JP4660991B2 - 感光性導電ペースト及び電子部品 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、導電ペースト及び導電ペーストを用いて形成した導体パターンを有する電子部品に関し、詳しくは、膜厚の大きい導体パターンを形成するのに適した感光性導電ペースト及びそれを用いて形成した回路などの導体パターンを有する積層インダクタなど電子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
高周波電子機器の高密度化や高速信号化に伴い、電子機器が備える高周波回路を構成する配線導体は、微細で、膜厚が大きく、しかも、断面形状が矩形で、断面の底辺寸法に対する高さ寸法の比（高さ寸法／底辺寸法＝アスペクト比）の大きいことが求められるようになっている。
【０００３】
ところで、従来、基板上に配線を与える厚膜導体膜を形成するにあたっては、有機バインダーに導電性粉末を混合した導電ペーストを用い、これをスクリーン印刷法により、基板上に所望のパターンとなるように付与し、その後、焼成して、有機バインダーを除去するとともに、導電成分を焼結させることが行なわれている。
【０００４】
しかし、スクリーン印刷法では、パターン版精度が必ずしも十分ではなく、例えば１００μm以下の微細なパターンを形成することは困難である。そこでスクリーン印刷では形成することが困難な微細パターンを得る方法として、特開昭５４−１２１９６７号公報、特開昭５４−１３５９１号公報、特開昭５９−１４３１４９号公報などに記載されているように、感光性樹脂組成物に導電性粉末を混合した感光性ペーストを用い、これにフォトリソグラフィー技術を適用して、微細パターンの導体膜を基板上に形成する方法が提案されている。
【０００５】
ところで、これらの感光性ペーストを用いて、微細で、形状精度の高い良好なパターンを形成しようとすると、十分な感光性を確保することが必要となる。そして、そのためには、導電性粉末の含有率を低くして、感光性樹脂組成物の割合を高くすることが必要となる。しかし、導電性粉末の含有率が低くなると、形成されるパターンの導電性が低くなるという問題点がある。
【０００６】
すなわち、上記従来の感光性導電ペーストにおいては、導電性を確保しようとすると導電性粉末（固体粒子）の含有量を大きくすることが必要となり、導電性粉末の含有量を大きくすると、ＵＶ光などの照射光が、導電性粉末（固体粒子）による散乱のため、塗膜深部にまで到達しにくく、硬化が不十分になるという問題点があり、また、塗膜深部の硬化が不十分な状態で現像を行うと、パターンの深部（下部）が現像液に溶解し、膜厚の大きい配線を形成しようとすると、現像時にパターン（配線）に剥がれが生じるばかりでなく、パターン（配線）を形成することができたとしても、焼成工程でパターン（配線）が倒れて所望の配線パターンを形成することができなくなったり、あるいはエッジカールを生じて、高周波での端部での電流集中による損失の増大を招いたりする場合があり、さらには、感光性ペーストを用いて導体と絶縁体の積層体を形成する場合には、層間のショートの原因になるというような問題点がある。
【０００７】
また、上記問題点を解決するために、感光性樹脂の光に対する感度を向上させる方法が提案されている（特開平５−２０４１５１号公報）。
しかし、この感光性樹脂の光に対する感度を向上させる方法には、露光工程における導電性粉末による光の散乱により、硬化することが望ましくない部分まで硬化してしまい、形状精度の高いパターンを形成することができなくなるという問題点がある。
【０００８】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、導電性粉末による照射光の散乱を抑制し、塗膜深部にまで照射光を到達させることが可能で、形状精度が高く、アスペクト比の大きいパターンを形成することが可能な感光性導電ペースト、及びそれを用いて導体パターンを形成した電子部品を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明（請求項１）の感光性導電ペーストは、
導電性粉末と、露光することにより硬化する感光性樹脂成分とを含有する感光性導電ペーストにおいて、
前記導電性粉末がシリカ及びアルミナから選ばれる少なくとも１種の酸化物によってコーティングされていることを特徴としている。
【００１０】
導電性粉末を酸化物によってコーティングすることにより、導電性粉末の表面での散乱による照射光のロスを抑制して、塗膜深部にまで照射光を到達させることが可能になる。したがって、光硬化深度（照射した光がペースト膜中を進行し、樹脂の硬化に消費され、樹脂の硬化に最小限必要なエネルギーを下回るまでのペースト膜表面からの深さ）を大幅に増大することが可能になり、微細で、形状精度に優れた、高アスペクト比の導体パターンを形成することが可能になる。
【００１１】
また、コーティング用の酸化剤として、シリカ又はアルミナを用いているので、例えば、導電性粉末として、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏ粉末のいずれかを用いているような場合に、露光工程における光の散乱を抑制することが可能になるとともに、形成される導体パターンの導電性を十分に確保することが可能になる。
【００１２】
なお、コーティング用の酸化物としては、感光性樹脂成分の屈折率に近いものを選択することが望ましい。これは、感光性樹脂成分と導電性粉末にコーティングされる酸化物の屈折率の差が小さいほど、散乱によるロスが小さくなることによる。
【００１３】
また、酸化物により導電性粉末の表面をコーティングする方法としては、導電性物質の表面を、別途用意した酸化物により被覆する方法、導電性粉末を酸化処理して、表面に導電性物質の酸化被膜を生じさせる方法、導電性物質の表面に熱処理などにより酸化物となるような溶液を付着させた後、所定の条件で熱処理して導電性物質の表面が酸化物により被覆されるようにする方法などの種々の方法が例示されるが、さらに他の方法を適用することも可能である。
【００１４】
また、請求項２の感光性導電ペーストは、
前記導電性粉末がコーティングされている酸化物の屈折率Ｎ１と、前記感光性樹脂成分の屈折率Ｎ２が以下の関係式(１)：
｜Ｎ１−Ｎ２｜≦０．３ ……(１)
の要件を満たすことを特徴としている。
【００１５】
導電性粉末がコーティングされている酸化物の屈折率Ｎ１と、感光性樹脂成分の屈折率Ｎ２の関係が、｜Ｎ１−Ｎ２｜≦０．３の要件を満たすようにした場合、照射光の散乱によるロスをさらに確実に低減して、本願発明をより実効あらしめることができる。
【００１６】
また、請求項３の感光性導電ペーストは、前記導電性粉末が、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏからなる群より選ばれる少なくとも１種を含むものであることを特徴としている。
【００１７】
導電性粉末として、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏから選ばれる少なくとも１種を含むものが用いられている場合、酸化物でその表面をコーティングすることにより、光の散乱を抑制することが可能で、かつ、実用上十分な導電性を備えた導体パターンを形成することが可能な感光性導電ペーストを得ることができるようになる。
【００１８】
また、請求項４の感光性導電ペーストは、前記導電性粉末がコーティングされている酸化物の導電性粉末に対する割合が、導電性粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の割合であることを特徴としている。
【００１９】
導電性粉末がコーティングされている酸化物の導電性粉末に対する割合を、導電性粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の割合とすることにより、形成される導体パターンの導電性を損なうことなく、露光工程での光の散乱を十分に抑制することが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
【００２０】
また、請求項５の感光性導電ペーストは、前記導電性粉末がコーティングされている酸化物が、導電性粉末の酸化物被膜以外の酸化物であることを特徴としている。
【００２１】
導電性粉末を、導電性粉末の酸化物被膜以外の酸化物によりコーティングすることにより、用途や導電性粉末の特性などに応じた酸化物の選択の自由度が向上し、露光工程における光の散乱を抑制することが可能になるとともに、形成される導体パターンの導電性を十分に確保することが可能になり有意義である。
【００２２】
また、本願発明（請求項６）の電子部品は、請求項１〜５のいずれかに記載の感光性導電ペーストを用いて形成された導体パターンを備えていることを特徴としている。
【００２３】
本願発明（請求項６）の電子部品は、請求項１〜５のいずれかに記載の感光性導電ペーストを用いて形成された、形状精度に優れ、十分な導電性を備えた導体パターンを備えており、小型、高性能で、信頼性の高い電子部品を提供することが可能になる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に、本願発明の実施の形態を示して、その特徴とするところを具体的に説明する。
【００２５】
［感光性導電ペーストの調製］
まず、以下の各成分を配合することにより、本願発明の実施例にかかる感光性導電ペーストと、本願発明の範囲外の比較例の感光性導電ペーストを調製した。
【００２６】
(１)導電性粉末
この実施例及び比較例においては、導電性粉末として、Ａｇ粉末、ＡｇＰｔ粉末、Ｃｕ粉末、ＡｇＰｄ粉末を用いた。
また、導電性粉末としては、酸化物によりコーティングした導電性粉末及びコーティングしていない導電性粉末を用いた。なお、導電性粉末をコーティングする酸化物としては、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｒＯ2、ＴｉＯ2、ＺｒＳｉＯ4を適宜用いた。
【００２７】
(２)接合剤
接合剤としては、ＳｉＯ2−Ｂ2Ｏ3−Ｂｉ2Ｏ3系ガラス粉末を用いた。
【００２８】
(３)感光性樹脂成分
感光性樹脂成分としては、以下のアクリル系共重合体、光ラジカル重合性モノマー、光重合開始剤を配合したものを用いた。
(ａ)アクリル系共重合体
感光性樹脂成分を構成するアクリル系共重合体としては、平均分子量１５０００のメタクリル酸メチル−メタクリル酸共重合体を用いた。
(ｂ)光ラジカル重合性モノマー
感光性樹脂成分を構成する光ラジカル重合性モノマーとしては、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレートを用いた。
(ｃ)光重合開始剤
感光性樹脂成分を構成する光重合開始剤としては、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モノフォリノプロパン−１−オン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モノフォリノフェニル）−１−ブタノンを用いた。
なお、上記のアクリル系共重合体、光ラジカル重合性モノマー、光重合開始剤を配合した感光性樹脂成分の屈折率は、１．４８であった。
【００２９】
そして、上記(１)の導電性粉末、(２)の接合剤、及び(３)の感光性樹脂成分を構成する(ａ)アクリル系共重合体、(ｂ)光ラジカル重合性モノマー、(ｃ)光重合開始剤を、適宜選択した有機溶剤とともに、表１及び表２に示すような組成比率となるように配合し、十分に混合した後、３本ロールを用いて混練することにより、実施例１〜８及び比較例１〜１２の感光性導電ペーストを調製した。
【００３０】
なお、表１には、実施例１〜８の感光性導電ペーストの組成比率及び特性を示し、表２には、比較例１〜１２の感光性導電ペーストの組成比率及び特性を示す。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【表２】
【００３３】
なお、表１及び表２における感光性ペースト膜の光硬化深度は、感光性導電ペーストをスクリーン印刷法により印刷して感光性導電ペースト膜を形成し、照射光（例えば紫外光）のエネルギー量を一定にして、露光を行った後、現像液により（例えば、炭酸ナトリウムなどの希薄水溶液）を用いて現像を行い、未硬化部分を除去した後の硬化膜の厚みを測定することにより得た値である。なお、硬化膜の厚みの計測方法は、光学顕微鏡、電子顕微鏡、レーザー顕微鏡などの種々の公知の方法で行うことが可能である。
【００３４】
上述のようにして調製した実施例及び比較例の感光性導電ペーストの基本組成は以下の通りである。
【００３５】
＜感光性導電ペーストの基本組成＞
・導電性粉末・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・７５．０重量％
・メタクリル酸メチル−メタクリル酸共重合体・・・・・・・・・６．０重量％
・エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート・・・・・５．８重量％
・２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モノフォリノプロパン−１−オン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．６重量％
・２，４−ジエチルチオキサントン・・・・・・・・・・・・・・０．２重量％
・２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−１−ブタノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．８重量％
・ジエチレングリコールモノメチルエーテル・・・・・・・・・１１．６重量％
【００３６】
以下、表１及び２を参照しつつ、各実施例及び比較例の感光性導電ペーストの構成及び特性について説明する。
＜実施例１＞
ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径１．８μmのＡｇ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（ＳｉＯ2）のコート量は、Ａｇ粉末１００重量部に対して３重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、８．５μmであり、比較例１と比べて光硬化深度が２５％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００３７】
＜実施例２＞
Ａｌ2Ｏ3でコーティングされた平均粒径１．８μmのＡｇ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（Ａｌ2Ｏ3）のコート量は、Ａｇ粉末１００重量部に対して３重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、８．３μmであり、比較例１と比べて光硬化深度が２１％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性はほぼ良好であった。
【００３８】
＜実施例３＞
ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径３．０μmのＡｇ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（ＳｉＯ2）のコート量は、Ａｇ粉末１００重量部に対して１．１重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、９．３μmであり、比較例１０と比べて光硬化深度が１３％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００３９】
＜実施例４＞
ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径４．５μmのＡｇ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（ＳｉＯ2）のコート量は、Ａｇ粉末１００重量部に対して４．３重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、１４．８μmであり、比較例１１と比べて光硬化深度が２８％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００４０】
＜実施例５＞
ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径２．２μmのＡｇＰｄ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（ＳｉＯ2）のコート量は、ＡｇＰｄ粉末１００重量部に対して１．５重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、７．１μmであり、比較例５と比べて光硬化深度が３７％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００４１】
＜実施例６＞
Ａｌ2Ｏ3でコーティングされた平均粒径３．２μmのＣｕ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（Ａｌ2Ｏ3）のコート量は、Ｃｕ粉末１００重量部に対して２．５重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、７．８μmであり、比較例６と比べて光硬化深度が２４％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性はほぼ良好であった。
【００４２】
＜実施例７＞
Ａｌ2Ｏ3でコーティングされた平均粒径２．４μmのＡｇＰｔ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（Ａｌ2Ｏ3）のコート量は、ＡｇＰｔ粉末１００重量部に対して０．２重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、６．０μmであり、比較例７と比べて光硬化深度が９％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００４３】
＜実施例８＞
Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径１．８μmのＡｇＰｔ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2）のコート量は、ＡｇＰｔ粉末１００重量部に対して２．０重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、８．１μmであり、比較例１と比べて光硬化深度が１９％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性はほぼ良好であった。
【００４４】
なお、比較例１〜１２のうち、比較例１，５，６，７，１０，１１は、酸化物でコートしていない導電性粉末を用いた感光性導電ペーストである。
また、比較例２，３，４，８，９，１２は、酸化物でコートした導電性粉末を用いた感光性導電ペーストであって、本願発明の特徴をより明瞭にするために、酸化物のコート量を過多としたり、感光性樹脂成分の屈折率に対する屈折率の関係が必ずしも最適ではないものを用いたりしたものであり、硬化深度の増減や焼結性に関し、必ずしも良好な結果が得られていないものもあるが、焼成条件その他の要件を調整することにより、場合によっては実用が可能であるものも存在する。
【００４５】
なお、比較例１〜１２の感光性導電ペーストのうち、比較例１は実施例１，２，８との比較用、比較例５は実施例５との比較用、比較例６は実施例６との比較用、比較例７は実施例７との比較用、比較例１０は実施例３との比較用、比較例１１は実施例４との比較用の感光性導電ペーストである。
【００４６】
表１に示すように、導電性粉末を酸化物によってコーティングした本願発明の実施例にかかる感光性導電ペースト（実施例１〜８）においては、導電性粉末の表面での散乱による照射光のロスが抑制され、光硬化深度が大幅に増大するため、実施例１〜８の感光性導電ペーストを用いることにより、微細で、形状精度に優れた、高アスペクト比の導体パターンを形成することが可能になる。
【００４７】
［電子部品（チップコイル）の製造］
次に、上述のようにして作製した感光性導電ペーストを用いて導体パターン（コイルパターン）を形成した電子部品（この実施形態ではチップコイル）及びその製造方法について説明する。
図１は上述のようにして作製した感光性導電ペーストを用いて導体パターンを形成したチップコイルを示す斜視図であり、図２はその要部構成を示す分解斜視図である。
【００４８】
このチップコイル１（図１）は、図２に示すように、内部電極４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄがそれぞれ形成されたアルミナなどからなる絶縁体層２ａ，２ｂ、２ｃ、２ｄ及び２ｅが順次積層された積層体２（図１）の側面に、外部電極３ａ、３ｂ（図１）が配設された構造を有している。
【００４９】
すなわち、積層体２の内部には、コイルパターンを形成する内部電極４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄが、絶縁体層２ａ−絶縁体層２ｂ間、絶縁体層２ｂ−絶縁体層２ｃ間、絶縁体層２ｃ−絶縁体層２ｄ間、絶縁体層２ｄ−絶縁体層２ｅ間にそれぞれ設けられており、絶縁体層２ａ−絶縁体層２ｂ間に設けられる内部電極４ａは外部電極３ａ（図１）に、絶縁体層２ｄ−絶縁体層２ｅ間に設けられる内部電極４ｄは外部電極３ｂ（図１）にそれぞれ接続されている。
【００５０】
さらに、絶縁体層２ａ−絶縁体層２ｂ間に設けられる内部電極４ａは、絶縁体層２ｂに形成されたビアホール（図示せず）を介して、絶縁体層２ｂ−絶縁体層２ｃ間に設けられた内部電極４ｂと電気的に接続されており、同様に、内部電極４ｂと内部電極４ｃ、及び内部電極４ｃと内部電極４ｄとが、それぞれ絶縁体層２ｃ、２ｄに形成されたビアホール（図示せず）を介して電気的に接続されている。
【００５１】
次に、このチップコイル１の製造方法について説明する。
(１)まず、本願発明の感光性導体ペースト（酸化物によってコーティングされた導電性粉末を用いた感光性導電ペースト）を、アルミナなどからなる絶縁体層（絶縁性基板）２ａ上に印刷し、露光、現像を行って、所望の導体パターンを形成する。
次いで、脱脂処理後、例えば空気中、８５０℃で１時間程度焼成して、スパイラル状の内部電極４ａを形成する。
【００５２】
(２)次いで、無機粉末としてガラス粉末を含有する感光性絶縁体ペーストを用い、内部電極４ａの形成された絶縁性基板２ａ上に絶縁体ペースト層を形成する。この絶縁体ペースト層には、例えば直径５０μmのビアホール用パターンを形成しておく。そして、大気中、所定温度で焼成して、ビアホール用貫通孔（図示省略）を有する絶縁体層２ｂを形成する。
【００５３】
(３)それから、ビアホール用貫通孔に導体ペーストを充填、乾燥し、内部電極４ａの一端と内部電極４ｂの一端とを接続するためのビアホール（図示省略）を形成した後、上記(１)において内部電極４ａを形成した手法と同様の手法で、スパイラル状の内部電極４ｂを形成する。
【００５４】
(４)次いで、同様にして、絶縁体層２ｃ、内部電極４ｃ、絶縁体層２ｄ、内部電極４ｄを形成する。そして、保護用の絶縁体層２ｅを形成し、さらに、外部電極３ａ及び３ｂを設けることによって、図１に示すような、内部電極と絶縁体層が積層された構造を有するチップコイル１が得られる。
【００５５】
上述の製造方法によれば、内部電極４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄを形成するのに、光硬化深度の大きい本願発明の感光性導電ペーストを用いているので、微細で、形状精度に優れ、アスペクト比の大きい導体パターンを備えたチップコイル１を製造することができる。
【００５６】
このように、本願発明の感光性導電ペーストを用いることにより、微細で、形状精度に優れ、アスペクト比の大きい導体パターンを形成することが可能になり、小型、高性能の電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００５７】
なお、本願発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、導電性粉末及び酸化物の種類、平均粒径、感光性樹脂成分の具体的な組成、導電性粉末を酸化物によってコーティングする方法、酸化物の屈折率と感光性樹脂成分の屈折率の関係、酸化物の導電性粉末に対する割合などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００５８】
【発明の効果】
上述のように、本願発明（請求項１）の感光性導電ペーストは、導電性粉末を酸化物によってコーティングしているので、導電性粉末の表面での散乱による照射光のロスを抑制して、塗膜深部にまで照射光を到達させることが可能になる。したがって、光硬化深度を大幅に増大することが可能になり、微細で、形状精度に優れた、高アスペクト比の導体パターンを形成することができるようになる。
また、酸化剤として、シリカ又はアルミナを用いているので、例えば、導電性粉末として、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏ粉末のいずれかを用いているような場合に、露光工程における光の散乱を抑制することが可能になるとともに、形成される導体パターンの導電性を十分に確保することが可能になる。
【００５９】
また、請求項２の感光性導電ペーストのように、導電性粉末がコーティングされている酸化物の屈折率Ｎ１と、感光性樹脂成分の屈折率Ｎ２の関係が、｜Ｎ１−Ｎ２｜≦０．３の要件を満たすようにした場合、照射光の散乱によるロスをさらに確実に低減して、本願発明をより実効あらしめることが可能になる。
【００６０】
また、請求項３の感光性導電ペーストのように、導電性粉末として、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏから選ばれる少なくとも１種を含むものが用いられている場合に本願発明を適用することにより、導電性粉末による光の散乱を抑制し、かつ、実用上十分な導電性を備えた導体パターンを形成することが可能になり特に有意義である。
【００６１】
また、請求項４の感光性導電ペーストのように、導電性粉末がコーティングされている酸化物の導電性粉末に対する割合を、導電性粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の割合とすることにより、形成される導体パターンの導電性を損なうことなく、露光工程での光の散乱を十分に抑制することが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
【００６２】
また、請求項５の感光性導電ペーストのように、導電性粉末を、導電性粉末の酸化物被膜以外の酸化物によりコーティングすることにより、用途や導電性粉末の特性などに応じた酸化物の選択の自由度が向上し、露光工程における光の散乱を抑制することが可能になるとともに、形成される導体パターンの導電性を十分に確保することが可能になり有意義である。
【００６３】
また、本願発明（請求項６）の電子部品は、請求項１〜５のいずれかに記載の感光性導電ペーストを用いて形成された、形状精度に優れ、十分な導電性を備えた導体パターンを備えており、小型、高性能で、信頼性の高い電子部品を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本願発明の感光性導電ペーストを用いて導体パターンを形成した電子部品（チップコイル）を示す斜視図である。
【図２】 図１の電子部品（チップコイル）の要部構成を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１ チップコイル
２ 積層体
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ 絶縁体層
３ａ，３ｂ 外部電極
４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 内部電極
【発明の属する技術分野】
本願発明は、導電ペースト及び導電ペーストを用いて形成した導体パターンを有する電子部品に関し、詳しくは、膜厚の大きい導体パターンを形成するのに適した感光性導電ペースト及びそれを用いて形成した回路などの導体パターンを有する積層インダクタなど電子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
高周波電子機器の高密度化や高速信号化に伴い、電子機器が備える高周波回路を構成する配線導体は、微細で、膜厚が大きく、しかも、断面形状が矩形で、断面の底辺寸法に対する高さ寸法の比（高さ寸法／底辺寸法＝アスペクト比）の大きいことが求められるようになっている。
【０００３】
ところで、従来、基板上に配線を与える厚膜導体膜を形成するにあたっては、有機バインダーに導電性粉末を混合した導電ペーストを用い、これをスクリーン印刷法により、基板上に所望のパターンとなるように付与し、その後、焼成して、有機バインダーを除去するとともに、導電成分を焼結させることが行なわれている。
【０００４】
しかし、スクリーン印刷法では、パターン版精度が必ずしも十分ではなく、例えば１００μm以下の微細なパターンを形成することは困難である。そこでスクリーン印刷では形成することが困難な微細パターンを得る方法として、特開昭５４−１２１９６７号公報、特開昭５４−１３５９１号公報、特開昭５９−１４３１４９号公報などに記載されているように、感光性樹脂組成物に導電性粉末を混合した感光性ペーストを用い、これにフォトリソグラフィー技術を適用して、微細パターンの導体膜を基板上に形成する方法が提案されている。
【０００５】
ところで、これらの感光性ペーストを用いて、微細で、形状精度の高い良好なパターンを形成しようとすると、十分な感光性を確保することが必要となる。そして、そのためには、導電性粉末の含有率を低くして、感光性樹脂組成物の割合を高くすることが必要となる。しかし、導電性粉末の含有率が低くなると、形成されるパターンの導電性が低くなるという問題点がある。
【０００６】
すなわち、上記従来の感光性導電ペーストにおいては、導電性を確保しようとすると導電性粉末（固体粒子）の含有量を大きくすることが必要となり、導電性粉末の含有量を大きくすると、ＵＶ光などの照射光が、導電性粉末（固体粒子）による散乱のため、塗膜深部にまで到達しにくく、硬化が不十分になるという問題点があり、また、塗膜深部の硬化が不十分な状態で現像を行うと、パターンの深部（下部）が現像液に溶解し、膜厚の大きい配線を形成しようとすると、現像時にパターン（配線）に剥がれが生じるばかりでなく、パターン（配線）を形成することができたとしても、焼成工程でパターン（配線）が倒れて所望の配線パターンを形成することができなくなったり、あるいはエッジカールを生じて、高周波での端部での電流集中による損失の増大を招いたりする場合があり、さらには、感光性ペーストを用いて導体と絶縁体の積層体を形成する場合には、層間のショートの原因になるというような問題点がある。
【０００７】
また、上記問題点を解決するために、感光性樹脂の光に対する感度を向上させる方法が提案されている（特開平５−２０４１５１号公報）。
しかし、この感光性樹脂の光に対する感度を向上させる方法には、露光工程における導電性粉末による光の散乱により、硬化することが望ましくない部分まで硬化してしまい、形状精度の高いパターンを形成することができなくなるという問題点がある。
【０００８】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、導電性粉末による照射光の散乱を抑制し、塗膜深部にまで照射光を到達させることが可能で、形状精度が高く、アスペクト比の大きいパターンを形成することが可能な感光性導電ペースト、及びそれを用いて導体パターンを形成した電子部品を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明（請求項１）の感光性導電ペーストは、
導電性粉末と、露光することにより硬化する感光性樹脂成分とを含有する感光性導電ペーストにおいて、
前記導電性粉末がシリカ及びアルミナから選ばれる少なくとも１種の酸化物によってコーティングされていることを特徴としている。
【００１０】
導電性粉末を酸化物によってコーティングすることにより、導電性粉末の表面での散乱による照射光のロスを抑制して、塗膜深部にまで照射光を到達させることが可能になる。したがって、光硬化深度（照射した光がペースト膜中を進行し、樹脂の硬化に消費され、樹脂の硬化に最小限必要なエネルギーを下回るまでのペースト膜表面からの深さ）を大幅に増大することが可能になり、微細で、形状精度に優れた、高アスペクト比の導体パターンを形成することが可能になる。
【００１１】
また、コーティング用の酸化剤として、シリカ又はアルミナを用いているので、例えば、導電性粉末として、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏ粉末のいずれかを用いているような場合に、露光工程における光の散乱を抑制することが可能になるとともに、形成される導体パターンの導電性を十分に確保することが可能になる。
【００１２】
なお、コーティング用の酸化物としては、感光性樹脂成分の屈折率に近いものを選択することが望ましい。これは、感光性樹脂成分と導電性粉末にコーティングされる酸化物の屈折率の差が小さいほど、散乱によるロスが小さくなることによる。
【００１３】
また、酸化物により導電性粉末の表面をコーティングする方法としては、導電性物質の表面を、別途用意した酸化物により被覆する方法、導電性粉末を酸化処理して、表面に導電性物質の酸化被膜を生じさせる方法、導電性物質の表面に熱処理などにより酸化物となるような溶液を付着させた後、所定の条件で熱処理して導電性物質の表面が酸化物により被覆されるようにする方法などの種々の方法が例示されるが、さらに他の方法を適用することも可能である。
【００１４】
また、請求項２の感光性導電ペーストは、
前記導電性粉末がコーティングされている酸化物の屈折率Ｎ１と、前記感光性樹脂成分の屈折率Ｎ２が以下の関係式(１)：
｜Ｎ１−Ｎ２｜≦０．３ ……(１)
の要件を満たすことを特徴としている。
【００１５】
導電性粉末がコーティングされている酸化物の屈折率Ｎ１と、感光性樹脂成分の屈折率Ｎ２の関係が、｜Ｎ１−Ｎ２｜≦０．３の要件を満たすようにした場合、照射光の散乱によるロスをさらに確実に低減して、本願発明をより実効あらしめることができる。
【００１６】
また、請求項３の感光性導電ペーストは、前記導電性粉末が、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏからなる群より選ばれる少なくとも１種を含むものであることを特徴としている。
【００１７】
導電性粉末として、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏから選ばれる少なくとも１種を含むものが用いられている場合、酸化物でその表面をコーティングすることにより、光の散乱を抑制することが可能で、かつ、実用上十分な導電性を備えた導体パターンを形成することが可能な感光性導電ペーストを得ることができるようになる。
【００１８】
また、請求項４の感光性導電ペーストは、前記導電性粉末がコーティングされている酸化物の導電性粉末に対する割合が、導電性粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の割合であることを特徴としている。
【００１９】
導電性粉末がコーティングされている酸化物の導電性粉末に対する割合を、導電性粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の割合とすることにより、形成される導体パターンの導電性を損なうことなく、露光工程での光の散乱を十分に抑制することが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
【００２０】
また、請求項５の感光性導電ペーストは、前記導電性粉末がコーティングされている酸化物が、導電性粉末の酸化物被膜以外の酸化物であることを特徴としている。
【００２１】
導電性粉末を、導電性粉末の酸化物被膜以外の酸化物によりコーティングすることにより、用途や導電性粉末の特性などに応じた酸化物の選択の自由度が向上し、露光工程における光の散乱を抑制することが可能になるとともに、形成される導体パターンの導電性を十分に確保することが可能になり有意義である。
【００２２】
また、本願発明（請求項６）の電子部品は、請求項１〜５のいずれかに記載の感光性導電ペーストを用いて形成された導体パターンを備えていることを特徴としている。
【００２３】
本願発明（請求項６）の電子部品は、請求項１〜５のいずれかに記載の感光性導電ペーストを用いて形成された、形状精度に優れ、十分な導電性を備えた導体パターンを備えており、小型、高性能で、信頼性の高い電子部品を提供することが可能になる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に、本願発明の実施の形態を示して、その特徴とするところを具体的に説明する。
【００２５】
［感光性導電ペーストの調製］
まず、以下の各成分を配合することにより、本願発明の実施例にかかる感光性導電ペーストと、本願発明の範囲外の比較例の感光性導電ペーストを調製した。
【００２６】
(１)導電性粉末
この実施例及び比較例においては、導電性粉末として、Ａｇ粉末、ＡｇＰｔ粉末、Ｃｕ粉末、ＡｇＰｄ粉末を用いた。
また、導電性粉末としては、酸化物によりコーティングした導電性粉末及びコーティングしていない導電性粉末を用いた。なお、導電性粉末をコーティングする酸化物としては、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｒＯ2、ＴｉＯ2、ＺｒＳｉＯ4を適宜用いた。
【００２７】
(２)接合剤
接合剤としては、ＳｉＯ2−Ｂ2Ｏ3−Ｂｉ2Ｏ3系ガラス粉末を用いた。
【００２８】
(３)感光性樹脂成分
感光性樹脂成分としては、以下のアクリル系共重合体、光ラジカル重合性モノマー、光重合開始剤を配合したものを用いた。
(ａ)アクリル系共重合体
感光性樹脂成分を構成するアクリル系共重合体としては、平均分子量１５０００のメタクリル酸メチル−メタクリル酸共重合体を用いた。
(ｂ)光ラジカル重合性モノマー
感光性樹脂成分を構成する光ラジカル重合性モノマーとしては、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレートを用いた。
(ｃ)光重合開始剤
感光性樹脂成分を構成する光重合開始剤としては、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モノフォリノプロパン−１−オン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モノフォリノフェニル）−１−ブタノンを用いた。
なお、上記のアクリル系共重合体、光ラジカル重合性モノマー、光重合開始剤を配合した感光性樹脂成分の屈折率は、１．４８であった。
【００２９】
そして、上記(１)の導電性粉末、(２)の接合剤、及び(３)の感光性樹脂成分を構成する(ａ)アクリル系共重合体、(ｂ)光ラジカル重合性モノマー、(ｃ)光重合開始剤を、適宜選択した有機溶剤とともに、表１及び表２に示すような組成比率となるように配合し、十分に混合した後、３本ロールを用いて混練することにより、実施例１〜８及び比較例１〜１２の感光性導電ペーストを調製した。
【００３０】
なお、表１には、実施例１〜８の感光性導電ペーストの組成比率及び特性を示し、表２には、比較例１〜１２の感光性導電ペーストの組成比率及び特性を示す。
【００３１】
【表１】
【表２】
なお、表１及び表２における感光性ペースト膜の光硬化深度は、感光性導電ペーストをスクリーン印刷法により印刷して感光性導電ペースト膜を形成し、照射光（例えば紫外光）のエネルギー量を一定にして、露光を行った後、現像液により（例えば、炭酸ナトリウムなどの希薄水溶液）を用いて現像を行い、未硬化部分を除去した後の硬化膜の厚みを測定することにより得た値である。なお、硬化膜の厚みの計測方法は、光学顕微鏡、電子顕微鏡、レーザー顕微鏡などの種々の公知の方法で行うことが可能である。
【００３４】
上述のようにして調製した実施例及び比較例の感光性導電ペーストの基本組成は以下の通りである。
【００３５】
＜感光性導電ペーストの基本組成＞
・導電性粉末・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・７５．０重量％
・メタクリル酸メチル−メタクリル酸共重合体・・・・・・・・・６．０重量％
・エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート・・・・・５．８重量％
・２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モノフォリノプロパン−１−オン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．６重量％
・２，４−ジエチルチオキサントン・・・・・・・・・・・・・・０．２重量％
・２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−１−ブタノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．８重量％
・ジエチレングリコールモノメチルエーテル・・・・・・・・・１１．６重量％
【００３６】
以下、表１及び２を参照しつつ、各実施例及び比較例の感光性導電ペーストの構成及び特性について説明する。
＜実施例１＞
ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径１．８μmのＡｇ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（ＳｉＯ2）のコート量は、Ａｇ粉末１００重量部に対して３重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、８．５μmであり、比較例１と比べて光硬化深度が２５％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００３７】
＜実施例２＞
Ａｌ2Ｏ3でコーティングされた平均粒径１．８μmのＡｇ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（Ａｌ2Ｏ3）のコート量は、Ａｇ粉末１００重量部に対して３重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、８．３μmであり、比較例１と比べて光硬化深度が２１％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性はほぼ良好であった。
【００３８】
＜実施例３＞
ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径３．０μmのＡｇ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（ＳｉＯ2）のコート量は、Ａｇ粉末１００重量部に対して１．１重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、９．３μmであり、比較例１０と比べて光硬化深度が１３％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００３９】
＜実施例４＞
ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径４．５μmのＡｇ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（ＳｉＯ2）のコート量は、Ａｇ粉末１００重量部に対して４．３重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、１４．８μmであり、比較例１１と比べて光硬化深度が２８％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００４０】
＜実施例５＞
ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径２．２μmのＡｇＰｄ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（ＳｉＯ2）のコート量は、ＡｇＰｄ粉末１００重量部に対して１．５重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、７．１μmであり、比較例５と比べて光硬化深度が３７％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００４１】
＜実施例６＞
Ａｌ2Ｏ3でコーティングされた平均粒径３．２μmのＣｕ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（Ａｌ2Ｏ3）のコート量は、Ｃｕ粉末１００重量部に対して２．５重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、７．８μmであり、比較例６と比べて光硬化深度が２４％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性はほぼ良好であった。
【００４２】
＜実施例７＞
Ａｌ2Ｏ3でコーティングされた平均粒径２．４μmのＡｇＰｔ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（Ａｌ2Ｏ3）のコート量は、ＡｇＰｔ粉末１００重量部に対して０．２重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、６．０μmであり、比較例７と比べて光硬化深度が９％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性は良好であった。
【００４３】
＜実施例８＞
Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2でコーティングされた平均粒径１．８μmのＡｇＰｔ粉末を用いて、上記組成の感光性導電ペーストを調製した。コーティング剤である酸化物（Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2）のコート量は、ＡｇＰｔ粉末１００重量部に対して２．０重量部とした。
この感光性導電ペーストについて光硬化深度を測定したところ、８．１μmであり、比較例１と比べて光硬化深度が１９％増加することが確認された。
また、この感光性導電ペーストの焼結性はほぼ良好であった。
【００４４】
なお、比較例１〜１２のうち、比較例１，５，６，７，１０，１１は、酸化物でコートしていない導電性粉末を用いた感光性導電ペーストである。
また、比較例２，３，４，８，９，１２は、酸化物でコートした導電性粉末を用いた感光性導電ペーストであって、本願発明の特徴をより明瞭にするために、酸化物のコート量を過多としたり、感光性樹脂成分の屈折率に対する屈折率の関係が必ずしも最適ではないものを用いたりしたものであり、硬化深度の増減や焼結性に関し、必ずしも良好な結果が得られていないものもあるが、焼成条件その他の要件を調整することにより、場合によっては実用が可能であるものも存在する。
【００４５】
なお、比較例１〜１２の感光性導電ペーストのうち、比較例１は実施例１，２，８との比較用、比較例５は実施例５との比較用、比較例６は実施例６との比較用、比較例７は実施例７との比較用、比較例１０は実施例３との比較用、比較例１１は実施例４との比較用の感光性導電ペーストである。
【００４６】
表１に示すように、導電性粉末を酸化物によってコーティングした本願発明の実施例にかかる感光性導電ペースト（実施例１〜８）においては、導電性粉末の表面での散乱による照射光のロスが抑制され、光硬化深度が大幅に増大するため、実施例１〜８の感光性導電ペーストを用いることにより、微細で、形状精度に優れた、高アスペクト比の導体パターンを形成することが可能になる。
【００４７】
［電子部品（チップコイル）の製造］
次に、上述のようにして作製した感光性導電ペーストを用いて導体パターン（コイルパターン）を形成した電子部品（この実施形態ではチップコイル）及びその製造方法について説明する。
図１は上述のようにして作製した感光性導電ペーストを用いて導体パターンを形成したチップコイルを示す斜視図であり、図２はその要部構成を示す分解斜視図である。
【００４８】
このチップコイル１（図１）は、図２に示すように、内部電極４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄがそれぞれ形成されたアルミナなどからなる絶縁体層２ａ，２ｂ、２ｃ、２ｄ及び２ｅが順次積層された積層体２（図１）の側面に、外部電極３ａ、３ｂ（図１）が配設された構造を有している。
【００４９】
すなわち、積層体２の内部には、コイルパターンを形成する内部電極４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄが、絶縁体層２ａ−絶縁体層２ｂ間、絶縁体層２ｂ−絶縁体層２ｃ間、絶縁体層２ｃ−絶縁体層２ｄ間、絶縁体層２ｄ−絶縁体層２ｅ間にそれぞれ設けられており、絶縁体層２ａ−絶縁体層２ｂ間に設けられる内部電極４ａは外部電極３ａ（図１）に、絶縁体層２ｄ−絶縁体層２ｅ間に設けられる内部電極４ｄは外部電極３ｂ（図１）にそれぞれ接続されている。
【００５０】
さらに、絶縁体層２ａ−絶縁体層２ｂ間に設けられる内部電極４ａは、絶縁体層２ｂに形成されたビアホール（図示せず）を介して、絶縁体層２ｂ−絶縁体層２ｃ間に設けられた内部電極４ｂと電気的に接続されており、同様に、内部電極４ｂと内部電極４ｃ、及び内部電極４ｃと内部電極４ｄとが、それぞれ絶縁体層２ｃ、２ｄに形成されたビアホール（図示せず）を介して電気的に接続されている。
【００５１】
次に、このチップコイル１の製造方法について説明する。
(１)まず、本願発明の感光性導体ペースト（酸化物によってコーティングされた導電性粉末を用いた感光性導電ペースト）を、アルミナなどからなる絶縁体層（絶縁性基板）２ａ上に印刷し、露光、現像を行って、所望の導体パターンを形成する。
次いで、脱脂処理後、例えば空気中、８５０℃で１時間程度焼成して、スパイラル状の内部電極４ａを形成する。
【００５２】
(２)次いで、無機粉末としてガラス粉末を含有する感光性絶縁体ペーストを用い、内部電極４ａの形成された絶縁性基板２ａ上に絶縁体ペースト層を形成する。この絶縁体ペースト層には、例えば直径５０μmのビアホール用パターンを形成しておく。そして、大気中、所定温度で焼成して、ビアホール用貫通孔（図示省略）を有する絶縁体層２ｂを形成する。
【００５３】
(３)それから、ビアホール用貫通孔に導体ペーストを充填、乾燥し、内部電極４ａの一端と内部電極４ｂの一端とを接続するためのビアホール（図示省略）を形成した後、上記(１)において内部電極４ａを形成した手法と同様の手法で、スパイラル状の内部電極４ｂを形成する。
【００５４】
(４)次いで、同様にして、絶縁体層２ｃ、内部電極４ｃ、絶縁体層２ｄ、内部電極４ｄを形成する。そして、保護用の絶縁体層２ｅを形成し、さらに、外部電極３ａ及び３ｂを設けることによって、図１に示すような、内部電極と絶縁体層が積層された構造を有するチップコイル１が得られる。
【００５５】
上述の製造方法によれば、内部電極４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄを形成するのに、光硬化深度の大きい本願発明の感光性導電ペーストを用いているので、微細で、形状精度に優れ、アスペクト比の大きい導体パターンを備えたチップコイル１を製造することができる。
【００５６】
このように、本願発明の感光性導電ペーストを用いることにより、微細で、形状精度に優れ、アスペクト比の大きい導体パターンを形成することが可能になり、小型、高性能の電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００５７】
なお、本願発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、導電性粉末及び酸化物の種類、平均粒径、感光性樹脂成分の具体的な組成、導電性粉末を酸化物によってコーティングする方法、酸化物の屈折率と感光性樹脂成分の屈折率の関係、酸化物の導電性粉末に対する割合などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００５８】
【発明の効果】
上述のように、本願発明（請求項１）の感光性導電ペーストは、導電性粉末を酸化物によってコーティングしているので、導電性粉末の表面での散乱による照射光のロスを抑制して、塗膜深部にまで照射光を到達させることが可能になる。したがって、光硬化深度を大幅に増大することが可能になり、微細で、形状精度に優れた、高アスペクト比の導体パターンを形成することができるようになる。
また、酸化剤として、シリカ又はアルミナを用いているので、例えば、導電性粉末として、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏ粉末のいずれかを用いているような場合に、露光工程における光の散乱を抑制することが可能になるとともに、形成される導体パターンの導電性を十分に確保することが可能になる。
【００５９】
また、請求項２の感光性導電ペーストのように、導電性粉末がコーティングされている酸化物の屈折率Ｎ１と、感光性樹脂成分の屈折率Ｎ２の関係が、｜Ｎ１−Ｎ２｜≦０．３の要件を満たすようにした場合、照射光の散乱によるロスをさらに確実に低減して、本願発明をより実効あらしめることが可能になる。
【００６０】
また、請求項３の感光性導電ペーストのように、導電性粉末として、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏから選ばれる少なくとも１種を含むものが用いられている場合に本願発明を適用することにより、導電性粉末による光の散乱を抑制し、かつ、実用上十分な導電性を備えた導体パターンを形成することが可能になり特に有意義である。
【００６１】
また、請求項４の感光性導電ペーストのように、導電性粉末がコーティングされている酸化物の導電性粉末に対する割合を、導電性粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の割合とすることにより、形成される導体パターンの導電性を損なうことなく、露光工程での光の散乱を十分に抑制することが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
【００６２】
また、請求項５の感光性導電ペーストのように、導電性粉末を、導電性粉末の酸化物被膜以外の酸化物によりコーティングすることにより、用途や導電性粉末の特性などに応じた酸化物の選択の自由度が向上し、露光工程における光の散乱を抑制することが可能になるとともに、形成される導体パターンの導電性を十分に確保することが可能になり有意義である。
【００６３】
また、本願発明（請求項６）の電子部品は、請求項１〜５のいずれかに記載の感光性導電ペーストを用いて形成された、形状精度に優れ、十分な導電性を備えた導体パターンを備えており、小型、高性能で、信頼性の高い電子部品を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本願発明の感光性導電ペーストを用いて導体パターンを形成した電子部品（チップコイル）を示す斜視図である。
【図２】 図１の電子部品（チップコイル）の要部構成を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１ チップコイル
２ 積層体
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ 絶縁体層
３ａ，３ｂ 外部電極
４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 内部電極
Claims (6)
- 導電性粉末と、露光することにより硬化する感光性樹脂成分とを含有する感光性導電ペーストにおいて、
前記導電性粉末がシリカ及びアルミナから選ばれる少なくとも１種の酸化物によってコーティングされていることを特徴とする感光性導電ペースト。 - 前記導電性粉末がコーティングされている酸化物の屈折率Ｎ１と、前記感光性樹脂成分の屈折率Ｎ２が以下の関係式(１)：
｜Ｎ１−Ｎ２｜≦０．３ ……(１)
の要件を満たすことを特徴とする請求項１記載の感光性導電ペースト。 - 前記導電性粉末が、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｍｏからなる群より選ばれる少なくとも１種を含むものであることを特徴とする請求項１又は２記載の感光性導電ペースト。
- 前記導電性粉末がコーティングされている酸化物の導電性粉末に対する割合が、導電性粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の割合であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の感光性導電ペースト。
- 前記導電性粉末がコーティングされている酸化物が、導電性粉末の酸化物被膜以外の酸化物であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の感光性導電ペースト。
- 請求項１〜５のいずれかに記載の感光性導電ペーストを用いて形成された導体パターンを備えていることを特徴とする電子部品。
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