JP2006322659A - クリーンルームの空気清浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 天井面に多数のフィルター装置1を備え、該フィルター装置1で浄化された浄化空気を室内に供給可能としたクリーンルームであって、室内に設置される半導体製造装置2の上方に位置するフィルター装置1にはケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニット6を併設し、フィルター装置1及びケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニット6の吹き出し孔と半導体製造装置2の空気吸入孔との間には、浄化空気案内装置11,12,13を備えた。
【選択図】 図1
Description
半導体装置を製造するクリーンルームでは、製品の性能劣化及び歩留まりを向上させるために、分子レベル汚染物質やパーティクルを除去する空気浄化装置を設置する必要がある。そして、このような空気清浄装置で所要の浄化性能を確保しながら、設置コスト及びランニングコストの低減を図ることが必要となっている。
図10に示す空気浄化装置は、クリーンルーム内にケミカルフィルターユニット付き浄化エアー供給装置5が設置される。ケミカルフィルターユニット付き浄化エアー供給装置5は、クリーンルーム内の空気から化学成分を除去し、ダクトを介して半導体製造装置2に供給する。FFU1,4は図9に示すものと同様である。
図11に示す空気浄化装置は、各天井用FFU1の設置位置にそれぞれケミカルフィルターユニット6を配設したものである。このような構成により、半導体製造装置2にはFFU1,4及びケミカルフィルターユニット6により浄化された空気が供給される。
特許文献2には、クリーンルームの天井吹き出し口からダクトを介して装置に空気を供給する構成が開示されている。
特許文献1〜3には、ケミカルフィルターユニットの設置方法に関する思想は開示されていない。
図1は、本発明を具体化した第一の実施の形態を示す。前記従来例と同一構成部分は同一符号を付して説明する。
(1)ケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニット6は、半導体製造装置2の上方においてのみ、FFU1とともに配設される。従って、標準化されたケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニット6を使用することができるので、その維持管理が容易である。また、ケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニット6の設置数を削減して、コストの低減を図ることができる。
(2)FFU1及びケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニット6で浄化された空気をダクト11、ノズル12及びサンプラー13を介して半導体製造装置に局所的に供給することができる。
(3)ダクト11、ノズル12及びサンプラー13により、クリーンルーム内の空気の半導体製造装置2への流入を防止することができる。
(4)光触媒14及びUVランプ15により、浄化された空気中に含まれるガスを分解して、さらに浄化することができる。
(5)ダクト11とサンプラー13は連通しないので、その設置も容易である。
(第二の実施の形態)
図2は、第二の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記第一の実施の形態からUVランプ15を省略したものであり、その他の構成は第一の実施の形態と同様である。
(第三の実施の形態)
図3は、第三の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記第二の実施の形態からサンプラー13を省略したものである。
(第四の実施の形態)
図4は、第四の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記第二の実施の形態のダクト11内に、ダクト11内に収容可能としたケミカルフィルターユニット16及びFFU17を配設したものである。
(第五の実施の形態)
図5は第五の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記第四の実施の形態からサンプラー13を省略したものである。
(第六の実施の形態)
図6は、第六の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記各実施の形態のダクト11及びサンプラー13に代えて、FFU1の周囲から半導体製造装置2の上面にかけてカーテン20が隔離壁として垂下されている。
前記気流制御板18の表面には光触媒19の被膜が形成され、前記カーテン20の表面にも、光触媒21の被膜が形成される。
このような構成により、カーテン20及び気流制御板18により第一の実施の形態のダクト11及びサンプラー13と同様な作用効果を得ることができる。従って、第一の実施の形態と同様な作用効果を得ることができる。
(第七の実施の形態)
図7は、第七の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記第六の実施の形態から気流制御板18を省略したものである。
(第八の実施の形態)
図8は、第八の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記第七の実施の形態からUVランプ15を省略したものである。
・天井用FFU1は、ULPAフィルターとしてもよい。
・カーテン20に代えて、垂れ壁としてもよい。
(付記1)
天井面に多数のフィルター装置を備え、該フィルター装置で浄化された浄化空気を室内に供給可能としたクリーンルームであって、
前記室内に設置される半導体製造装置の上方に位置する前記フィルター装置にはケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニットを併設し、前記フィルター装置及びケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニットの吹き出し孔と前記半導体製造装置の空気吸入孔との間には、浄化空気案内装置を備えたことを特徴とするクリーンルームの空気清浄装置。
(付記2)
前記浄化空気案内装置は、
前記空気吸入孔に向かって前記浄化空気を吐出するノズルを備えたダクトとしたことを特徴とする付記1記載のクリーンルームの空気清浄装置。
(付記3)
前記浄化空気案内装置は、
前記浄化空気をその周囲の空気から隔離する隔離壁を前記天井から垂下して構成したことを特徴とする付記1記載のクリーンルームの空気清浄装置。
(付記4)
前記浄化空気案内装置の表面に光触媒の被膜を形成したことを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載のクリーンルームの空気清浄装置。
(付記5)
前記浄化空気案内装置内にUVランプを備えたことを特徴とする付記4記載のクリーンルームの空気清浄装置。
(付記6)
前記浄化空気案内装置は、
前記空気吸入孔に向かって前記浄化空気を吐出するノズルを備えたダクトと、
前記空気吸入孔に設けたサンプラーと
を備えたことを特徴とする付記1記載のクリーンルームの空気清浄装置。
(付記7)
前記ダクト内に、FFU及びケミカルフィルターユニットを備えたことを特徴とする付記2記載のクリーンルームの空気清浄装置。
(付記8)
前記浄化空気案内装置は、前記浄化空気が前記空気吸入孔に向かって流れるように整流する気流制御板を備えたことを特徴とする付記3記載のクリーンルームの空気清浄装置。
12 浄化空気案内装置(ノズル)
13 浄化空気案内装置(サンプラー)
14,19,21 光触媒
15 UVランプ
6,16 ケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニット
1,17 フィルター装置(FFU)
18 気流制御板
20 浄化空気案内装置(カーテン)
Claims (5)
- 天井面に多数のフィルター装置を備え、該フィルター装置で浄化された浄化空気を室内に供給可能としたクリーンルームであって、
前記室内に設置される半導体製造装置の上方に位置する前記フィルター装置にはケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニットを併設し、前記フィルター装置及びケミカルフィルターユニット若しくは光触媒式フィルターユニットの吹き出し孔と前記半導体製造装置の空気吸入孔との間には、浄化空気案内装置を備えたことを特徴とするクリーンルームの空気清浄装置。 - 前記浄化空気案内装置は、
前記空気吸入孔に向かって前記浄化空気を吐出するノズルを備えたダクトとしたことを特徴とする請求項1記載のクリーンルームの空気清浄装置。 - 前記浄化空気案内装置は、
前記浄化空気をその周囲の空気から隔離する隔離壁を前記天井から垂下して構成したことを特徴とする請求項1記載のクリーンルームの空気清浄装置。 - 前記浄化空気案内装置の表面に光触媒の被膜を形成したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のクリーンルームの空気清浄装置。
- 前記浄化空気案内装置内にUVランプを備えたことを特徴とする請求項4記載のクリーンルームの空気清浄装置。
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---|---|---|---|
JP2005145618A JP2006322659A (ja) | 2005-05-18 | 2005-05-18 | クリーンルームの空気清浄装置 |
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- 2005-05-18 JP JP2005145618A patent/JP2006322659A/ja active Pending
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