JP4673807B2 - 静圧形ノンコンタクトガスシール - Google Patents
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Description
2 回転テーブルの駆動部
3 カバー体
4 静圧形ノンコンタクトガスシール
6 駆動部の支持機枠
8 回転密封環
9 シールケース
10 静止密封環
11 シールガス通路
12 回転密封端面(回転密封環の密封端面)
13 静止密封端面(静止密封環の密封端面)
14 開力発生手段
15 閉力発生手段
16 シールケース本体
17 シールフランジ
21 第一Oリング
22 第二Oリング
23 第一密封環側シール面
25 第二密封環側シール面
27 環状突起
34 ケース側通路
35 ケース側通路
36 静圧発生溝
37 密封環側通路
38 シールガス導入面
41 パイプ
42 密封環側通路の上流側開口部
43 密封環側通路の下流側開口部
44 密封環側通路の中間部分
A 処理領域
B カバー内領域(カバー体内の領域)
D1 第一密封環側シール面の径
D2 第二密封環側シール面の径
G シールガス
Claims (4)
- 回転テーブルとその駆動部を覆うプラスチック製の筒状のカバー体との間に介設されて、回転テーブルが配置される処理領域とカバー体内の領域との間を遮蔽シールする静圧形ノンコンタクトガスシールであって、
回転テーブルにその回転軸線と同心状に固定された回転密封環と、カバー体内に配して前記駆動部の支持機枠に取り付けられた円筒状の金属製のシールケースと、回転密封環と同心状をなし且つこれに直対向する状態でシールケースの内周部に第一及び第二Oリングを介して軸線方向移動可能に保持されたカーボン製の静止密封環と、シールケース及び静止密封環を貫通する一連のシールガス通路と、カバー体をその軸線方向に貫通してシールガス通路に連通接続するシールガス供給路とを具備して、シールガス供給路からシールガス通路に前記両領域より高圧のシールガスを供給することにより、このシールガスを両密封環の対向端面である密封端面間から前記両領域に噴出させつつ当該密封端面間を非接触状態に保持させるように構成された静圧形ノンコンタクトガスシールであり、
シールガス通路が、シールケースと静止密封環との対向周面間に形成された環状空間であって前記第一及び第二Oリングによってシールされた接続空間と、シールケースに形成されて接続空間に連通するケース側通路と、静止密封環の密封端面である静止密封端面に形成された静圧発生溝と、静止密封環に機械加工により形成された密封環側通路であって、静止密封環の外周面から静止密封端面へと貫通して接続空間と静圧発生溝とを連通接続する密封環側通路とからなり、
密封環側通路をその軸線が屈曲部を有しない直線をなすものとすると共に、当該密封環側通路の少なくとも中間部分に、内周面が平滑でシールガスとの接触によりパーティクルを発生しないパイプを密に嵌挿固着してあることを特徴とする静圧形ノンコンタクトガスシール。 - シールケースの内周面と静止密封環の外周面との間に形成された環状空間であって当該内外周面間に装填された第一及び第二Oリングによって閉塞された接続空間に、密封環側通路の上流端及びシールケースに形成したケース側通路の下流端を連通させて、シールガスをケース側通路から接続空間を介して密封環側通路へと供給するようになし、静止密封環の外周面に、第一Oリングが接触する第一密封環側シール面とこれより回転密封環側に位置する第二Oリングが接触する第二密封環側シール面と両密封環側シール面間に位置して密封環側通路の軸線に直交する截頭円錐状のシールガス導入面とを形成して、このシールガス導入面に当該密封環側通路の上流端を開口させてあることを特徴とする、請求項1に記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
- 第一密封環側シール面を第二密封環側シール面より小径として、接続空間に作用するシールガス圧力によって静止密封環を回転密封環へと押圧する推力が発生するように構成したことを特徴とする、請求項2に記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
- 回転密封環が回転テーブルの一部で構成されていることを特徴とする、請求項1〜請求項3の何れかに記載する静圧形ノンコンタクトガスシール。
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