JP4645816B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
かかる第1の態様では、応力緩和層を設けることで、少なくとも積層電極の端部に対応する部分での振動板への応力集中が抑えられ、この応力集中に起因する振動板の破壊が防止される。
かかる第2の態様では、積層電極の端部での振動板への応力集中がより効果的に抑えられる。
かかる第3の態様では、振動板への応力集中をさらに確実に抑えることができる。
かかる第4の態様では、圧電素子と同一プロセスで、応力緩和層を比較的容易に形成することができると共に、圧電素子の応力伝播を効果的に抑制することができる。
かかる第5の態様では、振動板及び積層電極に生じる応力が、応力緩和層によってさらに確実に緩和される。
かかる第6の態様では、二酸化シリコンからなる弾性膜には、応力集中による割れが特に発生しやすいが、応力緩和層を設けることで、弾性膜に生じる割れも防止することができる。
かかる第7の態様では、耐久性及び信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びA−A’断面図である。流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、図示するように、その一方の面には、二酸化シリコンからなり厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に沿って並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成されている。連通部13と各圧力発生室12とは、圧力発生室12と略同一幅で形成されるインク連通路14と、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されるインク供給路15を介して連通されている。なお、連通部13は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路15は、インク連通路14からを圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。また、圧力発生室12の列の外側の領域には、圧力発生室12の長手方向に平行な複数の接着逃げ溝16が流路形成基板10を貫通して設けられている。なお、この接着逃げ溝16は、後述する保護基板を接着剤によって流路形成基板10に接合する際、余分な接着剤が圧力発生室12内に流れ込むのを防止する役割を果たしている。
なお、本実施形態のように、応力緩和層150を圧電体層70と同一の層で形成する場合、応力緩和層150は、圧電素子300を構成する圧電体層70とは分離されていることが望ましい。これにより、圧電素子300を変形させたときの応力伝播を効果的に抑制できるからである。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、下電極膜上に1層又は2層の積層電極(第1、第2の積層電極)を形成した構成を例示したが、これに限定されず、勿論、下電極膜上に3層以上の積層電極を設けるようにしてもよい。このような構成とした場合でも、振動板と積層電極との間に、上述したような応力緩和層を設けることで、応力集中による振動板の割れを防止することができる。
Claims (7)
- ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備すると共に、前記下電極及び前記上電極とは異なる層で構成され、前記圧電素子が形成されている領域及び前記圧力発生室に対応する領域の外側の前記振動板上に設けられて前記下電極と電気的に接続される積層電極を有し、且つ該積層電極と前記振動板との間には、前記積層電極の端部にのみ対応する領域に、線膨張係数が前記振動板よりも大きく前記積層電極よりも小さい材料からなる応力緩和層が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1において、前記応力緩和層が、前記積層電極の縁部の外側まで張り出して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1又は2において、前記応力緩和層が、セラミックス材料からなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項3において、前記応力緩和層が、前記圧電素子を構成する前記圧電体層と同一の層からなり、且つ前記圧電素子を構成する圧電体層とは分離されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜4の何れかにおいて、前記応力緩和層の厚さが、前記積層電極の厚さと同一か又はそれよりも厚いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れかにおいて、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板からなると共に、前記振動板が前記流路形成基板の表面に形成された二酸化シリコンからなる弾性膜を少なくとも含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜6の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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