JP4649912B2 - 光学装置、光学装置組立体、光学装置集合体、光学素子固定手段、光学装置部品、光学装置の製造方法、及び、光学装置の組立方法 - Google Patents
光学装置、光学装置組立体、光学装置集合体、光学素子固定手段、光学装置部品、光学装置の製造方法、及び、光学装置の組立方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4649912B2 JP4649912B2 JP2004240276A JP2004240276A JP4649912B2 JP 4649912 B2 JP4649912 B2 JP 4649912B2 JP 2004240276 A JP2004240276 A JP 2004240276A JP 2004240276 A JP2004240276 A JP 2004240276A JP 4649912 B2 JP4649912 B2 JP 4649912B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- optical device
- optical
- fixing means
- placement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
Description
(A)光学素子、
(B)光学素子固定手段、
(C)光学素子抑え部材、並びに、
(D)発光若しくは受光を行う発光/受光部、
を備えた光学装置であって、
(a)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e)第1面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
(f)第2面には、発光/受光部が配されており、
(g)光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、発光/受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置する、
ことを特徴とする。
第1の光学装置、第2の光学装置、及び、第1の光学装置と第2の光学装置との間に配置された位置測定手段から成る光学装置組立体であって、
第1の光学装置は、
(A−1)光学素子、
(B−1)光学素子固定手段、
(C−1)光学素子抑え部材、並びに、
(D−1)発光を行う発光部、
を備え、
(a−1)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b−1)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c−1)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d−1)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e−1)第1面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
(f−1)第2面には、発光部が配されており、
(g−1)光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、発光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置し、
第2の光学装置は、
(A−2)光学素子、
(B−2)光学素子固定手段、
(C−2)光学素子抑え部材、並びに、
(D−2)受光を行う受光部、
を備え、
(a−2)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b−2)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c−2)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d−2)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e−2)第1面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
(f−2)第2面には、受光部が配されており、
(g−2)光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置し、
光学装置組立体において、
第1の光学装置を構成する発光部の軸線と光学素子の軸、及び、第2の光学装置を構成する受光部の軸線と光学素子の軸は同軸に位置し、
第1の光学装置における光学素子抑え部材と、第2の光学装置における光学素子抑え部材との間に位置測定手段が配置されている、
ことを特徴とする。
(A)光学素子、
(B)光学素子固定手段、並びに、
(C)光学素子抑え部材、
を備えた光学装置が、複数、アレイ状に配列されて成る光学装置集合体であって、
光学装置を構成する光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向する第2面を有するウエハに形成されており、
各光学装置において、
(a)光学素子固定手段の内部には、ウエハの第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(b)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(c)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(d)ウエハの第1面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
(e)変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第2面に配される発光/受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする。
(a)第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b)その内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e)変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第2面に配される発光/受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする。
(A)光学素子を固定する光学素子固定手段、及び、
(B)発光若しくは受光を行う発光/受光部、
を備えた光学装置部品であって、
(a)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e)第2面には、発光/受光部が配されており、
(f)変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第2面に配された発光/受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする。
(A)光学素子、
(B)光学素子固定手段、
(C)光学素子抑え部材、並びに、
(D)発光若しくは受光を行う発光/受光部、
を備えた光学装置の製造方法であって、
(a)第1面、及び、該第1面に対向する第2面を有し、内部にSiO2層が形成されたシリコン半導体基板の第1面にエッチング用マスクを形成した後、該エッチング用マスクを使用してシリコン半導体基板を第1面側からエッチングし、以て、
(1)内部に、第1面に開口した光学素子載置領域が形成され、
(2)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられ、
(3)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有する、
光学素子固定手段を形成し、次いで、
(b)載置部材に光学素子を載置した後、光学素子載置領域を覆うように第1面に光学素子抑え部材を固定することで、変位部を有する載置部材の変位部を変位させ、以て、発光/受光部の軸線と光学素子の軸を同軸に位置させる、
ことを特徴とする。
(A)光学素子、
(B)光学素子固定手段、
(C)光学素子抑え部材、並びに、
(D)発光若しくは受光を行う発光/受光部、
を備え、
(a)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e)第2面には、発光/受光部が配されている、
光学装置の組立方法であって、
載置部材に光学素子を載置した後、光学素子載置領域を覆うように第1面に光学素子抑え部材を固定することで、変位部を有する載置部材の変位部を変位させ、以て、発光/受光部の軸線と光学素子の軸を同軸に位置させる、
ことを特徴とする。
第1面、及び、該第1面に対向する第2面を有し、内部にSiO2層が形成されたシリコン半導体基板の第1面にエッチング用マスクを形成した後、該エッチング用マスクを使用してシリコン半導体基板を第1面側からエッチングし、以て、
(1)内部に、第1面に開口した光学素子載置領域が形成され、
(2)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられ、
(3)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有する、
光学素子固定手段を形成することを特徴とする。
(A)光学素子を固定する光学素子固定手段、及び、
(B)受光を行う受光部、
を備えた光学装置部品の製造方法であって、
第1面、及び、該第1面に対向する第2面を有し、内部にSiO2層が形成されたシリコン半導体基板の第1面にエッチング用マスクを形成した後、該エッチング用マスクを使用してシリコン半導体基板を第1面側からエッチングし、以て、
(1)内部に、第1面に開口した光学素子載置領域が形成され、
(2)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられ、
(3)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有する、
光学素子固定手段を形成し、併せて、シリコン半導体基板の第2面に受光部を形成することを特徴とする。
TL A
2 1又は2
3 1,2又は3
4 2,3又は4
5 3,4又は5
6 4,5又は6
(1)第1の光学装置における変位部を有する載置部材が片持梁構造を有し、第2の光学装置における変位部を有する載置部材も片持梁構造を有する形態
(2)第1の光学装置における変位部を有する載置部材が梁構造を有し、第2の光学装置における変位部を有する載置部材が片持梁構造を有する形態
(3)第1の光学装置における変位部を有する載置部材が片持梁構造を有し、第2の光学装置における変位部を有する載置部材が梁構造を有する形態
(4)第1の光学装置における変位部を有する載置部材が梁構造を有し、第2の光学装置における変位部を有する載置部材も梁構造を有する形態
のいずれとすることもできる。
kZ=(Ebh3)/(4L3)
kZ/kX=(h/b)2
(a)第1面16,36、及び、該第1面16,36に対向した第2面17,37を有し、
(b)その内部には、第1面16,36に開口した光学素子載置領域12,32が形成されており、
(c)光学素子載置領域12,32には、少なくとも2つの載置部材13,33が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材13,33は、変位部15,35を有しており、
(e)変位部15,35を有する載置部材13,33の変位部15,35が変位することによって第2面17,37に配される発光/受光部22,42の軸線と光学素子20,40の軸AXが同軸に位置されるように、光学素子20,40が載置部材13,33に載置される。
(A)光学素子20,40、
(B)光学素子固定手段11,31、並びに、
(C)光学素子抑え部材21,41、
を備えた光学装置(第1の光学装置10、あるいは、第2の光学装置30、あるいは、第1の光学装置10と第2の光学装置30)が、複数、アレイ状に配列されて成る光学装置集合体である。
各光学装置(第1の光学装置10、あるいは、第2の光学装置30、あるいは、第1の光学装置10と第2の光学装置30)において、
(a)光学素子固定手段11,31の内部には、ウエハの第1面16,36に開口した光学素子載置領域12,32が形成されており、
(b)光学素子載置領域12,32には、少なくとも2つの載置部材13,33が設けられており、
(c)少なくとも1つの載置部材13,33は、変位部15,35を有しており、
(d)ウエハの第1面16,36には、光学素子載置領域12,32を覆うように、光学素子抑え部材21,41が固定されており、
(e)変位部15,35を有する載置部材13,33の変位部15,35が変位することによって第2面17,37に配される発光/受光部22,42の軸線と光学素子20,40の軸AXが同軸に位置されるように、光学素子20,40が載置部材13,33に載置される。
(A)光学素子20,40を固定する光学素子固定手段11,31、及び、
(B)発光若しくは受光を行う発光/受光部22,42、
を備えた光学装置部品として眺めると、この光学装置部品にあっては、
(a)光学素子固定手段11,31は、第1面16,36、及び、該第1面16,36に対向した第2面17,37を有し、
(b)光学素子固定手段11,31の内部には、第1面16,36に開口した光学素子載置領域12,32が形成されており、
(c)光学素子載置領域12,32には、少なくとも2つの載置部材13,33が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材13,33は、変位部15,35を有しており、
(e)第2面17,37には、発光/受光部22,42が配されており、
(f)変位部15,35を有する載置部材13,33の変位部15,35が変位することによって第2面17,37に配された発光/受光部22,42の軸線と光学素子20,40の軸AXが同軸に位置されるように、光学素子20,40が載置部材13,33に載置される。
先ず、SOI基板80の第2面87に、周知のイオン注入法等に基づき、例えばpin型フォトダイオードから成る受光素子42を形成する(図7の(A)参照)。尚、発光/受光部を発光素子22から構成する場合には、この工程は不要である。
その後、SOI基板80の第1面86上に、リソグラフィ技術に基づきSiO2から成る第1マスク層91を形成する。第1マスク層91には、光学素子載置領域を形成すべきSOI基板80の領域が露出した開口部が形成されている。次に、SOI基板80の第1面86上及び第1マスク層91上に、レジスト材料から成る第2マスク層92を形成する。第2マスク層92には、光学素子載置領域を形成すべきSOI基板80の領域であって、載置部材を形成しない部分が露出した開口部が形成されている。この状態を、図7の(B)に示す。
次に、第2マスク層92をエッチング用マスクとして、SOI基板80のシリコン層81の異方性エッチングを行う。シリコン層81のエッチング深さ(h0)が、載置部材の高さ(垂直方向の長さ)hとなった時点で異方性エッチングを中止する。この状態を、図8の(A)に示す。
その後、第2マスク層92をアッシング処理によって除去し(図8の(B)参照)、次いで、第1マスク層91をエッチング用マスクとして、SOI基板80のシリコン層81の異方性エッチングを行う。シリコン層81のエッチング深さ(h1)が、SOI基板80の内部に形成されたSiO2層82に達した時点で異方性エッチングを中止する。この状態を図9の(A)に示す。
次いで、第1マスク層91の全て、及び、SiO2層82の一部を除去することで、図9の(B)に示す構造を得ることができる。即ち、
(1)内部に、第1面36(86)に開口した光学素子載置領域32が形成され、
(2)光学素子載置領域32には、少なくとも2つの載置部材33が設けられ、
(3)少なくとも1つの載置部材33は、変位部35を有する、
光学素子固定手段31を形成する光学素子固定手段の製造方法を達成することができる。
(1)内部に、第1面36(86)に開口した光学素子載置領域32が形成され、
(2)光学素子載置領域32には、少なくとも2つの載置部材33が設けられ、
(3)少なくとも1つの載置部材33は、変位部35を有する、
光学素子固定手段31を形成し、併せて、シリコン半導体基板(SOI基板80)の第2面37(87)に受光部42を形成する光学装置部品の製造方法を達成することができる。
次いで、載置部材33に光学素子40を載置した後、光学素子載置領域32を覆うように、SOI基板80の第1面86にガラス板から成る光学素子抑え部材41を陽極接合法に基づき固定することで、第2面に向かう方向に光学素子40に圧力を加え、変位部35を有する載置部材33の変位部35を変位させ(より具体的には、変位載置部材33の変位部35を、光学素子40の軸AXと直交する仮想平面内において、光学素子40の軸AXから離れる方向に変位させ)、以て、発光/受光部(受光素子42)の軸線と光学素子40の軸AXを同軸に位置させる。尚、この工程にあっては、1つの光学素子抑え部材41が、全ての光学装置の光学素子載置領域32を覆うように、SOI基板80の第1面86に光学素子抑え部材41を固定する。その後、ダイシング法にて光学装置を個別に切断することで、光学装置を完成させる。こうして、光学装置の製造方法及び光学装置の組立方法を達成することができる。尚、発光/受光部を発光ダイオードから構成する場合、これらの発光ダイオードを周知の方法で光学素子固定手段11の第2面17に取り付ければよい。
(1)片持梁構造を有する変位載置部材のみから構成する。
(2)片持梁構造を有する変位載置部材と固定載置部材から構成する。
(3)梁構造を有する変位載置部材のみから構成する。
(4)梁構造を有する変位載置部材と固定載置部材から構成する。
(5)片持梁構造を有する変位載置部材と、梁構造を有する変位載置部材と、固定載置部材から構成する。
といった構成様式を挙げることができる。
Claims (26)
- (A)光学素子、
(B)光学素子固定手段、
(C)光学素子抑え部材、並びに、
(D)発光若しくは受光を行う発光/受光部、
を備えた光学装置であって、
(a)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e)第1面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
(f)第2面には、発光/受光部が配されており、
(g)光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、発光/受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置する、
ことを特徴とする光学装置。 - 変位部を有する載置部材は、その一端が光学素子固定手段に固定された片持梁構造を有することを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 光学素子載置領域には、M個(但し、M≧3)の載置部材が設けられており、
M個の載置部材は、片持梁構造を有し、
M個の載置部材は、光学素子の軸に関して対称性を有するように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の光学装置。 - M個の載置部材は、光学素子の軸に対してM回の回転対称となるように配置されていることを特徴とする請求項3に記載の光学装置。
- M個の載置部材は、光学素子の軸を含む仮想平面に対して鏡面対称となるように配置されていることを特徴とする請求項3に記載の光学装置。
- 変位部を有する載置部材は、その両端が光学素子固定手段に固定された梁構造を有することを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 光学素子載置領域には、N個の(但し、N≧2)の載置部材が設けられており、
N個の載置部材は、梁構造を有し、
N個の載置部材は、光学素子の軸に関して対称性を有するように配置されていることを特徴とする請求項6に記載の光学装置。 - 光学素子固定手段は、内部にSiO2層が形成されたシリコン半導体基板から作製されていることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 光学素子は、球状のレンズから成ることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 発光/受光部は、光学素子固定手段の第2面に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 光学素子固定手段の第2面から光学素子載置領域まで、光学素子固定手段には貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項10に記載の光学装置。
- 発光/受光部は、1又は複数の発光ダイオードから成ることを特徴とする請求項10に記載の光学装置。
- 発光/受光部は、光学素子固定手段の第2面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 発光/受光部は、1又は複数のフォトダイオードから成ることを特徴とする請求項13に記載の光学装置。
- 第1の光学装置、第2の光学装置、及び、第1の光学装置と第2の光学装置との間に配置された位置測定手段から成る光学装置組立体であって、
第1の光学装置は、
(A−1)光学素子、
(B−1)光学素子固定手段、
(C−1)光学素子抑え部材、並びに、
(D−1)発光を行う発光部、
を備え、
(a−1)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b−1)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c−1)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d−1)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e−1)第1面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
(f−1)第2面には、発光部が配されており、
(g−1)光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、発光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置し、
第2の光学装置は、
(A−2)光学素子、
(B−2)光学素子固定手段、
(C−2)光学素子抑え部材、並びに、
(D−2)受光を行う受光部、
を備え、
(a−2)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b−2)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c−2)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d−2)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e−2)第1面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
(f−2)第2面には、受光部が配されており、
(g−2)光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置し、
光学装置組立体において、
第1の光学装置を構成する発光部の軸線と光学素子の軸、及び、第2の光学装置を構成する受光部の軸線と光学素子の軸は同軸に位置し、
第1の光学装置における光学素子抑え部材と、第2の光学装置における光学素子抑え部材との間に位置測定手段が配置されている、
ことを特徴とする光学装置組立体。 - 第1の光学装置及び/又は第2の光学装置において、変位部を有する載置部材は、その一端が光学素子固定手段に固定された片持梁構造を有することを特徴とする請求項15に記載の光学装置組立体。
- 第1の光学装置及び/又は第2の光学装置において、変位部を有する載置部材は、その両端が光学素子固定手段に固定された梁構造を有することを特徴とする請求項15に記載の光学装置組立体。
- 第1の光学装置の光学素子固定手段は、内部にSiO2層が形成されたシリコン半導体基板から作製されており、
第2の光学装置の光学素子固定手段も、内部にSiO2層が形成されたシリコン半導体基板から作製されていることを特徴とする請求項15に記載の光学装置組立体。 - 第1の光学装置及び/又は第2の光学装置における光学素子は、球状のレンズから成ることを特徴とする請求項15に記載の光学装置組立体。
- 発光部は、光学素子固定手段の第2面に取り付けられていることを特徴とする請求項15に記載の光学装置組立体。
- 受光部は、光学素子固定手段の第2面に形成されていることを特徴とする請求項15に記載の光学装置組立体。
- (A)光学素子、
(B)光学素子固定手段、並びに、
(C)光学素子抑え部材、
を備えた光学装置が、複数、アレイ状に配列されて成る光学装置集合体であって、
光学装置を構成する光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向する第2面を有するウエハに形成されており、
各光学装置において、
(a)光学素子固定手段の内部には、ウエハの第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(b)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(c)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(d)ウエハの第1面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
(e)変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第2面に配される発光/受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする光学装置集合体。 - 光学素子を保持し、発光若しくは受光を行う発光/受光部が配される光学素子固定手段であって、
(a)第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b)その内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e)変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第2面に配される発光/受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする光学素子固定手段。 - (A)光学素子を固定する光学素子固定手段、及び、
(B)発光若しくは受光を行う発光/受光部、
を備えた光学装置部品であって、
(a)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e)第2面には、発光/受光部が配されており、
(f)変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第2面に配された発光/受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする光学装置部品。 - (A)光学素子、
(B)光学素子固定手段、
(C)光学素子抑え部材、並びに、
(D)発光若しくは受光を行う発光/受光部、
を備えた光学装置の製造方法であって、
(a)第1面、及び、該第1面に対向する第2面を有し、内部にSiO2層が形成されたシリコン半導体基板の第1面にエッチング用マスクを形成した後、該エッチング用マスクを使用してシリコン半導体基板を第1面側からエッチングし、以て、
(1)内部に、第1面に開口した光学素子載置領域が形成され、
(2)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられ、
(3)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有する、
光学素子固定手段を形成し、次いで、
(b)載置部材に光学素子を載置した後、光学素子載置領域を覆うように第1面に光学素子抑え部材を固定することで、変位部を有する載置部材の変位部を変位させ、以て、発光/受光部の軸線と光学素子の軸を同軸に位置させる、
ことを特徴とする光学装置の製造方法。 - (A)光学素子、
(B)光学素子固定手段、
(C)光学素子抑え部材、並びに、
(D)発光若しくは受光を行う発光/受光部、
を備え、
(a)光学素子固定手段は、第1面、及び、該第1面に対向した第2面を有し、
(b)光学素子固定手段の内部には、第1面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
(c)光学素子載置領域には、少なくとも2つの載置部材が設けられており、
(d)少なくとも1つの載置部材は、変位部を有しており、
(e)第2面には、発光/受光部が配されている、
光学装置の組立方法であって、
載置部材に光学素子を載置した後、光学素子載置領域を覆うように第1面に光学素子抑え部材を固定することで、変位部を有する載置部材の変位部を変位させ、以て、発光/受光部の軸線と光学素子の軸を同軸に位置させる、
ことを特徴とする光学装置の組立方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004240276A JP4649912B2 (ja) | 2004-08-20 | 2004-08-20 | 光学装置、光学装置組立体、光学装置集合体、光学素子固定手段、光学装置部品、光学装置の製造方法、及び、光学装置の組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004240276A JP4649912B2 (ja) | 2004-08-20 | 2004-08-20 | 光学装置、光学装置組立体、光学装置集合体、光学素子固定手段、光学装置部品、光学装置の製造方法、及び、光学装置の組立方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006058591A JP2006058591A (ja) | 2006-03-02 |
JP2006058591A5 JP2006058591A5 (ja) | 2007-09-20 |
JP4649912B2 true JP4649912B2 (ja) | 2011-03-16 |
Family
ID=36106105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004240276A Expired - Fee Related JP4649912B2 (ja) | 2004-08-20 | 2004-08-20 | 光学装置、光学装置組立体、光学装置集合体、光学素子固定手段、光学装置部品、光学装置の製造方法、及び、光学装置の組立方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4649912B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10473923B2 (en) * | 2017-09-27 | 2019-11-12 | Apple Inc. | Focal region optical elements for high-performance optical scanners |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0527819U (ja) * | 1991-08-31 | 1993-04-09 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 対物レンズアクチユエ−タ |
JPH0623375U (ja) * | 1992-08-24 | 1994-03-25 | オリンパス光学工業株式会社 | センサアッセンブリ |
JP2002098878A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-04-05 | Toshiba Corp | 光学レンズユニット |
JP2002116362A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Ricoh Co Ltd | あおり機構を有する光学素子とその製造方法及び光学装置 |
JP2004125813A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-04-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置及び光走査装置の受光センサ位置調整方法並びに画像記録装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62180894A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-08 | 株式会社神戸製鋼所 | ホイ−ルクレ−ン |
JPS62255909A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-07 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ保持装置 |
JPH01311759A (ja) * | 1988-06-10 | 1989-12-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 原稿照明装置 |
-
2004
- 2004-08-20 JP JP2004240276A patent/JP4649912B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0527819U (ja) * | 1991-08-31 | 1993-04-09 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 対物レンズアクチユエ−タ |
JPH0623375U (ja) * | 1992-08-24 | 1994-03-25 | オリンパス光学工業株式会社 | センサアッセンブリ |
JP2002098878A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-04-05 | Toshiba Corp | 光学レンズユニット |
JP2002116362A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Ricoh Co Ltd | あおり機構を有する光学素子とその製造方法及び光学装置 |
JP2004125813A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-04-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置及び光走査装置の受光センサ位置調整方法並びに画像記録装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006058591A (ja) | 2006-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100451709C (zh) | 高耦合效率光电模块 | |
TWI471983B (zh) | 產生晶圓級封裝之方法 | |
US20210405347A1 (en) | Micromachined mirror assembly having reflective layers on both sides | |
US7263249B2 (en) | Optical element assembly and method of making the same | |
US20130308906A1 (en) | System and method for dense coupling between optical devices and an optical fiber array | |
JP3974480B2 (ja) | 光学部材の実装方法および光モジュール | |
JP5737254B2 (ja) | 光通信モジュール | |
WO1996000919A1 (en) | Passively aligned bi-directional optoelectronic transceiver module assembly | |
CN103300882B (zh) | 多阵列超声波探头设备及其制造方法和装置 | |
JP2007271882A (ja) | 光モジュールおよびその製造方法 | |
JP4649912B2 (ja) | 光学装置、光学装置組立体、光学装置集合体、光学素子固定手段、光学装置部品、光学装置の製造方法、及び、光学装置の組立方法 | |
US20020014893A1 (en) | Scale member, method of producing the same and displacement measuring apparatus therewith | |
US20020154865A1 (en) | Fiber collimator | |
JP2005122084A (ja) | 光素子モジュール | |
JP4240890B2 (ja) | 光学素子の製造方法および光学素子 | |
JP2005045463A (ja) | 音響電気変換素子 | |
CN113030513A (zh) | 一种衍射型硅光加速度传感器 | |
US20150331212A1 (en) | Method for forming optoelectronic modules connectable to optical fibers and optoelectronic module connectable to at least one optical fiber | |
JP4697698B2 (ja) | 光デバイスおよびその製造方法 | |
US20210223691A1 (en) | Substrate of an optical electrical module | |
EP2762936A1 (en) | Method for forming optoelectronic modules connectable to optical fibers and optoelectronic module connectable to at least one optical fiber | |
JP2003107104A (ja) | 振動センサ | |
JP6358265B2 (ja) | 空間光変調素子モジュール、光描画装置、露光装置、空間光変調素子モジュール製造方法およびデバイス製造方法 | |
JP2014116417A (ja) | 半導体ウエハー、半導体発光装置、光伝送装置、情報処理装置および半導体発光素子の製造方法 | |
JP2003035846A (ja) | 光電変換装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070806 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100907 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101018 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101116 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101129 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |