JP2005321002A - 回転テーブルを使用する処理装置用のシール装置 - Google Patents
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Abstract
【構成】処理領域Aとカバー内領域Bとを遮蔽するシール装置4は、回転テーブル1に固定された回転密封環9と、カバー3に軸線方向移動可能に保持された静止密封環10と、静止密封環10を回転密封環9へと押圧附勢するスプリング部材11と、カバー3及び静止密封環10を貫通して密封端面9a,10a間に開口する一連のシールガス通路12aとを具備して、密封端面9a,10a間を、これにシールガス通路12aからシールガスGを噴出させることにより、非接触状態に保持するように構成された非接触形メカニカルシールである。
【選択図】 図1
Description
Claims (4)
- 回転テーブルとその回転軸を覆うカバーとの間に、回転テーブルが配置された処理領域とカバー内領域とを遮蔽すべく、設けられるシール装置であって、
回転軸と同心をなして回転テーブルに固定された回転密封環と、回転軸と同心をなして回転密封環に対向する状態で、カバーに軸線方向移動可能に保持された静止密封環と、カバー内に配置されて静止密封環を回転密封環へと押圧附勢するスプリング部材と、カバー及び静止密封環を貫通して、両密封環の対向端面たる密封端面間に開口する一連のシールガス通路とを具備して、密封端面間を、これにシールガス通路からシールガスを噴出させることにより、非接触状態に保持しつつ、前記両領域間を遮蔽シールするように構成された非接触形メカニカルシールであることを特徴とする回転テーブルを使用する処理装置用のシール装置。 - 静止密封環が、基体をカーボンで構成すると共に、基体の表面層であって少なくともシールガス通路の内周面層をガラス状炭素層又は合成樹脂層で構成した複合材構造物であることを特徴とする、請求項1に記載する回転テーブルを使用する処理装置用のシール装置。
- 静止密封環における基体の表面層が、密封端面を形成する部分を除いて、ガラス状炭素層又は合成樹脂層で構成されていることを特徴とする、請求項2に記載する回転テーブルを使用する処理装置用のシール装置。
- 一方の密封環の密封端面に動圧発生溝を形成して、密封端面間にシールガスによる静圧に加えて動圧発生溝による動圧を作用させることにより、密封端面間を非接触状態に保持するように構成されていることを特徴とする、請求項1、請求項2又は請求項3に記載する回転テーブルを使用する処理装置用のシール装置。
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