JP4654370B1 - 真空用ゲートバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空用ゲートバルブ10は、開口を有するケーシング12と、ケーシング12内を揺動して開口を開閉するバルブプレート14と、バルブプレート14を駆動するモーター16を備え、モーター16の回転軸16Aの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸16Aと共に回転するフランジ20と、フランジ20及びバルブプレート14に連結される回転体22を介してバルブプレート14に直接伝達される。回転体22は、本体部22Aと、本体部22Aから延びるシャフト部22Bを有し、本体部22Aは、横方向においてはローラーベアリング28を介して、上下方向においては本体部22Aの上下に配置された2つのスラストベアリング30A、30Bを介して保持されることによりカバー26内に回転自在に設置される。
【選択図】 図1
Description
本発明においては、この動力伝達手段18は、図1乃至図4に示すように、モーター16の回転軸16Aの動力を、ギアを介さずに、同軸上でバルブプレート14に直接伝達する。従って、モーター16の駆動力をダイレクトにバルブプレート14に伝達することができ、0.3秒程度の超高速でバルブプレート14を開閉させることができる。同時に、ギア等を介さないため部品点数が低減すると共に噛み合い等の際に生ずる衝突による劣化を抑制することができるため、耐用年数を飛躍的に向上させることができる。
また、本発明においては、バルブプレート14は、図1に示すように、閉位置にあるときに開口12Aに位置する部分が他の部分よりも薄く形成されている。これにより、バルブプレート14の軽量化を図ることができ、高速での開閉により適したバルブプレート14とすることができる。この場合、図1に示すように、真空となるチャンバ側の表面のみを切削等することもできるし、バルブプレート14の表裏両面を切削等して薄く形成することもできる。
更に、本発明においては、モーター16及び動力伝達手段18は、バルブプレート14に着脱自在に連結されている。具体的には、バルブプレートと回転体22は、図1に示すように、スクリュー34により連結され、この連結ピンによる固定を解除することにより、動力伝達手段18及びモーター16、並びに、Oリングのケーシング32を、バルブプレート14やケーシング12から簡易に取り外すことができる。このため、保守や修理等のメンテナンスや交換等を簡易に行うことができる。
12 ケーシング
12A 開口
14 バルブプレート
16 モーター
16A 回転軸
18 動力伝達手段
20 フランジ
20A 結合フランジ部
20B シャフトフランジ部
20C 結合板バネ
22 回転体
22A 本体部
22B シャフト部
24 スプリング
26 カバー
28 ローラーベアリング
28A フレーム28A
28B 棒状ローラー
30A、30B スラストベアリング
30a ワッシャ
32 Oリングのケーシング
34 スクリュー
Claims (6)
- 開口を有するケーシングと、前記ケーシング内を揺動して前記開口を開閉するバルブプレートと、前記バルブプレートを駆動するモーターとを備えた真空用ゲートバルブにおいて、前記モーターの回転軸の動力をギアを介さずに同軸上で前記バルブプレートに直接伝達する動力伝達手段を更に有する真空用ゲートバルブであって、前記動力伝達手段は、前記モーターの回転軸に連結されて前記回転軸と共に回転するフランジと、前記フランジ及び前記バルブプレートに連結されて前記フランジと共に回転する回転体と有し、前記回転体は、本体部と、前記本体部から延び前記バルブプレートに連結されるシャフト部を有し、前記ケーシングに固定されたカバー内に設置されて、前記カバーにより横方向及び上下方向を覆われ、前記回転体の本体部は、前記カバーに対して、横方向においてはローラーベアリングを介して、上下方向においては本体部の上下に配置された2つのスラストベアリングを介して保持されることにより、前記カバー内に回転自在に設置されていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
- 請求項1に記載された真空用ゲートバルブであって、前記動力伝達手段は、前記回転体に連結された前記バルブプレートが前記ケーシングの開口から離反する方向に前記回転体を付勢するスプリングを更に有し、前記スプリングは、前記バルブプレートの上下方向における変位を吸収することを特徴とする真空用ゲートバルブ。
- 請求項1又は請求項2のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記動力伝達手段は、前記スプリングの付勢力により、前記バルブプレートを前記ケーシングとの間にギャップを保持させて揺動させることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
- 請求項2又は請求項3のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記スプリングは、リング状の皿バネから成り、前記バルブプレートの横方向の全方位における傾きを修正することを特徴とする真空用ゲートバルブ。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記バルブプレートは、閉位置にあるときに前記開口に位置する部分が他の部分よりも薄く形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
- 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記モーター及び動力伝達手段は、前記バルブプレートに着脱可能に連結されていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010179187A JP4654370B1 (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 真空用ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010179187A JP4654370B1 (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 真空用ゲートバルブ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009273432 Division | 2009-12-01 | 2009-12-01 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4654370B1 true JP4654370B1 (ja) | 2011-03-16 |
JP2011117592A JP2011117592A (ja) | 2011-06-16 |
Family
ID=43952756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010179187A Active JP4654370B1 (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 真空用ゲートバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4654370B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6878495B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2021-05-26 | 株式会社アルバック | 油圧駆動システム、仕切りバルブ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5577707A (en) * | 1995-12-18 | 1996-11-26 | Vat Holding Ag | Slide valve |
US6328051B1 (en) * | 2000-06-28 | 2001-12-11 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly |
US7004453B1 (en) * | 2001-04-25 | 2006-02-28 | Mykrolis Corporation | Pendulum valve with a full range of position control |
JP4042507B2 (ja) * | 2002-09-18 | 2008-02-06 | Smc株式会社 | 流量制御機構付きゲートバルブ |
JP5171137B2 (ja) * | 2006-07-18 | 2013-03-27 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | シャトルバルブ |
JP4992152B2 (ja) * | 2007-05-08 | 2012-08-08 | Smc株式会社 | 揺動形ゲートバルブ |
-
2010
- 2010-08-10 JP JP2010179187A patent/JP4654370B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011117592A (ja) | 2011-06-16 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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