JP4657267B2 - レーザ溶接検査装置 - Google Patents

レーザ溶接検査装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4657267B2
JP4657267B2 JP2007209481A JP2007209481A JP4657267B2 JP 4657267 B2 JP4657267 B2 JP 4657267B2 JP 2007209481 A JP2007209481 A JP 2007209481A JP 2007209481 A JP2007209481 A JP 2007209481A JP 4657267 B2 JP4657267 B2 JP 4657267B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
welded portion
laser
protective glass
imaging
lens unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007209481A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009039773A (ja
Inventor
裕司 川副
匡弘 西尾
哲弘 豊田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2007209481A priority Critical patent/JP4657267B2/ja
Priority to PCT/JP2008/064069 priority patent/WO2009022587A1/ja
Priority to CN2008801028064A priority patent/CN101801585B/zh
Priority to US12/672,839 priority patent/US8289506B2/en
Publication of JP2009039773A publication Critical patent/JP2009039773A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4657267B2 publication Critical patent/JP4657267B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/032Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • B23K26/706Protective screens

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

本発明は、レーザ溶接状況を把握し、溶接品質を検査するレーザ溶接検査装置に関する。
従来のレーザ溶接検査装置の一例として、特許文献1に示される装置(以下、特許文献1の装置という。)がある。特許文献1の装置は、レーザ発信器が発生したレーザをワークに対して照射し、同ワークを溶接するレーザ照射ヘッドを備えている。このレーザ照射ヘッドは、レーザ発振器が発生したレーザを集光してワークに対して照射するレンズ(集光レンズ)と、溶接時に発生する飛散物(ワークに含まれる物質が蒸発したもの等)から集光レンズを保護する保護カバーと、を備えている。特許文献1の装置は、さらに、レーザ照射ヘッドから照射されるレーザの光路上から若干ずれた位置に配置された光ファイバと、この光ファイバの先端に対向する位置に配置され光エネルギーを電気エネルギー(電圧)に変換する太陽電池と、を備えている。
特許文献1の装置では、保護カバーに汚れ等がないか又は少ない場合には、汚れ等により散乱するレーザがないか又は少なくなり、その結果、太陽電池に照射されるレーザの光量が少なくなり、ワークに有効なレーザが照射される。一方、保護カバーに汚れ等が増加した場合には、該汚れ等により散乱するレーザが増加し、従って、多量の散乱光(レーザ)が光ファイバを介して太陽電池に照射され、溶接に寄与するレーザが少なくなってワークに有効なレーザが照射されなくなる。
そして、特許文献1の装置は、保護カバーに汚れ等がないか又は少ない場合には、ワークに有効なレーザが照射されていることから、溶接は良であると判定し、保護カバーに汚れ等が増加した場合にはワークに有効なレーザが照射されていないことから、溶接は不良であると判定する。
特開平11−320144号公報
ところで、上記従来技術では、光ファイバ及び太陽電池を備え、太陽電池を光ファイバの先端に対向する位置に配置し、太陽電池にハーネスを接続しそのハーネスの先端に波形計測器を接続している。上記従来技術では、上述したように、溶接の良否判定を行う上でハーネス及び太陽電池を採用しており、装置の複雑化を招き、さらに、太陽電池をレーザの光路からずれて配置する分、装置の大型化を招いてしまうという問題があった。また、一般に太陽電池が高価であることに伴ない、装置コストの増加を招いてしまうことになり、その改善を図ることが望まれているというのが実情であった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で保護ガラスに付着する異物の影響を抑制して溶接品質の評価を良好に行うことができるレーザ溶接検出装置を提供することを目的とする。
(発明の形態)
本願の発明は、レーザ光の照射に対して溶接部で反射されるレーザ反射光を受光し、この受光したレーザ反射光により前記溶接部を撮像する撮像手段と、前記溶接部及び前記撮像手段の間に、この順に配置されて、前記溶接部に係る照射光及びレーザ反射光を通す第1、第2レンズユニットと、前記第1レンズユニット及び前記溶接部間に介在されて前記第1、第2レンズユニットを保護する保護ガラスと、を有し、前記撮像手段の撮像により得られる溶接部画像を用いて溶接品質を検査するレーザ溶接検査装置において、前記保護ガラスに対する結像点が前記撮像手段に一致しないように、前記撮像手段と前記溶接部の間に前記溶接部に対する結像点を1つ以上設け、前記溶接部に対する結像点は、前記第1、第2レンズユニット間に設けられ、レーザの光学系における前記保護ガラスに対面する第1レンズユニット及び前記溶接部の距離に相当する第1レンズユニット−溶接部距離をaとし、第1レンズユニット及び保護ガラスの距離に相当する第1レンズユニット−保護ガラス距離をbとしたとき、a/b≧10であることを特徴とする。
本発明によれば、溶接部の像は、撮像手段と溶接部の間に設けた溶接部に対する結像点で結ばれて撮像手段に撮像される一方、保護ガラスに対する像は、前記結像点で結像されずに拡散されるため、撮像手段が得る画像には、保護ガラスの汚れに起因する写りこみが相対的に少なくなり、その分、良否判定精度を向上できる。
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明(以下、「請求可能発明」という場合がある。)の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載,実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
本発明は、次の(1)〜(3)項の態様で構成される。(1)〜(3)項の態様が夫々請求項1〜3に相当している。
(1) レーザ光の照射に対して溶接部で反射されるレーザ反射光を受光し、この受光したレーザ反射光により前記溶接部を撮像する撮像手段と、前記溶接部及び前記撮像手段の間に、この順に配置されて、前記溶接部に係る照射光及びレーザ反射光を通す第1、第2レンズユニットと、前記第1レンズユニット及び前記溶接部間に介在されて前記第1、第2レンズユニットを保護する保護ガラスと、を有し、前記撮像手段の撮像により得られる溶接部画像を用いて溶接品質を検査するレーザ溶接検査装置において、前記保護ガラスに対する結像点が前記撮像手段に一致しないように、前記撮像手段と前記溶接部の間に前記溶接部に対する結像点を1つ以上設け、前記溶接部に対する結像点は、前記第1、第2レンズユニット間に設けられ、レーザの光学系における前記保護ガラスに対面する第1レンズユニット及び前記溶接部の距離に相当する第1レンズユニット−溶接部距離をaとし、第1レンズユニット及び保護ガラスの距離に相当する第1レンズユニット−保護ガラス距離をbとしたとき、a/b≧10であることを特徴とするレーザ溶接検査装置。
(2) (1)項に記載のレーザ溶接検査装置において、前記撮像手段と前記保護ガラスの間に、前記保護ガラスから入る光線の方向範囲を限定するしぼりを設けたことを特徴とするレーザ溶接検査装置。
(3) (2)項に記載のレーザ溶接検査装置において、前記溶接部に対する結像点及び前記しぼりを同等位置に配置したことを特徴とするレーザ溶接検査装置。
(1)〜(3)項に記載のレーザ溶接検査装置によれば、溶接部の像は、撮像手段と溶接部の間に設けた溶接部に対する結像点で結ばれて撮像手段に撮像される一方、保護ガラスに対する像は、前記結像点で結像されずに拡散されて撮像手段に撮像される。このため、保護ガラスの汚れに起因する写りこみは拡散され、また、しぼりを設けることにより、撮像手段が得る画像は、汚れ写りこみ画像成分が不鮮明でかつ少量となる一方、溶接部に基づく画像成分は鮮明で多量のため、その分、良否判定精度を向上できる。
請求項1記載の発明によれば、溶接部の像は、撮像手段と溶接部の間に設けた溶接部に対する結像点で結ばれて撮像手段に撮像される一方、保護ガラスに対する像は、前記結像点で結像されずに拡散されるため、撮像手段が得る画像には、保護ガラスの汚れに起因する写りこみが相対的にが少なくなり、その分、良否判定精度を向上できる。
請求項2記載の発明によれば、保護ガラスの汚れに起因する写りこみ画像成分が少量となる一方、溶接部に基づく画像成分は多量のため、良否判定精度を向上できる。
請求項3記載の発明によれば、溶接部に対する結像点及びしぼりを同等位置に配置したので、溶接部に基づく画像成分に対するしぼりの影響が小さくなり、その分、良否判定精度を向上できる。
以下、本発明の第1実施の形態を図1及び図2に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1実施の形態に係るレーザ溶接検査装置1を示したものである。同図において、2は溶接用トーチであり、溶接用トーチ2内には2つのレンズユニット5,6が内蔵されている。溶接用トーチ2は、レーザ発振器7から光ファイバ8を通して送られたレーザ光(溶接用レーザ光)を、ミラー9を介して2つのレンズユニット5,6を通して、その先端部からワーク(溶接部)Wへ向けて照射し、ワークWに対してレーザ溶接を施すようにしている。ミラー9は、レーザ光線を反射し、後述するカメラ11による撮影に係る画像(可視光)については透過し得るようになっている。
溶接用トーチ2の先端部には保護ガラス12が設けられている。保護ガラス12は、レーザ溶接によって生じるスパッタ(溶融金属の飛散)やヒューム(煙状のガス)から2つのレンズユニットひいては2つのレンズユニット5,6を保護するようにしている。以下、便宜上、2つのレンズユニット5,6のうち溶接用トーチ2の先端部側に配置されたものを第1レンズユニット5、溶接用トーチ2の後端部側に配置されたものを第2レンズユニット6という。
溶接用トーチ2の後端部には、カメラ11が配置されており、ワークWで反射されたレーザ反射光を、第1、第2レンズユニット5,6を通して、溶接用レーザ光と同軸で受光するようにしている。
溶接用トーチ2は、第1レンズユニット5の一方の焦点f11がワークWの加工点Wkと一致し、第2レンズユニット6の一方の焦点f21がカメラ11と一致するように位置設定されている。また、第1、第2レンズユニット5,6は、第1レンズユニット5の他方の焦点f12及び第2レンズユニット6の他方の焦点f22が同等の位置(以下、第1、第2レンズユニット5,6の焦点一致位置15という。)になるように設定されている。第1、第2レンズユニット5,6が上述したように配置され、かつ上述したように溶接用トーチ2が、カメラ11及びワークWに対して位置設定されていることにより、溶接用トーチ2は、ワークWに対する像を第1、第2レンズユニット5,6の焦点一致位置15で結合する。このようにワークWに対する像を結合する第1、第2レンズユニット5,6の焦点一致位置15を以下、適宜、第1結像点15(請求項1の溶接部に対する結像点に相当する。)という。また、上述したように溶接用トーチ2が、カメラ11及びワークWに対して位置設定されていることにより、カメラ11は、ワークWに対する像を第1結像点15を介して撮像(結像)する。ここで、カメラ11の結像点を便宜上、第2結像点16という。
また、第1レンズユニット5及びワークWの加工点Wkの距離(第1レンズユニット−ワーク距離)、換言すれば第1レンズユニット5の焦点距離はaとされ、第1レンズユニット5及び保護ガラス12の距離(第1レンズユニット−保護ガラス距離)はbとされ、両距離については、「a/b≧10」の関係が成立するようにされている。
カメラ11は、第1、第2レンズユニット5,6を通して受光するレーザ反射光によりワークW(ワークWの加工点Wk)を撮像し、ワークWの画像(可視化画像)〔溶接部画像〕を得る。一般に、レーザ溶接を繰返し行うと、保護ガラス12には上述したようにスパッタ等(以下、便宜上、汚れという。)が付着する。そして、保護ガラス12に汚れが付着していた場合、溶接部画像には汚れの写りこみに係る画像(以下、汚れ写りこみ画像という。)が含まれている。
また、別途、信号処理装置20が設けられており、信号処理装置20には、カメラ11で撮像された画像を解析する画像解析手段21と、この画像解析手段21の解析結果に基づいてワークWの溶接品質の良否を判定する良否判定手段22と、を備えている。
上述したように構成されたレーザ溶接検査装置1では、第1レンズユニット−ワーク距離a及び第1レンズユニット−保護ガラス距離bについて、上述したように設定し(a/b≧10)、かつ、カメラ11とワークWとの間に第1結像点15を配置したことにより、保護ガラス12に対する像は、第1結像点15では結ばれず、図2に点線23で示すように、第1結像点15より第2レンズユニット6側の部分(以下、保護ガラス対応結像点26という。)で結像される。そして、保護ガラス対応結像点26で結像される像に関しては、カメラ11では結像されず、拡散されてカメラ11に撮像される。
一方、ワークWに対する像は、第1結像点15で結ばれ、さらに図2に実線24で示すように、第2結像点16で、即ちカメラ11に撮像される。
このため、保護ガラス12の汚れに起因する写りこみは拡散され、これに伴い、溶接部画像は、相対的に汚れ写りこみ画像の影響が小さくワークWに基づく画像が鮮明になり、その分、良否判定精度が向上され、ひいてはワークWの溶接の品質を良好に評価できる。
太陽電池を光ファイバの先端に対向する位置に配置し、太陽電池にハーネスを接続した上記従来技術では、太陽電池を採用したことにより装置の複雑化及び装置コストの増加を招くことが起こり得た。これに対して、レンズの配置を調整してワークWの溶接の品質を良好に評価することにより、上記従来技術で必要とされた太陽電池を不要としたことにより構成の簡易化及び装置の低廉化を達成できる。
上記実施の形態では、第1レンズユニット−ワーク距離a及び第1レンズユニット−保護ガラス距離bについて、a/b≧10と設定しており、a/b<10と設定した場合に比べて、保護ガラス12がワークWから離間した状態となり、その分、保護ガラス12へのスパッタ等の付着を抑制できる。
なお、第1レンズユニット−ワーク距離a及び第1レンズユニット−保護ガラス距離bについて、上述した「a/b≧10」の設定に代えて、a/b≧t〔但し、t>1〕と設定してもよい。
上記実施の形態では、カメラ11とワークWとの間にワークWに対する結像点を1つ設ける場合を例にしたが、これに限らず、レンズユニットをさらに設け、カメラ11とワークWとの間にワークWに対する結像点を2以上設けるようにしてもよい。この場合、上記設定に加えて、保護ガラス12に対する結像点がカメラ11に一致しないように設定する。
上記実施の形態において、図3に示すように、第1結像点15に保護ガラス12(図1参照)から入る光線の方向範囲を限定するしぼり30を設けてもよい(第2実施の形態)。
この第2実施の形態に係るレーザ溶接検査装置1Bによれば、しぼり30を設けたことにより、保護ガラス12からの像(汚れなどの像)23のうち図3にハッチングで示す領域分23aについてはカメラ11側に進むことが抑制され、汚れ写りこみ画像成分が少なくなる。
一方、ワークW(図1参照)からの像は図3に実線31で示すように、しぼり30による制限を受けることなく、カメラ11(図1参照)側に進む。このため、溶接部画像は、相対的に汚れ写りこみ画像成分が少なくワークWに基づく画像成分が多くなり、その分、良否判定精度を向上できる。
第2実施の形態では、第1結像点15にしぼり30を設けた場合を例にしたが、しぼり30を第1結像点15から離れた位置に設けるようにしてもよい。
本発明の第1実施の形態に係るレーザ溶接検査装置を模式的に示す図である。 図1のワーク及び保護ガラスからの光の光路を合わせて示す図である。 図1のレーザ溶接検査装置にしぼりを設けた例(第2実施の形態)を示す図である。
1、1A…レーザ溶接検査装置、5,6…第1、第2レンズユニット、11…カメラ(撮像手段)、12…保護ガラス、15…第1結像点(溶接部に対する結像点)、30…しぼり、W…ワーク(溶接部)。

Claims (3)

  1. レーザ光の照射に対して溶接部で反射されるレーザ反射光を受光し、この受光したレーザ反射光により前記溶接部を撮像する撮像手段と、前記溶接部及び前記撮像手段の間に、この順に配置されて、前記溶接部に係る照射光及びレーザ反射光を通す第1、第2レンズユニットと、前記第1レンズユニット及び前記溶接部間に介在されて前記第1、第2レンズユニットを保護する保護ガラスと、を有し、前記撮像手段の撮像により得られる溶接部画像を用いて溶接品質を検査するレーザ溶接検査装置において、
    前記保護ガラスに対する結像点が前記撮像手段に一致しないように、前記撮像手段と前記溶接部の間に前記溶接部に対する結像点を1つ以上設け、
    前記溶接部に対する結像点は、前記第1、第2レンズユニット間に設けられ
    レーザの光学系における前記保護ガラスに対面する第1レンズユニット及び前記溶接部の距離に相当する第1レンズユニット−溶接部距離をaとし、第1レンズユニット及び保護ガラスの距離に相当する第1レンズユニット−保護ガラス距離をbとしたとき、a/b≧10であることを特徴とするレーザ溶接検査装置。
  2. 前記撮像手段と前記保護ガラスの間に、前記保護ガラスから入る光線の方向範囲を限定するしぼりを設けたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ溶接検査装置。
  3. 前記溶接部に対する結像点及び前記しぼりを同等位置に配置したことを特徴とする請求項2に記載のレーザ溶接検査装置。
JP2007209481A 2007-08-10 2007-08-10 レーザ溶接検査装置 Expired - Fee Related JP4657267B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007209481A JP4657267B2 (ja) 2007-08-10 2007-08-10 レーザ溶接検査装置
PCT/JP2008/064069 WO2009022587A1 (ja) 2007-08-10 2008-07-29 レーザ溶接検査装置
CN2008801028064A CN101801585B (zh) 2007-08-10 2008-07-29 激光焊接检查装置
US12/672,839 US8289506B2 (en) 2007-08-10 2008-07-29 Laser welding inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007209481A JP4657267B2 (ja) 2007-08-10 2007-08-10 レーザ溶接検査装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010252948A Division JP2011240404A (ja) 2010-11-11 2010-11-11 レーザ溶接検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009039773A JP2009039773A (ja) 2009-02-26
JP4657267B2 true JP4657267B2 (ja) 2011-03-23

Family

ID=40350641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007209481A Expired - Fee Related JP4657267B2 (ja) 2007-08-10 2007-08-10 レーザ溶接検査装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8289506B2 (ja)
JP (1) JP4657267B2 (ja)
CN (1) CN101801585B (ja)
WO (1) WO2009022587A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011018648B3 (de) * 2011-04-21 2012-07-12 Messer Cutting Systems Gmbh Vorrichtung für die thermische Bearbeitung eines Werkstücks
JP6011598B2 (ja) * 2014-11-18 2016-10-19 トヨタ自動車株式会社 レーザ溶接方法
JP6616368B2 (ja) * 2017-09-14 2019-12-04 ファナック株式会社 レーザ加工前に光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正するレーザ加工装置
DE102020131980A1 (de) 2020-12-02 2022-06-02 Audi Aktiengesellschaft Prüfverfahren zur Überwachung eines Laserbearbeitungskopf-Schutzglases

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61137693A (ja) * 1984-12-07 1986-06-25 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ加工装置
JPH07185862A (ja) 1993-12-28 1995-07-25 Nikon Corp レーザ加工装置
JP3553130B2 (ja) 1994-04-28 2004-08-11 新日本製鐵株式会社 レーザ装置
JPH11320144A (ja) * 1998-05-19 1999-11-24 Tokai Rika Co Ltd レーザ溶接機、自動溶接装置、レーザ溶接機における保護カバーの良否判定方法及びレーザ溶接機における溶接の良否判定方法
JP2000321528A (ja) 1999-05-12 2000-11-24 Canon Inc マスク投影同時走査型露光装置
JP4055353B2 (ja) * 2000-11-07 2008-03-05 松下電器産業株式会社 光加工装置
US7663073B2 (en) * 2003-05-13 2010-02-16 Panasonic Corporation Optical processing apparatus
JP4055649B2 (ja) * 2003-05-13 2008-03-05 松下電器産業株式会社 光加工装置
US7420146B1 (en) * 2005-03-08 2008-09-02 Spawr Walter J Laser beam monitor and control method
JP4300433B2 (ja) 2007-08-10 2009-07-22 トヨタ自動車株式会社 レーザ溶接品質評価方法及びその装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20110026016A1 (en) 2011-02-03
US8289506B2 (en) 2012-10-16
WO2009022587A1 (ja) 2009-02-19
CN101801585B (zh) 2013-07-31
CN101801585A (zh) 2010-08-11
JP2009039773A (ja) 2009-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4531396B2 (ja) ワークの接合箇所を評価するための方法および装置
JP6253221B2 (ja) 接合継ぎ目を監視する光学測定装置、ならびに同測定装置を備える接合ヘッド及びレーザ溶接ヘッド
JP6963680B2 (ja) レーザ加工システム内でレーザビームの焦点位置を決定するための装置、その装置を備えるレーザ加工システム及びレーザ加工システム内でレーザビームの焦点位置を決定するための方法
KR20140062518A (ko) 레이저 조사 장치 및 레이저 조사 헤드의 건전성 진단 방법
JP2002219593A (ja) レーザ加工ヘッド
JP4657267B2 (ja) レーザ溶接検査装置
JP2010240674A (ja) レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法
CN101795810A (zh) 激光焊接质量评价方法及其装置
JP5671873B2 (ja) レーザ溶接モニタリング装置
US4933541A (en) Method and apparatus for active vision image enhancement with wavelength matching
CN209327241U (zh) 激光焊保护镜片的缺陷检测装置、模块
US20060043078A1 (en) Apparatus for observing and controlling a laser machining process
CN109211939A (zh) 激光焊保护镜片的缺陷检测装置、模块及检测方法
JPH0957479A (ja) レーザ加工ヘッド
JP3184966B2 (ja) レーザ溶接状態計測装置
US20230001506A1 (en) Laser processing head, laser processing system, and method of determining abnormality of laser processing system
JP2011240404A (ja) レーザ溶接検査装置
JP2000334587A (ja) レーザ溶接の溶接状態検出装置
JP2007007698A (ja) レーザ加工ヘッド
US6897421B2 (en) Optical inspection system having an internal rangefinder
JP4449506B2 (ja) アーク溶接部分撮影装置
JP7296769B2 (ja) スパッタ検出装置、レーザ加工装置およびスパッタの検出方法
CN111989552A (zh) 用于在激光加工***中确定焦点位置的装置、具有该装置的激光加工***以及用于在激光加工***中确定焦点位置的方法
WO2022209930A1 (ja) レーザ加工ヘッド及びこれを備えたレーザ加工システム
JP2003220479A (ja) レーザ溶接装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090212

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090327

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090701

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090907

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20091007

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20091225

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101111

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101221

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4657267

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees