JP4650058B2 - Foreign matter removing apparatus and electro-optical device manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去するための異物除去装置および基板保持装置、これらの装置を用いた電気光学装置の製造方法および異物除去方法に関する。   The present invention relates to a foreign matter removing device and a substrate holding device for removing foreign matter adhering to the surface of a substrate of an electro-optic panel, a method for manufacturing an electro-optic device using these devices, and a foreign matter removing method.

電気光学パネルに用いられる基板の表面を洗浄して、付着した異物や汚れを除去する装置としては、特許文献１の基板洗浄装置が知られている。この基板洗浄装置は、基板を洗浄位置に搬送する基板搬送機構と、先端部分が先細にされたクリーニングヘッドとを有している。また、該先端部分を洗浄位置に設定される基板の表面に向け、クリーニングヘッドを基板表面に垂直に移動可能に支持しているヘッド駆動機構と、クリーニングヘッドの後端部に取り付けられ、超音波をクリーニングヘッドの先端部分から発射させる超音波発生装置とを有している。そして、洗浄用の布であるワイピングクロスが、洗浄位置に設定された基板表面とクリーニングヘッドの先端部分との間に配置されるように、ワイピングクロスの両端を支持してワイピングクロスの供給および巻き取りを行う機構を有している。さらに、クリーニングヘッドに対してワイピングクロスの供給側においてワイピングクロスに溶剤を含浸させる溶剤供給装置と、各機構および装置を制御する制御部とを有している。   As a device for cleaning the surface of a substrate used for an electro-optical panel and removing attached foreign matter and dirt, a substrate cleaning device of Patent Document 1 is known. This substrate cleaning apparatus has a substrate transport mechanism for transporting a substrate to a cleaning position, and a cleaning head having a tapered tip portion. In addition, a head drive mechanism that supports the cleaning head so as to be movable perpendicularly to the substrate surface with the tip portion facing the surface of the substrate set at the cleaning position, and an ultrasonic wave attached to the rear end of the cleaning head And an ultrasonic generator that emits from the tip of the cleaning head. Then, supply and winding of the wiping cloth is supported by supporting both ends of the wiping cloth so that the wiping cloth, which is a cleaning cloth, is disposed between the substrate surface set at the cleaning position and the tip portion of the cleaning head. It has a mechanism for taking out. Further, the apparatus includes a solvent supply device that impregnates the wiping cloth with a solvent on the supply side of the wiping cloth with respect to the cleaning head, and a control unit that controls each mechanism and apparatus.

また上記基板洗浄装置を用いた基板洗浄方法は、基板搬送機構により洗浄位置に搬入させた基板の表面に、ワイピングクロスの溶剤を含浸させた部分を、超音波を発生するクリーニングヘッドの先端部分により押圧させた状態で、基板とワイピングクロスとを相互に摺動させ、基板表面を洗浄するものである。   Further, the substrate cleaning method using the substrate cleaning apparatus is configured such that the surface of the substrate carried into the cleaning position by the substrate transport mechanism is impregnated with the solvent of the wiping cloth by the tip of the cleaning head that generates ultrasonic waves. In the pressed state, the substrate and the wiping cloth are slid relative to each other to clean the substrate surface.

さらには、ワイピングクロスへの溶剤の供給は、間欠的または連続的に行われる。そして、溶剤が含浸されていないワイピングクロスの部分と基板表面とを相互に摺動させて乾燥させることも可能としている。   Furthermore, the solvent is supplied to the wiping cloth intermittently or continuously. Further, it is possible to dry the portion of the wiping cloth that is not impregnated with the solvent and the surface of the substrate by sliding each other.

特開平９−２０５０７４号公報JP-A-9-205074

上記基板洗浄装置は、基板の表面に溶剤を付与してブラッシングする洗浄装置や基板を溶剤中に浸漬して超音波をあてる洗浄装置の機能を１つの装置に集約しようと試みたものである。しかしながら、洗浄中に超音波振動により基板が動いてしまい十分に洗浄できない部分が発生する可能性があった。また、洗浄される基板表面を上向きにして上方からワイピングクロスを押圧して相互に摺動させると、除去された異物がワイピングクロスに捕捉された後に、クリーニングヘッドの超音波振動によって落下し、洗浄された基板表面に再付着してしまう惧れがあった。   The above-described substrate cleaning apparatus is an attempt to consolidate the functions of a cleaning apparatus that applies a solvent to the surface of a substrate and performs brushing, and a cleaning apparatus that applies ultrasonic waves by immersing the substrate in a solvent. However, the substrate may move due to ultrasonic vibration during cleaning, and there may be a portion that cannot be sufficiently cleaned. Also, if the substrate surface to be cleaned faces upward and the wiping cloth is pressed from above and slid against each other, the removed foreign matter is captured by the wiping cloth and then dropped by the ultrasonic vibration of the cleaning head. There was a risk of reattaching to the surface of the substrate.

また、電気光学パネルに駆動用の中継基板等が接続された状態で、電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を上記基板洗浄装置でクリーニングすることは非常に困難である。実際には中継基板等を避けるようにクリーニングすると共に、電気光学パネルを保持して必要なクリーニング範囲でワイピングクロスと電気光学パネルの基板の表面とを相互に摺動させる工夫が必要である。   Further, it is very difficult to clean the foreign matter adhering to the surface of the substrate of the electro-optical panel with the substrate cleaning apparatus in a state where a driving relay substrate or the like is connected to the electro-optical panel. In practice, it is necessary to perform cleaning so as to avoid the relay substrate and the like, and hold the electro-optical panel and slide the wiping cloth and the surface of the electro-optical panel substrate relative to each other within a necessary cleaning range.

本発明は、上記課題の少なくとも１つを解決するためになされたものであり、基板の表面に付着した異物を隈なく除去すると共に、ワイピングクロスからの発塵や除去された異物の再付着を低減した異物除去装置および基板保持装置、これらの装置を用いた電気光学装置の製造方法および異物除去方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve at least one of the above-described problems, and removes all foreign matter adhering to the surface of the substrate, and generates dust from the wiping cloth or reattaches the removed foreign matter. It is an object of the present invention to provide a reduced foreign matter removing device and a substrate holding device, an electro-optical device manufacturing method using these devices, and a foreign matter removing method.

本発明の異物除去装置は、中継基板が電気的に接続された電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去する異物除去装置であって、基板の表面を下方に向けて保持するパネル保持部と、パネル保持部に保持された基板の表面に、ワイピングクロスが対向するように配置されると共に、ワイピングクロスの両端を支持して供給を行うクロス供給手段と、基板の表面との間にワイピングクロスを介して位置すると共に、ワイピングクロスの幅方向に渡ってワイピングクロスを下面から基板の表面側に向かって支持する押圧部と、パネル保持部と押圧部で支持されたワイピングクロスとのうち、少なくとも一方を基板の表面を拭き取り可能な拭き取り方向に移動させる移動手段と、基板の表面にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、移動手段を制御して基板とワイピングクロスとを相対的に拭き取り方向に移動させて、ワイピングクロスで基板の表面を拭う拭き取り動作を行わせる制御部とを備え、パネル保持部は、中継基板を把持して電気光学パネルを支えると共に、基板の表面とは反対側の表面の一部を支持して電気光学パネルを保持することを特徴とする。
 The foreign matter removing device of the present invention is a foreign matter removing device that removes foreign matter adhering to the surface of the electro-optical panel substrate to which the relay substrate is electrically connected, and is a panel holding device that holds the surface of the substrate downward. Between the substrate surface and the surface of the substrate, and the surface of the substrate held by the panel holding unit so that the wiping cloth is opposed to each other and supporting the both ends of the wiping cloth. A pressing part that is located via the wiping cloth and supports the wiping cloth from the lower surface toward the front surface side of the substrate across the width direction of the wiping cloth; and a panel holding part and a wiping cloth supported by the pressing part A moving means for moving at least one of the substrates in a wiping direction capable of wiping the surface of the substrate, and a wiping cloth pressed against the surface of the substrate with the tip of the pressing portion A control unit that controls the moving means to move the substrate and the wiping cloth relative to each other in the wiping direction, and performs a wiping operation to wipe the surface of the substrate with the wiping cloth. The electro-optical panel is held by holding the electro-optical panel and supporting a part of the surface opposite to the surface of the substrate to hold the electro-optical panel.

この構成によれば、パネル保持部は、中継基板を把持して電気光学パネルを支えると共に、基板の表面とは反対側の表面の一部を支持して電気光学パネルを保持する。したがって、基板の表面側には、基板を保持する部分がはみ出していないので、異物を除去しようとする基板の表面にワイピングクロスを押圧部の先端部で押し当てて隈なく拭うことができる。ゆえに、電気光学パネルが中継基板を有していても、パネル保持部が拭き取り動作において、邪魔にならずに基板に付着した異物を除去することができる。また、基板の表面は下向きにワイピングクロスと対向するように配置されるため、異物を除去しようとする基板の表面が上向きになっている場合に比べて、拭き取り動作によって発生したワイピングクロスからの発塵や除去された異物がワイピングクロスから落下して、基板の表面に再付着することを低減することができる。すなわち電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を隈なく除去すると共に、ワイピングクロスからの発塵や除去された異物の再付着を低減した異物除去装置を提供することができる。パネル保持部が基板の表面とは反対側の表面の一部を支持する構成としては、吸着パッドを用いた真空吸着、あるいは中継基板を把持したときに、電気光学パネルの姿勢がほぼ一定した状態に把持できるならば、把持した部分を支点とし、作用点として機能する支持体でもよい。   According to this configuration, the panel holding unit holds the electro-optical panel while holding the relay substrate to support the electro-optical panel and supporting a part of the surface opposite to the surface of the substrate. Therefore, since the portion holding the substrate does not protrude from the surface side of the substrate, the wiping cloth can be pressed against the surface of the substrate from which foreign substances are to be removed with the tip of the pressing portion without wiping. Therefore, even if the electro-optical panel has the relay substrate, the panel holding unit can remove the foreign matter attached to the substrate without obstructing the wiping operation. In addition, since the surface of the substrate is disposed so as to face the wiping cloth downward, the generation from the wiping cloth generated by the wiping operation is greater than when the surface of the substrate from which foreign matter is to be removed is upward. It can be reduced that dust or removed foreign matter falls from the wiping cloth and reattaches to the surface of the substrate. In other words, it is possible to provide a foreign matter removing device that removes all foreign matter adhering to the surface of the substrate of the electro-optical panel and reduces dust generation from the wiping cloth and reattachment of the removed foreign matter. The configuration in which the panel holder supports a part of the surface opposite to the surface of the substrate is a state in which the posture of the electro-optical panel is almost constant when vacuum suction using a suction pad or when holding a relay substrate If it can be gripped, a support that functions as a point of action with the gripped portion as a fulcrum may be used.

上記パネル保持部は、電気光学パネルの一辺側に接続された中継基板を両面から把持する把持部と、基板の表面とは反対側の表面における一辺側と対向する辺側の少なくとも一部に当接して支持するパネル支持部とを有し、把持部とパネル支持部とによって電気光学パネルを保持することが好ましい。   The panel holding unit is applied to at least a part of a gripping unit that grips the relay substrate connected to one side of the electro-optic panel from both sides, and at least a part of the side facing the one side of the surface opposite to the surface of the substrate. Preferably, the electro-optical panel is held by the grip portion and the panel support portion.

この構成によれば、把持部により中継基板が両面から把持され、パネル支持部が基板の表面とは反対側の表面における中継基板が接続された一辺側と対向する辺側の少なくとも一部に当接して、電気光学パネルが保持される。したがって、パネル保持部は、電気光学パネルの中継基板を把持して落下させることなく保持すると共に、中継基板が把持された部位とパネル支持部が当接した部位との少なくとも２点で電気光学パネルを支え、異物を除去しようとする表面に触れることなく、該表面を下方に向けて保持することができる。   According to this configuration, the relay substrate is gripped from both sides by the gripping portion, and the panel support portion contacts at least a part of the side opposite to the one side to which the relay substrate is connected on the surface opposite to the surface of the substrate. In contact therewith, the electro-optical panel is held. Therefore, the panel holding unit holds the relay substrate of the electro-optic panel without dropping it, and at least two points of the portion where the relay substrate is gripped and the portion where the panel support portion abuts. The surface can be held downward without touching the surface from which foreign matter is to be removed.

前記移動手段は、前記把持部と、前記パネル支持部とを同時に前記拭き取り方向に移動させるとしてもよい。The moving means may simultaneously move the grip portion and the panel support portion in the wiping direction.
この構成によれば、電気光学パネルの基板の表面にワイピングクロスが押圧された状態で、移動手段により電気光学パネルを拭き取り方向に移動させて、基板の表面に付着した異物を除去することができる。また、電気光学パネルを保持するパネル保持部に対してワイピングクロスおよび押圧部を移動させる構成とする場合に比べて、移動手段を小型化可能である。According to this configuration, the foreign substance attached to the surface of the substrate can be removed by moving the electro-optical panel in the wiping direction by the moving means while the wiping cloth is pressed against the surface of the substrate of the electro-optical panel. . Further, the moving means can be reduced in size as compared with the case where the wiping cloth and the pressing portion are moved with respect to the panel holding portion that holds the electro-optical panel.

これらの本発明の異物除去装置において、押圧部に対してワイピングクロスの供給側に位置して、ワイピングクロスに溶剤を塗布する溶剤塗布部をさらに備え、制御部は、溶剤塗布部からワイピングクロスの供給方向における押圧部の先端部側を含む手前の部分のワイピングクロスに溶剤を吐出して含浸させることが好ましい。In these foreign matter removing devices of the present invention, the apparatus further comprises a solvent application unit that is located on the supply side of the wiping cloth with respect to the pressing unit, and that applies a solvent to the wiping cloth, and the control unit It is preferable to impregnate the wiping cloth in the front portion including the distal end side of the pressing portion in the supply direction by discharging a solvent.
この構成によれば、ワイピングクロスの供給方向における押圧部の先端部側を含む手前の部分のワイピングクロスに溶剤を塗布する溶剤塗布部をさらに備えているため、拭き取り動作時に溶剤が塗布されたワイピングクロスを基板の表面に押圧部の先端部で押し当てて、異物や溶剤に可溶な汚れを除去することができる。すなわち、異物と汚れの除去を同時に行うことができ、より効率的な拭き取りを行うことができる。According to this configuration, since the wiping cloth is further provided with the solvent application unit that applies the solvent to the wiping cloth in the front portion including the tip side of the pressing part in the supply direction of the wiping cloth, the wiping in which the solvent is applied during the wiping operation The cloth can be pressed against the surface of the substrate with the tip of the pressing portion to remove foreign matters and solvent-soluble dirt. That is, foreign matter and dirt can be removed at the same time, and more efficient wiping can be performed.

また、上記溶剤塗布部は、溶剤と空気とを混合した状態で、ノズルからワイピングクロスの表面に吐出することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said solvent application part discharges on the surface of a wiping cloth from the nozzle in the state which mixed the solvent and air.

この構成によれば、溶剤単独で吐出する場合に比べて、溶剤と空気とを混合した状態でワイピングクロスに吐出されるため、溶剤は、噴霧された状態となり、より広い範囲に渡って溶剤をワイピングクロスの表面に含浸させることができる。   According to this configuration, since the solvent and air are mixed and discharged to the wiping cloth as compared with the case where the solvent is discharged alone, the solvent is in a sprayed state, and the solvent is removed over a wider range. The surface of the wiping cloth can be impregnated.

上記制御部は、基板の表面の一方の端部にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、移動手段を制御して基板とワイピングクロスとを相対的に第１の拭き取り方向に移動させて、押圧部の先端部が相対的に、基板の表面の一方の端部とは反対側の他方の端部を通過する第１の拭き取り動作を少なくとも１回行わせた後に、基板の表面の他方の端部にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、移動手段を制御して基板とワイピングクロスとを相対的に第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に移動させて、押圧部の先端部が相対的に一方の端部を通過する第２の拭き取り動作を少なくとも１回行わせることが好ましい。   The control unit moves the substrate and the wiping cloth relative to each other in the first wiping direction by controlling the moving means in a state where the wiping cloth is pressed to one end of the surface of the substrate by the tip of the pressing unit. The surface of the substrate after the first wiping operation in which the tip of the pressing portion relatively passes the other end opposite to the one end of the surface of the substrate is performed at least once. In the state where the wiping cloth is pressed to the other end of the pressing portion by the tip of the pressing portion, the moving means is controlled to relatively move the substrate and the wiping cloth in the second wiping direction opposite to the first wiping direction. It is preferable that the second wiping operation is performed at least once so that the distal end portion of the pressing portion relatively passes through one end portion.

この構成によれば、第１の拭き取り方向に拭き取りを行う第１の拭き取り動作において、押圧部の先端部が触れた基板の表面の一方の端部に拭き取りができない部分が生じても、第２の拭き取り動作では、第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に該一方の端部を通過するように拭き取りを行う。したがって、基板の表面に付着した異物や汚れをより隈なく除去することができる。また、基板の表面の一方の端部にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、第１および第２の拭き取り動作を行う。したがって、ワイピングクロスの表面に基板のエッジ部が押圧されるように侵入しないので、基板のエッジ部でワイピングクロスが損傷することによる発塵を低減することができる。   According to this configuration, even in the first wiping operation in which the wiping is performed in the first wiping direction, even if a portion that cannot be wiped occurs at one end of the surface of the substrate touched by the tip of the pressing portion, the second wiping operation occurs. In the wiping operation, the wiping is performed so as to pass through the one end portion in the second wiping direction opposite to the first wiping direction. Therefore, foreign matters and dirt attached to the surface of the substrate can be removed more thoroughly. Moreover, the 1st and 2nd wiping operation | movement is performed in the state which pressed the wiping cloth to the one edge part of the surface of the board | substrate with the front-end | tip part of the press part. Accordingly, since the edge portion of the substrate does not enter the surface of the wiping cloth so as to be pressed, dust generation due to damage of the wiping cloth at the edge portion of the substrate can be reduced.

また、上記制御部は、拭き取り動作１回ごとに、押圧部の先端部で押圧されるワイピングクロスの部分を更新するようにクロス供給手段を制御することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said control part controls a cloth supply means so that the part of the wiping cloth pressed by the front-end | tip part of a press part may be updated for every wiping operation | movement.

この構成によれば、制御部は、拭き取り動作１回ごとに、押圧部の先端部で押圧されるワイピングクロスの部分を更新するようにクロス供給手段を制御するため、基板の表面は、常にワイピングクロスの未使用部分が押圧されて拭き取り動作が行われる。したがって、除去された異物が再付着するような不具合をより低減することができる。   According to this configuration, since the control unit controls the cloth supply means so as to update the portion of the wiping cloth that is pressed by the tip portion of the pressing unit for each wiping operation, the surface of the substrate is always wiped. The unused portion of the cloth is pressed and the wiping operation is performed. Therefore, it is possible to further reduce a problem that the removed foreign matter is reattached.

本発明の電気光学装置の製造方法は、中継基板が電気的に接続された電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、上記発明の異物除去装置を用いて電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去する工程と、電気光学パネルの両方の表面のうち少なくとも一方の表面に、透明基板を装着する工程と、透明基板が装着された電気光学パネルを筐体に収容する組立工程と、を備えたことを特徴する。
The electro-optical device manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing an electro-optical device including an electro-optical panel to which a relay substrate is electrically connected, and the electro-optical panel substrate using the foreign matter removing device of the above invention. Removing the foreign matter adhering to the surface of the substrate, mounting the transparent substrate on at least one surface of both surfaces of the electro-optical panel, and housing the electro-optical panel mounted with the transparent substrate in the housing And an assembly process.

この方法によれば、異物を除去する工程では、電気光学パネルの基板の表面にワイピングクロスからの発塵や除去された異物が再付着することが低減され、基板の表面を隈なく拭って付着した異物を除去する。したがって、透明基板を装着する工程では、基板の表面に異物がほぼ残留することなく、電気光学パネルの少なくとも一方の表面に透明基板を装着することができる。すなわち、このような電気光学パネルを組立工程で筐体に収容すれば、異物の付着不良を低減して歩留まりよく透明基板が装着された電気光学装置を製造することができる。   According to this method, in the step of removing the foreign matter, the generation of dust from the wiping cloth and the reattachment of the removed foreign matter is reduced on the surface of the substrate of the electro-optical panel, and the surface of the substrate is thoroughly wiped and attached. Remove foreign matter. Therefore, in the step of mounting the transparent substrate, the transparent substrate can be mounted on at least one surface of the electro-optical panel without almost any foreign matter remaining on the surface of the substrate. That is, if such an electro-optical panel is accommodated in the housing in the assembly process, it is possible to manufacture an electro-optical device on which a transparent substrate is mounted with a high yield by reducing the adhesion failure of foreign matter.

本発明の実施形態は、投射型表示装置（プロジェクタ）に用いられる電気光学装置としての液晶表示装置（液晶ライトバルブ）において、液晶表示パネルの基板の表面に付着した異物や汚れを除去する異物除去装置、異物除去方法、並びにこの異物除去装置を用いた電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法を例に説明する。   An embodiment of the present invention is a liquid crystal display device (liquid crystal light valve) as an electro-optical device used in a projection display device (projector), and removes foreign matter and dirt adhered to the surface of the substrate of the liquid crystal display panel. An apparatus, a foreign matter removing method, and a manufacturing method of a liquid crystal display device as an electro-optical device using the foreign matter removing device will be described as examples.

（電気光学装置としての液晶表示装置）
まず、液晶表示装置および液晶表示パネルについて説明する。図１は、液晶表示装置を示す概略図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線で切った断面図である。 (Liquid crystal display device as electro-optical device)
First, a liquid crystal display device and a liquid crystal display panel will be described. 1A and 1B are schematic views showing a liquid crystal display device. FIG. 1A is a perspective view, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.

図１（ａ）に示すように液晶表示装置２０は、中継基板としてのフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）７を有する液晶表示パネル１と、液晶表示パネル１を収容する筐体としてのケース２３と、液晶表示パネル１を覆う開口部２５ａを有する金属枠２５とを備えている。液晶表示パネル１は、ＦＰＣ７がケース２３の切り欠き部２３ｃから突出するように収容されている。また、金属枠２５は、アーム部２５ｂに設けられた開口部２５ｃとケース２３の側面に設けられたフック部２３ａとが係合することによってケース２３に取り付けられている。   As shown in FIG. 1A, a liquid crystal display device 20 includes a liquid crystal display panel 1 having a flexible printed circuit board (FPC) 7 as a relay substrate, a case 23 as a housing for housing the liquid crystal display panel 1, and a liquid crystal display. And a metal frame 25 having an opening 25 a that covers the display panel 1. The liquid crystal display panel 1 is accommodated so that the FPC 7 protrudes from the notch 23 c of the case 23. Further, the metal frame 25 is attached to the case 23 by engaging an opening 25 c provided in the arm portion 25 b with a hook portion 23 a provided on the side surface of the case 23.

図１（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１は、外部から光が入射する側の対向基板３の表面と入射した光が出射する側の素子基板２の表面とに、透明基板としての防塵ガラス２１，２２を備えている。そして、防塵ガラス２２の光の入射面２２ａがケース２３の額縁部２３ｂによって支持され、ケース２３の内壁面２３ｄと液晶表示パネル１の外周側面１ａとの隙間に接着剤２４が充填されてケース２３と液晶表示パネル１とが接着固定されている。   As shown in FIG. 1B, the liquid crystal display panel 1 has a transparent substrate on the surface of the counter substrate 3 on the side where light is incident from the outside and on the surface of the element substrate 2 on the side where incident light is emitted. Dust-proof glasses 21 and 22 are provided. The light incident surface 22 a of the dust-proof glass 22 is supported by the frame portion 23 b of the case 23, and the gap between the inner wall surface 23 d of the case 23 and the outer peripheral side surface 1 a of the liquid crystal display panel 1 is filled with the adhesive 24. And the liquid crystal display panel 1 are bonded and fixed.

液晶表示パネル１の光の入射側と出射側の表面に設けられる防塵ガラス２１，２２は、液晶表示パネル１の表面にゴミや異物が付着することを防止し、投射型表示装置に液晶表示装置２０が取り付けられて、投影されたときに付着したゴミや異物が目立たないようにするためのものである。   The dust-proof glasses 21 and 22 provided on the light incident side and light emitting side surfaces of the liquid crystal display panel 1 prevent dust and foreign matter from adhering to the surface of the liquid crystal display panel 1, and the liquid crystal display device is used in the projection display device. 20 is attached so that dust and foreign matter adhering when projected are not conspicuous.

（電気光学パネルとしての液晶表示パネル）
図２は、液晶表示パネルを示す概略図であり、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図である。液晶表示パネル１は、高温ポリシリコンタイプのＴＦＴ（Thin Film Transister）アクティブマトリクス型の液晶表示パネルである。 (Liquid crystal display panel as an electro-optical panel)
2A and 2B are schematic views showing a liquid crystal display panel, where FIG. 2A is a front view and FIG. 2B is a side view. The liquid crystal display panel 1 is a high temperature polysilicon type TFT (Thin Film Transistor) active matrix type liquid crystal display panel.

図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１は、ＴＦＴ素子とＴＦＴ素子の一端子に接続された画素電極とを有する素子基板２と、対向電極を有する対向基板３と、素子基板２と対向基板３とに挟持され、シール材によって封止された液晶とを有している。また、素子基板２には、ＴＦＴ素子のゲート電極に接続された配線としての走査線と、同じくソース電極に接続された配線としての信号線とを有している。各配線は、素子基板２の周縁部に引き出されて、端子部２ｂに配設されたドライバＩＣ４の出力端子と、左右の周縁部に配設されたドライバＩＣ５，６の出力端子とにそれぞれ接続されている。さらに各ドライバＩＣ４，５，６の入力端子は、図示省略の配線によって素子基板２の端子部２ｂに導かれ、中継基板であるＦＰＣ７の端子部７ａと電気的に接続されている。ＦＰＣ７の他方の端子部７ｂは、外部の駆動回路（図示せず）に接続される。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the liquid crystal display panel 1 includes an element substrate 2 having a TFT element and a pixel electrode connected to one terminal of the TFT element, and a counter substrate 3 having a counter electrode. And a liquid crystal sandwiched between the element substrate 2 and the counter substrate 3 and sealed with a sealing material. The element substrate 2 has a scanning line as a wiring connected to the gate electrode of the TFT element and a signal line as a wiring connected to the source electrode. Each wiring is drawn out to the peripheral portion of the element substrate 2 and connected to the output terminal of the driver IC 4 disposed on the terminal portion 2b and the output terminals of the driver ICs 5 and 6 disposed on the left and right peripheral portions. Has been. Further, the input terminals of the driver ICs 4, 5, 6 are led to the terminal portion 2 b of the element substrate 2 by wiring not shown, and are electrically connected to the terminal portion 7 a of the FPC 7 that is a relay substrate. The other terminal portion 7b of the FPC 7 is connected to an external drive circuit (not shown).

このような液晶表示パネル１は、駆動回路からの入力信号に基づいて各ドライバＩＣ４，５，６が駆動用の電気信号をＴＦＴ素子に送り、ＴＦＴ素子がスイッチングされる。これにより液晶表示パネル１の表示エリア８内にマトリクス状に配置された画素電極（素子基板２側）と対向電極（対向基板３側）との間に電界が加わることによって、各基板２，３の表面に配向した液晶分子の方向が電界方向に向くことにより、偏向された入射光を光変調して出射することができる。尚、本実施形態において、ＴＦＴ素子、画素電極、対向電極、配線等の配置および液晶等は、公知のものを用いており、図１および図２では図示を省略した。   In such a liquid crystal display panel 1, the driver ICs 4, 5, 6 send driving electric signals to the TFT elements based on the input signals from the drive circuit, and the TFT elements are switched. As a result, an electric field is applied between the pixel electrode (element substrate 2 side) and the counter electrode (opposite substrate 3 side) arranged in a matrix in the display area 8 of the liquid crystal display panel 1, whereby each substrate 2, 3 When the direction of the liquid crystal molecules aligned on the surface of the substrate is directed to the electric field direction, the deflected incident light can be modulated and emitted. In the present embodiment, the arrangement of TFT elements, pixel electrodes, counter electrodes, wirings, etc., and liquid crystal are used as well-known ones and are not shown in FIGS.

（異物除去装置）
次に本実施形態の異物除去装置について、図３〜図７に基づいて説明する。図３は、異物除去装置の要部構造を示す模式図である。尚、図３は、対向基板３の表面３ａに付着した異物を除去するように異物除去装置１００に液晶表示パネル１をセットした状態を示している。 (Foreign substance removal device)
Next, the foreign substance removal apparatus of this embodiment is demonstrated based on FIGS. FIG. 3 is a schematic diagram showing a main part structure of the foreign matter removing apparatus. FIG. 3 shows a state in which the liquid crystal display panel 1 is set in the foreign matter removing apparatus 100 so as to remove the foreign matter attached to the surface 3a of the counter substrate 3.

図３に示すように、本実施形態の異物除去装置１００は、液晶表示パネル１の表面３ａを下方に向けて保持し、液晶表示パネル１を所定の位置に搬送する基板保持装置１０１を備えている。また、所定の位置に配置された液晶表示パネル１の表面３ａに、異物を拭き取る布であるワイピングクロス１０が対向するように配置されると共に、ワイピングクロス１０の両端を支持してワイピングクロス１０の供給および巻き取りを行うクロス供給手段としてのクロス供給機構１１１を備えている。また、液晶表示パネル１の表面３ａとの間にワイピングクロス１０を介して位置すると共に、ワイピングクロス１０の幅方向に渡ってワイピングクロス１０を下面から基板としての対向基板３の表面３ａ側に向かって支持する押圧部１１５と、クロス供給機構１１１と押圧部１１５とを一体として移動させるクロス部搬送機構１４１とを備えている。また、液晶表示パネル１の表面３ａにワイピングクロス１０を押圧部１１５の先端部１１５ａで押圧した状態で、液晶表示パネル１を拭き取り方向に移動させて、ワイピングクロス１０で液晶表示パネル１の表面３ａを拭う拭き取り動作を行わせる制御部１３１（図８参照）とを備えている。さらに押圧部１１５に対してワイピングクロス１０の供給側に位置して、ワイピングクロス１０に溶剤を塗布する溶剤塗布部としてのディスペンサ１２４を備えている。   As shown in FIG. 3, the foreign matter removing apparatus 100 of the present embodiment includes a substrate holding device 101 that holds the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 facing downward and transports the liquid crystal display panel 1 to a predetermined position. Yes. Further, the wiping cloth 10, which is a cloth for wiping off foreign matters, is arranged to face the surface 3 a of the liquid crystal display panel 1 arranged at a predetermined position, and both ends of the wiping cloth 10 are supported to support the wiping cloth 10. A cross supply mechanism 111 is provided as cross supply means for supplying and winding. In addition, the wiping cloth 10 is positioned between the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 and the wiping cloth 10 across the width direction of the wiping cloth 10 from the lower surface toward the surface 3a of the counter substrate 3 as a substrate. And a cross portion transport mechanism 141 that moves the cross supply mechanism 111 and the press portion 115 together. Further, the liquid crystal display panel 1 is moved in the wiping direction in a state where the wiping cloth 10 is pressed against the surface 3 a of the liquid crystal display panel 1 by the tip 115 a of the pressing portion 115, and the surface 3 a of the liquid crystal display panel 1 is moved by the wiping cloth 10. The control part 131 (refer FIG. 8) which performs the wiping off operation which wipes off is provided. Further, a dispenser 124 is provided as a solvent application unit that applies a solvent to the wiping cloth 10 and is located on the supply side of the wiping cloth 10 with respect to the pressing part 115.

図４は、基板保持装置を示す模式図である。詳しくは、図３のＸ方向から見た要部模式図である。基板保持装置１０１は、中継基板としてのＦＰＣ７を両面から把持して電気光学パネルとしての液晶表示パネル１を支えると共に、液晶表示パネル１の異物を除去する表面とは反対側の表面の一部を支持して液晶表示パネル１を支えるパネル保持部１０１ａを備えている。基板保持装置１０１は、パネル保持部１０１ａを所望の方向に移動させる移動手段としてのスライド機構１１０を有している。スライド機構１１０は、シリンダ固定フレーム１０６をＺ方向に上下動させる上下駆動用シリンダ１０９と、上下駆動用シリンダ１０９が配設されたスライド部１１０ｄと、スライド部１１０ｄをレール部１１０ｃに沿ってＹ方向に移動させるＹ軸駆動用モータ１１０ｂとを備えている。また、レール部１１０ｃが配置されたスライド部１１０ｅと、スライド部１１０ｅをレール部１１０ｆに沿ってＸ方向に移動させるＸ軸駆動用モータ１１０ａとを備えている。   FIG. 4 is a schematic diagram showing the substrate holding device. Specifically, it is a schematic diagram of a main part viewed from the X direction of FIG. The substrate holding device 101 holds the FPC 7 serving as a relay substrate from both sides to support the liquid crystal display panel 1 serving as an electro-optical panel, and a part of the surface of the liquid crystal display panel 1 opposite to the surface from which foreign matter is removed. A panel holding portion 101a that supports and supports the liquid crystal display panel 1 is provided. The substrate holding device 101 includes a slide mechanism 110 as a moving unit that moves the panel holding unit 101a in a desired direction. The slide mechanism 110 includes a vertical drive cylinder 109 that moves the cylinder fixed frame 106 up and down in the Z direction, a slide portion 110d on which the vertical drive cylinder 109 is disposed, and the slide portion 110d along the rail portion 110c in the Y direction. And a Y-axis drive motor 110b to be moved. In addition, a slide part 110e on which the rail part 110c is disposed and an X-axis drive motor 110a that moves the slide part 110e in the X direction along the rail part 110f are provided.

図５は、パネル保持部を示す概略図であり、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は平面図である。同図（ａ）に示すように、パネル保持部１０１ａは、液晶表示パネル１の端子部２ｂからはみ出たＦＰＣ７をＺ方向において上下に把持する把持部としての上側把持部１０２と下側把持部１０３と、パネル保持部駆動用シリンダ１０７とを有している。上側把持部１０２は、シリンダ固定フレーム１０６にバネ１０８を介して取付られている。パネル保持部駆動用シリンダ１０７は、シリンダ固定フレーム１０６の上部に配置され、ロッド１０７ａは、コイル状のバネ１０８の内側と上側把持部１０２の孔１０２ｃとを貫通して、ロッド先端部１０７ｂが下側把持部１０３に固定されている。   FIG. 5 is a schematic view showing the panel holding portion, where FIG. 5 (a) is a front view and FIG. 5 (b) is a plan view. As shown in FIG. 5A, the panel holding unit 101a includes an upper holding unit 102 and a lower holding unit 103 as holding units for holding the FPC 7 protruding from the terminal unit 2b of the liquid crystal display panel 1 up and down in the Z direction. And a panel holding portion driving cylinder 107. The upper grip 102 is attached to the cylinder fixing frame 106 via a spring 108. The panel holding portion driving cylinder 107 is disposed on the upper portion of the cylinder fixing frame 106, and the rod 107a passes through the inside of the coiled spring 108 and the hole 102c of the upper gripping portion 102, and the rod tip portion 107b is lowered. It is fixed to the side grip portion 103.

同図（ｂ）に示すように、上側把持部１０２は、平面視でコの字型の形状となっており、アーム部１０５とアーム部１０５の先端側に設けられたパネル支持部１０４を有している。   As shown in FIG. 5B, the upper gripping portion 102 has a U-shape when viewed from above, and has an arm portion 105 and a panel support portion 104 provided on the distal end side of the arm portion 105. is doing.

パネル保持部１０１ａは、液晶表示パネル１の端子部２ｂからはみ出したＦＰＣ７を上側把持部１０２の下面１０２ｂと下側把持部１０３の上面１０３ａとで挟むと共に、上側把持部１０２の側面１０２ａが端子部２ｂの側端面２ｃに当接するようにＦＰＣ７を把持する。また、同時にパネル支持部１０４の下面１０４ａが、液晶表示パネル１の表面３ａとは反対側の表面２ａの周縁部（ＦＰＣ７が接続された液晶表示パネル１の一辺部としての端子部と対向する辺部）に当接して支持する。これにより、液晶表示パネル１の表面３ａがＺ方向において下向きとなると共に、Ｘ方向に対して略平行な状態に保持される。したがって、異物を除去しようとする表面３ａに当接して保持するような機構となっていないので、表面３ａを隈なくワイピングクロス１０で拭き取りすることが可能な構造となっている。   The panel holding portion 101a sandwiches the FPC 7 protruding from the terminal portion 2b of the liquid crystal display panel 1 between the lower surface 102b of the upper holding portion 102 and the upper surface 103a of the lower holding portion 103, and the side surface 102a of the upper holding portion 102 is the terminal portion. The FPC 7 is gripped so as to contact the side end surface 2c of 2b. At the same time, the lower surface 104a of the panel support 104 is opposite to the peripheral portion of the surface 2a opposite to the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 (the side facing the terminal portion as one side of the liquid crystal display panel 1 to which the FPC 7 is connected). Part) and support. As a result, the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 faces downward in the Z direction and is held substantially parallel to the X direction. Therefore, since the mechanism is not configured to abut against and hold the surface 3a from which foreign matter is to be removed, the structure allows the surface 3a to be wiped with the wiping cloth 10 without any damage.

また、液晶表示パネル１の表面２ａに付着した異物を除去する場合、パネル保持部１０１ａは、表面２ａがＺ方向において下向きとなるようにＦＰＣ７を上側把持部１０２の下面１０２ｂと下側把持部１０３の上面１０３ａとで挟むと共に、下側把持部１０３の側面１０３ｃが端子部２ｂの側端面２ｃに当接するようにＦＰＣ７を把持する。また、同時にパネル支持部１０４の下面１０４ａが表面２ａとは反対側の表面３ａの周縁部に当接して支持する。これにより、液晶表示パネル１の表面２ａがＺ方向において下向きとなると共に、Ｘ方向に対して略平行な状態に保持される。ゆえに、パネル保持部１０１ａが異物を除去しようとする表面２ａに当接して保持しないので、表面２ａを隈なくワイピングクロス１０で拭き取りすることが可能である。   Further, when removing the foreign matter adhering to the surface 2a of the liquid crystal display panel 1, the panel holding unit 101a causes the FPC 7 to face the lower surface 102b of the upper gripping portion 102 and the lower gripping portion 103 so that the surface 2a faces downward in the Z direction. The FPC 7 is gripped so that the side surface 103c of the lower gripping portion 103 is in contact with the side end surface 2c of the terminal portion 2b. At the same time, the lower surface 104a of the panel support 104 is in contact with and supported by the peripheral edge of the surface 3a opposite to the surface 2a. As a result, the surface 2a of the liquid crystal display panel 1 faces downward in the Z direction and is held in a state substantially parallel to the X direction. Therefore, since the panel holding part 101a does not contact and hold the surface 2a from which foreign matter is to be removed, it is possible to wipe the surface 2a with the wiping cloth 10 without any defects.

同図（ｂ）に示すように、平面視では、パネル保持部１０１ａのコの字の内側に液晶表示パネル１の表示エリア８が位置しており、表示エリア８がパネル保持部１０１ａのいずれの部位とも接触しない構造となっている。すなわち、パネル保持部１０１ａの各部位に異物等が付着しても、少なくとも表示エリア８内に異物等が転着することを防止する構造となっている。   As shown in FIG. 4B, in plan view, the display area 8 of the liquid crystal display panel 1 is located inside the U-shape of the panel holding portion 101a, and the display area 8 is any of the panel holding portions 101a. It has a structure that does not contact any part. That is, even if foreign matter or the like adheres to each part of the panel holding portion 101a, the foreign matter or the like is prevented from being transferred to at least the display area 8.

図３に示すように、クロス供給機構１１１は、帯状のワイピングクロス１０の両端を支持してワイピングクロス１０の供給（巻き出し）を行うリール状の巻き出し部１１３と、同じくリール状の巻き取り部１１４とを有している。ワイピングクロス１０は、巻き出し部１１３から送り出され、回転自在な状態で取り付けられた各クランプローラ１１６〜１２０を経由して巻き取り部１１４に巻き取られる。押圧部１１５は、クランプローラ１１６とクランプローラ１１７との間に位置して取り付けられ、ワイピングクロス１０をＺ方向において下面から上方向に支持している。クランプローラ１１７には、Ｘ方向にクランプローラ１１７をワイピングクロス１０に押し付けてワイピングクロス１０が緩まないようにテンションを与えるクランプ用シリンダ１２３が設けられている。巻き出し部１１３には、巻き出し用モータ１２１が取り付けられ、巻き取り部１１４には、巻き取り用モータ１２２が取り付けられている。各モータ１２１，１２２は、例えばサーボモータである。   As shown in FIG. 3, the cloth supply mechanism 111 includes a reel-shaped unwinding portion 113 that supports both ends of the belt-shaped wiping cloth 10 and supplies (unwinds) the wiping cloth 10, and a reel-shaped winding device. Part 114. The wiping cloth 10 is fed from the unwinding unit 113 and is wound around the winding unit 114 via the clamp rollers 116 to 120 attached in a rotatable state. The pressing portion 115 is attached to be positioned between the clamp roller 116 and the clamp roller 117, and supports the wiping cloth 10 upward from the lower surface in the Z direction. The clamp roller 117 is provided with a clamp cylinder 123 that applies tension to the wiping cloth 10 so as not to loosen by pressing the clamp roller 117 against the wiping cloth 10 in the X direction. An unwinding motor 121 is attached to the unwinding portion 113, and a unwinding motor 122 is attached to the winding portion 114. Each motor 121, 122 is, for example, a servo motor.

巻き出し部１１３、巻き取り部１１４、押圧部１１５、各クランプローラ１１６〜１２０、クランプ用シリンダ１２３、各モータ１２１，１２２の機構部品は、すべて支持プレート１１２に取り付けられている。支持プレート１１２は、異物除去装置１００の骨組みの一部であるアングル１４０に設けられたクロス部搬送機構１４１に取り付けられている。クロス部搬送機構１４１は、アングル１４０上に設けられたレール１４３と、レール１４３上を移動可能な状態に設けられたスライド部１４２とを備えている。支持プレート１１２は、スライド部１４２に取り付けられて、Ｘ方向に移動可能な状態となっている。   The mechanical parts of the unwinding unit 113, the winding unit 114, the pressing unit 115, the clamp rollers 116 to 120, the clamping cylinder 123, and the motors 121 and 122 are all attached to the support plate 112. The support plate 112 is attached to a cross portion transport mechanism 141 provided at an angle 140 that is a part of the framework of the foreign matter removing apparatus 100. The cross portion transport mechanism 141 includes a rail 143 provided on the angle 140 and a slide portion 142 provided so as to be movable on the rail 143. The support plate 112 is attached to the slide portion 142 and is movable in the X direction.

また、クロス供給機構１１１は、開口した部分から押圧部１１５が突出する吸気口１２６ｂと排気装置に配管によって接続される排気口１２６ａとを有する排気フード１２６によって覆われている。   The cross supply mechanism 111 is covered with an exhaust hood 126 having an intake port 126b from which the pressing portion 115 protrudes from the opened portion and an exhaust port 126a connected to the exhaust device by piping.

ワイピングクロス１０は、頻繁に交換する手間を省くために、帯状の布またはテープ等を用いるのが好ましい。本実施形態において用いられたワイピングクロス１０は、帝人（株）製のミクロスターワイピングロール（Ｒ）であり、ポリエステル７０％、ナイロン３０％の割合で各繊維を織り込んだものである。幅は、およそ４０ｍｍ、長さは、およそ４０ｍである。このワイピングクロス１０は、不要な異物等が取り除かれていると共に、低発塵で高い異物捕集性能を備えている。ワイピングクロス１０を新しいものと交換する際には、クロス部搬送機構１４１により、排気フード１２６ごとクロス供給機構１１１をＸ方向の装置手前に引き出して、開閉可能な状態に取り付けられた排気フード１２６の一部を開いて、使用済みのワイピングクロス１０が巻き取られた巻き取り部１１４と巻き出し部１１３とを新しいものに交換する。   For the wiping cloth 10, it is preferable to use a belt-like cloth or tape in order to save the trouble of frequent replacement. The wiping cloth 10 used in the present embodiment is a microstar wiping roll (R) manufactured by Teijin Ltd., and each fiber is woven in a ratio of 70% polyester and 30% nylon. The width is approximately 40 mm, and the length is approximately 40 m. The wiping cloth 10 has unnecessary foreign matters removed and low dust generation and high foreign matter collecting performance. When the wiping cloth 10 is replaced with a new one, the cloth feeding mechanism 111 and the exhaust hood 126 are pulled out to the front of the apparatus in the X direction by the cloth conveyance mechanism 141, and the exhaust hood 126 attached in an openable / closable state is attached. A part is opened, and the winding part 114 and the unwinding part 113 around which the used wiping cloth 10 is wound are replaced with new ones.

溶剤塗布部としてのディスペンサ１２４は、排気フード１２６の吸気口１２６ｂから突出した押圧部１１５に対してワイピングクロス１０の供給側に位置すると共に、排気フード１２６の外側に配設されている。   The dispenser 124 as a solvent application part is located on the supply side of the wiping cloth 10 with respect to the pressing part 115 protruding from the intake port 126 b of the exhaust hood 126 and is disposed outside the exhaust hood 126.

図６は、溶剤塗布部を示す概略図である。溶剤塗布部は、２本のノズル１２５を有するディスペンサ１２４からなり、ディスペンサ１２４には、取り入れ口１２４ａに配管が取付られて圧縮空気が導入されると共に、取り入れ口１２４ｂに配管が取り付けられて溶剤が導入される。導入された圧縮空気と溶剤は、ディスペンサ１２４の内部で混合されノズル１２５からワイピングクロス１０の表面に向けて吐出される。２本のノズル１２５は、吐出された溶剤がワイピングクロス１０の幅方向において含浸されるように、適度な間隔を持ってディスペンサ１２４に取り付けられている。ノズル１２５から吐出される溶剤は、圧縮空気が混合されているので、噴霧された状態となりワイピングクロス１０の表面にムラなく溶剤を塗布できるようになっている。また、ワイピングクロス１０の供給方向において押圧部１１５の先端部１１５ａ側を含む手前のワイピングクロス１０に溶剤を含浸させることができるように、ノズル１２５の向きや角度、ノズル径、長さが調整されている。   FIG. 6 is a schematic view showing a solvent application unit. The solvent application unit is composed of a dispenser 124 having two nozzles 125. In the dispenser 124, a pipe is attached to the intake port 124a to introduce compressed air, and a pipe is attached to the intake port 124b to supply the solvent. be introduced. The introduced compressed air and solvent are mixed inside the dispenser 124 and discharged from the nozzle 125 toward the surface of the wiping cloth 10. The two nozzles 125 are attached to the dispenser 124 at an appropriate interval so that the discharged solvent is impregnated in the width direction of the wiping cloth 10. Since the solvent discharged from the nozzle 125 is mixed with compressed air, it is in a sprayed state so that the solvent can be applied evenly to the surface of the wiping cloth 10. Further, the direction, angle, nozzle diameter, and length of the nozzle 125 are adjusted so that the front wiping cloth 10 including the tip 115a side of the pressing part 115 in the supply direction of the wiping cloth 10 can be impregnated with the solvent. ing.

図７は、押圧部を示す概略斜視図である。押圧部１１５の本体は、導電性の硬質部材であるステンレス等の金属からなり、先端部１１５ａは剣先状となっている。また、先端部１１５ａには、ワイピングクロス１０の幅方向に対応するように、長さＬに渡って例えば発泡ウレタン樹脂シート等の軟質部材１１５ｂが接着固定されている。このような押圧部１１５の先端部１１５ａでワイピングクロス１０を下面から支持して液晶表示パネル１の各表面２ａ，３ａを押圧すれば、ワイピングクロス１０を各表面２ａ，３ａに密着させて拭き取りを行うことが可能である。   FIG. 7 is a schematic perspective view showing the pressing portion. The main body of the pressing portion 115 is made of a metal such as stainless steel, which is a conductive hard member, and the tip portion 115a has a sword tip shape. Further, a soft member 115b such as a foamed urethane resin sheet is bonded and fixed over the length L so as to correspond to the width direction of the wiping cloth 10 at the distal end portion 115a. When the front surface 115a of the pressing portion 115 supports the wiping cloth 10 from the lower surface and presses the surfaces 2a and 3a of the liquid crystal display panel 1, the wiping cloth 10 is brought into close contact with the surfaces 2a and 3a to be wiped off. Is possible.

押圧部１１５は、Ｚ方向に対して傾斜して支持プレート１１２に固定されている。これは、液晶表示パネル１の表面をワイピングクロス１０に押圧した時に、面接触するように考慮したものである。尚、パネル保持部１０１ａに保持された液晶表示パネル１のＸ方向における移動方向に対応して、押圧部１１５の傾斜角度を変える駆動部を支持プレート１１２に設けてもよい。また好ましくは、移動する液晶表示パネル１の表面に対して、先端部１１５ａが略垂直な方向でワイピングクロス１０を押圧したほうがよい。このようにすれば、液晶表示パネル１の移動方向の変化に対して、ワイピングクロス１０の面接触状態をほぼ一定な状態に維持することが可能である。   The pressing portion 115 is fixed to the support plate 112 while being inclined with respect to the Z direction. This is because the surface of the liquid crystal display panel 1 is brought into surface contact when pressed against the wiping cloth 10. Note that a driving unit that changes the inclination angle of the pressing unit 115 may be provided on the support plate 112 in accordance with the movement direction in the X direction of the liquid crystal display panel 1 held by the panel holding unit 101a. Preferably, the wiping cloth 10 should be pressed in a direction in which the tip 115a is substantially perpendicular to the surface of the moving liquid crystal display panel 1. In this way, it is possible to maintain the surface contact state of the wiping cloth 10 in a substantially constant state with respect to changes in the moving direction of the liquid crystal display panel 1.

図８は、異物除去装置の電気的、機械的な構成を示すブロック図である。図８に示すように、異物除去装置１００の電気的、機械的な構成は、基板保持装置１０１と、クロス供給機構１１１と、溶剤塗布機構１３０と、基板保持装置１０１および各機構１１１，１３０を制御する制御部１３１とに大別される。制御部１３１には、演算と実行命令を行う演算部（ＣＰＵ）１３２と、記憶部１３３と、時間を計測するタイマ１３４と、拭き取り回数をカウントするカウンタ１３５とが内蔵されている。   FIG. 8 is a block diagram showing an electrical and mechanical configuration of the foreign matter removing apparatus. As shown in FIG. 8, the electrical and mechanical configuration of the foreign substance removal apparatus 100 includes a substrate holding device 101, a cross supply mechanism 111, a solvent application mechanism 130, a substrate holding device 101, and each mechanism 111, 130. It is roughly divided into a control unit 131 for controlling. The control unit 131 includes a calculation unit (CPU) 132 that performs calculation and execution instructions, a storage unit 133, a timer 134 that measures time, and a counter 135 that counts the number of times of wiping.

基板保持装置１０１において、パネル保持部１０１ａをＺ方向に上下動させる上下駆動用シリンダ１０９は、電磁バルブ１０９ａを介して圧空源１２９に配管接続されている。電磁バルブ１０９ａは、電気的に制御部１３１と接続されている。ロッド先端部１０７ｂが下側把持部１０３に固定されたパネル保持部駆動用シリンダ１０７は、電磁バルブ１０７ｃを介して圧空源１２９に配管接続されている。電磁バルブ１０７ｃは、電気的に制御部１３１と接続されている。パネル保持部１０１ａをＸ，Ｙ方向に移動させるＸ軸駆動用モータ１１０ａとＹ軸駆動用モータ１１０ｂとは、それぞれ電気的に制御部１３１と接続されている。制御部１３１は、電磁バルブ１０９ａを電気的に開閉することにより、上下駆動用シリンダ１０９に圧空を送り込んでパネル保持部１０１ａをＺ方向に上下動させる。また、電磁バルブ１０７ｃを開閉することによりパネル保持部駆動用シリンダ１０７に圧空を送り込み、下側把持部１０３を動かして上側把持部１０２との間にＦＰＣ７を把持させる。また、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａとＹ軸駆動用モータ１１０ｂとを駆動してパネル保持部１０１ａをＸ，Ｙ方向に移動させる。基板保持装置１０１のスライド機構１１０には、液晶表示パネル１をＸ，Ｙ，Ｚ方向における所定の位置に位置決めするために、液晶表示パネル１の位置を検出する複数のセンサ（図示省略）が設けられている。センサは、光感応式や接触式、電磁式等の方式のものを採用することができる。これらのセンサも当然のことながら電気的に制御部１３１に接続されている。   In the substrate holding device 101, a vertical driving cylinder 109 for moving the panel holding portion 101a up and down in the Z direction is connected to a compressed air source 129 via an electromagnetic valve 109a. The electromagnetic valve 109a is electrically connected to the control unit 131. The panel holding portion driving cylinder 107 having the rod tip portion 107b fixed to the lower holding portion 103 is connected to a compressed air source 129 via an electromagnetic valve 107c. The electromagnetic valve 107c is electrically connected to the control unit 131. The X-axis drive motor 110a and the Y-axis drive motor 110b that move the panel holding unit 101a in the X and Y directions are electrically connected to the control unit 131, respectively. The control unit 131 electrically opens and closes the electromagnetic valve 109a to send the compressed air to the vertical drive cylinder 109 to move the panel holding unit 101a up and down in the Z direction. Further, by opening and closing the electromagnetic valve 107 c, compressed air is sent to the panel holding unit driving cylinder 107, and the lower gripping part 103 is moved to grip the FPC 7 with the upper gripping part 102. Further, the X axis driving motor 110a and the Y axis driving motor 110b are driven to move the panel holding portion 101a in the X and Y directions. The slide mechanism 110 of the substrate holding device 101 is provided with a plurality of sensors (not shown) for detecting the position of the liquid crystal display panel 1 in order to position the liquid crystal display panel 1 at predetermined positions in the X, Y, and Z directions. It has been. As the sensor, a light sensitive type, a contact type, an electromagnetic type, or the like can be adopted. Of course, these sensors are also electrically connected to the control unit 131.

クロス供給機構１１１において、巻き出し部１１３を駆動する巻き出し用モータ１２１は、内部にエンコーダ１２１ａを有し、いずれも制御部１３１に電気的に接続されている。巻き取り部１１４を駆動する巻き取り用モータ１２２は、電気的に制御部１３１に接続されている。クランプ用シリンダ１２３は、電磁バルブ１２３ａを介して圧空源１２９に配管接続されている。電磁バルブ１２３ａは、電気的に制御部１３１に接続されている。制御部１３１は、巻き出し用モータ１２１と巻き取り用モータ１２２とを駆動して、ワイピングクロス１０を供給する。また、エンコーダ１２１ａからの信号を基に巻き出し用モータ１２１の回転数を記憶部１３３に随時記憶させ、巻き出し用モータ１２１の回転による巻き出し量を演算部１３２で演算させて、所定の巻き出し量となるように巻き出し用モータ１２１を駆動する。また、巻き出し用モータ１２１の回転に応じて巻き取り用モータ１２２を駆動させる。さらには、記憶部１３３に記憶された回転数の累積からワイピングクロス１０の終点を予測して、終点検出を知らせるアラーム用の図示しないランプ等を点灯させる。制御部１３１は、電磁バルブ１２３ａを開閉してクランプ用シリンダ１２３に圧空を送り込み、クランプローラ１１７をＸ方向に移動させてワイピングクロス１０にテンションを与える。   In the cross supply mechanism 111, the unwinding motor 121 that drives the unwinding unit 113 has an encoder 121 a inside, and both are electrically connected to the control unit 131. A winding motor 122 that drives the winding unit 114 is electrically connected to the control unit 131. The clamping cylinder 123 is connected to the compressed air source 129 through an electromagnetic valve 123a. The electromagnetic valve 123a is electrically connected to the control unit 131. The controller 131 supplies the wiping cloth 10 by driving the unwinding motor 121 and the winding motor 122. Further, the rotation number of the unwinding motor 121 is stored in the storage unit 133 as needed based on the signal from the encoder 121a, and the unwinding amount due to the rotation of the unwinding motor 121 is calculated by the calculation unit 132, so that a predetermined winding is performed. The unwinding motor 121 is driven so as to obtain the unloading amount. Further, the winding motor 122 is driven in accordance with the rotation of the unwinding motor 121. Furthermore, the end point of the wiping cloth 10 is predicted from the accumulated number of revolutions stored in the storage unit 133, and an alarm lamp (not shown) for notifying the end point detection is turned on. The control unit 131 opens and closes the electromagnetic valve 123a to send compressed air to the clamping cylinder 123, and moves the clamp roller 117 in the X direction to apply tension to the wiping cloth 10.

溶剤塗布機構１３０は、溶剤が貯留される溶剤タンク１２７と、２つの電磁バルブ１２４ｃ，１２８と、ディスペンサ１２４とを有している。溶剤タンク１２７は、電磁バルブ１２８を介して圧空源１２９に配管接続されている。また、溶剤タンク１２７は、ディスペンサ１２４と配管接続され、配管を通じて溶剤が送り込まれる。ディスペンサ１２４は、電磁バルブ１２４ｃを介して圧空源１２９と配管接続されている。電磁バルブ１２４ｃは、電気的に制御部１３１に接続されている。制御部１３１は、電磁バルブ１２８を開閉して圧空を溶剤タンク１２７に送り込み、貯留された溶剤がディスペンサ１２４に送られる。また、電磁バルブ１２４ｃを開閉して圧空をディスペンサ１２４に送り、送られた圧空は、ディスペンサ１２４内で溶剤と混合されてノズル１２５から吐出される。制御部１３１は、記憶部１３３に記憶された拭き取り動作のプログラムとこれに対応する溶剤塗布のプログラムを読み出して、溶剤塗布のタイミングを電気信号として電磁バルブ１２４ｃに送り、ディスペンサ１２４から溶剤をワイピングクロス１０に塗布させる。   The solvent application mechanism 130 includes a solvent tank 127 that stores a solvent, two electromagnetic valves 124 c and 128, and a dispenser 124. The solvent tank 127 is connected to a compressed air source 129 via an electromagnetic valve 128. The solvent tank 127 is connected to the dispenser 124 by a pipe, and the solvent is sent through the pipe. The dispenser 124 is connected to the compressed air source 129 via an electromagnetic valve 124c. The electromagnetic valve 124c is electrically connected to the control unit 131. The controller 131 opens and closes the electromagnetic valve 128 to send the compressed air to the solvent tank 127, and the stored solvent is sent to the dispenser 124. Further, the electromagnetic valve 124 c is opened and closed to send pressurized air to the dispenser 124, and the sent pressurized air is mixed with a solvent in the dispenser 124 and discharged from the nozzle 125. The control unit 131 reads the wiping operation program and the corresponding solvent application program stored in the storage unit 133, sends the solvent application timing to the electromagnetic valve 124c as an electrical signal, and wipes the solvent from the dispenser 124. 10 is applied.

本実施形態の異物除去装置１００では、制御部１３１は、まず液晶表示パネル１の基板の表面の一方の端部に、ワイピングクロス１０を押圧部１１５の先端部１１５ａで押圧した状態で、第１の拭き取り方向にパネル保持部１０１ａを移動させて、押圧部１１５の先端部１１５ａが相対的に、基板の表面の一方の端部とは反対側の他方の端部を通過する第１の拭き取り動作を３回行わせる。次に基板の表面の他方の端部にワイピングクロス１０を押圧部１１５の先端部１１５ａで押圧した状態で、第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に基板保持装置１０１を移動させて、押圧部１１５の先端部１１５ａが相対的に、基板の表面の上記一方の端部を通過する第２の拭き取り動作を３回行わせる。また、拭き取り動作１回ごとに、押圧されるワイピングクロス１０の部分が更新されるように、クロス供給機構１１１の巻き出し用モータ１２１と巻き取り用モータ１２２とを駆動させる。さらに、第１および第２の拭き取り動作の最初の１回目の拭き取り動作を行う前に、ワイピングクロス１０にディスペンサ１２４から溶剤を吐出して含浸させる。   In the foreign matter removing apparatus 100 according to the present embodiment, the control unit 131 first presses the wiping cloth 10 against one end of the surface of the substrate of the liquid crystal display panel 1 with the tip 115 a of the pressing unit 115. The panel holding portion 101a is moved in the direction of wiping, and the first wiping operation in which the tip portion 115a of the pressing portion 115 relatively passes through the other end portion on the opposite side of the one end portion of the surface of the substrate. Repeat three times. Next, the substrate holding device 101 is moved in the second wiping direction opposite to the first wiping direction with the wiping cloth 10 pressed against the other end of the surface of the substrate by the tip 115a of the pressing portion 115. Thus, the second wiping operation in which the distal end portion 115a of the pressing portion 115 relatively passes through the one end portion of the surface of the substrate is performed three times. Further, the unwinding motor 121 and the winding motor 122 of the cloth supply mechanism 111 are driven so that the portion of the wiping cloth 10 to be pressed is updated every wiping operation. Further, before the first wiping operation of the first and second wiping operations is performed, the wiping cloth 10 is impregnated by discharging the solvent from the dispenser 124.

（異物除去方法）
次に本実施形態の異物除去装置を用いた異物除去方法について図９〜図１１に基づいて説明する。図９は、異物除去方法を示すフローチャート、図１０（ａ）〜（ｄ）および図１１（ｅ）〜（ｈ）は、異物除去方法を示す異物除去装置の概略図である。 (Foreign matter removal method)
Next, a foreign matter removing method using the foreign matter removing apparatus of the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is a flowchart showing a foreign matter removing method, and FIGS. 10A to 10D and 11E to 11H are schematic views of the foreign matter removing apparatus showing the foreign matter removing method.

図９に示すように、本実施形態の異物除去方法は、液晶表示パネル１の表面を下方に向けると共に、液晶表示パネル１とワイピングクロス１０とを所定の位置に対向配置するパネル搬送位置決め工程を備えている。また、所定の位置に対向配置された液晶表示パネル１の表面の一方の端部に、ワイピングクロス１０が押圧された状態で、第１の拭き取り方向に液晶表示パネル１を相対的に移動させて、押圧されたワイピングクロス１０の部分が液晶表示パネル１の表面の他方の端部を通過する拭き取り動作を３回行う第１の拭き取り工程と、液晶表示パネル１の表面の他方の端部に、ワイピングクロス１０が押圧された状態で、第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に液晶表示パネル１を相対的に移動させて、押圧されたワイピングクロス１０の部分が一方の端部を通過する拭き取り動作を３回行う第２の拭き取り工程とを備えている。   As shown in FIG. 9, the foreign matter removing method of the present embodiment includes a panel transport positioning step in which the surface of the liquid crystal display panel 1 is directed downward and the liquid crystal display panel 1 and the wiping cloth 10 are arranged to face each other at a predetermined position. I have. Further, the liquid crystal display panel 1 is relatively moved in the first wiping direction in a state where the wiping cloth 10 is pressed to one end portion of the surface of the liquid crystal display panel 1 which is disposed to be opposed to the predetermined position. , A first wiping step in which the pressed wiping cloth 10 part passes through the other end of the surface of the liquid crystal display panel 1 three times, and the other end of the surface of the liquid crystal display panel 1 In a state where the wiping cloth 10 is pressed, the liquid crystal display panel 1 is relatively moved in the second wiping direction opposite to the first wiping direction, and the pressed wiping cloth 10 is at one end. And a second wiping step for performing the wiping operation of passing through 3 times.

また、第１の拭き取り工程および第２の拭き取り工程では、拭き取り動作１回ごとに、液晶表示パネル１の表面に押圧部１１５の先端部１１５ａで押圧されるワイピングクロス１０の部分を更新する工程を含んでいる。また、それぞれ１回目の拭き取り動作を行う前に、ワイピングクロス１０の表面に溶剤を塗布する溶剤塗布工程を備えている。   Further, in the first wiping step and the second wiping step, a step of updating the portion of the wiping cloth 10 that is pressed against the surface of the liquid crystal display panel 1 by the tip portion 115a of the pressing portion 115 for each wiping operation. Contains. In addition, a solvent application step of applying a solvent to the surface of the wiping cloth 10 before performing the first wiping operation is provided.

図９のステップＳ１は、パネル搬送位置決め工程である。ステップＳ１では、図１０（ａ）に示すように、制御部１３１は、基板保持装置１０１の電磁バルブ１０７ｃを開いて、パネル保持部駆動用シリンダ１０７を駆動し、パネル保持部１０１ａに液晶表示パネル１を保持させる。この場合、液晶表示パネル１の表面３ａに付着した異物を除去するように、表面３ａをＺ方向において下向きに保持させる。そして、制御部１３１は、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａおよびＹ軸駆動用モータ１１０ｂを駆動して、パネル保持部１０１ａを移動させ、表面３ａがワイピングクロス１０と対向する所定の位置に液晶表示パネル１を搬送して位置決めする。そしてステップＳ２へ進む。   Step S1 in FIG. 9 is a panel transport positioning step. In step S1, as shown in FIG. 10A, the control unit 131 opens the electromagnetic valve 107c of the substrate holding device 101, drives the panel holding unit driving cylinder 107, and causes the panel holding unit 101a to display a liquid crystal display panel. 1 is held. In this case, the surface 3a is held downward in the Z direction so as to remove foreign matters attached to the surface 3a of the liquid crystal display panel 1. Then, the control unit 131 drives the X-axis driving motor 110a and the Y-axis driving motor 110b to move the panel holding unit 101a, and the liquid crystal display panel 1 is placed at a predetermined position where the surface 3a faces the wiping cloth 10. Is transported and positioned. Then, the process proceeds to step S2.

図９のステップＳ２は、溶剤塗布工程である。ステップＳ２では、図１０（ａ）に示すように、制御部１３１は、溶剤塗布機構１３０の電磁バルブ１２８，１２４ｃを開いて溶剤タンク１２７から溶剤１１をディスペンサ１２４に送り込むと共に、圧空源１２９からディスペンサ１２４に圧空を送り込んで、ディスペンサ１２４のノズル１２５から溶剤１１をワイピングクロス１０に塗布（噴霧）する。制御部１３１は、タイマ１３４を作動させ、所定の設定時間で溶剤１１を塗布し、その後、電磁バルブ１２８，１２４ｃを閉じて溶剤塗布を終了する。ステップＳ２は、ステップＳ１のパネル保持位置決め工程と同時進行してもよい。尚、溶剤１１としては、有機溶剤のアセトンを用いたが、適度な揮発性と脱脂力を有する有機溶剤を用いることが好ましい。溶剤１１としては、アルコール類やケトン類、あるいはこれらの有機溶剤の混合物でもよい。そしてステップＳ３へ進む。   Step S2 in FIG. 9 is a solvent coating process. In step S2, as shown in FIG. 10A, the control unit 131 opens the electromagnetic valves 128 and 124c of the solvent application mechanism 130 to send the solvent 11 from the solvent tank 127 to the dispenser 124 and from the pressurized air source 129 to the dispenser. The compressed air is sent to 124, and the solvent 11 is applied (sprayed) to the wiping cloth 10 from the nozzle 125 of the dispenser 124. The controller 131 activates the timer 134 to apply the solvent 11 at a predetermined set time, and then closes the electromagnetic valves 128 and 124c to end the solvent application. Step S2 may proceed simultaneously with the panel holding and positioning step of step S1. In addition, although the organic solvent acetone was used as the solvent 11, it is preferable to use the organic solvent which has moderate volatility and degreasing power. The solvent 11 may be alcohols, ketones, or a mixture of these organic solvents. Then, the process proceeds to step S3.

図９のステップＳ３は、液晶表示パネル１の表面をワイピングクロス１０に押圧する工程である。ステップＳ３では、図１０（ｂ）に示すように、制御部１３１は、基板保持装置１０１の電磁バルブ１０９ａを開閉して、上下駆動用シリンダ１０９を駆動させ、パネル保持部１０１ａをＺ方向において下降させる。そして押圧部１１５の先端部１１５ａで支持されたワイピングクロス１０の部分に液晶表示パネル１の表面３ａの一方の端部３ｃを押圧する。この場合、液晶表示パネル１の対向基板３の周縁部のエッジによって、ワイピングクロス１０が損傷することを避けるために、表面３ａ上の一方の端部３ｃにワイピングクロス１０が押圧されるように設定されている。そしてスッテップＳ４へ進む。   Step S3 in FIG. 9 is a step of pressing the surface of the liquid crystal display panel 1 against the wiping cloth 10. In step S3, as shown in FIG. 10B, the control unit 131 opens and closes the electromagnetic valve 109a of the substrate holding device 101 to drive the vertical drive cylinder 109, and lowers the panel holding unit 101a in the Z direction. Let Then, one end portion 3c of the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 is pressed against the portion of the wiping cloth 10 supported by the tip portion 115a of the pressing portion 115. In this case, the wiping cloth 10 is set to be pressed against one end 3c on the surface 3a in order to prevent the wiping cloth 10 from being damaged by the edge of the peripheral edge of the counter substrate 3 of the liquid crystal display panel 1. Has been. Then, the process proceeds to Step S4.

図９のステップＳ４は、液晶表示パネル１をワイピングクロス１０に対して拭き取り方向に摺動するパネル摺動工程である。ステップＳ４では、図１０（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液晶表示パネル１の表面３ａの一方の端部３ｃにワイピングクロス１０を押圧した状態で、制御部１３１は、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａを駆動させて、パネル保持部１０１ａをＸ方向において第１の拭き取り方向に移動させ、押圧部１１５の先端部１１５ａが相対的に表面３ａの他方の端部３ｂを通過したところで止める。これにより表面３ａを隈なくワイピングクロス１０で拭って、付着した異物を除去する拭き取り動作を行う。そして、ステップＳ５へ進む。   Step S4 in FIG. 9 is a panel sliding step in which the liquid crystal display panel 1 is slid in the wiping direction with respect to the wiping cloth 10. In step S4, as shown in FIGS. 10B and 10C, the control unit 131 uses the wiping cloth 10 pressed against one end 3c of the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 to drive the X-axis. The motor 110a is driven to move the panel holding portion 101a in the first wiping direction in the X direction, and is stopped when the tip portion 115a of the pressing portion 115 relatively passes the other end portion 3b of the surface 3a. As a result, the surface 3a is completely wiped with the wiping cloth 10, and a wiping operation is performed to remove the adhered foreign matter. Then, the process proceeds to step S5.

図９のステップＳ５は、押圧されるワイピングクロス１０の部分を更新する工程である。ステップＳ５では、図１０（ｄ）に示すように、制御部１３１は、電磁バルブ１０９ａを開閉して上下駆動用シリンダ１０９を駆動させ、パネル保持部１０１ａをＺ方向において上昇させる。そして、巻き出し用モータ１２１と巻き取り用モータ１２２とを駆動して、巻き出し部１１３から所定の長さ分でワイピングクロス１０を送り出し、巻き取り部１１４に巻き取る。これにより、押圧されるワイピングクロス１０の部分が未使用状態に更新される。そしてステップＳ６へ進む。   Step S5 in FIG. 9 is a step of updating the portion of the wiping cloth 10 that is pressed. In step S5, as shown in FIG. 10 (d), the control unit 131 opens and closes the electromagnetic valve 109a to drive the vertical drive cylinder 109, and raises the panel holding unit 101a in the Z direction. Then, the unwinding motor 121 and the winding motor 122 are driven, and the wiping cloth 10 is sent out from the unwinding portion 113 by a predetermined length, and is wound around the winding portion 114. Thereby, the part of the wiping cloth 10 to be pressed is updated to an unused state. Then, the process proceeds to step S6.

図９のステップＳ６は、拭き取り動作によるクリーニング回数（拭き取り動作の回数）を判定する工程である。ステップＳ６では、制御部１３１は、所定の回数拭き取り動作が行われたか否か判定する。この場合、第１の拭き取り工程における所定の回数は、３回に設定されているため、制御部１３１は、カウンタ１３５でカウントした回数を読み取って、３回終了していなければ、ステップＳ３に戻って拭き取り動作を繰り返させる。３回終了すれば、ステップＳ７へ進む。   Step S6 in FIG. 9 is a step of determining the number of cleanings by the wiping operation (the number of wiping operations). In step S6, the control unit 131 determines whether or not the wiping operation has been performed a predetermined number of times. In this case, since the predetermined number of times in the first wiping process is set to three times, the control unit 131 reads the number of times counted by the counter 135 and returns to step S3 if the number of times is not finished. Repeat the wiping operation. If completed three times, the process proceeds to step S7.

図９のステップＳ７は、先のステップＳ１と同様に、液晶表示パネル１を所定の位置に位置決めするパネル搬送位置決め工程である。ステップＳ７では、この場合、図１１（ｅ）に示すように、制御部１３１は、液晶表示パネル１の表面３ａにおいて、前述の一方の端部３ｃと反対側の他方の端部３ｂが、押圧部１１５の先端部１１５ａと対向する所定の位置に、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａを駆動してパネル保持部１０１ａを移動させる。そしてステップＳ８へ進む。   Step S7 in FIG. 9 is a panel transport positioning step for positioning the liquid crystal display panel 1 at a predetermined position, similar to the previous step S1. In step S7, in this case, as shown in FIG. 11E, the control unit 131 presses the other end 3b on the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 opposite to the one end 3c described above. The X-axis driving motor 110a is driven to move the panel holding portion 101a to a predetermined position facing the tip portion 115a of the portion 115. Then, the process proceeds to step S8.

図９のステップＳ８は、溶剤塗布工程である。ステップＳ８では、図１１（ｅ）に示すように、制御部１３１は、ディスペンサ１２４のノズル１２５から溶剤１１をワイピングクロス１０に塗布させる。詳細は、ステップＳ２と同様なため、説明は省く。そしてステップＳ９へ進む。   Step S8 in FIG. 9 is a solvent application process. In step S <b> 8, as shown in FIG. 11E, the control unit 131 applies the solvent 11 to the wiping cloth 10 from the nozzle 125 of the dispenser 124. The details are the same as in step S2, and will not be described. Then, the process proceeds to step S9.

図９のステップＳ９は、液晶表示パネル１の表面３ａをワイピングクロス１０に押圧する工程である。ステップＳ９では、図１１（ｆ）に示すように、制御部１３１は、電磁バルブ１０９ａを開閉して上下駆動用シリンダ１０９を駆動させ、パネル保持部１０１ａをＺ方向に下降させる。これにより、押圧部１１５の先端部１１５ａで支持されたワイピングクロス１０の部分に液晶表示パネル１の表面３ａの他方の端部３ｂを押圧する。そしてステップＳ１０へ進む。   Step S9 in FIG. 9 is a step of pressing the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 against the wiping cloth 10. In step S9, as shown in FIG. 11 (f), the control unit 131 opens and closes the electromagnetic valve 109a to drive the vertical drive cylinder 109, and lowers the panel holding unit 101a in the Z direction. Accordingly, the other end 3b of the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 is pressed against the portion of the wiping cloth 10 supported by the tip 115a of the pressing portion 115. Then, the process proceeds to step S10.

図９のステップＳ１０は、液晶表示パネル１をワイピングクロス１０に対して摺動するパネル摺動工程である。ステップＳ１０では、図１１（ｆ）及び（ｇ）に示すように、液晶表示パネル１の表面３ａの他方の端部３ｂにワイピングクロス１０を押圧した状態で、制御部１３１は、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａを駆動させて、パネル保持部１０１ａをＸ方向において第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に移動させ、押圧部１１５の先端部１１５ａが相対的に表面３ａの一方の端部３ｃを通過したところで止める。これにより表面３ａを隈なくワイピングクロス１０で拭って、付着した異物を除去する拭き取り動作を行う。そして、ステップＳ１１へ進む。   Step S <b> 10 in FIG. 9 is a panel sliding step in which the liquid crystal display panel 1 is slid with respect to the wiping cloth 10. In step S10, as shown in FIGS. 11 (f) and 11 (g), the control unit 131 uses the wiping cloth 10 pressed against the other end 3b of the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 to drive the X-axis. The motor 110a is driven to move the panel holding portion 101a in the second wiping direction opposite to the first wiping direction in the X direction, and the tip 115a of the pressing portion 115 is relatively positioned at one end of the surface 3a. Stop after passing through part 3c. As a result, the surface 3a is completely wiped with the wiping cloth 10, and a wiping operation is performed to remove the adhered foreign matter. Then, the process proceeds to step S11.

図９のステップＳ１１は、押圧されるワイピングクロス１０の部分を更新する工程である。ステップＳ１１では、図１１（ｈ）に示すように、制御部１３１は、電磁バルブ１０９ａを開閉して上下駆動用シリンダ１０９を駆動させ、パネル保持部１０１ａをＺ方向において上昇させる。そして、巻き出し用モータ１２１と巻き取り用モータ１２２とを駆動して、巻き出し部１１３から所定の長さ分でワイピングクロス１０を送り出し、巻き取り部１１４に巻き取る。これにより、押圧されるワイピングクロス１０の部分が未使用状態に更新される。そしてステップＳ１２へ進む。   Step S11 in FIG. 9 is a step of updating the portion of the wiping cloth 10 to be pressed. In step S11, as shown in FIG. 11 (h), the control unit 131 opens and closes the electromagnetic valve 109a to drive the vertical drive cylinder 109, and raises the panel holding unit 101a in the Z direction. Then, the unwinding motor 121 and the winding motor 122 are driven, and the wiping cloth 10 is sent out from the unwinding portion 113 by a predetermined length, and is wound around the winding portion 114. Thereby, the part of the wiping cloth 10 to be pressed is updated to an unused state. Then, the process proceeds to step S12.

図９のステップＳ１２は、拭き取り動作によるクリーニング回数を判定する工程である。ステップＳ１２では、制御部１３１は、所定の回数拭き取り動作が行われたか否か判定する。この場合、第２の拭き取り工程における所定の回数は、３回に設定されているため、制御部１３１は、カウンタ１３５でカウントした回数を読み取って、３回終了していなければ、ステップＳ９に戻って拭き取り動作を繰り返させる。３回終了すれば、拭き取り動作を終了させる。   Step S12 in FIG. 9 is a step of determining the number of times of cleaning by the wiping operation. In step S12, the control unit 131 determines whether or not the wiping operation has been performed a predetermined number of times. In this case, since the predetermined number of times in the second wiping process is set to three times, the control unit 131 reads the number of times counted by the counter 135 and returns to step S9 if the number of times is not finished. Repeat the wiping operation. If it is finished three times, the wiping operation is finished.

以上の工程により液晶表示パネル１の表面３ａに付着した異物の除去が終了する。もちろん、表面３ａとは反対側の表面２ａに付着した異物を除去する場合は、表面２ａがＺ方向において下向きになるようにパネル保持部１０１ａに液晶表示パネル１を保持して、上記ステップＳ１からスッテップＳ１２を行えばよい。また、異物除去装置１００を２台用意して、一方の装置では、表面３ａに付着した異物を除去し、他方の装置で表面２ａに付着した異物を除去してもよい。   The removal of the foreign matter adhering to the surface 3a of the liquid crystal display panel 1 is completed through the above steps. Of course, when removing the foreign matter adhering to the surface 2a opposite to the surface 3a, the liquid crystal display panel 1 is held on the panel holding portion 101a so that the surface 2a faces downward in the Z direction. Step S12 may be performed. Alternatively, two foreign substance removing devices 100 may be prepared, and in one apparatus, foreign substances attached to the surface 3a may be removed, and in the other apparatus, foreign substances attached to the surface 2a may be removed.

本実施形態の異物除去方法は、第１の拭き取り工程で第１の方向に３回拭き取り動作を行い、第２の拭き取り工程では第１の方向とは反対の第２の方向に３回拭き取り動作を行う。したがって、第１の拭き取り工程で液晶表示パネル１の表面の一方の端部３ｃに拭き取りできない部分が生じても、第２の拭き取り工程で先に拭き取りできなかった部分を含めて拭き取りがされ、表面を隈なく拭き取れるような動作となっている。   In the foreign matter removing method of the present embodiment, the wiping operation is performed three times in the first direction in the first wiping step, and the wiping operation is performed three times in the second direction opposite to the first direction in the second wiping step. I do. Therefore, even if there is a portion that cannot be wiped off at one end 3c of the surface of the liquid crystal display panel 1 in the first wiping step, the portion that could not be wiped off earlier in the second wiping step is wiped off. The operation is such that it can be wiped off thoroughly.

また、拭き取り動作ごとに液晶表示パネル１の表面に押圧されるワイピングクロス１０が更新され、常に未使用状態のワイピングクロス１０で拭き取り動作が行われる。よって、拭き取られた異物が液晶表示パネル１の表面に再付着する不具合が起こることが低減される。さらに、第１の拭き取り工程と第２の拭き取り工程がそれぞれ開始される前に、未使用状態のワイピングクロス１０の表面に溶剤１１が塗布される。よって、異物の除去と同時に、溶剤１１に可溶性の汚れも除去される。また、溶剤塗布工程は、それぞれ３回行われる拭き取り動作が開始される前に、１回行われる。したがって、２回目以降では、溶剤が塗布されていないワイピングクロス１０の未使用部分によって表面の拭き取り動作が行われるので、１回目の拭き取り動作で表面に溶剤分が残留しても、２回目以降で乾燥させることが可能である。すなわち、溶剤によるシミ等が目立つことなく、表面をクリーンな状態とすることが可能である。   Further, the wiping cloth 10 pressed against the surface of the liquid crystal display panel 1 is updated every wiping operation, and the wiping operation is always performed with the unused wiping cloth 10. Therefore, it is possible to reduce a problem that the wiped foreign matter is reattached to the surface of the liquid crystal display panel 1. Furthermore, the solvent 11 is applied to the surface of the unused wiping cloth 10 before the first wiping step and the second wiping step are started. Therefore, simultaneously with the removal of the foreign matter, the soil soluble in the solvent 11 is also removed. In addition, the solvent application step is performed once before the wiping operation that is performed three times is started. Therefore, in the second and subsequent times, the surface wiping operation is performed by the unused portion of the wiping cloth 10 to which the solvent is not applied. Therefore, even if the solvent remains on the surface in the first wiping operation, the second and subsequent times. It is possible to dry. That is, it is possible to make the surface clean without causing stains due to the solvent.

本実施形態の異物除去方法は、液晶表示パネル１に中継基板としてのＦＰＣ７が接続されていても、パネル保持部１０１ａは、ＦＰＣ７を両面から把持して液晶表示パネル１を保持するため、拭き取り動作時に、ＦＰＣ７にワイピングクロス１０が触れることなく、液晶表示パネル１の表面に付着した異物や汚れが除去される。   In the foreign matter removing method of the present embodiment, even if the FPC 7 as a relay substrate is connected to the liquid crystal display panel 1, the panel holding unit 101a holds the liquid crystal display panel 1 by holding the FPC 7 from both sides. Sometimes, the foreign matter and dirt attached to the surface of the liquid crystal display panel 1 are removed without the wiping cloth 10 touching the FPC 7.

（電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法）
上記液晶表示装置２０の製造方法は、液晶表示パネル１の表面に付着した異物を除去する工程と、液晶表示パネル１の光の入射側と出射側の表面に透明基板としての防塵ガラス２１，２２を装着する工程と、液晶表示パネル１を筐体としてのケース２３に収容する組立工程とを備えている。異物を除去する工程では、防塵ガラス２１，２２を装着する前に、各基板２，３の表面に付着した異物や汚れを取り除いて、表面をクリーンな状態にする。防塵ガラス２１，２２を装着する工程では、表面がクリーンな状態となった液晶表示パネル１に防塵ガラス２１，２２を接着剤を用いて装着する。組立工程では、防塵ガラス２１，２２が装着された液晶表示パネル１を、ケース２３に収容して金属枠２５を取り付ける。本実施形態の液晶表示装置２０の製造方法は、異物を除去する工程において、上記実施形態の異物除去装置１００を用いている。液晶表示パネル１には、電子部品として各ドライバＩＣ４，５，６やＦＰＣ７が配設されている。異物除去装置１００は、これらの電子部品に影響を与えないように表面を隈なくワイピングクロス１０で拭き取りして、異物や汚れを除去できるため、異物不良や汚れ不良を低減して歩留まりよく液晶表示装置２０の製造が可能である。 (Manufacturing method of liquid crystal display device as electro-optical device)
The manufacturing method of the liquid crystal display device 20 includes a step of removing foreign matter adhering to the surface of the liquid crystal display panel 1, and dust-proof glasses 21 and 22 as transparent substrates on the light incident side and light emission side surfaces of the liquid crystal display panel 1. And a process of assembling the liquid crystal display panel 1 in a case 23 serving as a housing. In the step of removing the foreign matter, before the dust-proof glasses 21 and 22 are mounted, the foreign matter and dirt adhering to the surfaces of the substrates 2 and 3 are removed to make the surface clean. In the step of attaching the dustproof glasses 21 and 22, the dustproof glasses 21 and 22 are attached to the liquid crystal display panel 1 having a clean surface using an adhesive. In the assembly process, the liquid crystal display panel 1 on which the dustproof glasses 21 and 22 are mounted is accommodated in the case 23 and the metal frame 25 is attached. The manufacturing method of the liquid crystal display device 20 of the present embodiment uses the foreign matter removing apparatus 100 of the above embodiment in the step of removing foreign matter. In the liquid crystal display panel 1, driver ICs 4, 5, 6 and an FPC 7 are disposed as electronic components. The foreign matter removing apparatus 100 can wipe off the surface with the wiping cloth 10 so as not to affect these electronic components and remove the foreign matter and dirt. The device 20 can be manufactured.

本実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）本実施形態の異物除去装置１００において、パネル保持部１０１ａは、ＦＰＣ７を両面から把持して液晶表示パネル１を支えると共に、液晶表示パネル１の異物を除去しようとする表面とは反対側の表面の周縁部を支持して液晶表示パネル１を保持する。したがって、液晶表示パネル１の異物を除去しようとする表面側には、液晶表示パネル１を保持する部分が当接していないので、異物を除去しようとする表面をワイピングクロス１０に押圧部１１５の先端部１１５ａで押し当てて隈なく拭うことができる。ゆえに、液晶表示パネル１がＦＰＣ７を有していても、パネル保持部１０１ａが拭き取り動作において、邪魔にならずに表面に付着した異物を除去することができる。また、液晶表示パネル１の表面は下向きにワイピングクロス１０と対向するように配置されるため、異物を除去しようとする表面が上向きになっている場合に比べて、拭き取り動作によって発生したワイピングクロス１０からの発塵や除去された異物がワイピングクロス１０から落下して、液晶表示パネル１の表面に再付着することを低減することができる。すなわち液晶表示パネル１の各基板２，３の表面を隈なく拭って付着した異物を除去すると共に、ワイピングクロス１０からの発塵や除去された異物の再付着を低減した異物除去装置１００を提供することができる。 The effects of this embodiment are as follows.
(1) In the foreign matter removing apparatus 100 of the present embodiment, the panel holding unit 101a supports the liquid crystal display panel 1 by holding the FPC 7 from both sides and is opposite to the surface of the liquid crystal display panel 1 from which the foreign matter is to be removed. The liquid crystal display panel 1 is held by supporting the peripheral edge of the surface. Accordingly, since the portion for holding the liquid crystal display panel 1 is not in contact with the surface side of the liquid crystal display panel 1 from which the foreign matter is to be removed, the front surface of the pressing portion 115 is placed on the surface from which the foreign matter is to be removed. The part 115a can be pressed and wiped without wrinkles. Therefore, even if the liquid crystal display panel 1 has the FPC 7, the panel holding part 101a can remove foreign substances adhering to the surface without being disturbed in the wiping operation. Further, since the surface of the liquid crystal display panel 1 is disposed so as to face the wiping cloth 10 downward, the wiping cloth 10 generated by the wiping operation is compared with the case where the surface from which foreign matter is to be removed is upward. It is possible to reduce the generation of dust and the removed foreign matter from the wiping cloth 10 and reattaching to the surface of the liquid crystal display panel 1. In other words, a foreign matter removing apparatus 100 is provided that removes foreign matter adhering by wiping the surfaces of the substrates 2 and 3 of the liquid crystal display panel 1 thoroughly and reducing dust generation from the wiping cloth 10 and reattachment of the removed foreign matter. can do.

（２）異物除去装置１００は、押圧部１１５に対してワイピングクロス１０の供給側に位置すると共に、ワイピングクロス１０の表面に溶剤を塗布する溶剤塗布部としてのディスペンサ１２４を備えている。したがって、溶剤が塗布されて含浸したワイピングクロス１０を液晶表示パネル１の表面に押圧した状態で、制御部１３１によって拭き取り動作を行わせることによって、液晶表示パネル１の各表面２ａ，３ａに付着した異物を除去すると共に、各表面２ａ，３ａに付着した汚れも同時に除去することができる。   (2) The foreign matter removing device 100 is located on the supply side of the wiping cloth 10 with respect to the pressing part 115 and includes a dispenser 124 as a solvent application part that applies a solvent to the surface of the wiping cloth 10. Accordingly, the wiping cloth 10 impregnated with the solvent is pressed against the surface of the liquid crystal display panel 1, and the controller 131 performs a wiping operation to adhere to the surfaces 2a and 3a of the liquid crystal display panel 1. In addition to removing foreign matter, dirt attached to the surfaces 2a and 3a can be removed at the same time.

（３）異物除去装置１００において、クロス供給機構１１１は、押圧部１１５が開口した部分から突出する吸気口１２６ｂと排気口１２６ａとを備えた排気フード１２６によって覆われている。よって、排気口１２６ａを排気装置に配管接続すれば、拭き取り動作時に発生するワイピングクロス１０の発塵や除去された異物を、周囲の空気と一緒に吸気口１２６ｂから吸引して排気口１２６ａから排気することができる。すなわち、ワイピングクロス１０の発塵や除去された異物が液晶表示パネル１の表面に再付着することをより低減した異物除去装置１００を提供することができる。   (3) In the foreign matter removing apparatus 100, the cross supply mechanism 111 is covered with an exhaust hood 126 having an intake port 126b and an exhaust port 126a protruding from a portion where the pressing portion 115 is opened. Therefore, if the exhaust port 126a is connected to the exhaust device by piping, the dust generated by the wiping cloth 10 generated during the wiping operation or the removed foreign matter is sucked together with the surrounding air from the intake port 126b and exhausted from the exhaust port 126a. can do. That is, it is possible to provide the foreign matter removing apparatus 100 in which dust generation from the wiping cloth 10 and removed foreign matter are further prevented from reattaching to the surface of the liquid crystal display panel 1.

（４）異物除去装置１００において、押圧部１１５の先端部１１５ａには、軟質部材１１５ｂがワイピングクロス１０の幅方向に対応して設けられている。したがって、先端部１１５ａに支持されたワイピングクロス１０に液晶表示パネル１の表面が押圧された場合、該表面とワイピングクロス１０の押圧された部分とがより密着して、該表面をワイピングクロス１０でムラなく拭き取りすることができる。また、押圧部１１５の本体は導電性の金属からなるため、該表面とワイピングクロス１０との摩擦によって発生する静電気を押圧部１１５側に逃がすことができる。すなわち、静電気によるゴミなどの異物が該表面に再付着することを低減すると共に、液晶表示パネル１を構成する各基板２，３の静電気による表面破壊を低減することができる。   (4) In the foreign matter removing apparatus 100, a soft member 115 b is provided at the distal end portion 115 a of the pressing portion 115 so as to correspond to the width direction of the wiping cloth 10. Therefore, when the surface of the liquid crystal display panel 1 is pressed against the wiping cloth 10 supported by the tip portion 115a, the surface and the pressed part of the wiping cloth 10 are more closely adhered to each other, and the surface is wiped with the wiping cloth 10. It can be wiped off evenly. Further, since the main body of the pressing portion 115 is made of a conductive metal, static electricity generated by friction between the surface and the wiping cloth 10 can be released to the pressing portion 115 side. That is, it is possible to reduce foreign matters such as dust due to static electricity from reattaching to the surface, and it is possible to reduce surface destruction due to static electricity of the substrates 2 and 3 constituting the liquid crystal display panel 1.

（５）異物除去装置１００を用いた本実施形態の異物除去方法は、異物を除去しようとする液晶表示パネル１の表面を、第１の拭き取り工程で第１の拭き取り方向に拭き取り動作を行った後に、第２の拭き取り工程で第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に拭き取り動作を行う。したがって、第１の拭き取り工程で液晶表示パネル１の表面の一方の端部に拭き取りできない部分が生じても、第２の拭き取り工程で先に拭き取りできなかった部分を含めて拭き取りがされ、表面を隈なく拭き取って付着した異物や汚れを除去することができる。   (5) In the foreign matter removing method of the present embodiment using the foreign matter removing device 100, the surface of the liquid crystal display panel 1 from which foreign matter is to be removed is wiped in the first wiping direction in the first wiping step. Later, in the second wiping step, a wiping operation is performed in a second wiping direction opposite to the first wiping direction. Therefore, even if there is a portion that cannot be wiped off at one end of the surface of the liquid crystal display panel 1 in the first wiping step, the surface including the portion that could not be wiped off earlier in the second wiping step is wiped off. It is possible to remove foreign matters and dirt adhered by wiping without hesitation.

（６）本実施形態の異物除去方法は、拭き取り動作１回ごとに、押圧されるワイピングクロス１０の部分を更新する工程を備えているので、常に未使用な状態のワイピングクロス１０の表面で、液晶表示パネル１の表面を拭き取って付着した異物を除去することができる。すなわち、除去された異物や汚れが表面に再付着することを低減することができる。   (6) Since the foreign matter removing method of the present embodiment includes a step of updating the portion of the wiping cloth 10 that is pressed every time the wiping operation is performed, on the surface of the wiping cloth 10 that is always unused, The foreign matter adhering to the surface of the liquid crystal display panel 1 can be removed. That is, it is possible to reduce the removed foreign matter and dirt from reattaching to the surface.

（７）本実施形態の異物除去方法は、第１の拭き取り方向と第２の拭き取り方向のいずれか一方向で液晶表示パネル１とワイピングクロス１０とを相対的に摺動させる。したがって、液晶表示パネル１の表面をワイピングクロス１０に押圧した状態で、拭き取り方向を変えることがないので、押圧されたワイピングクロス１０が異なる方向に引っ張られて発塵することを低減することができる。   (7) In the foreign matter removing method of the present embodiment, the liquid crystal display panel 1 and the wiping cloth 10 are relatively slid in either one of the first wiping direction and the second wiping direction. Therefore, since the wiping direction is not changed in a state where the surface of the liquid crystal display panel 1 is pressed against the wiping cloth 10, it is possible to reduce the generation of dust generated by the pressed wiping cloth 10 being pulled in different directions. .

（８）本実施形態の異物除去方法は、液晶表示パネル１の表面の一方の端部をワイピングクロス１０に押圧してから拭き取り動作を開始し、押圧部１１５が相対的に他方の端部を通過した位置で、拭き取り動作が止まる。したがって、液晶表示パネル１の側端部のエッジがワイピングクロス１０に侵入するように拭き取りがされないので、側端部のエッジでワイピングクロス１０が損傷して発塵したり、最悪の場合は、断裂してしまうことを低減することができる。   (8) The foreign matter removing method of the present embodiment starts the wiping operation after pressing one end of the surface of the liquid crystal display panel 1 against the wiping cloth 10, and the pressing portion 115 relatively moves the other end. The wiping operation stops at the passed position. Therefore, since the edge of the side end portion of the liquid crystal display panel 1 is not wiped off so as to enter the wiping cloth 10, the wiping cross 10 is damaged by the edge of the side end portion to generate dust, or in the worst case, the rupture is broken. Can be reduced.

（９）本実施形態の液晶表示装置２０の製造方法は、異物除去装置１００を用いて液晶表示パネル１の表面を隈なく拭き取りして、付着した異物や汚れを除去した後に、液晶表示パネル１の光の入射側と出射側の表面に防塵ガラス２１，２２を装着する。したがって、異物不良や汚れ不良を低減して、歩留まりよく防塵ガラス２１，２２を備えた液晶表示装置２０を製造することができる。   (9) In the method of manufacturing the liquid crystal display device 20 of the present embodiment, the surface of the liquid crystal display panel 1 is thoroughly wiped using the foreign matter removing device 100 to remove the attached foreign matter and dirt, and then the liquid crystal display panel 1 The dust-proof glasses 21 and 22 are attached to the surfaces on the light incident side and light emitting side. Accordingly, it is possible to manufacture the liquid crystal display device 20 including the dust-proof glasses 21 and 22 with reduced yield by reducing foreign matter defects and dirt defects.

前記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
（変形例１）異物除去装置１００において、液晶表示パネル１の表面とワイピングクロス１０とを相対的に摺動させる構成は、前記実施形態に限定されない。所定の位置に配置された液晶表示パネル１に対して、クロス供給機構１１１と押圧部１１５とを一体としてクロス部搬送機構１４１を移動させて摺動させてもよい。また、基板保持装置１０１とクロス部搬送機構１４１の双方を移動させて摺動させてもよい。 Modifications other than the above embodiment are as follows.
(Modification 1) In the foreign substance removal apparatus 100, the structure in which the surface of the liquid crystal display panel 1 and the wiping cloth 10 are slid relative to each other is not limited to the above embodiment. The cross supply mechanism 111 and the pressing unit 115 may be integrated with the liquid crystal display panel 1 arranged at a predetermined position, and the cross transport mechanism 141 may be moved and slid. Further, both the substrate holding device 101 and the cross portion transport mechanism 141 may be moved and slid.

（変形例２）パネル保持部１０１ａの構造は、前記実施形態に限定されない。例えば、上側把持部１０２と下側把持部１０３とによってＦＰＣ７を両面から把持すると共に、パネル支持部１０４が、液晶表示パネル１のＦＰＣ７が設けられた側と反対側の側端面を支持して液晶表示パネル１を保持してもよい。このようにすれば、異物を除去しようとする表面にパネル支持部１０４が触れない状態で液晶表示パネル１を保持することができる。すなわち、パネル保持部１０１ａに邪魔されることなく、ワイピングクロス１０で表面を隈なく拭き取りすることができる。また、液晶表示パネル１の片側の表面のみ異物の除去を行う場合は、反対側の表面のいずれの部分でも支持が可能である。例えば、吸着パッドをアーム部１０５に取り付けて反対側の表面を真空吸着することにより液晶表示パネル１を支持することも可能である。さらに、把持部としての上側把持部１０２と下側把持部１０３とによってＦＰＣ７を把持したときに、略水平状態に把持することができれば、パネル支持部１０４およびアーム部１０５は、不要とすることができる。   (Modification 2) The structure of the panel holding portion 101a is not limited to the above embodiment. For example, the FPC 7 is gripped from both sides by the upper gripping portion 102 and the lower gripping portion 103, and the panel support portion 104 supports the side end surface of the liquid crystal display panel 1 on the side opposite to the side where the FPC 7 is provided. The display panel 1 may be held. In this way, it is possible to hold the liquid crystal display panel 1 in a state where the panel support 104 does not touch the surface from which foreign matter is to be removed. That is, the surface can be wiped off with the wiping cloth 10 without being obstructed by the panel holding portion 101a. Further, when removing foreign matter only on one surface of the liquid crystal display panel 1, it is possible to support any part of the opposite surface. For example, the liquid crystal display panel 1 can be supported by attaching a suction pad to the arm unit 105 and vacuum-sucking the opposite surface. Furthermore, if the FPC 7 is gripped by the upper gripping portion 102 and the lower gripping portion 103 as gripping portions, the panel support portion 104 and the arm portion 105 are not required if they can be gripped in a substantially horizontal state. it can.

（変形例３）異物除去装置１００を用いた異物除去方法において、液晶表示パネル１の表面の一端部にワイピングクロス１０を押圧して拭き取る方法は、前記実施形態に限定されない。例えば、第１の拭き取り工程と第２の拭き取り工程とを逆にしてもよい。また、必ずしもそれぞれ３回拭き取りを行わなくてもよい。例えば、第１の拭き取り工程で３回拭き取り動作を行って、第２の拭き取り工程では、１回の拭き取り動作で済ませてもよい。また、それぞれ１回ずつ拭き取り動作を行わせてもよい。   (Modification 3) In the foreign matter removal method using the foreign matter removal apparatus 100, the method of wiping the wiping cloth 10 against one end of the surface of the liquid crystal display panel 1 is not limited to the above embodiment. For example, the first wiping step and the second wiping step may be reversed. Moreover, it is not always necessary to perform wiping three times. For example, the wiping operation may be performed three times in the first wiping step, and the single wiping operation may be performed in the second wiping step. Alternatively, the wiping operation may be performed once each.

（変形例４）異物除去装置１００を用いた異物除去方法において、溶剤塗布工程は、拭き取り動作１回ごと、ワイピングクロス１０を更新する工程の後に、１回ごと行ってもよい。   (Modification 4) In the foreign matter removal method using the foreign matter removal apparatus 100, the solvent application step may be performed once every time after the step of renewing the wiping cloth 10 every time the wiping operation is performed.

（ａ）は、液晶表示装置を示す概略斜視図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線で切った断面図。(A) is a schematic perspective view which shows a liquid crystal display device, (b) is sectional drawing cut | disconnected by the AA line of (a). （ａ）は、液晶表パネルを示す正面図、（ｂ）は、液晶表示パネルを示す側面図。(A) is a front view which shows a liquid crystal surface panel, (b) is a side view which shows a liquid crystal display panel. 異物除去装置の要部構造を示す模式図。The schematic diagram which shows the principal part structure of a foreign material removal apparatus. 基板保持装置を示す模式図。The schematic diagram which shows a board | substrate holding | maintenance apparatus. （ａ）は、パネル保持部を示す概略正面図、（ｂ）は、パネル保持部を示す概略平面図。(A) is a schematic front view which shows a panel holding part, (b) is a schematic plan view which shows a panel holding part. 溶剤塗布部を示す概略図。Schematic which shows a solvent application part. 押圧部を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows a press part. 異物除去装置の電気的、機械的な構成を示すブロック図。The block diagram which shows the electrical and mechanical structure of a foreign material removal apparatus. 異物除去方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the foreign material removal method. （ａ）〜（ｄ）は、異物除去方法を示す異物除去装置の概略図。(A)-(d) is the schematic of the foreign material removal apparatus which shows the foreign material removal method. （ｅ）〜（ｈ）は、異物除去方法を示す異物除去装置の概略図。(E)-(h) is the schematic of the foreign material removal apparatus which shows the foreign material removal method.

符号の説明Explanation of symbols

１…電気光学パネルとしての液晶表示パネル、２…基板としての素子基板、２ａ…基板の表面としての素子基板の表面、３…基板としての対向基板、３ａ…基板の表面としての対向基板の表面、３ｂ…基板の表面の一方の端部、３ｃ…基板の表面の他方の端部、７…中継基板としてのＦＰＣ、１０…ワイピングクロス、１１…溶剤、２０…電気光学装置としての液晶表示装置、２１，２２…透明基板としての防塵ガラス、２３…筐体としてのケース、１００…異物除去装置、１０１ａ…パネル保持部、１０２…把持部としての上側把持部、１０３…把持部としての下側把持部、１０４…パネル支持部、１１０…移動手段としてのスライド機構、１１１…クロス供給手段としてのクロス供給機構、１１５…押圧部、１１５ａ…押圧部の先端部、１１５ｂ…軟質部材、１２４…溶剤塗布部としてのディスペンサ、１２５…ノズル、１２６…排気フード、１２６ａ…排気口、１２６ｂ…吸気口。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display panel as an electro-optical panel, 2 ... Element board | substrate as a board | substrate, 2a ... The surface of the element board | substrate as a surface of a board | substrate, 3 ... Counter board | substrate as a board | substrate, 3a ... DESCRIPTION OF SYMBOLS 3b ... One edge part of the surface of a board | substrate, 3c ... The other edge part of the surface of a board | substrate, 7 ... FPC as a relay substrate, 10 ... Wiping cloth, 11 ... Solvent, 20 ... Liquid crystal display device as an electro-optical device DESCRIPTION OF SYMBOLS 21,22 ... Dust-proof glass as a transparent substrate, 23 ... Case as a housing | casing, 100 ... Foreign substance removal apparatus, 101a ... Panel holding part, 102 ... Upper side holding part as a holding part, 103 ... Lower side as a holding part Gripping part 104 ... Panel support part 110 ... Sliding mechanism as moving means 111 ... Cross feeding mechanism as cross feeding means, 115 ... Pressing part, 115a ... Tip part of pressing part, 15b ... soft member, 124 ... dispenser as solvent coating unit, 125 ... nozzle, 126 ... exhaust hood, 126a ... exhaust port, 126b ... inlet.

Claims (8)

中継基板が電気的に接続された電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去する異物除去装置であって、
前記基板の表面を下方に向けて保持するパネル保持部と、
前記パネル保持部に保持された前記基板の表面に、ワイピングクロスが対向するように配置されると共に、前記ワイピングクロスの両端を支持して供給を行うクロス供給手段と、
前記基板の表面との間に前記ワイピングクロスを介して位置すると共に、前記ワイピングクロスの幅方向に渡って前記ワイピングクロスを前記ワイピングロスの下面から前記基板の表面側に向かって支持する押圧部と、
前記パネル保持部と前記押圧部で支持された前記ワイピングクロスとのうち、少なくとも一方を前記基板の表面を拭き取り可能な拭き取り方向に移動させる移動手段と、
前記基板の表面に前記ワイピングクロスを前記押圧部の先端部で押圧した状態で、前記移動手段を制御して前記基板と前記ワイピングクロスとを相対的に前記拭き取り方向に移動させて、前記ワイピングクロスで前記基板の表面を拭う拭き取り動作を行わせる制御部とを備え、
前記パネル保持部は、前記中継基板を把持して前記電気光学パネルを支えると共に、前記基板の表面とは反対側の表面の一部を支持して前記電気光学パネルを保持することを特徴とする異物除去装置。 A foreign matter removing device that removes foreign matter attached to the surface of the electro-optic panel substrate to which the relay substrate is electrically connected ,
A panel holding portion for holding the surface of the substrate facing downward;
Cloth supply means arranged to face the surface of the substrate held by the panel holding portion so as to face the wiping cloth and to support and supply both ends of the wiping cloth;
A pressing portion that is located between the surface of the substrate and the surface of the substrate, and that supports the wiping cross from the lower surface of the wiping loss toward the surface of the substrate across the width direction of the wiping cross; ,
Moving means for moving at least one of the panel holding part and the wiping cloth supported by the pressing part in a wiping direction capable of wiping the surface of the substrate;
In a state where the wiping cloth is pressed against the surface of the substrate by the tip of the pressing portion, the moving means is controlled to move the substrate and the wiping cloth relative to each other in the wiping direction. And a controller that performs a wiping operation for wiping the surface of the substrate.
The panel holding unit holds the electro-optical panel by holding the relay substrate and supporting the electro-optical panel, and supporting a part of the surface opposite to the surface of the substrate. Foreign matter removal device. 前記パネル保持部は、前記電気光学パネルの一辺側に接続された前記中継基板を両面から把持する把持部と、前記基板の表面とは反対側の表面おける前記一辺側と対向する辺側の少なくとも一部に当接して支持するパネル支持部とを有し、前記把持部と前記パネル支持部とによって前記電気光学パネルを保持することを特徴とする請求項１に記載の異物除去装置。   The panel holding portion includes a gripping portion for gripping the relay substrate connected to one side of the electro-optic panel from both sides, and at least a side of the side opposite to the one side of the surface opposite to the surface of the substrate. 2. The foreign matter removing apparatus according to claim 1, further comprising a panel support portion that contacts and supports a part of the electro-optical panel, wherein the electro-optical panel is held by the grip portion and the panel support portion. 前記移動手段は、前記把持部と、前記パネル支持部とを同時に前記拭き取り方向に移動させることを特徴とする請求項２に記載の異物除去装置。The foreign matter removing apparatus according to claim 2, wherein the moving unit moves the grip portion and the panel support portion simultaneously in the wiping direction. 前記押圧部に対して前記ワイピングクロスの供給側に位置して、前記ワイピングクロスに溶剤を塗布する溶剤塗布部をさらに備え、
前記制御部は、前記溶剤塗布部から前記ワイピングクロスの供給方向における前記押圧部の先端部側を含む手前の部分の前記ワイピングクロスに溶剤を吐出して含浸させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の異物除去装置。 A solvent application unit that is located on the supply side of the wiping cloth with respect to the pressing unit and that applies a solvent to the wiping cloth,
Wherein the control unit 1 through claim, characterized in that impregnating by discharging the solvent from the solvent coating unit to the wiping cloth before the portion including the distal end portion side of the pressing portion in the supply direction of the wiping cloth The foreign matter removing apparatus according to any one of claims 3 to 4 . 前記溶剤塗布部は、溶剤と空気とを混合した状態で、ノズルから前記ワイピングクロスの表面に吐出することを特徴とする請求項４に記載の異物除去装置。   The foreign matter removing apparatus according to claim 4, wherein the solvent application unit discharges the solvent and air from a nozzle onto the surface of the wiping cloth in a mixed state. 前記制御部は、前記基板の表面の一方の端部に前記ワイピングクロスを前記押圧部の先端部で押圧した状態で、前記移動手段を制御して前記基板と前記ワイピングクロスとを相対的に第１の拭き取り方向に移動させて、前記押圧部の先端部が相対的に、前記基板の表面の前記一方の端部とは反対側の他方の端部を通過する第１の拭き取り動作を少なくとも１回行わせた後に、前記基板の表面の前記他方の端部に前記ワイピングクロスを前記押圧部の先端部で押圧した状態で、前記移動手段を制御して前記基板と前記ワイピングクロスとを相対的に前記第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に移動させて、前記押圧部の先端部が相対的に前記一方の端部を通過する第２の拭き取り動作を少なくとも１回行わせることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の異物除去装置。   The control unit controls the moving unit to relatively move the substrate and the wiping cloth in a state where the wiping cloth is pressed to one end of the surface of the substrate by the tip of the pressing unit. At least one first wiping operation in which the tip end portion of the pressing portion relatively moves through the other end portion on the opposite side of the one end portion of the surface of the substrate. After the rotation, the moving means is controlled so that the substrate and the wiping cloth are relative to each other while the wiping cloth is pressed to the other end of the surface of the substrate by the tip of the pressing portion. To the second wiping direction opposite to the first wiping direction, and the second wiping operation in which the tip of the pressing portion relatively passes through the one end is performed at least once. That is characterized by Foreign matter removing apparatus according to any one of claims 1 to 5. 前記制御部は、拭き取り動作１回ごとに、前記押圧部の先端部で押圧される前記ワイピングクロスの部分を更新するように前記クロス供給手段を制御することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の異物除去装置。   The said control part controls the said cloth supply means so that the part of the said wiping cloth pressed by the front-end | tip part of the said press part may be updated for every wiping operation | movement. The foreign substance removal apparatus as described in any one of Claims. 中継基板が電気的に接続された電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の異物除去装置を用いて前記電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去する工程と、
前記電気光学パネルの両方の表面のうち少なくとも一方の表面に、透明基板を装着する工程と、
前記透明基板が装着された前記電気光学パネルを筐体に収容する組立工程と、を備えたことを特徴する電気光学装置の製造方法。 A method of manufacturing an electro-optical device including an electro-optical panel to which a relay board is electrically connected,
A step of removing foreign matter adhered to the surface of the substrate of the electro-optical panel using foreign matter removing apparatus according to any one of claims 1 to 7,
Mounting a transparent substrate on at least one surface of both surfaces of the electro-optic panel;
And an assembling step of housing the electro-optical panel on which the transparent substrate is mounted in a housing.
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