JP7126819B2 - 測定装置、及び測定方法 - Google Patents
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Description
まず、実施形態に係る測定装置1の概要について説明する。測定装置1は、例えば、測定用のプロービングシステム106を移動させながら被測定物2に接触させて被測定物2の形状を測定する三次元測定機である。
図2は、測定装置1の機能構成を示す図である。測定装置1は、測定部10と、撮像部11と、音声出力部12と、表示部13と、記憶部14と、制御部15とを備える。測定部10は、図1を用いてすでに説明したとおりである。
以下、制御部15が警告情報を出力する場合について具体的な例を挙げて説明する。
制御部15は、プロービングシステム106を移動させる軌跡上に、プロービングシステム106の移動を妨げる異物が存在する場合に警告情報を出力する。以下、詳細に説明する。
測定装置1を使用する使用者が、誤って、設定されたプロービングシステム106と異なるプロービングシステム106を装着してしまった場合であっても、制御部15は、記憶部14に記憶された指示値に基づいてプロービングシステム106を移動させる。装着されたプロービングシステム106の種別(例えば形状)が、指示値が作成された際に想定されていたプロービングシステム106の種別と異なる場合、装着されたプロービングシステム106が被測定物2に接触してしまう可能性が生じる。
以上の説明において、制御部15は、記憶部14に記憶されたプロービングシステム106を移動させる軌跡に従ってプロービングシステム106を移動させた。これに限らず、プロービングシステム106は、被測定物2の画像に基づいてプロービングシステム106の位置及び向きを制御してもよい。具体的には、まず、制御部15は、撮像部11に被測定物2を撮影させる。次に、制御部15は、撮像画像に含まれる被測定物2の画像に基づいて被測定物2の形状を特定する。続いて、制御部15は、特定した被測定物2の形状に沿って移動するプロービングシステム106の軌跡を特定する。そして、制御部15は、特定した軌跡に従ってプロービングシステム106の位置及び向きを制御する。このようにすることで、制御部15は、被測定物2に応じた軌跡でプロービングシステム106を移動させることができる。
以上説明したように、測定装置1は、プロービングシステム106により被測定物2を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する。測定装置1は、撮像画像に基づいて、測定部10がプロービングシステム106により被測定物2の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する。このようにすることで、測定装置1は、測定装置1に不具合が発生することを予防することができる。
10 測定部
11 撮像部
12 音声出力部
13 表示部
14 記憶部
15 制御部
100 テーブル
101 コラム
102 サポータ
103 ビーム
104 スライダ
105 Z軸スピンドル
106 プロービングシステム
107 プローブ
108 プローブアダプタ
109 プローブヘッド
110 スタイラス
Claims (4)
- 移動可能なプローブにより被測定物の形状を測定する測定部と、
前記プローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する撮像部と、
前記撮像画像に基づいて、前記測定部が前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する制御部と、
を有し、
前記制御部は、測定を開始した後の前記撮像部の絞りを、測定を開始する前の絞りより開く、又は測定を開始した後の前記撮像部のレンズの焦点距離を、測定を開始する前のレンズの焦点距離より長くする測定装置。 - 前記制御部は、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別に基づいて、前記軌跡上に異物が存在するか否かを判定する、
請求項1に記載の測定装置。 - 前記制御部は、前記測定部が使用する予定の前記プローブの種別を示す種別情報を取得し、前記種別情報が示すプローブの種別が、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別と異なる場合に前記警告情報を出力する、
請求項2に記載の測定装置。 - 被測定物の形状を測定するために用いられる移動可能なプローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成するステップと、
前記撮像画像に基づいて、前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力するステップと、
測定を開始した後の前記領域を撮影する撮像部の絞りを、測定を開始する前の絞りより開くステップ、又は測定を開始した後の前記撮像部のレンズの焦点距離を、測定を開始する前のレンズの焦点距離より長くするステップの少なくともいずれか一方と、
を有する測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017228847A JP7126819B2 (ja) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | 測定装置、及び測定方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019100740A JP2019100740A (ja) | 2019-06-24 |
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JP2017228847A Active JP7126819B2 (ja) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | 測定装置、及び測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7126819B2 (ja) |
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- 2017-11-29 JP JP2017228847A patent/JP7126819B2/ja active Active
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