JP4633292B2 - 流体制御弁 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体を制御する流体制御弁に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、流体を制御するものとして、例えば、図15の流体制御弁100がある。図15の流体制御弁100は、カバー1及びシリンダチューブ2からなる駆動部3と、流路が形成されたボディ4が、一体的に構成されている。
【0003】
カバー1には、調整ボルト5が進退可能に螺合されて設けられ、この調整ボルト5は、ロックナット6により位置決め固定されるようになっている。そして調整ボルト5の下方には、シリンダチューブ2内を摺動するピストン7が配設されている。このピストン7の下端部には、ダイアフラム弁体8が連結されている。このダイアフラム弁体8は、シリンダチューブ2とボディ4に狭持され、後述する連通流路101,102を密閉している。
【0004】
一方、ボディ4は、第1開口部9と第2開口部10が対向側面に形成されている。そして、ボディ4の中央部には、第1開口部9に連通する流路11を備える突起部12が設けられ、その突起部12の周りに、第2開口部10に連通する連通流路101,102が形成されている。この連通流路101,102は、第2開口部10から突起部12の左右両側に形成され、その底面101a,102aは、第1開口部9を回避するために、第2開口部10側から第1開口部9側に向かって同一角度で斜め上がりに形成されている。そのため、連通流路101,102は、突起部12を挟んで対称形状をなしている。そして、突起部12の上側面には、弁座13が配設され、その弁座13には、流路11に連通する弁孔13aが形成されている。従って、第1開口部9は、流路11、弁座13の弁孔13a、連通流路101,102を介して、第2開口部10に連通している。
【0005】
そこで、図15の流体制御弁100においては、「第1開口部9を入力ポート、第2開口部10を出力ポートとして使用する場合」には、調整ボルト5を所定位置に移動させてからロックナット6で位置決め固定することにより、第1開口部9から第2開口部10に供給する流体の圧力値を調整し、流体を第1開口部9から流路11にまで入力させる。そして、ピストン7が駆動部3内を上昇し、ダイアフラム弁体8が弁座13から所定量離間されると、第1開口部9から流路11にまで流れた流体が、弁座13の弁孔13aから連通流路101,102に流出し、第2開口部10に設定圧力で供給される。
【0006】
また、図15の流体制御弁100においては、「第2開口部10を入力ポート、第1開口部9を出力ポートとして使用する場合」には、調整ボルト5で第2開口部10から第1開口部9に供給する流体の圧力を調整し、第2開口部10から連通流路101,102に流体を流入させる。そして、ピストン7が駆動部3内を上昇し、ダイアフラム弁体8が弁座13から所定量離間されると、第2開口部10から連通流路101,102に流入した流体が、弁座13の弁孔13aに流れ込み、流路11を介して第1開口部9に設定圧力で供給される。
【0007】
従って、図15の流体制御弁100は、ダイアフラム弁体8と弁座13との離間距離を調整することにより、第1開口部9から第2開口部10、又は、第2開口部10から第1開口部9に供給する流体の圧力を制御することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
(1)しかしながら、図15の流体制御弁100では、連通流路101,102の第1開口部9側の内壁付近に、滞留部が発生する場合があった。
すなわち、「第1開口部9を入力ポート、第2開口部10を出力ポートとして使用する場合」には、図16及び図17の流線L1〜L5に示すように、弁座13の弁孔13aから連通流路101,102に流出した流体は、突起部12の外周面及び連通流路101,102に沿って流れ、第2開口部10に供給されていた。このとき、流体は、最短距離を流れようとして、図16及び図17の流線L1を流れる流量が、図16及び図17の流線L4,L5を流れる流量より多くなり、連通流路101,102の第1開口部9側の内壁付近に、よどみを生じる場合があった。そのため、連通流路101,102の第1開口部9側の内壁付近には、液溜まりや気泡溜まり等の滞留部P1が発生する場合があった。
【0009】
一方、「第2開口部10を入力ポート、第1開口部9を出力ポートとして使用する場合」には、図18及び図19の流線L6〜L10に示すように、弁座13の弁孔13aから連通流路101,102に流入した流体は、連通流路101,102に沿って流れて、弁座13の弁孔13aに流れ込み、流路11を介して第1開口部9に供給されていた。このとき、流体は、最短距離を流れようとして、図18及び図19の流線L6を流れる流量が、図18及び図19の流線L9及びL10を流れる流量より多くなるとともに、突起部12の左右両側に分岐して流れ、連通流路101,102の第1開口部9側の内壁付近で合流するため、連通流路101,102の第1開口部9側の内壁付近によどみを生じる場合があった。そのため、連通流路101,102の第1開口部9側の内壁付近には、液溜まりや気泡溜まり等の滞留部P2が発生する場合があった。
【0010】
この点、特に、連通流路101,102の第1開口部9側の内壁付近に発生する滞留部P1,P2は、流体の性質を変化させたり、流体と一緒に下流に流れ出すことにより図15の流体制御弁100の流体制御の精度を低下させるおそれがあるため、発生した場合には重要な問題である。
【0011】
(2)また、図15の流体制御弁100では、連通流路101,102の第2開口部10側の内壁付近に、乱流部が発生する場合があった。
すなわち、「第1開口部9を入力ポート、第2開口部10を出力ポートとして使用する場合」には、弁座13の弁孔13aから第2開口部10に最短距離で流れる流体は、図16及び図17の流線L1に示すように、弁座13の弁孔13aから上向きに流出すると、下向きに流れの向きを変化されて、第2開口部10に供給されていた。そのため、流体の流れる方向が、弁座13付近において略180度も変化され、弁座13付近に乱流部R1が発生する場合があった。
【0012】
一方、「第2開口部10を入力ポート、第1開口部9を出力ポートとして使用する場合」には、第2開口部10から弁座13の弁孔13aに最短距離で流れる流体は、図18及び図19の流線L6に示すように、第2開口部から流入すると、突起部12の外周面に沿って上向きに流れ、弁座13の弁孔13aに沿って下向きに流れの方向を変化されてから、弁座13の弁孔13aに流れ込み、流路11を介して第1開口部9に供給されていた。そのため、流体の流れる方向が、弁座13付近において略180度も変化され、弁座13の弁孔13a付近に乱流部R2が発生する場合があった。
【0013】
この点、特に、弁座13付近に発生した乱流部R1、及び、弁座13の弁孔13a付近に発生した乱流部R2は、摩擦損失を増大させ、速度係数(以下、「Cv値」という。)を低下させるため、発生した場合には重要な問題である。
【0014】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、連通流路の内壁付近に滞留部が発生することを減少させることができるとともに、弁座付近に乱流部が発生することを減少させることができる流体制御弁を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項1に記載の流体制御弁は、流体が入力又は出力される第1開口部及び第2開口部と、第1開口部に連通する流路が中央部に設けられた突起部と、突起部の端面に設けられるとともに、流路に連通する弁孔が形成された弁座と、突起部の片側から螺旋状に形成されて、弁座の弁孔と第2開口部とを連通させる連通流路と、弁座に当接又は離間する弁体と、を有すること、連通流路は、流路形成方向に対して直交する底部の断面が円弧状であること、前記連通流路と前記第2開口部との連通部分に、カーブを備える壁が設けられていること、前記弁体が、前記弁座に当接又は離間する弁体部と、前記弁体部の周りに沿って設けられた薄膜部を備えるダイアフラム弁体であって、前記連通流路の始端部と終端部との間に、前記弁座より低い位置に水平に形成されたひけを有すること、を特徴とする。
【0016】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明であって、前記連通流路が、前記突起部の周りを240乃至360度回転するように設けられていること、を特徴とする。
【0020】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載する流体制御弁において、前記弁座の片側に設けられた前記第2開口部に接続される流路は、前記弁座の外周を前記弁座の開閉面との水平距離を広げながら周回するものであること、を特徴とする。
【0021】
上記構成を有する本発明の流体制御弁においては、「第1開口部を入力ポート、第2開口部を出力ポートにした場合」には、弁体が弁座から離間すると、第1開口部から突起部の流路にまで入力された流体が、弁座の弁孔から連通流路に流出し、突起部の片側のみを流れて、第2開口部に供給される。このとき、連通流路を流れる流体が、渦巻き状の流れを形成するため、弁座の弁孔から連通流路に流出した流体は、連通流路の内壁付近の流体を巻き込みながら連通流路を流れ、第2開口部に供給される。よって、連通流路の内壁付近に滞留部が発生しにくくなる。また、弁座の弁孔から連通流路に流出した流体は、連通流路を流れるときに、外径方向の力を発生して、一定方向の流れを形成する。そのため、弁座の弁孔から連通流路に流出した流体は、その一定方向の流れに沿って、弁座付近で流れの方向を緩やかな角度で変化されてから連通流路を流れ、第2開口部に供給される。よって、弁座付近に乱流部が発生しにくくなる。
【0022】
一方、「第2開口部を入力ポート、第1開口部を出力ポートにした場合」には、弁体が弁座から離間すると、第2開口部から連通流路に流入した流体が、突起部の片側のみを流れて、弁座の弁孔に流れ込み、突起部の流路を介して第1開口部に供給される。このとき、連通流路を流れる流体は、渦巻き状の流れを形成するため、連通流路の内壁付近の流体を巻き込みながら弁座の弁孔にまで流れる。よって、連通流路の内壁付近に滞留部が発生しにくくなる。また、第2開口部から連通流路に流入した流体は、連通流路を流れるときに、外径方向の力を発生して、一定方向の流れを発生する。そのため、第2開口部から連通流路に流入した流体は、弁座付近まで流れると、その一定方向の流れに沿って、弁座付近で流れの方向を緩やかな角度で変化されてから、弁座の弁孔に流れ込む。よって、弁座の弁孔付近に乱流部が発生しにくくなる。
【0023】
従って、本発明の流体制御弁では、流体が、連通流路内を渦巻き状の流れを発生させながら一定方向に流れるため、連通流路の内壁付近に滞留部が発生することを減少させることができるとともに、弁座付近に乱流部が発生することを減少させることができる。そのため、連通流路において滞留した流体の性質が変化したり、滞留部に滞留した流体が新しい流体と一緒に下流に流れ出すことにより流体制御の精度を低下させるおそれが少なくなる。また、第1開口部を入力ポート、第2開口部を出力ポートとして使用する場合には、本発明の流体制御弁は、摩擦損失を小さくして、「Cv値」を大きくすることができる。
【0024】
ここで、連通流路が突起部の片側から240〜360度回転するように設けられている場合には、流体は、連通流路の第1開口部側の内壁に衝突して突起部の周りを旋回するように流れるため、連通流路内を遠心力を発生させながら流れる。そのため、流体は、その遠心力に吸引されて弁座の弁孔から流出し、又は、弁座の弁孔に流入するので、弁座付近で急激に流れの方向を変化されにくくなり、乱流部を発生しにくくなる。また、弁体付近の流体が、連通流路を流れる流体に巻き込まれるので、連通流路の内壁付近や弁体付近に滞留部が発生しにくくなる。この点、突起部の周りを180度周回するように連通流路を形成した場合には、流体が連通流路の第1開口部側の内壁に衝突しても、その後に突起部の周りを旋回するように流れないため、連通流路内を遠心力を発生させながら流れることができず、弁座付近で流れの方向が急激に変化され、乱流部を発生しやすい。また、弁体付近の流体が、連通流路を流れる流体に巻き込まれにくいので、弁体付近に滞留部が発生しやすい。
従って、本発明の流体制御弁では、連通流路の内壁付近や弁体付近に滞留部が発生することを減少させることができるとともに、弁座付近に乱流部が発生することを減少させることができ、流体制御の精度を向上させることができる。
【0025】
また、連通流路を螺旋状の滑らかな面で形成した場合には、連通流路を流れる流体と連通流路の底面との間に生じる摩擦損失が小さいため、流体が連通流路をスムーズに流れることができ、連通流路に乱流部が発生しにくくなる。
従って、本発明の流体制御弁では、連通流路に乱流部が発生することを減少させて、「Cv値」を大きくすることができる。
【0026】
また、連通流路を螺旋階段状に形成した場合には、流体が、第2開口部と弁座の弁孔との間を直接流れにくくなるので、連通流路に乱流部が発生しにくくなる。
従って、本発明の流体制御弁では、連通流路に乱流部が発生することを減少させて、「Cv値」を大きくすることができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係る流体制御弁の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態の流体制御弁は、従来技術の欄で説明した図15の流体制御弁100と連通流路101,102の形状が相違している。従って、図15の流体制御弁100の概要は、従来技術の欄で既に説明しているので、その詳細な説明は省略する。また、従来技術の欄で使用した図15の符号は、本欄の説明においても使用するものとする。
【0028】
図1の流体制御弁20は、ボディ21が、駆動部3と一体に構成されている。ボディ21には、図1及び図2に示すように、第1開口部9と第2開口部10が対向側面に形成されている。ボディ21の中央部には、第1開口部9に連通する流路11を備える突起部12が設けられ、その突起部の周りに、第2開口部に連通する連通流路22が設けられている。
【0029】
その連通流路22は、突起部12の周りに螺旋状に形成されている。具体的には、連通流路22は、底面22aが、図3及び図4に示すように、第2開口部10から第1開口部9に向かって斜め上がりに形成され、さらに、図4及び図5に示すように、第1開口部9から第2開口部10に向かって斜め上がりに形成されている。そのため、図6に示すように、連通流路22は、第2開口部10から突起部12の周りを略360度回転する螺旋状に形成されている。そして、第2開口部10と連通流路22との連通部分には、壁22bが設けられ、その壁22bには、第2開口部10に対して流体を流れやすくするために、カーブが設けられている。従って、連通流路22は、底面22aと弁座13との水平距離を広げるように第2開口部10から突起部12の周りに形成される。尚、第2開口部10から第1開口部9に向かって形成される底面22aの傾斜角度と、第1開口部9から第2開口部10に向かって形成される底面22aの傾斜角度とは、同一であってもよいし、異なってもよい。
【0030】
そこで、「第1開口部9を入力ポート、第2開口部10を出力ポートとして使用する場合」の図1の流体制御弁20の作用について説明する。この場合のように、「第1開口部9を入力ポート、第2開口部10を出力ポートとして使用する場合」には、図1の流体制御弁20では、調整ボルト5で第1開口部9から第2開口部10に供給される流体の圧力値を調整してから、流体を第1開口部9から流路11にまで入力させる。
【0031】
このとき、ピストン7が下降し、ダイアフラム弁体8を弁座13に当接させていれば、第1開口部9から流路11にまで入力した流体は、弁座13の弁孔13aから連通流路22に流出しない。
【0032】
しかし、ピストン7が上昇して、ダイアフラム弁体8が弁座13から所定量離間されると、第1開口部9から流路11にまで流れた流体が、弁座13の弁孔13aから連通流路22に流出する。
【0033】
このとき、連通流路22を流れる流体は、図7及び図8の流線M1〜M5のように、突起部12の周りを略360度回転するように流れるため、連通流路22と突起部12との外径差によって渦巻き状の流れを形成する。そのため、流体が、弁座13の弁孔13aから連通流路22の第1開口部9側に流出しても、その流体は、図7及び図8の流線M5のように、連通流路22を流れる流体の渦巻き状の流れに巻き込まれて、第2開口部10にまで流れるため、連通流路22の内壁付近によどみを発生させない。よって、連通流路22の第1開口部9側の内壁付近に滞留部が発生しにくくなる。
【0034】
また、連通流路22を流れる流体は、図7及び図8の流線M1〜M5のように、突起部12の周りを略360度回転するように流れるときに、遠心力を発生する。そのため、流体が、弁座13の弁孔13aから連通流路22の第2開口部10側に流出しても、その流体は、図7及び図8の流線M1のように、連通流路22を流れる流体の遠心力に吸引されて、弁座13付近で流れの方向を緩やかな角度で変化されてから、連通流路22に沿って突起部12の周りを略360度回転するように流れて、第2開口部10に供給される。よって、弁座13の弁孔13aから流出した流体は、流れの方向が弁座13付近で急激に変化されにくいので、弁座13付近に乱流部が発生しにくくなる。
【0035】
従って、図1の流体制御弁20において、「第1開口部9を入力ポート、第2開口部10を出力ポートとして使用する場合」には、流体が、連通流路22を渦巻き状の流れを形成しながら弁座13の弁孔13aから第2開口部20に流れるので、連通流路22の第1開口部9側の内壁付近に液溜まりや気泡溜まり等の滞留部が発生することを減少させることができるとともに、弁座13付近に乱流部が発生することを減少させることができる。そのため、液溜まりや気泡溜まりなどの滞留部において液体や気体の性質が変化したり、液溜まりや気泡溜まりなどが流体と一緒に第2開口部10に流れ出すことが少なくなるので、流体制御の精度を向上させることができる。また、図1の流体制御弁20において、「第1開口部9を入力ポート、第2開口部10を出力ポートとして使用する場合」には、同様の弁構造を備える従来の流体制御弁100(図15参照)と比較して、摩擦損失を小さくすることにより「Cv値」を約1.15倍に大きくすることができ、流体制御の精度を向上させることができる。
【0036】
ここで、図1の流体制御弁20では、ダイアフラム弁体8の薄膜部が上向きに湾曲しているため、ダイアフラム弁体8の薄膜部付近の流体の流れが悪い場合がある。しかし、連通流路22に流入した流体は、突起部12の周りを約360度回転して流れるときに、遠心力を発生するとともに、渦巻き状の流れを形成している。そのため、流体は、ダイアフラム弁体8の薄膜部付近の流体を巻き込みながら連通流路22を流れるため、ダイアフラム弁体8の付近に滞留部が発生しにくくなる。従って、本実施の形態の流体制御弁20では、ダイアフラム弁体8付近に滞留部が発生することを減少させることができ、流体制御の精度を向上させることができる。
【0037】
そして、図1の流体制御弁20では、上述したように、連通流路22に滞留部や乱流部が発生しにくいので、装置を停止したときに、連通流路22に流体が残存しにくくなる。そのため、図1の流体制御弁20が複数種類の流体を制御する場合において、流体を切り替えたときに、流体が混在する時間が短くなる。従って、図1の流体制御弁20は、流体の切り替えを短時間で行うことができ、流体の置換性を向上させることができる。
【0038】
また、連通流路22の底面22aが滑らかな螺旋状の面で形成されているので、連通流路22を流れる流体と連通流路22の底面22aとの間に生じる摩擦損失が小さい。また、流体が、連通流路22の底面22aに案内されて、弁座13の弁孔13aから第2開口部10に向かって突起部12の周りを緩やかに下るように流れる。そのため、流体が連通流路22をスムーズに流れることができ、連通流路22に乱流部が発生しにくくなる。従って、本実施の形態の流体制御弁20では、連通流路22に乱流部が発生することを減少させることができ、「Cv値」を大きくすることができる。
【0039】
さらに、図1の流体制御弁20では、使用初期に、弁座13の弁孔13aから連通流路22に流出した流体に気泡が混入していたり、流体圧力によって連通流路22に気泡が発生する場合がある。しかし、図1の流体制御弁20では、連通流路22に気泡が発生しても、連通流路22を流れる流体が、連通流路22に発生した気泡を巻き込んで第2開口部10に流れるため、気泡抜けがよい。従って、図1の流体制御弁20では、使用初期時に発生する気泡を早期に第2開口部10に流すことができ、短時間で装置を立ち上げることができる。
【0040】
次に、「第2開口部10を入力ポート、第1開口部9を出力ポートとして使用する場合」の図1の流体制御弁20の作用について説明する。この場合のように、「第2開口部10を入力ポート、第1開口部9を出力ポートとして使用する場合」には、図1の流体制御弁20では、調整ボルト5で第2開口部10から第1開口部9に供給される流体の圧力値を調整してから、第2開口部10から連通流路22に流体を流入させる。
【0041】
このとき、ピストン7が下降し、ダイアフラム弁体8を弁座13に当接させていれば、第2開口部10から連通流路22に流入した流体は、弁座13の弁孔13aに流れ込まない。
【0042】
しかし、ピストン7が上昇して、ダイアフラム弁体8が弁座13から所定量離間されると、第2開口部10から連通流路22に流入した流体が、弁座13の弁孔13aに流れ込み、流路11を介して第1開口部9に供給される。
【0043】
このとき、連通流路22を流れる流体は、図9及び図10の流線M6〜M10のように、突起部12の周りを略360度回転するように流れるため、連通流路22と突起部12との外径差によって渦巻き状の流れを形成する。そのため、第2開口部10から連通流路22に流入した流体は、図9及び図10の流線M10のように、連通流路22に形成された渦巻き状の流れに巻き込まれて、弁座13にまで流れるので、連通流路22の内壁付近によどみを生じさせない。よって、連通流路22の第1開口部9側の内壁付近に滞留部が発生しにくくなる。
【0044】
また、連通流路22を流れる流体は、図9及び図10の流線M6〜M10のように、突起部12の周りを略360度回転するように流れるときに、遠心力を発生する。そのため、第2開口部10から連通流路22に流入した流体は、図9及び図10の流線M6のように、連通流路22を流れる流体の遠心力に吸引されて、連通流路22に沿って突起部12の周りを略360度回転するように流れて、弁座13まで流れると、弁座13付近で流れの方向を緩やかな角度で変化されてから、弁座13の弁孔13aに流れ込み、流路11を介して第1開口部9に供給される。よって、第2開口部10から連通流路22に流入した流体は、弁座13付近で流れの方向が急激に変化されにくいので、弁座13の弁孔13a付近に乱流部が発生しにくくなる。
【0045】
従って、図1の流体制御弁20において、「第2開口部10を入力ポート、第1開口部9を出力ポートとして使用する場合」には、流体が、連通流路22を渦巻き状の流れを形成しながら第2開口部10から弁座13の弁孔13aに流れるので、連通流路22の第1開口部9側の内壁付近に液溜まりや気泡溜まり等の滞留部が発生することを減少させることができるとともに、弁座13の弁孔13a付近に乱流部が発生することを減少させることができる。そのため、液溜まりや気泡溜まりなどの滞留部において液体や気体の性質が変化したり、液溜まりや気泡溜まりなどが流体と一緒に弁座13の弁孔13aに流れ出すことが少なくなるので、流体制御の精度を向上させることができる。
【0046】
ここで、図1の流体制御弁20では、ダイアフラム弁体8の薄膜部が上向きに湾曲しているため、ダイアフラム弁体8の薄膜部付近の流体の流れが悪い場合がある。しかし、連通流路22に流入した流体は、突起部12の周りを約360度回転して流れるときに、遠心力を発生するとともに、渦巻き状の流れを形成している。そのため、流体は、ダイアフラム弁体8の薄膜部付近の流体を巻き込みながら連通流路22を流れるため、ダイアフラム弁体8の付近に滞留部が発生しにくくなる。従って、本実施の形態の流体制御弁20では、ダイアフラム弁体8付近に滞留部が発生することを減少させることができ、流体制御の精度を向上させることができる。
【0047】
そして、図1の流体制御弁20では、上述したように、連通流路22に滞留部や乱流部が発生しにくいので、装置を停止したときに、連通流路22に流体が残存しにくくなる。そのため、図1の流体制御弁20が複数種類の流体を制御する場合において、流体を切り替えたときに、流体が混在する時間が短くなる。従って、図1の流体制御弁20は、流体の切り替えを短時間で行うことができ、流体の置換性を向上させることができる。
【0048】
また、連通流路22の底面22aが滑らかな螺旋状の面で形成されているので、連通流路22を流れる流体と連通流路22の底面22aとの間に生じる摩擦損失が小さい。また、流体が、連通流路22の底面22aに案内されて、第2開口部10から弁座13の弁孔13aに向かって突起部12の周りを緩やかに上るように流れる。そのため、流体が連通流路22をスムーズに流れることができ、連通流路22に乱流部が発生しにくくなる。従って、本実施の形態の流体制御弁20では、連通流路22に乱流部が発生することを減少させることができ、「Cv値」を大きくすることができる。
【0049】
さらに、図1の流体制御弁20では、使用初期に、第2開口部10から連通流路22に流入した流体に気泡が混入していたり、流体圧力によって連通流路22に気泡が発生する場合がある。しかし、図1の流体制御弁20では、連通流路22に気泡が発生しても、連通流路22を流れる流体が、連通流路22に発生した気泡を巻き込んで弁座13の弁孔13aに流れるため、気泡抜けがよい。従って、図1の流体制御弁20では、使用初期時に発生する気泡を早期に弁座13の弁孔13aに流すことができ、短時間で装置を立ち上げることができる。
【0050】
なお、本実施の形態は、単なる例示にすぎず本発明を何ら限定するものではない。従って、本発明は、当然に、その要旨を逸脱しない範囲内での種々の変形、改良が可能である。
【0051】
すなわち、例えば、上記実施の形態では、連通流路22を突起部12の周りに略360度設けているが、240度〜360度の範囲であれば、上記実施の形態と同様の作用効果が得られる。
つまり、例えば、図11〜図14に示すように、突起部12の周りを略270度回転する螺旋状の連通流路30を形成されたボディ31を流体制御弁に使用する場合において、第1開口部9を入力ポート、第2開口部10を出力ポートとして使用すると、弁座13の弁孔13aから流出した流体は、第1開口部9側の連通流路30の内壁に衝突して突起部12の周りを旋回するように流れ、連通流路30内に遠心力を発生させる。そのため、弁座13から流出した流体は、弁座13付近で流れの方向を緩やかに変化されてから、連通流路30の第1開口部9側の内壁付近の流体及びダイアフラム弁体8の薄膜部付近の流体を巻き込んで第2開口部10に流れる。一方、第2開口部10を入力ポート、第1開口部を出力ポートとして使用すると、第2開口部10から連通流路30に流入した流体は、第1開口部9側の連通流路30の内壁に衝突して突起部12の周りを旋回するように流れ、連通流路30内に遠心力を発生させる。そのため、第2開口部10から連通流路30に流入した流体は、連通流路30の第1開口部9側の内壁付近の流体及びダイアフラム弁体8の薄膜部付近の流体を巻き込んで弁座13まで流れると、流れの方向を弁座13付近で緩やかに変化されてから、弁座13の弁孔13aに流入する。従って、流体制御弁は、突起部を240〜360度周回するように連通流路30を形成することにより、流体が旋回方向の力を発生しながら連通流路を流れるため、連通流路30の内壁付近やダイアフラム弁体8付近に滞留部が発生しにくくなるとともに、弁座13付近に乱流部が発生しにくくなる。
これに対して、連通流路が突起部の周りを180度回転するように形成されたボディを流体制御弁に使用する場合には、流体制御弁は、流体が、第1開口部側の連通流路の内壁に衝突しても、その後に突起部の周りを旋回するように流れないため、連通流路内に遠心力が発生せず、弁座付近に乱流部を発生しやすくなったり、第1開口部側の連通流路の内壁付近やダイアフラム弁体付近に滞留部を発生しやすくなる。
尚、図11〜図14に示す流体制御弁のボディ31には、連通流路30の始端部と終端部の間に、ひけ32が弁座13より低い位置に水平に形成されている。これにより、ダイアフラム弁体8が変位したときに、ダイアフラム弁体8の薄膜部等がボディ31に干渉することを防止することができる。ここで、図11〜図14に示すひけ32は、連通流路30における流体の渦巻き状の流れをそのまま維持できるように、上面にカーブを設けているが、平坦に設けても良い。
【0052】
また、例えば、上記実施の形態では、連通流路22の底面22aを滑らかな螺旋状の面で形成したが、連通流路の底面を螺旋階段状に設けてもよい。
また、例えば、上記実施の形態では、連通流路22を第2開口部10から突起部12の右側に形成したが、第2開口部10から突起部12の左側に形成してもよい。
また、例えば、上記実施の形態では、連通流路22の壁22bにカーブを設けているが、カーブの大きさはこれに限定されず、また、直線状に形成してもよい。
【0053】
また、例えば、上記実施の形態では、第1開口部と第2開口部を対向する位置に設けた。しかし、例えば、第1開口部9を第2開口部から90度ずらした位置に設けてもよい。また、第1開口部9と第2開口部10を同一軸線上に設けなくてもよい。
また、例えば、上記実施の形態では、第1開口部9と流路11が直交しているが、第1開口部9と流路11を一直線上に設けても良い。
また、例えば、上記実施の形態では、第2開口部10が、連通流路22に対して弁座13より低い位置で連通している。しかし、第2開口部10は、弁座13と同じ高さで連通していてもよいし、弁座13より高い位置において連通していてもよい。
【0054】
また、例えば、上記実施の形態では、駆動部としてエアオペレイトバルブを使用しているが、電動バルブや電磁弁等を使用してもよい。
また、例えば、上記実施の形態では、ダイアフラム弁体8を使用したが、ポペット弁等を使用してもよい。
また、例えば、上記実施の形態では、ボディ21を駆動部3より下側に配置して使用しているが、ボディ21を駆動部3より上側に配置して、上下逆さにして使用してもよいし、斜めに配置して使用してもよい。
【0055】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の流体制御弁によれば、流体が入力又は出力される第1開口部及び第2開口部と、第1開口部に連通する流路が中央部に設けられた突起部と、突起部の端面に設けられるとともに、流路に連通する弁孔が形成された弁座と、突起部の片側の一部から形成されて、弁座の弁孔と第2開口部とを連通させる連通流路と、弁座に当接又は離間する弁体と、を有するので、流体が、連通流路内を渦巻き状の流れを発生させながら一定方向に流れ、連通流路の内壁付近に滞留部が発生することを減少させることができるとともに、弁座付近に乱流部が発生することを減少させることができる。
【0056】
また、本発明の流体制御弁によれば、対向する位置に設けられた第1開口部及び第2開口部と、第1開口部に連通する流路が中央部に設けられた円筒凸部と、円筒凸部の端面に設けられるとともに、流路に連通する弁孔が形成された弁座と、円筒凸部の周りを略360度回転する螺旋形の底面を有するとともに、弁座の弁孔と第2開口部を連通させる連通流路と、弁座に当接又は離間する弁体と、を有するので、流体が、連通流路内を遠心力及び渦巻き状の流れを発生させながら一定方向に流れ、連通流路の内壁付近やダイアフラム弁体付近に滞留部が発生することを減少させることができるとともに、弁座付近に乱流部が発生することを減少させることができる。
【0057】
また、本発明の流体制御弁によれば、流体が入力又は出力される第1開口部及び第2開口部と、第1開口部に連通する流路が中央部に設けられた突起部と、突起部に設けられた流路を開閉する弁座と弁体とを有する流体制御弁において、突起部に設けられた弁座の外周の一部から設けられた第2開口部に接続される流路は、弁座の外周を弁座の開閉面との水平距離を広げながら周回するので、流体が、連通流路内を渦巻き状の流れを発生させながら一定方向に流れ、連通流路の内壁付近や弁体付近に滞留部が発生することを減少させることができるとともに、弁座付近に乱流部が発生することを減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態において、流体制御弁の縦断面図である。
【図2】同じく、流体制御弁に使用されるボディの上面図である。
【図3】同じく、図2のA−A断面図である。
【図4】同じく、図2のB−B断面図である。
【図5】同じく、図2のC−C断面図である。
【図6】同じく、ボディの要部概念斜視図である。
【図7】同じく、流体制御弁の要部拡大断面図であって、第1開口部から第2開口部に流れる流体の流れを示す図である。
【図8】同じく、流体制御弁の流路の上面図であって、第1開口部から第2開口部に流れる流体の流れを示す図である。
【図9】同じく、流体制御弁の要部拡大断面図であって、第2開口部から第1開口部に流れる流体の流れを示す図である。
【図10】同じく、流体制御弁の流路の上面図であって、第2開口部から第1開口部に流れる流体の流れを示す図である。
【図11】本発明の実施の形態で使用されるボディの変更例の上面図である。
【図12】同じく、図11のD−D断面図である。
【図13】同じく、図11のE−E断面図である。
【図14】同じく、図11のF−F断面図である。
【図15】従来の流体制御弁の縦断面図である。
【図16】従来の流体制御弁の要部拡大断面図であって、第1開口部から第2開口部に流体を供給する場合の流線を示す図である。
【図17】従来の流体制御弁の流路の上面図であって、第1開口部から第2開口部に流体を供給する場合の流線を示す図である。
【図18】従来の流体制御弁の要部拡大断面図であって、第2開口部から第1開口部に流体を供給する場合の流線を示す図である。
【図19】従来の流体制御弁の流路の上面図であって、第2開口部から第1開口部に流体を供給する場合の流線を示す図である。
【符号の説明】
8 弁体
9 第1開口部
10 第2開口部
11 流路
12 突起部
13 弁座
13a 弁孔
20 流体制御弁
22 連通流路
Claims (3)
- 流体が入力又は出力される第1開口部及び第2開口部と、
前記第1開口部に連通する流路が中央部に設けられた突起部と、
前記突起部の端面に設けられるとともに、前記流路に連通する弁孔が形成された弁座と、
前記突起部の片側から螺旋状に形成されて、前記弁座の弁孔と前記第2開口部とを連通させる連通流路と、
前記弁座に当接又は離間する弁体と、を有すること、
前記連通流路は、流路形成方向に対して直交する底部の断面が円弧状であること、
前記連通流路と前記第2開口部との連通部分に、カーブを備える壁が設けられていること、
前記弁体が、前記弁座に当接又は離間する弁体部と、前記弁体部の周りに沿って設けられた薄膜部を備えるダイアフラム弁体であって、
前記連通流路の始端部と終端部との間に、前記弁座より低い位置に水平に形成されたひけを有すること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1に記載する流体制御弁であって、
前記連通流路が、前記突起部の周りを240乃至360度回転するように設けられていること、を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1に記載する流体制御弁において、
前記弁座の片側に設けられた前記第2開口部に接続される流路は、前記弁座の外周を前記弁座の開閉面との水平距離を広げながら周回するものであること、
を特徴とする流体制御弁。
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