JP4677517B2 - Smifポッドシステム、可搬式smifポッド及びsmifポッドシステムの内部環境をモニタするための方法 - Google Patents
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Description
本出願は、本明細書中に引用参照する2001年1月10日出願の米国仮特許出願No.60/261,035、表題“オンボードモニタシステムを含むスマートポッド”に対する優先権を主張するものである。
しは他のものを用い得る。また、ポッド内において運搬される加工品の大きさは、他の選択可能な実施形態において変わり得るが、例えば、200mmウェーハ又は300mmウェーハであってよい。
るかどうか判断し得ることを理解されたい。センサ204aがアナログセンサである場合、アナログ−デジタル変換器は、サンプリングされたアナログ温度をデジタル表示に変換するために提供し得る。他の選択肢として、デジタル温度センサを用い得る。例えば、マイクレル(Micrel)社(カリフォルニア州サンホゼCA95131)製のMIC384・3領域熱監視装置を用い得る。このようなセンサは、オンボード・プロセッサ及びメモリを含む小さく低コストのパッケージを有する。センサ404aには、更に、ポッド201の異なる領域において温度を検出するための追加のチャンネルを含み得る。各チャンネルは、異なる領域において温度を検出するためにポッド201内において異なる位置に配置し得る。
ら送信するか、センサ404a〜404cから直接送信するかに関らず、継続的に又は断続的に送信し得る。データは、断続的に送信される場合、センサのメモリ内又は内部トランシーバ408のメモリ内の何れかに記憶され、また、例えば、CPDP技術を用いてパケットで送信し得る。
サネットワークにおける様々なノードを接続するための単なる一例に過ぎない。他の選択肢として、通信プロトコルには、電磁周波数、光、又は、他の手段であって、スター、ループ、デイジーチェーン、若しくは自由型構成等、既知のトポロジーを用いた手段が含まれる。
ホストコンピュータ418は、各可搬式ポッド201用のデータを連続的に循環し得る。
。ポッドシェルは、一般的に、搭載ポート上の所定の位置に保持され、ポートドアによって空け渡されたクセスポートを密閉する。この選択可能な実施形態に基づき、搭載ポート上に配置されている間、ポッドシェルのセンサは、搭載ポート小環境及び/又はこの小環境が備えられた処理ツールの内部環境特性に関するデータを提供し得る。
Claims (27)
- 周囲の大気状態から隔離された内部環境を有し、ウェハを保持するSMIFポッドシステムであって、
底面開口及び前面開口のうちの一つと、該底面開口及び前面開口のうちの一つと嵌合するドアとを有するポッドシェルを備える可搬式ポッドであって、前記ポッドシェル及び前記ドアによって前記内部環境が形成され、前記可搬式ポッドはウェハを取り出すために搭載ポート組立体上で受容可能となっている、前記可搬式ポッドと、
前記可搬式ポッドに直接搭載されたセンサであって、内部環境の状態及び前記可搬式ポッドの位置のモニタが可能であり、かつ、前記可搬式ポッドの外部の処理ツールに前記状態及び前記位置に関連するデータの送信が可能な前記センサと、
前記センサと通信状態にあって、前記センサによって送信されたデータを受信及び送信するためのトランシーバとが含まれ、
前記可搬式ポッドが前記処理ツールとの間でウェハを搬送し、前記トランシーバは、該処理ツールと通信可能に接続され、
前記トランシーバは、前記データを前記処理ツールに送信し、前記処理ツールは、前記データにより前記内部環境の状態が所定の動作範囲内に無い場合、ウェハの処理に関する動作を停止する、SMIFポッドシステム。 - 請求項1に記載のSMIFポッドシステムであって、
前記センサは、前記可搬式ポッド内の前記内部環境の前記状態及び前記位置を連続的にモニタするSMIFポッドシステム。 - 請求項1に記載のSMIFポッドシステムであって、
前記データが、電磁放射を用いて送信されるSMIFポッドシステム。 - 請求項3に記載のSMIFポッドシステムであって、
前記電磁放射は、3kHz乃至300GHzの周波数範囲にあるSMIFポッドシステム。 - 請求項1に記載のSMIFポッドシステムであって、更に、
前記センサには、前記モニタされた状態及び前記位置に関するデータを記憶するためのメモリが含まれるSMIFポッドシステム。 - 請求項1に記載のSMIFポッドシステムであって、
前記センサが、前記可搬式ポッド内部に搭載されるSMIFポッドシステム。 - 請求項1に記載のSMIFポッドシステムにおいて、前記センサは、前記可搬式ポッド内の個々の異なる位置に配置された複数のセンサ入力を含み、各センサ入力は、前記可搬式ポッド内の前記個々の異なる位置における前記内部環境の状態をモニタすることが可能である、SMIFポッドシステム。
- 請求項1に記載のSMIFポッドシステムであって、
前記トランシーバが、可搬式ポッドに搭載され、前記データはネットワークバスを介して送信されるSMIFポッドシステム。 - 請求項1に記載のSMIFポッドシステムであって、
前記データは、電磁放射を用いて、前記センサと前記トランシーバとの間で送信されるSMIFポッドシステム。 - 請求項9に記載のSMIFポッドシステムであって、
前記電磁放射は、3kHz乃至300GHzの周波数範囲にあるSMIFポッドシステム。 - 請求項1に記載のSMIFポッドシステムであって、更に、前記センサに電力を供給するための電源が含まれるSMIFポッドシステム。
- 請求項1に記載のSMIFポッドシステムにおいて、前記状態は湿度、温度及び加速度からなるグループのうちの一つであるSMIFポッドシステム。
- 周囲の大気状態から隔離された内部環境を有する可搬式SMIFポッドにおいて、
ポッドシェル及び該ポッドシェルと嵌合して前記内部環境を形成するドアと、
前記ポッドシェルに直接搭載された複数のセンサであって、各センサが前記内部環境の状態及び前記ポッドシェルの位置のモニタが可能であり、また、前記内部環境の状態及び前記位置を表すデータの送信が可能である、前記複数のセンサと、
前記複数のセンサと通信するトランシーバであって、前記データを受信して前記可搬式SMIFポッドの外部に配置された処理ツールに送信可能なトランシーバと、
前記複数のセンサに電力を供給するための電源と、を含み、
前記ポッドシェルは、前記処理ツールとの間でウェハを搬送し、前記トランシーバは、該処理ツールと通信可能に接続され、
前記トランシーバは、前記データを前記処理ツールに送信し、前記処理ツールは、前記データにより前記内部環境の状態が所定の動作範囲内に無い場合、ウェハの処理に関する動作を停止する、可搬式SMIFポッド。 - 請求項13に記載の可搬式SMIFポッドにおいて、前記複数のセンサのうちの少なくとも一つは、温度センサ、湿度センサ、及び加速度計からなるグループから選択される可搬式SMIFポッド。
- 請求項13に記載の可搬式SMIFポッドにおいて、前記複数のセンサと前記トランシーバとの間の通信はネットワークバスを介して行われる可搬式SMIFポッド。
- 請求項15に記載の可搬式SMIFポッドにおいて、前記ネットワークバスは、前記ポッドシェルに埋設されている可搬式SMIFポッド。
- 請求項15に記載の可搬式SMIFポッドであって、更に、複数のネットワークノードを含み、各ネットワークノードは前記ネットワークバスと電気的に通信可能であり、各センサは前記複数のネットワークノードの少なくとも一つと電気的に通信可能である可搬式SMIFポッド。
- 請求項15に記載の可搬式SMIFポッドにおいて、前記複数のネットワークノードはマスタ・スレーブ・ネットワークとして構成され、前記ネットワークバスはゲートウェイとして機能する可搬式SMIFポッド。
- 請求項17に記載の可搬式SMIFポッドであって、前記複数のネットワークノードは、ピア・ツー・ピアネットワークとして構成されている可搬式SMIFポッド。
- 周囲の大気状態から隔離され、ウェハを保持するSMIFポッドシステムの内部環境をモニタするための方法であって、
ポッドシェルと、該ポッドシェルと嵌合するドアとを有する可搬式ポッドであって、該可搬式ポッドはウェハを取り出すために搭載ポート組立体上で受容可能となっている、前記可搬式ポッドを提供する段階と、
前記可搬式ポッドに直接搭載されたセンサであって、内部環境の状態及び前記可搬式ポッドの位置のモニタが可能であり、かつ、前記可搬式ポッドの外部の処理ツールに前記状態及び前記位置に関連するデータの送信が可能な前記センサを提供する段階と、
前記センサから送信されたデータをトランシーバを介して前記可搬式ポッドとの間でウェハを搬送する前記処理ツールに送信し、該処理ツールによりデータを分析して前記内部環境の状態及び前記可搬式ポッドの位置を検知して、前記内部環境の状態が所定の動作範囲内に無い場合、前記処理ツールがウェハの処理に関する動作を停止する段階と、を含む方法。 - 請求項20に記載の方法であって、更に
電磁放射を用いて前記センサと前記トランシーバとの間でデータを送信する段階を含む方法。 - 請求項20に記載の方法であって、湿度、温度及び加速度からなるグループから選択された内部環境がモニタされる、方法。
- 請求項20に記載の方法であって、更に
ホストコンピュータを用いて前記トランシーバから送信されたデータを受信し、処理する段階を含む方法。 - 周囲の大気状態から隔離された内部環境を有する可搬式SMIFポッドであって、
ポッドシェルと、該ポッドシェルと嵌合して内部環境を形成するドアと、
前記ポッドに直接搭載され、内部環境の状態及び前記ポッドシェルの位置をモニタする手段と、
前記モニタする手段からの内部環境の状態及び前記位置を表すデータを送信する手段と、
前記モニタする手段とトランシーバ通信する手段であって、前記データを受信し、前記データを前記可搬式SMIFポッドの外部に配置された処理ツールに送信可能なトランシーバ通信する手段と、
電力を前記トランシーバ通信する手段に供給する電源と、を含み、
前記ポッドシェルは、前記処理ツールとの間でウェハを搬送し、前記トランシーバ通信する手段は、該処理ツールと通信可能に接続され、
前記トランシーバ通信する手段は、前記データを前記処理ツールに送信し、前記処理ツールは、前記データにより前記内部環境の状態が所定の動作範囲内に無い場合、ウェハの処理に関する動作を停止する、可搬式SMIFポッド。 - 請求項24に記載の可搬式SMIFポッドにおいて、前記内部環境の状態及び前記位置をモニタする手段は、センサを含み、前記モニタする手段とトランシーバ通信する手段は、トランシーバを含む可搬式SMIFポッド。
- 周囲の大気状態から隔離された内部環境を有し、前面開口ドア及び底面開口ドアのうちの一つを有するSMIFポッドの可搬式コンテナ内の内部環境をモニタするための方法であって、
センサを用いて前記可搬式コンテナ内の前記内部環境の状態及び前記SMIFポッドの位置をモニタする段階と、
前記モニタされた状態及び前記位置に関するデータを生成する段階と、
前記データをトランシーバを介して前記SMIFポッドとの間でウェハを搬送する処理ツールに送信する段階と、
前記内部環境の状態が所定の動作範囲内にあるかどうかを前記処理ツールが判断する段階と、
前記内部環境の状態が所定の動作範囲内にないと前記処理ツールが判断した場合に、前記処理ツールが動作をウェハの処理に関する停止する段階と、を含む方法。 - 製造設備内において周囲の大気状態から隔離された内部環境を有し、ウェハを保持するSMIFポッドシステムであって、
底面開口及び前面開口のうちの一つと、該底部開口及び前面開口のうちの一つと嵌合するドアとを有するポッドシェルを備える可搬式ポッドであって、前記ポッドシェル及び前記ドアによって前記内部環境が形成され、前記可搬式ポッドはウェハを取り出すために搭載ポート組立体上で受容可能となっている、前記可搬式ポッドと、
前記可搬式ポッドに直接搭載されたセンサであって、内部環境の状態及び前記可搬式ポッドの位置のモニタが可能であり、かつ、前記可搬式ポッドの外部の処理ツールに前記状態及び前記位置に関連するデータの送信が可能な前記センサと、
前記センサと通信状態にあって、前記センサによって送信されたデータを受信及び送信するためのトランシーバとを含み、
前記センサには、前記モニタされた状態及び前記可搬式ポッドの位置に関する前記データを格納するメモリが含まれ、
前記可搬式ポッドは、前記処理ツールとの間でウェハを搬送し、前記トランシーバは、該処理ツールと通信可能に接続され、
前記トランシーバは、前記データを前記処理ツールに送信し、前記処理ツールは、前記データにより前記内部環境の状態が所定の動作範囲内に無い場合、ウェハの処理に関する動作を停止する、SMIFポッドシステム。
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