JP4641158B2 - クリーンルーム - Google Patents
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Description
また、前記複数の連絡給気路同士は、長さの差が少ない構成とすることができる。さらに、前記取込口部の断面積は、前記管路部の断面積より大きく形成されている構成とすることができる。
13 第1清浄室
13a 天井室
13c 天井部
13d 通気床部
14 第2清浄室
14d 排気口部
15 第3清浄室
16A 第1フィルタ(第1清浄化手段)
16B 第2フィルタ(第2清浄化手段)
17 外気処理装置
18 連絡給気路
18a 取込口部
18b 排出口部
18c 管路部
19 送気ファン(送気手段)
20 冷却装置(温度調節手段)
21 半導体検査装置(発熱性装置)
22 冷却用給気路
22a 取込口部
22b 排出口部
22c 管路部
23 クリーンルーム
25 再処理装置
Claims (8)
- 高度の清浄度に管理された第1清浄室と、該第1清浄室と比べて清浄度が同等以下の第2清浄室とを有するクリーンルームであって、
前記第1清浄室の天井裏には所定の清浄度の空気が送り込まれる天井室が備えられ、前記第1清浄室には天井部に備えられた第1清浄化手段を通過して空気が送り込まれ、前記第1清浄室の通気床部の裏面には連絡給気路の取込口部が取り付けられ、前記第1清浄室を通過した空気が前記連絡給気路を通って前記第2清浄室に送り込まれる構成であるとともに、
前記連絡給気路は複数設けられ、前記通気床部側の取込口部と前記第2清浄室側の排出口部とが一対一でそれぞれ分岐のない管路部で直接連絡されていることを特徴とするクリーンルーム。 - 前記複数の連絡給気路同士は、長さの差が少ないことを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム。
- 前記取込口部の断面積は、前記管路部の断面積より大きく形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーンルーム。
- 前記連絡給気路には、前記第2清浄室に送り込まれる空気の風量を調節する送気手段が備えられたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のクリーンルーム。
- 前記連絡給気路には、前記第2清浄室に送り込まれる空気の温度を調節する温度調節手段が備えられたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のクリーンルーム。
- 前記連絡給気路には、前記第2清浄室に送り込まれる空気を清浄化する第2清浄化手段が備えられたことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のクリーンルーム。
- 前記第2清浄室は、前記第1清浄室に隣接して設けられた第3清浄室の内部に収容され、前記第2清浄室から排出された空気が前記第3清浄室に排出されるとともに、
前記通気床部の裏面に冷却用給気路の取込口部が取り付けられ、該冷却用給気路を通って供給される空気によって前記第3清浄室に配置された発熱性装置を冷却することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載のクリーンルーム。 - 前記第2清浄室又は前記第3清浄室から排出された空気が、再処理装置によって再度、清浄化されて前記天井室に送り込まれることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載のクリーンルーム。
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