JP4687876B2 - 噴流めっき装置 - Google Patents
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Description
孔を通してめっき槽の外側に逃がすという手段が設けられているが、積極的な消泡手段が
設けられていない。このため、被めっき基板面に残留する気泡の影響により、被めっき面
全体でめっきが不均一になるという品質面での欠陥が生じる問題がある。
前記アノード電極体は、前記被めっき基板に対向する側がノズル穴を設けた平面であって、めっき液を噴出する噴流ノズルを兼ね、
前記被めっき基板は100mm×100mm乃至250mm×250mmのサイズであって、
前記噴流ノズルと前記被めっき基板とで15mm〜25mmの距離で挟まれためっき液室と、めっき液を前記めっき液室から槽外へ排出する排出流路とを有し、前記排出流路の入口側の断面積が出口側の断面積より広く、
前記めっき液室内の液圧を上昇させるために、前記排出流路の出口側の最も狭い所の断面積の総和と、前記噴流ノズルのノズル穴の開口面積の総和とを比較したとき、前記出口側の最も狭い所の断面積の総和の方が小さく、前記ノズル穴の開口面積の総和に対する、前記出口側の最も狭い所の断面積の総和の比が0.3〜0.9であることを特徴としている。
5 ノズル兼用アノード電極体
10 噴流めっき槽
10A スパージャ部
10B 槽本体部
11,12 分散板
13 めっき液供給管
14 排出流路
15 カソード固定支持部
20 押さえ板
21 圧縮ばね
30 カソード接続電極体
31 固定カソード接続電極部
32 固定導電ブロック
33 螺子
34 カソード交換電極
35,37 弾性体シール
36 絶縁板
40 給電電極部
45 昇降給電部
50 受け槽
51 めっき液戻り管
60 静液槽
62 消泡用仕切り板
70 ポンプ
75 フィルタ
R1,R2 めっき液
T 天井
Claims (4)
- めっき液の噴流を発生させる噴流めっき槽の開口側に、被めっき基板の導体部を下向きとして配置し、前記導体部にめっき液を噴流させながら前記導体部をカソード電極体として、前記カソード電極体とアノード電極体に電流を付与してめっきする噴流めっき装置であって、
前記アノード電極体は、前記被めっき基板に対向する側がノズル穴を設けた平面であって、めっき液を噴出する噴流ノズルを兼ね、
前記被めっき基板は100mm×100mm乃至250mm×250mmのサイズであって、
前記噴流ノズルと前記被めっき基板とで15mm〜25mmの距離で挟まれためっき液室と、めっき液を前記めっき液室から槽外へ排出する排出流路とを有し、前記排出流路の入口側の断面積が出口側の断面積より広く、
前記めっき液室内の液圧を上昇させるために、前記排出流路の出口側の最も狭い所の断面積の総和と、前記噴流ノズルのノズル穴の開口面積の総和とを比較したとき、前記出口側の最も狭い所の断面積の総和の方が小さく、前記ノズル穴の開口面積の総和に対する、前記出口側の最も狭い所の断面積の総和の比が0.3〜0.9であることを特徴とする噴流めっき装置。 - 前記アノード電極体の前記被めっき基板側への対向露出面積と、前記被めっき基板のめっき液に接する対向面積の比が1:0.9〜1:1.1の範囲であることを特徴とする請求項1記載の噴流めっき装置。
- 前記排出流路を構成する前記被めっき基板側の流路面を前記排出流路の天井としたとき、前記排出流路の入口側の天井の入り口から出口に向かう断面形状は円弧形状であって、前記入口側の天井は出口側に向かって低くなり、前記排出流路の入口部分は円弧の接線が当該排出流路の出口側を構成する天井と略平行であることを特徴とする請求項1記載の噴流めっき装置。
- 前記噴流めっき槽は、前記固定カソード接続電極部と前記アノード電極体とを取り付けたスパージャ部と、該スパージャ部よりも下側の槽本体部とに分割されていて、前記アノード電極体が交換自在であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の噴流めっき装置。
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