JP4730384B2 - 密閉容器及び当該容器の管理システム - Google Patents
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Description
Claims (4)
- 清浄環境下に管理される被収容物を収容する密閉容器であって、
前記被収容物を収容可能な内部空間と、前記内部空間を外部空間と連通可能とする開口と、を有した本体と、
前記開口を密閉可能な蓋と、
前記内部空間内の環境を示すパラメータの少なくとも一つを測定可能な環境パラメータ測定装置と、
前記環境パラメータ測定装置により得られる測定結果に応じたデータを送信する送信手段と、
前記環境パラメータ測定装置及び前記送信手段の動作を制御するコントローラと、
前記環境パラメータ測定装置、前記送信手段及び前記コントローラの動作源となるバッテリと、
モード切換機構と、
前記密閉容器外部から前記コントローラに送られる動作指示信号、及び前記モード切換機構に送られるモード切換指示信号、を受信する密閉容器側無線通信モジュールと、を有し、
前記コントローラは、前記環境パラメータ測定装置及び前記送信手段を一定周期にて動作させて前記データを送信させるスリープモードと、前記密閉容器外部から送られた動作指示信号に応じて前記環境パラメータ測定装置を動作させ且つ得られた前記データを前記送信手段により送信させるアクティブモードとを有し、
前記モード切換機構は、前記密閉容器外部からの前記モード切換指示信号に応じて、前記コントローラに対して前記スリープモード及び前記アクティブモードの何れのモードを行なわせるかを指示することを特徴とする密閉容器。 - 減圧状態の清浄環境下に管理される被収容物を収容する密閉容器であって、
前記被収容物を収容可能な内部空間と、前記内部空間を外部空間と連通可能とする開口と、を有した本体と、
前記開口を密閉可能な蓋と、
前記内部空間内の環境を示すパラメータの少なくとも一つを測定可能な環境パラメータ測定装置と、
前記環境パラメータ測定装置により得られる測定結果に応じたデータを送信する送信手段と、
前記環境パラメータ測定装置及び前記送信手段の動作を制御するコントローラと、
前記環境パラメータ測定装置、前記送信手段及び前記コントローラの動作源となるバッテリと、
モード切換機構と、
前記密閉容器外部から前記コントローラに送られる動作指示信号を受信する密閉容器側無線通信モジュールと、を有し、
前記コントローラは、前記環境パラメータ測定装置及び前記送信手段を一定周期にて動作させて前記データを送信させるスリープモードと、前記密閉容器外部から送られた動作指示信号に応じて前記環境パラメータ測定装置を動作させ且つ得られた前記データを前記送信手段により送信させるアクティブモードとを有し、
前記モード切換機構は、切換スイッチの操作に応じて、前記コントローラに対して前記スリープモード及び前記アクティブモードの何れのモードを行なわせるかを指示することを特徴とする密閉容器。 - 前記送信手段は光線によってデータ送信を行うことを特徴とする請求項1或いは2の何れか一項に記載の密閉容器。
- 請求項1に記載の密閉容器の前記内部空間の環境を管理する密閉容器の管理システムであって、
請求項1に記載の密閉容器と、
受信ユニットであって、前記送信手段から送られる前記データを受信する受信ユニット側受信手段と、前記密閉容器側無線通信モジュールに対して前記モード切換指示信号或いは前記動作指示信号を送信する受信ユニット側送信手段と、受信された前記データを外部に伝達する有線通信モジュールと、を有する受信ユニットと、を有することを特徴とする密閉容器の管理システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008039623A JP4730384B2 (ja) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | 密閉容器及び当該容器の管理システム |
US12/389,541 US8234002B2 (en) | 2008-02-21 | 2009-02-20 | Closed container and control system for closed container |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008039623A JP4730384B2 (ja) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | 密閉容器及び当該容器の管理システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009200199A JP2009200199A (ja) | 2009-09-03 |
JP4730384B2 true JP4730384B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=40997266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008039623A Active JP4730384B2 (ja) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | 密閉容器及び当該容器の管理システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8234002B2 (ja) |
JP (1) | JP4730384B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2008
- 2008-02-21 JP JP2008039623A patent/JP4730384B2/ja active Active
-
2009
- 2009-02-20 US US12/389,541 patent/US8234002B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8234002B2 (en) | 2012-07-31 |
JP2009200199A (ja) | 2009-09-03 |
US20090211940A1 (en) | 2009-08-27 |
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