JP4639135B2 - プローブ観察装置、表面性状測定装置 - Google Patents
プローブ観察装置、表面性状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4639135B2 JP4639135B2 JP2005304338A JP2005304338A JP4639135B2 JP 4639135 B2 JP4639135 B2 JP 4639135B2 JP 2005304338 A JP2005304338 A JP 2005304338A JP 2005304338 A JP2005304338 A JP 2005304338A JP 4639135 B2 JP4639135 B2 JP 4639135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- processing unit
- image
- region
- image data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
しかしながら、拡大レンズの倍率が大きくなるにつれてビデオカメラの視野が狭くなり、ビデオカメラの視野内にプローブを入れるように調整することが非常に困難になってくる。そのため、ビデオカメラの視野内にプローブを入れるように互いの位置を調整するのに時間がかかってしまい、測定効率が悪くなるという問題が生じる。その一方、拡大倍率の小さい拡大レンズを使用すれば、視野は広いのでビデオカメラの視野内にプローブを入れるように調整することはもちろん簡単になる。しかしながら、微細なプローブを十分に観察することができない。そのため、プローブを正確に測定ポイントにアプローチさせることができなくなり、測定の精度が低くなるという問題が生じる。
例えば、撮像手段の視野の隅にプローブが位置している場合において、操作手段により表示画面上の所定領域としてプローブを含む所定領域を選択する領域選択指令を入力する。すると、操作手段により選択された領域が選択領域認識部にて認識され、撮像手段にて取得される画像データからその選択領域の部分が抽出される。さらに、操作手段により選択領域を所定位置、例えば、表示画面の中央に移動させる移動指令を入力する。すると、領域移動処理部によって移動指令に応じた位置に選択領域が移動される。選択領域が移動されることにより表示手段の表示画面上ではプローブが画面の中央に表示される。表示画面の中央に表示されたプローブの画像によりユーザーがプローブを明瞭に観察することができるので、例えば、プローブを測定ポイントに正確にアプローチさせることができる。また、表示画面上で領域を選択してこの選択領域を例えば表示画面の中央等に移動させることができるので、実際にプローブが撮像手段の視野の中央に位置するようにプローブと撮像手段との相対位置を調整する必要がなく、測定の手間を簡略化して測定効率を向上させることができる。
さらに、操作手段により選択領域を所定の大きさに拡大する拡大指令を入力する。すると、領域拡大処理部によって拡大指令に応じた大きさに選択領域が拡大される。
選択領域が拡大されることにより表示手段の表示画面上ではプローブが拡大されて表示される。表示画面上で拡大表示されたプローブの画像をみてユーザーがプローブを明瞭に観察することができるので、例えば、プローブを測定ポイントに正確にアプローチさせることができる。また、表示画面上で領域を選択してこの選択領域を拡大できるので、撮像手段自体が有するレンズ系の倍率は低倍率でもよく、レンズ系の倍率を低倍率とすることにより、撮像手段の視野が広くなり、視野内にプローブを入れることが容易となる。
さらには、視野が広ければ、撮像手段をプローブの方向に向けて固定しておいてもプローブを視野内に入れることができるので、プローブと撮像手段との位置調整を行う必要がなく、測定の手間を簡略化して測定効率を向上させることができる。また、当初は倍率を小さくしてプローブ全体および被測定物全体を表示画面上に表示させておき、徐々に測定ポイント周辺を切り出して拡大できるので、プローブを測定ポイントにアプローチさせるのに操作性がよい。
また、本発明では、前記画像データ加工処理部は、予め設定された測定ポイントと前記プローブとを含む領域を認識するとともに認識した領域を画像データから抽出する選択領域認識部と、前記表示手段の表示画面上において前記選択領域認識部にて抽出された領域を前記測定ポイントと前記プローブとの距離に応じて予め設定された拡大率で拡大する領域拡大処理部と、を備えているので、例えば、測定ポイントの座標を予め入力しておいて、プローブがその測定ポイントに近づいたら自動的に測定ポイントを拡大するようにすることもできる。
このような構成によれば、ユーザーの操作が非常に簡便になる。
ここで、撮像手段のレンズ倍率が低倍である場合には、レンズの視野が広いので、3軸直交駆動機構にて撮像手段を大まかに移動させれば撮像手段の視野内にプローブを入れることができる。そして、画像データ加工処理部によって画像データを処理できるので、必ずしもプローブを視野の中央に調整する必要もないため、3軸直交駆動機構による撮像手段の位置調整は簡単であり、測定の手間が簡略化されて測定効率が向上する。
また、レンズ系の倍率としては比較的低い倍率であればよく、15倍、10倍、5倍などでもよい。
また、プローブと撮像手段との互いの位置を調整する必要がないので、測定の手間を簡略化して測定効率が高い表面性状測定装置とすることができる。
(第1実施形態)
本発明の表面性状測定装置に係る第1実施形態について説明する。
図1は、表面性状測定装置100の全体構成を示す図である。
図2は、カメラ230にてプローブ210を撮像している状態を示す図である。
このZスピンドル224の下端にプローブ210とカメラ230とが設けられている。すなわち、このZスピンドル224の下端がプローブ取付部となっている。また、三次元駆動機構220の各軸には駆動量を検出するエンコーダ225(図3参照)が設けられている。
光学系は対物レンズ等のレンズ光学系およびCCD等の撮像光学系により構成される。
カメラ230は、Zスピンドル224の下端に設けられている。カメラ230の向きはプローブ210を視野内に入れるように調整可能であるが、視野内にプローブ210の接触部212が入る向きに調整された状態で通常は固定されている。そして、カメラ230の向きあるいはプローブ210の位置を調整しなくても視野内にプローブ210の接触部212が十分に入る程度に低い倍率の対物レンズが使用される。対物レンズの倍率としては、例えば、3倍〜20倍程度である。
中央制御部300は、三次元駆動機構220の動作制御により測定動作を制御する測定動作制御部310と、エンコーダ225による検出結果に基づいて被測定物表面性状を算出する形状解析部320と、カメラ230にて撮像された画像データを画像処理する画像処理部330と、測定データおよび画像データを出力処理するデータ出力部360と、中央制御部全体の動作制御を行う中央処理装置(CPU)370と、を備える。
画像取込部340は、カメラ230からの画像信号がデジタル信号であればそのままデジタルデータとして記憶するが、カメラ230からの画像信号がアナログ信号である場合にはデジタル変換したうえでデジタルデータとして記憶する。画像データ加工処理部350は、選択領域認識部351と、領域移動処理部352と、領域拡大処理部353と、を備えている。これら各部の動作については図4から図7のモニタ画面例を参照しながら後述する。
まず、載物台240に被測定物をセットし、被測定物の測定部位にプローブ210の接触部212を当接させる。ここで、プローブ210の接触部212を測定部位にアプローチさせるにあたってはモニタ400の表示を見ながらプローブ位置の調整を行う。
撮像された画像データは、画像取込部340に取り込まれてデジタル画像信号として一旦バッファされる。そして、画像取込部340からデータ出力部360を介して画像データがモニタ400に出力されてモニタ400にプローブ210の接触部212が表示される。
図4は、カメラ230で撮像されたプローブ210の接触部212がモニタ400に表示されている状態を示す図である。
例えば、図4に示されるように、プローブ210の接触部212がカメラ視野の隅に位置する場合もありうる。このような場合、ユーザーは、プローブ210の接触部212がモニタ画面の略中央領域に表示されるように画像データの加工処理を指令する。
このように領域の選択操作が行われると、選択領域認識部351にて選択された領域が認識される。そして、選択領域認識部351は、画像データ中の選択領域を抽出して別フレームの画像データにするとともに、モニタ上には選択領域401を囲む囲み線402を表示させる。
例えば、マウス500によって選択領域401をドラッグする。
このように選択領域を移動させるように選択領域401をドラッグする操作が行われると、領域移動処理部352がドラッグ操作にあわせて選択領域401を移動させる。すると、図5に示されるように、選択領域401が画面中央において別ウィンドウ403として表示される。このウィンドウ403内にプローブ210の接触部212が表示されているので、ユーザーは表示画面においてプローブ210の接触部212を見ながら接触部212を測定部位にアプローチさせる。
このような場合、ユーザーは、プローブ210の接触部212がモニタ画面上で拡大されるように画像データの加工処理を指令する。すなわち、ユーザーは、拡大したい領域を囲んで選択する。
この選択領域401は選択領域認識部351にて認識される。そして、ユーザーが表示画面上において選択領域401を拡大するように選択領域401の隅を引っ張る(ドラッグする)。このように選択領域401を拡大するように選択領域401の隅をドラッグする操作が行われると、領域拡大処理部353がドラッグ操作にあわせて選択領域401を拡大する。すると、図7に示されるように、選択領域401が拡大され、別ウィンドウ404として表示される。
ユーザーは、このウィンドウ404内で拡大されたプローブ接触部212を見ながら接触部212を測定部位にアプローチさせる。
(1)カメラ230で撮像した画像データを画像データ加工処理部350によって画像処理できるので、プローブ210の画像を拡大処理等することでモニタ400にプローブ210の画像を明瞭に表示することができる。よって、ユーザーがモニタ400の表示をみてプローブ210を明瞭に観察することができ、プローブ210を測定ポイントに正確にアプローチさせることができる。
したがって、プローブ210がカメラ230の視野内に入るようにプローブ210とカメラ230との互いの相対位置を微調整する必要がない。よって、操作を簡便とし、測定の手間を簡略化して測定効率を向上させることができる。
プローブ210としては、被測定物の測定ポイントに当接あるいは近接して被測定物表面を検出できる構成であればよい。例えば、加振型接触式プローブ210の他、スタイラス211を三次元的に微小変位可能に支持するとともにスタイラス211の微小変位を一定に保つことによって測定力を一定とした倣い測定を行う倣いプローブでもよい。あるいは、被測定物表面を非接触で検出する非接触式プローブであってもよい。非接触式プローブとしては、AFM(原子間力顕微鏡)に利用されるトンネル電流を検出するカンチレバーや、静電容量式プローブ等が例として挙げられる。
カメラ(撮像手段)のレンズ系の倍率は可変であってもよい。
カメラは、門型フレームあるいは載物台上に設置してもよい。
さらに、上記実施形態においては、カメラは固定されている場合について説明したが、カメラは、例えば、3軸直交駆動機構によって直交する3軸であるX軸、Y軸およびZ軸方向に移動可能であってもよい。
そして、このカーソルを基準としてプローブの姿勢(垂直姿勢、水平姿勢)を調整してもよい。
さらに、モニタを測定装置本体部から離隔した位置に配置するとともに、測定装置本体部を遠隔操作可能にして遠隔測定を行ってもよい。
Claims (5)
- プローブにて被測定物表面を検出して前記被測定物表面性状を測定する測定装置本体部の前記プローブを撮像するとともにこのプローブの画像を表示するプローブ観察装置であって、
前記プローブを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された画像データを画像処理する画像処理部と、
前記画像処理部にて画像処理された画像データを表示する表示手段と、
手動操作にて前記画像処理部における画像処理内容を入力指令する操作手段と、を備え、
前記画像処理部は、前記操作手段にて入力される指令または測定パートプログラムから入力される指令に応じて画像データを加工処理する画像データ加工処理部を備え、
前記操作手段は、前記表示手段の表示画面上の所定領域を選択領域として選択する領域選択指令、前記表示手段の表示画面上において前記選択領域を所定位置に移動させる移動指令、および、前記表示手段の表示画面上において前記選択領域を所定の大きさに拡大する拡大指令を入力可能であり、
前記画像データ加工処理部は、前記領域選択指令にて選択された前記選択領域を認識するとともに前記選択領域を画像データから抽出する第1選択領域認識部と、前記表示手段の表示画面上において前記選択領域を前記移動指令に応じた位置に移動させる領域移動処理部と、前記表示手段の表示画面上において前記選択領域を前記拡大指令に応じた大きさに拡大する第1領域拡大処理部と、予め設定された測定ポイントと前記プローブとを含む領域を認識するとともに認識した領域を画像データから抽出する第2選択領域認識部と、前記表示手段の表示画面上において前記第2選択領域認識部にて抽出された領域を前記測定ポイントと前記プローブとの距離に応じて予め設定された拡大率で拡大する第2領域拡大処理部とを備える、
ことを特徴とするプローブ観察装置。 - 請求項1に記載のプローブ観察装置において、
前記撮像手段は、前記プローブの像を100倍以下の倍率で拡大するレンズ系を有している
ことを特徴とするプローブ観察装置。 - 請求項1または請求項2に記載のプローブ観察装置において、
前記撮像手段を直交する3軸であるX軸、Y軸およびZ軸方向に移動させる3軸直交駆動機構を備えている
ことを特徴とするプローブ観察装置。 - 請求項1または請求項2に記載のプローブ観察装置において、
前記撮像手段は、前記プローブを視野内に入れた状態で前記プローブに対する相対位置が固定された状態で設けられている
ことを特徴とするプローブ観察装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載のプローブ観察装置と、
プローブを有する測定装置本体部と、を備えた
ことを特徴とする表面性状測定装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005304338A JP4639135B2 (ja) | 2005-10-19 | 2005-10-19 | プローブ観察装置、表面性状測定装置 |
US11/543,813 US20070086620A1 (en) | 2005-10-19 | 2006-10-06 | Probe observing device and surface texture measuring device |
EP06021233A EP1777483B1 (en) | 2005-10-19 | 2006-10-10 | Probe observing device |
CN2006101362611A CN1952596B (zh) | 2005-10-19 | 2006-10-19 | 探针观察装置、表面特性测定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005304338A JP4639135B2 (ja) | 2005-10-19 | 2005-10-19 | プローブ観察装置、表面性状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007114000A JP2007114000A (ja) | 2007-05-10 |
JP4639135B2 true JP4639135B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=37441065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005304338A Active JP4639135B2 (ja) | 2005-10-19 | 2005-10-19 | プローブ観察装置、表面性状測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070086620A1 (ja) |
EP (1) | EP1777483B1 (ja) |
JP (1) | JP4639135B2 (ja) |
CN (1) | CN1952596B (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008060621B3 (de) * | 2008-12-05 | 2010-08-12 | Carl Zeiss Ag | Optische Anordnung zum berührungslosen Messen oder Prüfen einer Körperoberfläche |
JP2011085405A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP5350169B2 (ja) | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | オフセット量校正方法および表面性状測定機 |
US8650939B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
JP5350171B2 (ja) | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | オフセット量校正方法および表面性状測定機 |
JP5528067B2 (ja) * | 2009-11-20 | 2014-06-25 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
CN102095376B (zh) * | 2009-12-15 | 2012-12-26 | 捷毅***股份有限公司 | 具有探针的高度量测装置以及使用该装置量测高度的方法 |
TWI471526B (zh) * | 2010-03-30 | 2015-02-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 影像測量機 |
US20120055912A1 (en) * | 2010-09-07 | 2012-03-08 | National Taipei University Of Technology | Micro spherical stylus manufacturing machine |
JP5843531B2 (ja) * | 2010-09-27 | 2016-01-13 | 株式会社ミツトヨ | 座標測定用ヘッドユニット及び座標測定機 |
NL2006590C2 (nl) * | 2011-04-12 | 2012-10-15 | W L F M Donkers Beheer B V | Inrichting en werkwijze voor het bepalen van de dikte van de rhizoom van een plant. |
CN102338626B (zh) * | 2011-06-30 | 2013-08-07 | 天津大学 | 针对微小孔的接触式坐标测量机测针位置监控方法 |
US9995574B2 (en) | 2011-08-11 | 2018-06-12 | Mitutoyo Corporation | CMM moving path adjustment assisting method and apparatus |
US20140039662A1 (en) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | Makerbot Industries, Llc | Augmented three-dimensional printing |
JP6108757B2 (ja) * | 2012-10-19 | 2017-04-05 | 株式会社ミツトヨ | 複円錐型スタイラスの校正方法 |
JP6316663B2 (ja) * | 2014-05-30 | 2018-04-25 | 株式会社キーエンス | 座標測定装置 |
DE102015209193A1 (de) | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Erfassung dynamischer Schwingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zur Vermessung der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren. |
DE102016100308A1 (de) | 2016-01-11 | 2017-07-13 | Datron Ag | Verfahren zur Bestimmung von einer Referenzkoordinate eines Werkstücks und Bearbeitungsmaschine |
JP6692658B2 (ja) * | 2016-02-25 | 2020-05-13 | 株式会社ミツトヨ | 内壁測定装置及びオフセット量算出方法 |
JP6940746B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2021-09-29 | 株式会社東京精密 | 検出器及び表面粗さ測定機 |
JP7126819B2 (ja) * | 2017-11-29 | 2022-08-29 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置、及び測定方法 |
JP6675086B2 (ja) * | 2018-08-21 | 2020-04-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 作業検知システム |
CH715610A1 (fr) * | 2018-12-04 | 2020-06-15 | Watch Out S A | Système et procédés de mesure du profil d'une pièce. |
JP2023167388A (ja) * | 2022-05-12 | 2023-11-24 | 株式会社キーエンス | 画像測定装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06310072A (ja) * | 1993-04-23 | 1994-11-04 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
JPH07505958A (ja) * | 1992-09-25 | 1995-06-29 | カール−ツアイス−スチフツング | ワークにおける座標測定法 |
JPH0741416U (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-21 | 川崎製鉄株式会社 | 表面粗さ測定装置 |
JP2003315238A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-06 | Jeol Ltd | 測定位置合わせ方法、カンチレバ及び走査形プローブ顕微鏡 |
JP2004219367A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡の像表示方法および走査プローブ顕微鏡 |
JP2004325159A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Mitsutoyo Corp | 微細形状測定プローブおよび微細形状測定方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5125035A (en) * | 1989-12-18 | 1992-06-23 | Chromalloy Gas Turbine Corporation | Five axis generated hole inspection system |
IT1245014B (it) * | 1991-01-29 | 1994-09-13 | Dea Spa | Sistema per la misura tridimensionale di superfici sculturate da matematizzare |
US5825666A (en) * | 1995-06-07 | 1998-10-20 | Freifeld; Daniel | Optical coordinate measuring machines and optical touch probes |
US6404906B2 (en) * | 1997-03-03 | 2002-06-11 | Bacus Research Laboratories,Inc. | Method and apparatus for acquiring and reconstructing magnified specimen images from a computer-controlled microscope |
US6392229B1 (en) * | 1999-01-12 | 2002-05-21 | Applied Materials, Inc. | AFM-based lithography metrology tool |
JP2002223457A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-09 | Ocean Network Co Ltd | 画像認識処理装置 |
-
2005
- 2005-10-19 JP JP2005304338A patent/JP4639135B2/ja active Active
-
2006
- 2006-10-06 US US11/543,813 patent/US20070086620A1/en not_active Abandoned
- 2006-10-10 EP EP06021233A patent/EP1777483B1/en active Active
- 2006-10-19 CN CN2006101362611A patent/CN1952596B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07505958A (ja) * | 1992-09-25 | 1995-06-29 | カール−ツアイス−スチフツング | ワークにおける座標測定法 |
JPH06310072A (ja) * | 1993-04-23 | 1994-11-04 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
JPH0741416U (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-21 | 川崎製鉄株式会社 | 表面粗さ測定装置 |
JP2003315238A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-06 | Jeol Ltd | 測定位置合わせ方法、カンチレバ及び走査形プローブ顕微鏡 |
JP2004219367A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡の像表示方法および走査プローブ顕微鏡 |
JP2004325159A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Mitsutoyo Corp | 微細形状測定プローブおよび微細形状測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070086620A1 (en) | 2007-04-19 |
EP1777483B1 (en) | 2011-07-06 |
CN1952596B (zh) | 2010-07-21 |
EP1777483A1 (en) | 2007-04-25 |
JP2007114000A (ja) | 2007-05-10 |
CN1952596A (zh) | 2007-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4639135B2 (ja) | プローブ観察装置、表面性状測定装置 | |
US9329375B2 (en) | Microscope having a touch screen | |
EP2738515B1 (en) | Measuring system, method and computer program product | |
KR20050072761A (ko) | 압흔 경도 시험 시스템 | |
US10126325B2 (en) | Scanning probe microscope | |
JP2010108797A (ja) | 試料観察方法、及び電子顕微鏡 | |
KR20130065633A (ko) | 레이저 가공을 위한 터치 스크린 인터페이스 | |
JP4203860B2 (ja) | マイクロミリングシステムおよびその制御方法 | |
JP4954608B2 (ja) | 被撮像物の移動方法及びこの方法を用いる処理装置 | |
JP5711531B2 (ja) | 試料ステージ装置、及び電子線装置 | |
JP6360620B2 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のアライメント方法、アライメントプログラム、及び記憶媒体 | |
JPH08313217A (ja) | 非接触画像計測システム | |
KR101529607B1 (ko) | 탐침현미경, 이를 이용한 탐침현미경의 정렬방법, 기록매체 및 정렬 시스템 | |
JP2007170861A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡装置及び走査型プローブ顕微鏡装置用プログラム | |
JPWO2016157403A6 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のアライメント方法、アライメントプログラム、及び記憶媒体 | |
JP5396846B2 (ja) | X線ct装置 | |
JP3853658B2 (ja) | 画像測定装置及び画像測定用プログラム | |
JP4622814B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP5577508B2 (ja) | 画像測定装置及びその駆動制御方法 | |
US20210396984A1 (en) | Microscope system for imaging a sample region and corresponding method | |
JP2003315015A (ja) | 測定顕微鏡 | |
JPH08247719A (ja) | エッジ検出方法及びこれを用いた非接触画像計測システム | |
JP2007279456A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2007263772A (ja) | 基板検査装置およびシステム | |
KR20240031356A (ko) | 하전 입자선 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070703 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070809 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080904 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100819 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101116 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101129 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4639135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |