JP4675693B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
かかるカラーフィルタの着色層およびブラックマトリクスを、顔料を含有する感光性樹脂組成物を用いてホトリソグラフ法によって形成する方法が知られている。
下記特許文献2には、アルコキシブチルアセテート及び/又はアルコキシペンチルアセテートを含む溶剤を用いることにより、カラーフィルタ用感光性樹脂組成物の樹脂固形分の溶解性、顔料の分散性を向上させる方法が提案されている。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、顔料を含有し、保存安定性に優れた感光性樹脂組成物、ならびにこれを用いたパターンおよびカラーフィルタを提供することを目的とする。
本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、品質の良いパターンを形成することができ、高品質のカラーフィルタが得られる。
本発明における顔料としては、有機顔料または無機顔料が使用される。また体質顔料と呼ばれる硫酸バリウム等の無機塩を併用してもよい。
顔料の色調は特に限定されず、得ようとするカラーフィルタの着色層の色調、またはブラックマトリクスの色調に応じて適宜選定することができる。例えばカラーフィルタの着色層用途においては、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、および紫色顔料からなる群から選ばれる1種以上を用いることが好ましい。またブラックマトリクス用途においては、黒色顔料が好ましく用いられる。
カラーフィルタ用途における顔料は、発色性が高く、かつ耐熱性の高い顔料、特に耐熱分解性の高い顔料が好ましく、有機顔料が好ましい。
紫色顔料としては、C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様で番号のみ記載する。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;
緑色顔料としては、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37;
茶色顔料としては、C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28。
(A)顔料の添加量は、目的の色調に応じて適宜変更されるものであるが、一般的に、有機顔料の場合には、(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して5〜300質量部の範囲で添加することが好ましく、より好ましい範囲は10〜250質量部程度である。
(B−I)アルカリ可溶性樹脂
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマーから選ばれる1種以上と、
アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、N−ブチルアクリレート、N−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリート、イソブチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシアクリレート、フェノキシメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート、スチレン、アクリルアミド、アクリロニトリルなどから選ばれる1種以上との共重合体や;
フェノールノボラック型エポキシアクリレート重合体、フェノールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、ビスフェノールA型エポキシアクリレート重合体、ビスフェノールS型エポキシアクリレート重合体などの樹脂が挙げられる。
これらの樹脂はアクリロイル基またはメタクリロイル基が導入されていることから架橋効率が高められ塗膜の耐光性、耐薬品性が優れている。
前記アルカリ可溶性樹脂を構成するモノマー成分のうち、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマー成分の含有量が5〜40質量%の範囲であることが好ましい。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂として、下記一般式(I)で示される重合体も適用できる。該一般式(I)で示される化合物は、それ自体が光重合性(光硬化性)を有する。
また、前記Zを誘導するテトラカルボン酸二無水物(2個のカルボン酸無水物基を除く前のテトラカルボン酸二無水物)の具体例としては、例えば無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
本発明における(B)アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量(Mw)(ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算基準)は、特に限定するものではないが、1000〜100000が好ましく、3000〜50000がより好ましく、5000〜15000が最も好ましい。この範囲の上限よりも小さいと、レジストとして用いるのに充分なレジスト溶剤への溶解性があり、この範囲の下限よりも大きいとレジストパターン断面形状が良好である。
本発明における光重合性化合物としては、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレート、ペンタエリトリトールトリメタクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリトリトールペンタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
光重合性化合物は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
なお本発明において、光重合性を有する重合体は上記(B)アルカリ可溶性樹脂(B−II)に含まれ、光重合性を有する単量体は(C)光重合性化合物に含まれるものとする。
(C)光重合性化合物の配合量は、(B)アルカリ可溶性樹脂が前記アルカリ可溶性樹脂(B−I)を含む場合、該樹脂(B−I)100質量部に対して、5〜500質量部の範囲が好ましく、より好ましい範囲は20〜300質量部である。
また、(B)アルカリ可溶性樹脂が前記アルカリ可溶性樹脂(B−II)を含む場合、(C)光重合性化合物の配合量は、該樹脂(B−II)100質量部に対して、0.05〜300質量部の範囲が好ましく、より好ましい範囲は1〜100質量部である。
(C)光重合性化合物の配合量を上記範囲の下限値以上とすることにより、露光時の硬化不良が生じ難く、十分な耐熱性、耐薬品性を得ることができる。また良好な被膜形成能を得るうえで、上記範囲の上限値以下とすることが好ましい。
本発明における(D)光重合開始剤としては、下記一般式(III)で示される化合物が好ましい。
具体例としては、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、ビス(4−ジメチルアミノフェニル)ケトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4−ベンゾイル−4’−メチルジメチルスルフィド、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4−ジメチルアミノ−2−エチルヘキシル安息香酸、4−ジメチルアミノ−2−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、o−ベンゾイル安息香酸メチル、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p'−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、p−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、α,α−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス−(9−アクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス−(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス−(9−アクリジニル)プロパン、p−メトキシトリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジンなどを挙げることができる。
以下に一般式(III)で表される化合物と、その他の少なくとも一種の化合物との組み合わせにおいて、好ましい例を(1)〜(3)に示す。
上記O−アシルオキシム化合物の中では、一般式(III)において、R11がn−ヘキシル(C6H13−)で、R12がベンゾイル基で、X’が一般式(IV)で示されるとともに、R13、R14、R16、R17が水素原子、R15がフェニルスルファニル基(C6H5S−)であるもの、すなわち下記式(VI)で示される1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)が、光に対する感度や入手の容易さの点で好ましい。
特にトリアジン化合物としては、下記式(VIII)、下記式(IX)、下記式(X)(式中、R21、R22は炭素数1〜3のアルキル基を示す。)で示されるトリアジン化合物が特に好ましい。また、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンも上記トリアジン化合物と同様に用いることができる。
本発明の感光性樹脂組成物は(E)溶剤を含有しており、該(E)溶剤には少なくとも(E1)アルキル基含有芳香族系溶剤が含まれている。
(E1)成分はアルキル基を有する芳香族系の化合物を主成分とする溶剤である。(E1)成分のうちの90質量%以上がアルキル基を有する芳香族化合物であることが好ましく、98質量%以上がより好ましく、100質量%がさらに好ましい。
モノアルキルベンゼンの具体例としては、トルエン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、1−メチルエチルベンゼン、1−メチルプロピルベンゼン、2−メチルプロピルベンゼン等が挙げられる。
ジアルキルベンゼンの具体例としては、キシレン、ジメチルベンゼン、ジエチルベンゼン、エチルメチルベンゼン等が挙げられる。
トリアルキルベンゼンの具体例としては、トリメチルベンゼン、エチルジメチルベンゼン等が挙げられる。
また、インダン等のベンゼン環との縮合環を有するものも挙げられる。
(E1)成分に含まれるアルキル基を有する芳香族化合物は、上記のいずれか1種であってもよく、2種以上であってもよい。特にジアルキルベンゼンとトリアルキルベンゼンとを含むことが好ましく、モノアルキルベンゼンとジアルキルベンゼンとトリアルキルベンゼンとを含むことがより好ましい。
かかる組成を有するアルキル基含有芳香族系溶剤としては、市販のソルベッソ100(商品名、エクソン化学社製)、スワゾール1000(商品名:丸善石油化学社製)等を用いることができる。
かかる沸点を有するアルキル基含有芳香族系溶剤としては、市販のソルベッソ100(商品名、エクソン化学社製)、スワゾール1000(商品名:丸善石油化学社製)等を用いることができる。
(E2)他の溶剤としては、ベンゼン、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチルなどが挙げられる。
これらの中で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、シクロヘキサノン、3−メトキシブチルアセテートが好ましい。
特に、3−メトキシブチルアセテートは感光性樹脂組成物中の可溶成分に対して優れた溶解性を示すとともに、顔料などの不溶性成分の分散性向上に寄与できるため、(E)溶剤に3−メトキシブチルアセテートを含有させることが好ましい。
(E2)成分として、いずれか1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物における(E)溶剤の含有量は特に限定しないが、基板等に塗布可能な濃度で、塗布膜厚に応じて適宜設定される。
感光性樹脂組成物の固形分濃度は、5〜100質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物には、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等を添加してもよい。
上記熱重合禁止剤としては、従来公知のものであってよく、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等が挙げられる。
上記消泡剤としては、従来公知のものであってよく、シリコーン系、フッ素系化合物が挙げられる。
上記界面活性剤としては、従来公知のものであってよく、アニオン系、カチオン系、ノニオン系等の化合物が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば以下の方法により調製することができる。
(A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、必要に応じて有機添加剤等、および(E)溶剤を、3本ロールミル、ボールミル、サンドミル等の撹拌機で混合(分散・混練)し、5μmメンブランフィルターで濾過して感光性樹脂組成物を調製する。
以下、本発明の感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法を、カラーフィルタに用いられるパターン(ブラックマトリクスおよび着色層)を例に挙げて説明する。
まず感光性樹脂組成物(黒色の顔料を含む)を、基板上にロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。基板は、光透過性を有する基板が用いられ、例えば厚さ0.5〜1.1mmのガラス基板である。
ガラス基板と感光性樹脂組成物との密着性を向上させるために、予めガラス基板上にシランカップリング剤を塗布しておいてもよい。あるいは感光性樹脂組成物の調製時にシランカップリング剤を添加しておいてもよい。
上記塗布後、乾燥させて溶剤を除去する。乾燥方法は特に限定されず、例えば(1)ホットプレートにて80℃〜120℃、好ましくは90℃〜100℃の温度にて60秒〜120秒間乾燥する方法、(2)室温にて数時間〜数日放置する方法、(3)温風ヒーターや赤外線ヒーター中に数十分〜数時間入れて溶剤を除去する方法、のいずれでもよい。
露光後の膜を、現像液を用いて現像することによって所望の形状にパターニングする。
現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
現像後、200℃程度でポストベークを行う。また、形成されたパターンを全面露光することが好ましい。
上記で形成されたパターン(ブラックマトリクス)を有するガラス基板に、感光性樹脂組成物を上記と同様に塗布、乾燥、露光、現像して所定の色の着色層を、ブラックマトリクスの所定の位置(開口部)にパターン(ストライプまたはドット等)が形成されるようにする。
例えば、RGBのカラーフィルタを製造する場合には、R,G,Bの各色の感光性樹脂組成物を用いて、前記工程を繰り返し、3色のパターン(着色層)を形成する。
以上より、カラーフィルタを形成することができる。
したがって、本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、良好なパターンを安定して形成することができ、高品質のカラーフィルタを形成することができる。
特に、カーボンが分散されている感光性樹脂組成物においては、(E1)成分を用いることによる顔料の凝集現象を改善する効果が高い。
下記の配合で各成分を混合して感光性樹脂組成物(a1)を調製した。
(A)黒色顔料として、カーボンブラックをアクリル樹脂と分散した3−メトキシブチルアセテートの20%溶液を175質量部用いた。
(B)アルカリ可溶性樹脂としてカルドエポキシジアクリレート、アクリル酸、メタクリル酸共重合ポリマーを100質量部用いた。
(C)光重合性化合物として、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレートを35質量部用いた。
(D)光重合開始剤として、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オン、2,4−トリクロロメチル(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’−ビスイミダゾールを等比で配合したものを40質量部用いた。
(E)溶剤として、質量比3−メトキシブチルアセテート:PGMEA:シクロヘキサノンが6:2:2の3成分混合物95質量部と、ソルベッソ100(商品名)の5質量部とを混合した混合溶剤を用いた。(E)溶剤の使用量は固形分濃度が30質量%となるように調整した。
実施例1において、ソルベッソ100を用いず、溶剤として前記3成分混合物を用いたほかは実施例1と同様にして感光性樹脂組成物(b1)を調製した。
実施例1において、ソルベッソ100の代わりに、水5質量部を用いたほかは実施例1と同様にして感光性樹脂組成物(b2)を調製した。
(比較例3)
実施例1において、ソルベッソ100の代わりに、N,N−ジメチルアセトアミドの5質量部を用いたほかは実施例1と同様にして感光性樹脂組成物(b3)を調製した。
(比較例4)
実施例1において、ソルベッソ100の代わりに、アセトンの5質量部を用いたほかは実施例1と同様にして感光性樹脂組成物(b4)を調製した。
(比較例5)
実施例1において、ソルベッソ100の代わりに、3−メトキシブチルアセテートの5質量部を用いたほかは実施例1と同様にして感光性樹脂組成物(b5)を調製した。
上記で調製した各感光性樹脂組成物(a1)および(b1)〜(b5)を、暗所に室温で3週間保管した。保管する前および保管後にそれぞれ粘度を測定し、粘度の変化を下記の基準で評価した。その結果を下記表1に示す。
○:保存前後で粘度はほとんど変わらなかった。
×:保存前に比べて保存後は粘度が増加した。
調製後、暗所に室温で3週間保管した各感光性樹脂組成物(a1)および(b1)〜(b5)を用い、ガラス基板に膜厚1200nmになるように、スピンコーター(1H−360s:ミカサ社製)で塗布し、90℃で2分間ホットプレート上にて乾燥して塗膜を形成した。
得られた膜を目視で観察して、異物発生の有無を下記の基準で評価した。その結果を下記表1に示す。
○:異物の発生がほとんどない。
×:異物が発生した。
Claims (7)
- (A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、および(E)溶剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(E)溶剤が、(E1)アルキル基含有芳香族系溶剤を含有し、
該(E1)アルキル基含有芳香族系溶剤が、モノアルキルベンゼンとジアルキルベンゼンとトリアルキルベンゼンとを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。 - 前記(E1)アルキル基含有芳香族系溶剤の沸点が110〜180℃である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(E)溶剤中における、前記(E1)アルキル基含有芳香族系溶剤の含有割合が1〜50質量%である請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(E)溶剤が、さらに3−メトキシブチルアセテートを含有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(A)顔料が黒色顔料を含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記黒色顔料がカーボンブラックである請求項5に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(A)顔料が、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、および紫色顔料からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む請求項1〜6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
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