JP4641014B2 - Mounting structure of plasma gun to chamber - Google Patents
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Description
本発明は、プラズマガンのチャンバへの取り付け構造に関する。 The present invention relates to a structure for attaching a plasma gun to a chamber.
プラズマ成膜装置は、プラズマガンから発生したプラズマをイオン源として用いて成膜する装置である。このようなプラズマ成膜装置に用いられているプラズマガンとして、複合陰極型のプラズマガン、圧力勾配型のプラズマガン及びこれらを組み合わせたデュアルタイプのプラズマガンが知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1によれば、デュアルタイプのプラズマガンは、複合陰極型のプラズマガンの利点と圧力勾配型のプラズマガンの利点の両方を併せ持つプラズマガンである。
The plasma film forming apparatus is an apparatus for forming a film using plasma generated from a plasma gun as an ion source. As a plasma gun used in such a plasma film forming apparatus, a composite cathode type plasma gun, a pressure gradient type plasma gun, and a dual type plasma gun combining these are known (for example, Patent Document 1). reference). According to
しかしながら、このデュアルタイプのプラズマガンは、プラズマ成膜装置に取り付ける際、2つの中間電極を同時に取り付けなければならない等、その作業効率が悪いという問題があった。 However, this dual type plasma gun has a problem that its working efficiency is poor, for example, when two intermediate electrodes must be attached at the same time when it is attached to the plasma film forming apparatus.
このような問題に対して、取り付け作業の作業性を良くした真空成膜装置のプラズマ源が知られている(例えば、特許文献2参照)。特許文献2に開示されている真空成膜装置のプラズマ源は、2つの中間電極を別々に取り付けることができるため、その取り付け作業の作業性を良くすることができる。
しかしながら、特許文献2に開示されているようなプラズマ源では、各々の中間電極の位置決めが困難であり、その取り付け作業の作業性には未だ改善の余地があった。
However, in the plasma source as disclosed in
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、容易に位置決めすることができ、取り付け作業の作業性が高いプラズマガンのチャンバへの取り付け構造を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a structure for mounting a plasma gun to a chamber that can be easily positioned and has high workability in mounting work.
前記課題を解決するために本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造は、その壁にプラズマ流入口が設けられたチャンバと、前記プラズマ流入口の周囲に設けられた第1係合部及び第1位置決め部と、そのプラズマ流出口の周囲にフランジを有し、該フランジに前記第1係合部と係合する第2係合部及び前記第1位置決め部によって位置決めされる第2位置決め部が形成されたプラズマガンと、ロック機構と、を備え、前記第2係合部が前記チャンバの前記第1係合部と係合し、前記第2位置決め部が前記チャンバの前記第1位置決め部によって位置決めされ、前記プラズマ流出口が前記チャンバの前記プラズマ流入口に連通し、かつ、前記フランジが前記ロック機構によって前記チャンバの壁に押し付けられて固定されるようにして、前記プラズマガンが前記チャンバに取り付けられている。 In order to solve the above problems, a plasma gun mounting structure according to the present invention includes a chamber having a plasma inlet on a wall thereof, a first engagement portion provided around the plasma inlet, A first positioning part, a second engaging part having a flange around the plasma outlet and engaging with the first engaging part on the flange, and a second positioning part positioned by the first positioning part And a locking mechanism, wherein the second engaging portion is engaged with the first engaging portion of the chamber, and the second positioning portion is the first positioning portion of the chamber. So that the plasma outlet communicates with the plasma inlet of the chamber, and the flange is pressed against and fixed to the chamber wall by the locking mechanism. And, wherein the plasma gun is mounted to the chamber.
これにより、容易に位置決めすることができ、取り付け作業の作業効率がよくなる。 Thereby, it can position easily and the work efficiency of attachment work improves.
本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記第1係合部が係合凸部で構成されており、前記第2係合部が係合凹部で構成されていてもよい。 In the structure for attaching the plasma gun to the chamber according to the present invention, the first engaging portion may be constituted by an engaging convex portion, and the second engaging portion may be constituted by an engaging concave portion.
本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記係合凸部が本体部と該本体部の先端に設けられた前記本体部より断面積が大きい頭部とからなる第1ピンであり、前記係合凹部が貫通孔で、前記係合凸部の頭部が挿通可能な大孔部とこれに連通する前記係合凸部の本体部が挿通可能な小孔部であってもよい。 In the plasma gun chamber mounting structure according to the present invention, the engaging projection is a first pin comprising a main body and a head having a larger cross-sectional area than the main body provided at the tip of the main body. The engaging concave portion may be a through hole, and a large hole portion through which the head portion of the engaging convex portion can be inserted and a small hole portion through which the main body portion of the engaging convex portion communicating therewith can be inserted. .
本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記第1位置決め部は、位置決め凸部であり、前記第2位置決め部は、位置決め凹部であってもよい。 In the plasma gun chamber mounting structure according to the present invention, the first positioning part may be a positioning convex part, and the second positioning part may be a positioning concave part.
本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記位置決め凸部は、第2ピンであり、前記位置決め凹部は、位置決めすべき方向において前記第2ピンが勘合する幅を有し、その他の方向において前記第2ピンの幅より大きい幅を有してもよい。 In the plasma gun chamber mounting structure according to the present invention, the positioning convex portion is a second pin, and the positioning concave portion has a width for fitting the second pin in a direction to be positioned, The width may be greater than the width of the second pin in the direction.
本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記ロック機構は、クランプ機構で構成されていてもよい。 In the plasma gun chamber mounting structure according to the present invention, the lock mechanism may be a clamp mechanism.
本発明のプラズマガンのチャンバへの取り付け構造によれば、容易に位置決めすることができ、取り付け作業の作業効率をよくすることが可能となる。 According to the structure for mounting a plasma gun on a chamber of the present invention, it is possible to easily position the plasma gun, and it is possible to improve the work efficiency of the mounting work.
以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造の概略構成を示す模式図である。なお、図1においては、一部を省略している。また、図1において、プラズマガンのチャンバへの取り付け構造における上下方向を、図における上下方向として表わしている。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a structure for attaching a plasma gun to a chamber according to
図1に示すように、本実施の形態1に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造100は、プラズマガン1と、チャンバ2と、ロック機構3(図4参照)と、を有している。
As shown in FIG. 1, the plasma
プラズマガン1は、カソード部7と中間電極ユニット6を有しており、中間電極ユニット6は、第1中間電極4及び第1磁石49からなる第1中間電極サブユニット96と、第2中間電極5及び第2磁石72からなる第2中間電極サブユニット97と、絶縁部材51と、を有している。
The
まず、カソード部7について説明する。 First, the cathode part 7 will be described.
カソード部7は、円筒状の容器10を有している。そして、容器10の内部空間により、放電空間11が形成される。
The cathode part 7 has a
容器10の両端には、それぞれフランジ12、13が設けられている。容器10のフランジ13側の端は開放されている。一方、容器10のフランジ12側の端は、円板状の蓋部材14によって閉鎖されている。蓋部材14のフランジ12と当接する面(以下、蓋部材14の裏面という)には、厚み方向に凹んだ環状の第1位置決め凹部15が、フランジ12の外周面と第1位置決め凹部15を構成する外周壁とが接するように設けられている。すなわち、第1位置決め凹部15が、フランジ12と勘合するように設けられている。これにより、容器10と蓋部材14とは、各々の中心軸が一致するように互いに位置決めされる。
At both ends of the
第1位置決め凹部15には、厚み方向に環状の溝26が形成されており、溝26には、気密性を保つためのOリング27が配設されている。また、容器10の周壁のフランジ12側端部には、円環状の固定部材28が、容器10に嵌入されており、固定部材28とフランジ12との間には、リング部材30が、容器10に嵌入されて配設されている。固定部材28の適所には、厚み方向に貫通孔29が複数設けられており、貫通孔29には、ボルト31が挿通されている。このボルト31の先端部は、蓋部材14に形成されたねじ孔に螺入されている。このように、ボルト31が、固定部材28と蓋部材14とを締結することにより、容器10と蓋部材14が固定されている。このとき、リング部材30によって、フランジ12に過度の力が加わるのが防止され、フランジ12が破損されるのを防止することができる。これにより、容器10と蓋部材14の位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。
An
蓋部材14の表面には、厚み方向に凹んだ環状の冷却流路用凹部21が、後述する補助陰極16の基端部を囲むように設けられている。冷却流路用凹部21には、冷却流路用凹部21の開口部を覆うように冷却流路用蓋部材22が設けられている。冷却流路用凹部21と冷却流路用蓋部材22で形成される空間が、第3冷却流路23を構成する。そして、冷却流路用蓋部材22の適所には、冷却媒体を第3冷却流路23に供給及び排出するための第3冷却媒体供給口24及び第3冷却媒体排出口25がそれぞれ設けられている。第3冷却媒体供給口24は、L字状の継ぎ手78を介して、後述する第1冷却媒体排出口45と適宜な配管により接続されている。また、第3冷却媒体排出口25は、適宜な配管により冷却媒体供給装置(図示せず)と接続されている。このように形成された第3冷却流路23に冷却媒体(ここでは、水)を流すことにより、補助陰極16の基端部が、冷却される。
On the surface of the
蓋部材14には、蓋部材14の中心部を気密的に貫通して、容器10の中心軸に沿って延びるように、タンタル(Ta)で構成された円筒状の補助陰極16が配設されている。補助陰極16の基端部は、図示されないアルゴン(Ar)ガスタンクと適宜な配管により接続されており、補助陰極16の先端からArガスが放電空間11内に供給される。また、補助陰極16の先端近傍の外周面には、6ホウ化ランタン(LaB6)で構成された円環状の主陰極17が設けられている。補助陰極16と主陰極17によって、カソード18が構成されている。カソード18は、適宜な配線により、直流電源からなる主電源(図示せず)の負極と抵抗体(図示せず)を介して電気的に接続されている。
The
また、蓋部材14の裏面には、蓋部材14の中心軸と同軸状に、蓋部材14の厚み方向に延びるように、補助陰極16よりも径の大きいモリブデン(Mo)、又は、タングステン(W)で構成された円筒状の保護部材19が、蓋部材14に気密的に配設されている。保護部材19の先端には、タングステンで構成された円環状の窓部材20が設けられている。この保護部材19と窓部材20により、カソード18が保護される。
In addition, on the back surface of the
次に、中間電極ユニット6について説明する。
Next, the
まず、第1中間電極サブユニット96について説明する。
First, the first
第1中間電極サブユニット96は、板状の第1フランジ32と筒状の第1ホルダ部材43からなる第1ハウジング8と、筒状の第1電極部材47と、を有する第1中間電極4を備えており、フランジ13と当接するように設けられている。具体的には、第1フランジ32が、フランジ13と当接している。そして、第1フランジ32の一方の主面には、第1ホルダ部材43の一端が接続されている。また、第1ホルダ部材43の内孔には、第1電極部材47が嵌挿されている。
The first
第1フランジ32は、円板状の第1フランジ本体部32aと円板状の第1蓋部32bとを有している。第1フランジ本体部32a及び第1蓋部32bの中心部には、貫通孔33a、33bが設けられている。この貫通孔33a、33bが、プラズマ通過口33を構成する。そして、第1フランジ本体部32aのフランジ13と当接する主面(以下、第1フランジ本体部32aの表面という)には、厚み方向に凹んだ環状の第2位置決め凹部34が設けられている。この第2位置決め凹部34に、フランジ13が勘合する(嵌挿される)ことで、容器10の中心軸と第1フランジ本体部32aの中心軸とが一致するように、第1フランジ本体部32aに対し、容器10が位置決めされる。また、第1フランジ本体部32aの表面の第2位置決め凹部34より内方の部分には、該第2位置決め凹部34より一段低い凹部121が形成されている。そして、第2位置決め凹部34の内側端部は、フランジ13の内周面と面一になるように構成されている。これにより、容器10と第1フランジ本体部32aの位置決めを容易にすることができる。
The
第2位置決め凹部34の底面には、環状の溝35が形成されており、溝35には、気密性を保つためのOリング36が配設されている。また、容器10の周壁のフランジ13側端部には、円環状の固定部材37が、容器10に嵌入されており、固定部材37とフランジ13との間には、リング部材40が、容器10に嵌入されて配設されている。固定部材37の適所には、貫通孔38が複数設けられており、貫通孔38には、ボルト39が挿通されている。このボルト39の先端部が、第1フランジ本体部32aに設けられたねじ孔(図示せず)に螺入されている。このように、ボルト39が、固定部材37と第1フランジ本体部32aとを締結することにより、容器10と第1フランジ本体部32aが固定される。このとき、リング部材40によって、フランジ13に過度の力が加わるのが防止され、フランジ13が破損されるのを防止することができる。これにより、容器10と第1フランジ本体部32aの位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。
An
第1フランジ本体部32aの裏面には外周部122を凸部として残すようにして凹部123が形成されている。凹部123には、後述する第1冷却流路41を構成する第1冷却流路溝42が設けられている。そして、凹部123に第1蓋部32bが嵌め込まれて、第1冷却溝42を覆っている。第1蓋部32bの上部には、第1冷却流路溝42と連通するように貫通孔46が設けられており、該貫通孔46が、第1冷却媒体供給口46を形成する。第1冷却媒体供給口46は、適宜な配管により、後述する第2冷却媒体排出口70と接続されている。
A
そして、第1フランジ32には、第1ホルダ部材43の一端が接続されており、第1ホルダ部材43は、プラズマ通過口33の中心軸と同軸状に設けられている。第1ホルダ部材43は、第1外筒43aと第1内筒43bとで構成されている。第1外筒43aの内孔はカソード18から遠い方の端部が小径に形成されていて、この小径部56に嵌合するようにして、第1内筒43bが第1外筒43aに嵌挿されている。これにより、第1内筒43bと第1外筒43aとの間に軸方向に延びる第1筒状空間44が形成されている。第1内筒43bのカソード18に近い方の端部は、第1フランジ本体部32aに設けられた貫通孔33aの開口部に嵌挿されている。第1外筒43aのカソード18に近い方の端部は、第1蓋部32bの貫通孔33bに嵌挿され、その端が第1フランジ本体部32aの凹部123の底面と当接している。これにより、第1筒状空間44が閉鎖される。
One end of a
また、第1外筒43aのカソード18から遠い方の端部には、中心軸に向かって内側に突出したフランジ56が設けられており、フランジ56によって第1筒状空間44が閉鎖されている。そして、第1冷却流路溝42及び第1筒状空間44が、第1冷却流路41を構成する。なお、第1内筒43bのカソード18から遠い方の端部は、フランジ56の端面よりも軸方向に突出するように配設されている。また、第1中間電極4は、適宜な配線により、主電源(図示せず)の正極と抵抗体(図示せず)を介して電気的に接続されている。
Further, a
ここで、第1冷却流路41について、図1乃至図3を参照しながら詳細に説明する。
Here, the
図2は、図1に示したプラズマガン1のチャンバ2への取り付け構造100のII−II線に沿った断面図である。図3は、第1冷却流路41の概略構成を示す模式図である。なお、図2及び図3において、プラズマガン1のチャンバ2への取り付け構造100における上下左右方向を、図における上下左右方向として表わしている。
2 is a cross-sectional view taken along line II-II of the
図1及び図2に示すように、第1フランジ32の第1フランジ本体部32aの下部には、厚み方向に貫通する貫通孔45が設けられている。該貫通孔45が、第1冷却媒体排出口45を構成する。そして、第1フランジ本体部32aの凹部123の底面には、貫通孔45に連通するように、第1冷却流路溝42が設けられている。
As shown in FIG.1 and FIG.2, the through-
図2に示すように、第1冷却流路溝42は、第1冷却流路溝42a乃至第1冷却流路溝42dから構成されており、第1冷却流路溝42aは、第1冷却媒体供給口46から第1フランジ本体部32aの外周に沿うようにして、第1フランジ本体部32aの下部まで引き回されるように形成されている。そして、そこから、第1冷却流路溝42bが、径方向に沿って第1筒状空間44まで延設されている。そして、第1冷却流路溝42cは、第1筒状空間44の上部から径方向に沿って第1フランジ本体部32aの上部まで延びるように形成されている。そして、そこから、第1冷却流路溝42dが、第1フランジ本体部32aの外周に沿うようにして、貫通孔45(第1冷却媒体排出口45)と連通するように第1フランジ本体部32aの下部まで引き回されている。
As shown in FIG. 2, the first cooling
また、図3に示すように、第1筒状空間44には、該第1筒状空間44を仕切る一対の仕切り板101、101が設けられている。仕切り板101は、第1内筒43bの外周面と第1外筒43aの内周面とに接続され、カソード18に近い側の端部は、第1フランジ本体部32aと接続され、一方、カソード18から遠い側の端部は、第1外筒43aの小径部56との間に、隙間102を有するように設けられている。第1筒状空間44の仕切り板101で仕切られている一方の空間(第1冷却流路溝42bと連通されている側の空間)が、第1冷却往路103aを構成し、他方の空間(第1冷却流路溝42cと連通されている側の空間)が、第1冷却復路103bを構成している。このように形成された冷却流路溝42と第1筒状空間44で構成されている第1冷却流路41に冷却媒体を流すことにより、Oリング36、第1磁石49及び第1電極部材47が冷却される。
As shown in FIG. 3, the first
また、第1ホルダ部材43(正確には、第1内筒43b)には、タンタルで構成され、耐熱性を有する円筒状の第1電極部材47が嵌挿されており、第1電極部材47は、プラズマ通過口33の中心軸と同軸状に設けられている。第1電極部材47は、ここでは、その外周面に雄ねじが形成されており、内面に雌ねじが形成された第1内筒43bに螺入されている。第1電極部材47の内部空間を、カソード18で発生したプラズマが通過する。第1電極部材47は、カソード18に近い側の端部に外側に突出したフランジ57を有しており、該フランジ57と第1フランジ32の第1フランジ本体部32aとで、ドーナツ状の保護プレート48を挟持している。これにより、放電空間11等に存在するプラズマによって第1フランジ32がスパッタされるのを防止することができる。
In addition, a cylindrical
さらに、第1ホルダ部材43(正確には、第1外筒43a)には、円環状の第1磁石49が嵌入されており、第1磁石49はプラズマ通過口33の中心軸と同軸状に設けられている。第1磁石49は、ここでは、永久磁石で構成されており、カソード18に近い側がN極、カソード18に遠い側がS極となるように配設されている。そして、第1止め部材50(ここでは、ナット)が、第1磁石49を第1フランジ32(正確には、第1蓋部32b)とで挟んでいて、これを第1外筒43aから抜け落ちないように止めている。
Furthermore, an annular
第1ホルダ部材43の他方の端部(正確には、第1外筒43aの端面)は、円環状の絶縁部材51の一方の端面と当接している。第1外筒43aの絶縁部材51との当接面には、環状の溝52が形成されており、該溝52には、気密性を保つためのOリング53が配設されている。また、絶縁部材51の一部は、第1内筒43bに嵌入されている。これにより、第1ホルダ部材43と絶縁部材51の位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。
The other end of the first holder member 43 (more precisely, the end surface of the first
また、絶縁部材51の外周面には、環状の短絡防止溝54が設けられている。これにより、第1中間電極等で生じた結露水が、絶縁部材51の外周面を濡らすことにより発生する第1中間電極4と第2中間電極5との間の短絡を防止することができる。
An annular short-
なお、ここでは、短絡防止用溝54は、絶縁部材51の外周面に環状に設けているが、これに限定されず、絶縁部材51の少なくとも下の部分に溝が設けられていればよい。また、絶縁部材51の直径寸法と、第1外筒43aの直径寸法と、後述する第2外筒58aの直径寸法と、が略一定となっており、絶縁部材51、第1外筒43a及び第2外筒58aの外表面が、段差がないように形成しているが、これに限定されず、絶縁部材51の直径寸法を第1外筒43a及び第2外筒58aの直径寸法より大きくし、段差を有するように形成してもよい。このように形成すると結露水による第1中間電極4と第2中間電極5との間に生じる短絡をより確実に防止することができる。
Here, the short-
次に、第2中間電極サブユニット97について説明する。
Next, the second
第2中間電極サブユニット97は、筒状の第2ホルダ部材58と板状の第2フランジ64からなる第2ハウジング9と、筒状の第2電極部材71と、を有する第2中間電極5を備えており、絶縁部材51の他方の端面と当接している。具体的には、第2ホルダ部材58が、絶縁部材51と当接している。そして、第2ホルダ部材58のカソード18から遠い側の端部は、第2フランジ64に当接している。また、第2ホルダ部材58の内孔には、モリブデンで構成され、耐熱性を有する円筒状の第2電極部材71が嵌挿されている。なお、第2中間電極5は、適宜な配線により、主電源(図示せず)の正極と抵抗体(図示せず)を介して電気的に接続されている。
The second
第2ホルダ部材58は、円筒状の第2外筒58aと円筒状の第2内筒58bを有しており、第2ホルダ部材58は、プラズマ通過口33の中心軸と同軸状に設けられている。第2外筒58aのカソード18に近い方の端部が小径に形成されていて、この小径部61に嵌合するようにして、第2内筒58bが第2外筒58aに嵌挿されている。これにより、第2内筒58bと第2外筒58aとの間に軸方向に延びる第2筒状空間62が形成されている。
The
上述したように、第2ホルダ部材58(正確には、第2外筒58a)のカソード18に近い側の端面は、絶縁部材51の端面と当接しており、第2外筒58aの絶縁部材51との当接面には、環状の溝59が形成されており、該溝59には、Oリング60が配設されている。また、第2内筒58bのカソード18に近い側の端部には、外周面側に切り欠きを有する位置決め突起部63が設けられている。この位置決め突起部63に、絶縁部材51の一部が嵌入されることにより、絶縁部材51と第2ホルダ部材58との位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。
As described above, the end surface of the second holder member 58 (more precisely, the second
第2内筒58bのカソード18に遠い方の端部は、後述する第2フランジ本体部64aに設けられた貫通孔65aの開口部に嵌挿されている。第2外筒58aのカソード18に遠い方の端部は、第2蓋部64bの貫通孔65bに嵌挿され、その端が第2フランジ本体部64aの凹部125の底面と当接している。これにより、第2筒状空間62が閉鎖される。そして、第2筒状空間62が、第2冷却流路66を構成する。
The end of the second
また、第2ホルダ部材58(正確には、第2外筒58a)には、円環状の第2磁石72が、嵌入されており、第2磁石72は、プラズマ通過口33の中心軸と同軸状に設けられている。第2磁石72は、ここでは、電磁コイルで構成されており、カソード18に近い側がS極、カソード18に遠い側がN極とする向きの電流が通電されている。そして、第2止め部材77(ここでは、ナット)が、第2磁石72を第2フランジ64とで挟んでいて、これを第2外筒58aから抜けないように止めている。
An annular
第2フランジ64は、円板状の第2フランジ本体部64aと円板状の第2蓋部64bを有しており、第2フランジ本体部64a及び第2蓋部64bには、それぞれ中心部に厚み方向に貫通する貫通孔65a、65bが設けられている。この貫通孔65a、65bが、プラズマ流出口65を構成する。
The
第2フランジ本体部64aの貫通孔65aには、第2内筒58bのカソード18から遠い方の端部が嵌挿されており、第2フランジ本体部64aは、プラズマ通過口33の中心軸と同軸状に設けられている。また、第2フランジ本体部64aのカソード18に近い側の主面(以下、第2フランジ本体部64aの表面という)には、外周部124を凸部として残すようにして、凹部125が形成されている。凹部125には、第2冷却流路66を構成する第2冷却流路溝67が設けられている。そして、凹部125に第2蓋部64bがはめ込まれて第2冷却流路溝67を覆っている。
The end of the second
第2蓋部64bは、プラズマ通過口33の中心軸と同軸状に設けられており、第2蓋部64bには、第2外筒58aのカソード18から遠い側の端部が当接している。具体的には、第2外筒58aの該端部には、小径部68が形成されており、該小径部68が第2蓋部64bの貫通孔65bに嵌挿され、その先端が、第2フランジ本体部64aの凹部125の底面に当接している。
The
また、第2蓋部64bの上部には、貫通孔69が第2冷却流路溝67の上流端と連通するように設けられており、該貫通孔69が、第2冷却媒体供給口69を形成する。さらに、第2蓋部64bの下部には、厚み方向に貫通する貫通孔70が第2冷却流路溝67の下流端と連通するように設けられており、該貫通孔70が、第2冷却媒体排出口70を形成する。そして、第2冷却媒体供給口69は、適宜な配管により、冷却媒体供給装置(図示せず)に接続されており、第2冷却媒体排出口70は、第1冷却媒体供給口46と適宜な配管により接続されている。
In addition, a through
ここで、第2冷却流路66について、図1、図4及び図5を参照しながら詳細に説明する。
Here, the
図4は、図1に示したプラズマガン1のチャンバ2への取り付け構造100のIII−III線に沿った断面図である。図5は、図1に示したプラズマガン1の第2冷却流路66の概略構成を示す模式図である。なお、図4及び図5において、プラズマガン1のチャンバ2への取り付け構造100における上下左右方向を、図における上下左右方向として表わしている。
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line III-III of the
図4に示すように、第2フランジ本体部64aの凹部125の底面には、第2冷却流路溝67が配設されている。第2冷却流路溝67は、第2冷却流路溝67a乃至第2冷却流路溝67dから構成されており、第2冷却流路溝67aは、第2冷却媒体供給口69から第2フランジ本体部64aの外周に沿うようにして、第2フランジ本体部64aの下部まで引き回されるようにして形成されている。そして、そこから第2冷却流路溝67bが、径方向に沿って第2筒状空間62まで延設されている。そして、第2冷却流路溝67cは、第2筒状空間62の上部から径方向に沿って第2フランジ本体部64aの上部まで延びるようにして形成されている。そして、そこから第2冷却流路溝67dが、第2フランジ本体部64aの外周に沿うようにして、貫通孔70(第2冷却媒体排出口70)と連通するように第2フランジ本体部64aの下部まで引き回されるようにして形成されている。
As shown in FIG. 4, the 2nd cooling flow path groove 67 is arrange | positioned in the bottom face of the recessed
また、図5に示すように、第2筒状空間62には、該第2筒状空間62を仕切る一対の仕切り板104、104が設けられている。仕切り板104は、第2内筒58bの外周面と第2外筒58aの内周面とに接続され、カソード18から遠い側の端部は、第2フランジ本体部64aと接続され、一方、カソード18に近い側の端部は、第2外筒58aの小径部61との間に、隙間105を有するように設けられている。第2筒状空間62の仕切り板104で仕切られている一方の空間(第2冷却流路溝67bと連通されている側の空間)が、第2冷却往路106aを構成し、他方の空間(第2冷却流路溝67cと連通されている側の空間)が、第2冷却復路106bを構成している。このように形成された第2冷却流路溝67と第2筒状空間62から構成される第2冷却流路66に冷却媒体を流すことにより、後述するOリング89、第2磁石72及び第2電極部材71が冷却される。
Further, as shown in FIG. 5, the second
また、第2フランジ本体部64aの裏面には、厚み方向に貫通孔を有する円環状の保護プレート73が、プラズマ通過口33の中心軸と同軸状に取り付けられている。保護プレート73の貫通孔の直径寸法は、第2フランジ本体部64aの貫通孔65aの直径寸法よりも若干小さく、保護プレート73の開口部が、第2フランジ本体部64aの内周面よりも中心軸側に突出するように形成されている。これにより、第2電極部材71のカソード18から遠い側の端部が、保護プレート73の開口部と当接し、第2電極部材71の位置決めを容易に行うことができる。また、プラズマ流出口65等に存在するプラズマによって第2フランジ64がスパッタされるのを防止することができる。
An annular
第2フランジ64(正確には、第2フランジ本体部64aの表面)の上部には、厚み方向に凹んだねじ孔74が設けられている(図1及び図4参照)。また、第1フランジ32の上部には、ねじ孔74に対応する位置に、厚み方向に貫通する位置決め貫通孔75が設けられている(図1及び図2参照)。そして、第1フランジ本体部32aの表面には、位置決め貫通孔75に嵌挿され、ねじ孔74に螺入されているボルト(締結具)76が設けられている。ボルト76は、第1フランジ32を第2フランジ64に相互に締結し、固定している。これにより、第1中間電極4と第2中間電極5とを、容易に位置決めして、取り付けることができる。
A
次に、本実施の形態1に係るプラズマガン1のチャンバ2へ取り付けた状態の構造について説明する。
Next, the structure of the
図1に示すように、チャンバ2のプラズマガン1が取り付けられる壁80の表面には、厚み方向に凹み、段面82を有する凹部81が設けられている。凹部81の底面には、プラズマ流出口65と連通するように、厚み方向に貫通する貫通孔83が設けられており、該貫通孔83が、プラズマ流入口83を構成する。
As shown in FIG. 1, the surface of the
凹部81には、短円筒状の第2絶縁部材84が配設されている。第2絶縁部材84の外周面における一方の端部(カソード18から遠い側の端部)には、径方向外方に突出する突起部84aが設けられている。第2絶縁部材84は、突起部84aと段面82とに跨ってそれらの上に配置されたリング部材85を凹部81にねじ止めすることにより、凹部81に取り付けられている。また、第2凹部82の第2絶縁部材84が当接している部分には、環状の溝86が設けられており、該溝86には、Oリング87が設けられている。これにより、チャンバ2と第2中間電極5とが気密状態を保つことができ、かつ、互いに絶縁することができる。
A short cylindrical second insulating
第2絶縁部材84の壁80と当接している面の反対の面(以下、第2絶縁部材84の表面という)は、プラズマガン1の第2フランジ本体部64aと当接しており、該表面には、環状の溝88が設けられている。そして、溝88には、気密性を保つためのOリング89が設けられている。
The surface opposite to the surface in contact with the
壁80の上部には、円筒状の絶縁カラー92と該絶縁カラー92が嵌入された軸部99とを有する本体部90aと、絶縁材料で構成され、該本体部90aの先端に設けられた本体部90aよりも断面積が大きい頭部90bとからなる、第1係合部(係合凸部)である第1ピン90が配設されている。一方、第2フランジ部材64の上部には、厚み方向に貫通し、第1ピン90の頭部90bが挿通可能な大孔部91aと、これに連通し第1ピン90の本体部90aが挿通可能な小孔部91bからなる係合凹部(第2係合部)91が設けられている(図4参照)。
A
また、壁80の下部には、円筒状の絶縁カラー93aと該絶縁カラー93aが嵌入された軸部93bとからなる、位置決め凸部(第1位置決め部)である第2ピン94が配設されている。一方、第2フランジ本体部64aの下部には、第2フランジ本体部64aの下端から径方向に延びる、位置決め凹部(第2位置決め部)である切り欠き部95が設けられている。該切り欠き部95は、位置決めすべき方向において、第2ピン94が勘合する幅を有し、その他の方向において第2ピン94の幅より大きい幅を有するように、形成されている。すなわち、切り欠き部95の左右方向の寸法は、第2ピン94が挿通でき、かつ、第2ピン94によって位置決めできるように、第2ピン94の直径寸法よりも若干大きくなるように設計されている。また、切り欠き部95の上下方向の寸法は、第2フランジ本体部64aの下端から第2ピン94の直径寸法よりも大きくなるように設計されている。
In addition, a
そして、係合凹部91(正確には、小孔部91b)の内面の上端部を、第1ピン90の本体部90a(正確には絶縁カラー92)の上端部に当接させることによって、プラズマガン1がチャンバ2に対し、上下方向において位置決めされる。また、係合凹部91の小孔部91bの上側の縁部が、第1ピン90の本体部90a(正確には絶縁カラー92)と係合し、また、切り欠き部95の内面に、第2ピン94が左右方向において当接することにより、プラズマガン1がチャンバ2に対し周方向(左右方向)において位置決めをされる。これにより、チャンバ2とプラズマガン1を容易に位置決め及び仮止めすることができる。
Then, the upper end portion of the inner surface of the engaging recess 91 (more precisely, the
このようにして、チャンバ2に仮止めしたプラズマガン1をロック機構3でロックすることにより、プラズマガン1をチャンバ2に容易に取り付けることができる。
In this way, the
ここで、ロック機構3によるプラズマガン1をチャンバ2にロックする方法について、図6を参照して説明する。
Here, a method of locking the
図6は、図4に示したロック機構3の概略構成を示した模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the
図4及び図6に示すように、ロック機構3は、チャンバ2の壁80に設けられた台98に配設されており、ここでは、公知のトグル型のクランプを用いている。
As shown in FIGS. 4 and 6, the
ロック機構3は、基部3a、操作アーム3b、係止アーム3c、及び操作アーム3bと係止アーム3cとを連結するリンク部材3dを有している。基部3aは、台98に固定される板状の固定部301aと、該固定部301aに垂直な方向に突出したベース部301bと、からなる。ベース部301bの基端部には、操作アーム3bが設けられており、また、ベース部301bの先端部には、係止アーム3cが設けられている。
The
操作アーム3bは、グリップ部302aとアーム部302bからなっている。そして、操作アーム3bは、アーム部302bの基端部が、基部3aのベース部301bに回動軸201を軸にして回動自在に設けられている。
The
また、係止アーム3cは、長さ寸法の長い第1部分303aと長さ寸法の短い第2部分303bとからなり、L字状に形成されている。第1部分303aの基端は、基部3aのベース部301bの先端部に回動軸202を軸にして回動自在に設けられている。第2部分303bの先端部は、第2フランジ64の第2フランジ本体部64aと当接、または、離隔するように構成されている。また、第1部分303aの基端寄りの位置には、リンク部材3dの一端が回動軸203を軸にして回動自在に設けられている。
The locking
リンク部材3dの他端は、操作アーム3bの略中央に回動軸204を軸にして回動自在に設けられている。また、リンク部材3dの略中央部分には、係止アーム3cの第1部分303aと当接または離隔するストッパ304が設けられている。
The other end of the
そして、回動軸201を起点にして、操作アーム3bを起立方向(壁80の厚み方向)に揺動させると、それに伴って、係止アーム3cが回転軸202を起点にして揺動する。係止アーム3cの第2部分の先端部が、第2フランジ本体部64aの表面と当接し、第2フランジ本体部64aをチャンバ2の壁80側に押し付ける。このとき、リンク部材3dのストッパ304の端部が係止アーム3cの第1部分と当接し、また、係止アーム3cの起立方向に回転軸203と回転軸204が並ぶことにより、係止アーム3cが起立方向に揺動することがないため、プラズマガン1がチャンバ2にロックされる。なお、ロック機構3として、ここでは、トグル型のクランプを使用しているが、これに限定されず、倍力機構を備えた各種のクランプを用いることができる。
Then, when the
次に、本実施の形態1に係るプラズマガン1における冷却媒体の流れについて説明する。
Next, the flow of the cooling medium in the
まず、図示されない冷却媒体供給装置で冷却された冷却媒体が、適宜な配管を介して第2冷却媒体供給口69に供給される。そして、冷却媒体は、第2冷却媒体供給口69から第2フランジ本体部64aの外周に沿うようにして、第2フランジ本体部64aの下部まで第2冷却流路溝67aを流れ、そこから、第2筒状空間62(正確には、第2冷却往路106a)に到る第2冷却流路溝67bを流れる(図4参照)。それから、冷却媒体は、第2冷却往路106aを流れ、隙間105で折り返して、第2冷却復路106bを流れる(図5参照)。このとき、第2内筒58bを介して第2電極部材71が冷却され、また、第2外筒58aを介して第2磁石72が冷却される。そして、冷却媒体は、第2フランジ本体部64aの上部まで第2冷却流路溝67cを流れ、そこから、第2フランジ本体部64aの外周に沿うようにして第2冷却流路溝67dを流れて第2冷却媒体排出口70に到る。このようにして、冷却媒体が、第2冷却流路溝67a乃至67dを流れることにより、第2フランジ本体部64aが冷却され、これによりOリング89が冷却される。かくして、第2冷却流路66に冷却媒体が流れることにより、Oリング89、第2磁石72及び第2電極部材71が冷却される。
First, a cooling medium cooled by a cooling medium supply device (not shown) is supplied to the second cooling
次に、冷却媒体は、第2冷却媒体排出口70から適宜な配管を介して第1冷却媒体供給口46に供給される。そして、冷却媒体は、第1冷却媒体供給口46から第1フランジ本体部32aの外周に沿うようにして、第1フランジ本体部32aの下部まで第1冷却流路溝42aを流れ、そこから、第1筒状空間44(正確には、第1冷却往路103a)に到る第1冷却流路溝42bを流れる(図2参照)。それから、冷却媒体は、第1冷却往路103aを流れ、隙間102で折り返して、第1冷却復路103bを流れる(図3参照)。このとき、第1内筒43bを介して第1電極部材47が冷却され、また、第1外筒43aを介して第1磁石49が冷却される。そして、冷却媒体は、第1フランジ本体部32aの上部まで第1冷却流路溝42cを流れ、そこから、第1フランジ本体部32aの外周に沿うようにして第1冷却流路溝42dを流れて第1冷却媒体排出口45に到る。このようにして、冷却媒体が、第1冷却流路溝42a乃至42dを流れることにより、第1フランジ本体部32aが冷却され、これによりOリング36が冷却される。かくして、第1冷却流路41に冷却媒体が流れることにより、Oリング36、第1磁石49及び第1電極部材47が冷却される。
Next, the cooling medium is supplied from the second cooling
次に、冷却媒体は、第1冷却媒体排出口45から適宜な配管を介して第3冷却媒体供給口24に供給され、第3冷却流路23を流れる。これにより、補助陰極16の基端部が冷却される。そして、冷却媒体は、第3冷却媒体排出口25から適宜な配管を介して冷却媒体供給装置に排出される。
Next, the cooling medium is supplied from the first cooling
次に、本実施の形態1に係るプラズマガン1のチャンバ2への取り付け構造100におけるプラズマガン1の組み立て方法について説明する。
Next, a method for assembling the
まず、カソード部7の組み立て方法について説明する。 First, a method for assembling the cathode portion 7 will be described.
蓋部材14の裏面に、カソード18等を取り付ける。このカソード18は、公知の複合陰極型のものと同等であるので、詳細な取り付け方法については省略する。カソード18等を取り付けた蓋部材14の裏面に設けられた環状の溝26にOリング27をはめ込み、第1位置決め凹部15に容器10のフランジ12を嵌め込む。このとき、フランジ12の外周面と第1位置決め凹部15を構成する外周壁とが接触するので、容器10と蓋部材14との位置決めが相互にされる。したがって、位置決めを容易に行うことができる。
A
そして、固定部材28に設けられた貫通孔29にボルト31を挿通させ、ボルト31により、固定部材28と蓋部材14とを締結する。これにより、蓋部材14に容器10が固定される。
Then, the
次に、中間電極ユニット6の組み立て方法について説明する。
Next, a method for assembling the
第1内筒43bの一端に保護プレート48を配置し、第1電極部材47を第1内筒43bの内孔に嵌挿する。ここでは、第1内筒43bの内周面及び第1電極部材47の外周面には、ねじが切ってあり、第1電極部材47を第1内筒43bに螺嵌させる。このとき、第1内筒43bの一方の端面と第1電極部材47のフランジ57とで、保護プレート48を挟んで固定する。
The
そして、第1内筒43bに第1フランジ本体部32aを貫通孔33aにおいて嵌入させて、第1フランジ本体部32aを保護プレート48に当接させる。それから、第1フランジ本体部32aの裏面に設けられた凹部123に第1蓋部材32bを嵌め込んで、これを第1フランジ本体部32aに取り付け、第1外筒43aを第1内筒43bに嵌入する。このようにして、第1中間電極4が組み立てられる。
And the 1st flange main-
次に、第1外筒43aに第1磁石49を嵌入して、第1止め部材(ナット)50を第1外筒43aに螺嵌させ、第1磁石49を第1止め部材50と第1蓋部材32bとで挟んで第1外筒43aに固定する。このようにして、第1中間電極サブユニット96が組み立てられる。
Next, the
一方、第2中間電極サブユニット97は、以下のようにして組み立てられる。
On the other hand, the second
まず、第2フランジ本体部64aの裏面に、保護プレート73をねじ止めして固定し、第2フランジ本体部64aの凹部125に、第2蓋部材64bを嵌め込む。そして、第2ホルダ部材58の一端を第2フランジ64のプラズマ流出口65に嵌入し、第2電極部材71を第2内筒58bの内孔に嵌挿する。ここでは、第2内筒58bの内周面及び第2電極部材71の外周面には、ねじが切ってあり、第2電極部材71を第2内筒58bに螺嵌させる。このようにして、第2中間電極5が組み立てられる。
First, the
次に、第2外筒58aに第2磁石72を嵌入させて、第2止め部材(ナット)77を第2外筒58aに螺嵌させ、第2磁石72を第2止め部材77と第2蓋部材64bとで挟んで固定する。このようにして、第2中間電極サブユニット97が組み立てられる。
Next, the
そして、この組み立てた第2中間電極サブユニット97における第2外筒58aの溝59に、Oリング60をはめ込み、また、上述した第1中間電極サブユニット96における第1外筒43aの溝52に、Oリング53をはめ込む。ついで、第1フランジ本体部32aの裏面と第2フランジ本体部64aの表面を対向させ、第1外筒43aの端面と第2外筒58aの端面で絶縁部材51を挟む。そして、第1フランジ32の貫通孔75にボルト(締結具)76を挿通させ、ボルト76の先端部を第2フランジ64のねじ孔74に螺入させ、第1フランジ32(第1中間電極サブユニット96)と第2フランジ64(第2中間電極サブユニット97)とを締結して、互いに固定する。このとき、絶縁部材51の一方の端部が、第1内筒43bの外周面に嵌入され、また、絶縁部材51の他方の端部が、第2内筒58bの位置決め突起部63に嵌入され、さらには、第1フランジ32の貫通孔75が、第2フランジ64に設けられたねじ孔74に一致する位置に設けられていることから、第1中間電極サブユニット96、絶縁部材51及び第2中間電極サブユニット97の位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。このようにして、中間電極ユニット6が組み立てられる。
Then, the O-
この組み立てた中間電極ユニット6における第1フランジ本体部32aの溝35にOリング36をはめ込む。そして、上述したカソード部7のフランジ13を、中間電極ユニット6の第2位置決め凹部34に嵌め込む。ついで、固定部材37の貫通孔38にボルト39を挿通させ、ボルト39により固定部材37と第1フランジ32とを締結し、中間電極ユニット6とカソード部7とを相互に固定する。このとき、第2位置決め凹部34の外周壁とフランジ13の外周面とが接触し、また、第2位置決め凹部34の内側端部は、フランジ13の内周面と面一になるため、中間電極ユニット6とカソード部7の位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。このようにして、プラズマガン1が組み立てられる。
The O-
次に、プラズマガン1のチャンバ2への取り付け方法について説明する。
Next, a method for attaching the
上述のように組み立てたプラズマガン1の第2ベース部材64の上部に設けられた係合凹部91の大孔部91aに、チャンバ2の壁80の表面に設けられた第1ピン90を挿通させる。このとき、第2ベース部材64の下部に設けられた切り欠き部95に、壁80の表面に設けられた第2ピン94を挿通させる。そして、プラズマガン1全体を下方に移動させ、係合凹部91の小孔部91bに第1ピン90を挿通させ、小孔部91bの内面の上端部を、第1ピン90の本体部90a(正確には絶縁カラー92)の上端部に当接させる。これにより、小孔部91bの上側の縁部が、第1ピン90の本体部90a(正確には絶縁カラー92)と係合する。このようにして、プラズマガン1がチャンバ2に対し、上下方向の位置決めと仮止めがされる。また、係合凹部91の小孔部91bの内面と第1ピン90の本体部90aが、左右方向において当接し、切り欠き部95の内面に、第2ピン94が左右方向に当接することにより、プラズマガン1がチャンバ2に対し周方向(左右方向)の位置決めされる。
The
そして、図6に示すように、ロック機構3の操作アーム3bを起立方向に揺動させ、係止アーム3cを第2フランジ64と当接させることにより、プラズマガン1がチャンバ2にロックされる。
Then, as shown in FIG. 6, the
このように、本実施の形態1に係るプラズマガン1のチャンバ2への取り付け構造100では、プラズマガン1を容易に組み立てることが可能となり、また、このように組み立てたプラズマガン1を容易にチャンバ2に取り付けることが可能となり、その作業時間の短縮を図ることが可能になる。
As described above, in the
なお、本実施の形態では、第1ホルダ部及び第2ホルダ部を、それぞれ外筒と内筒から構成されているとしたが、これに限定されず、1つの部材で一体成形されている構成としてもよい。また、第1フランジ及び第2フランジを、それぞれフランジ本体部と蓋部から構成されているとしたが、これに限定されず、1つの部材で一体成形されている構成としてもよい。さらには、第1ハウジング及び第2ハウジングを、それぞれホルダ部とフランジ部とから構成されているとしたが、これに限定されず、1つの部材で一体成形されている構成としてもよい。また、チャンバ2の下部に第2中間電極5等を冷却するためのファンを設ける構成としてもよい。
In the present embodiment, the first holder part and the second holder part are each composed of an outer cylinder and an inner cylinder. However, the present invention is not limited to this, and a single member is integrally formed. It is good. Moreover, although the 1st flange and the 2nd flange were each comprised from the flange main-body part and the cover part, it is not limited to this, It is good also as a structure integrally formed by one member. Furthermore, although the 1st housing and the 2nd housing were each comprised from the holder part and the flange part, it is not limited to this, It is good also as a structure integrally formed by one member. Also, a fan for cooling the second intermediate electrode 5 and the like may be provided in the lower part of the
本発明のプラズマガンのチャンバへの取り付け構造は、容易に位置決めすることができることにより、取り付け作業の作業効率がよいプラズマガンのチャンバへの取り付け構造として有用である。 The structure for attaching the plasma gun to the chamber of the present invention is useful as a structure for attaching the plasma gun to the chamber with high work efficiency because it can be easily positioned.
1 プラズマガン
2 チャンバ
3 ロック機構
3a 基部
3b 操作アーム
3c 係止アーム
3d リンク部材
4 第1中間電極
5 第2中間電極
6 中間電極ユニット
7 カソード部
8 第1ハウジング
9 第2ハウジング
10 容器
11 放電空間
12 フランジ
13 フランジ
14 蓋部材
15 第1位置決め凹部
16 補助陰極
17 主陰極
18 カソード
19 保護部材
20 窓部材
21 冷却流路用凹部
22 冷却流路用蓋部材
23 第3冷却流路
24 第3冷却媒体供給口
25 第3冷却媒体排出口
26 溝
27 Oリング
28 固定部材
29 貫通孔
30 リング部材
31 ボルト
32 第1フランジ
32a 第1フランジ本体部
32b 第1蓋部
33 プラズマ通過口
33a 貫通孔
33b 貫通孔
34 第2位置決め凹部
35 溝
36 Oリング
37 固定部材
38 貫通孔
39 ボルト
40 リング部材
41 第1冷却流路
42 第1冷却流路溝
43 第1ホルダ部
43a 第1外筒
43b 第1内筒
44 第1筒状空間
45 第1冷却媒体排出口(貫通孔)
46 第1冷却媒体供給口(貫通孔)
47 第1電極部材
48 保護プレート
49 第1磁石
50 第1止め部材
51 絶縁部材
52 溝
53 Oリング
54 短絡防止溝
56 小径部
57 フランジ
58 第2ホルダ部材
58a 第2外筒
58b 第2内筒
59 溝
60 Oリング
61 小径部
62 第2筒状空間
63 位置決め突起部
64 第2フランジ
64a 第2フランジ本体部
64b 第2蓋部
65 プラズマ流出口
65a 貫通孔
65b 貫通孔
66 第2冷却流路
67 第2冷却流路溝
68 小径部
69 第2冷却媒体供給口(貫通孔)
70 第2冷却媒体排出口(貫通孔)
71 第2電極部材
72 第2磁石
73 保護プレート
74 ねじ孔
75 位置決め貫通孔
76 締結具
77 第2止め部材
78 継ぎ手
80 壁
81 凹部
82 段面
83 プラズマ流入口(貫通孔)
84 第2絶縁部材
84a 突起部
85 リング部材
86 溝
87 Oリング
88 溝
89 Oリング
90 第1ピン(第1係合部;係合凸部)
90a 本体部
90b 頭部
91 係合凹部(第2係合部)
91a 大孔部
91b 小孔部
92 絶縁カラー
93a 絶縁カラー
93b 軸部
94 第2ピン(位置決め凸部;第1位置決め部)
95 切り欠き部(第2位置決め部)
96 第1中間電極サブユニット
97 第2中間電極サブユニット
98 台
99 軸部
100 プラズマガンのチャンバへの取り付け構造
101 仕切り板
102 隙間
103a 第1冷却往路
103b 第1冷却復路
104 仕切り板
105 隙間
106a 第2冷却往路
106b 第2冷却復路
121 凹部
122 外周部
123 凹部
124 外周部
125 凹部
201 回転軸
202 回転軸
203 回転軸
204 回転軸
301a ベース部
301b 固定部
302a グリップ部
302b アーム部
303a 第1部分
303b 第2部分
DESCRIPTION OF
46 1st cooling medium supply port (through-hole)
47
70 Second cooling medium outlet (through hole)
71
84
91a
95 Notch (second positioning part)
96 First
Claims (4)
前記プラズマ流入口の周囲に設けられた第1ピン及び第2ピンと、
そのプラズマ流出口の周囲に円板状のフランジを有し、該フランジに前記第1ピンと係合する係合凹部及び前記第2ピンと係合する切り欠き部が形成されたプラズマガンと、
ロック機構と、を備え、
前記第1ピンは本体部と該本体部の先端に設けられた前記本体部より断面積が大きい頭部から構成され、
前記係合凹部は前記第1ピンの頭部が挿通可能な大孔部とこれに連通する前記第1ピンの本体部が挿通可能な小孔部で構成され、
前記切り欠き部は、前記フランジの周方向において前記第2ピンが嵌合する幅を有し、前記フランジの外周から該フランジの径方向に延びるように形成され、
前記係合凹部と前記切り欠き部は、前記フランジの中心軸を通る直線上に形成され、
前記係合凹部の小孔部が前記チャンバの前記第1ピンと係合することによって前記プラズマガンが前記チャンバに対して前記フランジの径方向において位置決めされ、かつ、前記切り欠き部が前記チャンバの前記第2ピンと係合することにより、前記チャンバに対して前記プラズマガンが前記フランジの周方向において位置決めされ、前記プラズマ流出口が前記チャンバの前記プラズマ流入口に連通し、かつ、前記フランジが前記ロック機構によって前記チャンバの壁に押し付けられて固定されるようにして、前記プラズマガンが前記チャンバに取り付けられている、プラズマガンのチャンバへの取り付け構造。 A chamber with a plasma inlet on its wall;
A first pin and a second pin provided around the plasma inlet;
A plasma gun having a disk-shaped flange around the plasma outlet, and having an engagement recess that engages with the first pin and a notch that engages with the second pin formed on the flange;
A locking mechanism,
The first pin is composed of a main body and a head having a larger cross-sectional area than the main body provided at the tip of the main body,
The engaging recess is composed of a large hole part through which the head of the first pin can be inserted and a small hole part through which the main body part of the first pin communicating therewith can be inserted,
The notch has a width that the second pin fits in the circumferential direction of the flange, and is formed to extend from the outer periphery of the flange in the radial direction of the flange.
The engaging recess and the notch are formed on a straight line passing through the central axis of the flange,
The small hole portion of the engaging recess engages with the first pin of the chamber, whereby the plasma gun is positioned in the radial direction of the flange with respect to the chamber, and the notch portion of the chamber By engaging with the second pin, the plasma gun is positioned with respect to the chamber in the circumferential direction of the flange , the plasma outlet is in communication with the plasma inlet of the chamber, and the flange is the lock A structure for attaching a plasma gun to a chamber, wherein the plasma gun is attached to the chamber such that the plasma gun is fixed by being pressed against the wall of the chamber by a mechanism.
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