。
図8は、本発明の第7実施形態に係る圧力センサ160の要部構成を示す図であり、(a)は概略断面図、(b)は(a)のF方向から見た概略平面図である。なお、(a)では配線部材30を省略し、(b)ではさらにハウジング30は省略してある。
図9は、本発明の第8実施形態に係る圧力センサ170の要部構成を示す図であり、(a)は概略断面図、(b)は(a)のG方向から見た概略平面図である。なお、(a)では配線部材30を省略し、(b)ではさらにハウジング30は省略してある。
図10は、本発明の第9実施形態に係る圧力センサ180の要部構成を示す図であり、(a)は概略断面図、(b)は(a)のH方向から見た概略平面図である。なお、(a)では配線部材30を省略し、(b)ではさらにハウジング30は省略してある。
図11は、本発明の第10実施形態に係る圧力センサ190の要部構成を示す概略断面図である。
なお、上記実施形態では、金属ケース20は、複数個のケース部20a、20bが連結されたものであったが、中空筒状のものであれば、これに限定されず、一体成形されたものであってもよい。また、金属ケース20と受圧用ダイアフラム10とは一体に成形されたものであってもよい。
40…センサチップ、50…圧力伝達部材、60…ヒートパイプ、
61…ヒートパイプの一端部、62…ヒートパイプの他端部、
63…ヒートパイプにおける地から天に向かう部分、64…フィン、
70…ペルチエ素子、80…金属ケースの冷却水通路、200…エンジン。
Claims (7)
- 中空筒状の金属ケース(20)と、
前記金属ケース(20)の一端部側に設けられ、圧力を受けて歪む受圧用ダイアフラム(10)と、
前記金属ケース(20)の他端部側に設けられたセンサチップ(40)と、
前記金属ケース(20)の中空部に設けられ、前記受圧用ダイアフラム(10)からの圧力を前記センサチップ(40)へ伝達する圧力伝達部材(50)とを備える圧力センサにおいて、
前記受圧用ダイアフラム(10)から前記圧力伝達部材(50)を介して前記センサチップ(40)へ向かう熱を放熱する放熱手段(60)が設けられており、
前記金属ケース(20)の他端部側には、前記金属ケース(20)を保持するハウジング(30)が連結されており、
前記放熱手段は、一端部(61)が前記金属ケース(20)の他端部に接続され、他端部(62)側が前記ハウジング(30)内に延びるヒートパイプ(60)であり、
前記ヒートパイプ(60)は複数本設けられており、これら複数本の前記ヒートパイプ(60)は、前記金属ケース(20)の他端部にて前記センサチップ(40)を取り巻くように配置されており、
当該圧力センサが被取付部材(200)に取りつけられた状態において、前記複数本のヒートパイプ(60)のうち少なくとも1本のヒートパイプが、その一端部(61)側から他端部(62)側へ行くにつれて地から天に向かう部分(63)を有するように、前記複数本のヒートパイプ(60)は、折り曲げられた形状となっていることを特徴とする圧力センサ。 - 中空筒状の金属ケース(20)と、
前記金属ケース(20)の一端部側に設けられ、圧力を受けて歪む受圧用ダイアフラム(10)と、
前記金属ケース(20)の他端部側に設けられたセンサチップ(40)と、
前記金属ケース(20)の中空部に設けられ、前記受圧用ダイアフラム(10)からの圧力を前記センサチップ(40)へ伝達する圧力伝達部材(50)とを備える圧力センサにおいて、
前記受圧用ダイアフラム(10)から前記圧力伝達部材(50)を介して前記センサチップ(40)へ向かう熱を放熱する放熱手段(60)が設けられており、
前記放熱手段は、一端部(61)が前記金属ケース(20)の他端部に接続され、他端部(62)側が前記ハウジング(30)内に延びるヒートパイプ(60)であり、
前記ヒートパイプ(60)の他端部(62)側の部位が、前記ハウジング(30)の内面に接触していることを特徴とする圧力センサ。 - 前記ヒートパイプ(60)は複数本設けられており、これら複数本の前記ヒートパイプ(60)は、前記金属ケース(20)の他端部にて前記センサチップ(40)を取り巻くように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 当該圧力センサが被取付部材(200)に取りつけられた状態において、前記複数本のヒートパイプ(60)のうち少なくとも1本のヒートパイプが、その一端部(61)側から他端部(62)側へ行くにつれて地から天に向かう部分(63)を有するように、前記複数本のヒートパイプ(60)は、折り曲げられた形状となっていることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 前記ヒートパイプ(60)の他端部(62)側の部位には、前記ヒートパイプ(60)からの熱を放熱するフィン(64)が設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 中空筒状の金属ケース(20)と、
前記金属ケース(20)の一端部側に設けられ、圧力を受けて歪む受圧用ダイアフラム(10)と、
前記金属ケース(20)の他端部側に設けられたセンサチップ(40)と、
前記金属ケース(20)の中空部に設けられ、前記受圧用ダイアフラム(10)からの圧力を前記センサチップ(40)へ伝達する圧力伝達部材(50)とを備える圧力センサにおいて、
前記受圧用ダイアフラム(10)から前記圧力伝達部材(50)を介して前記センサチップ(40)へ向かう熱を放熱する放熱手段(70)が設けられており、
前記放熱手段は、前記金属ケース(20)の他端部にて前記センサチップ(40)を取り巻くように設けられた環状のペルチエ素子(70)であることを特徴とする圧力センサ。 - 中空筒状の金属ケース(20)と、
前記金属ケース(20)の一端部側に設けられ、圧力を受けて歪む受圧用ダイアフラム(10)と、
前記金属ケース(20)の他端部側に設けられたセンサチップ(40)と、
前記金属ケース(20)の中空部に設けられ、前記受圧用ダイアフラム(10)からの圧力を前記センサチップ(40)へ伝達する圧力伝達部材(50)とを備える圧力センサにおいて、
前記受圧用ダイアフラム(10)から前記圧力伝達部材(50)を介して前記センサチップ(40)へ向かう熱を放熱する放熱手段(70)が設けられており、
前記放熱手段は、前記金属ケース(20)の他端部にて前記センサチップ(40)を取り巻くように設けられた複数個のペルチエ素子(70)であることを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005307030A JP4692210B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005307030A JP4692210B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007114094A JP2007114094A (ja) | 2007-05-10 |
JP4692210B2 true JP4692210B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=38096415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005307030A Expired - Fee Related JP4692210B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4692210B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4835353B2 (ja) | 2006-09-27 | 2011-12-14 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
US20100079136A1 (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | Rosemount Aerospace Inc. | Blade tip clearance measurement sensor and method for gas turbine engines |
JP4835700B2 (ja) | 2009-01-26 | 2011-12-14 | 株式会社デンソー | 弾性表面波式圧力センサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2005
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007114094A (ja) | 2007-05-10 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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