JP3808071B2 - 薬液制御弁 - Google Patents
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Description
まず、第1の実施の形態について説明する。そこで、第1の実施の形態に係る薬液制御弁の概略構成を図1および図2に示す。図1は、第1の実施の形態に係る薬液制御弁の縦断面図である。図2は、第1の実施の形態に係る薬液制御弁の流路形状を示す上面図である。
次に、第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態に係る薬液制御弁は、第1の実施の形態のものと基本的な構成はほぼ等しいが、障壁を設ける代わりに、ダイアフラム弁体の下面に拡散部材を設けた点が異なる。したがって、以下の説明では第1の実施の形態との相違点を中心に説明し、その他の部分は図面に同一符号を付してその説明を適宜省略する。
次に、第3の実施の形態について説明する。第3の実施の形態に係る薬液制御弁は、第1の実施の形態のものと基本的な構成はほぼ等しいが、障壁を設ける代わりに、第2連通流路の底面の断面形状を略半円形に形成した点が異なる。したがって、以下の説明では第1の実施の形態との相違点を中心に説明し、その他の部分は図面に同一符号を付してその説明を適宜省略する。
最後に、第4の実施の形態について説明する。第4の実施の形態に係る薬液制御弁は、第1の実施の形態のものと基本的な構成はほぼ等しいが、障壁を設ける代わりに、入力流路と第1連通流路との連通部外側(入力流路の下方側)にテーパ部を設けた点が異なる。したがって、以下の説明では第1の実施の形態との相違点を中心に説明し、その他の部分は図面に同一符号を付してその説明を適宜省略する。
20 入力流路
21 出力流路
22 第1連通流路
23 突起部
24,25 第2連通流路
26 弁座
26a 弁孔
27 ダイアフラム弁体
40 障壁
50 拡散部材
51 羽根
64a,65a 断面形状が半円形の底面
70 テーパ部
Claims (6)
- 薬液の供給制御を行う薬液制御弁であって、
入力流路および出力流路と、
前記入力流路に連通する第1連通流路が中央に形成された突起部と、
前記突起部の端面に設けられるとともに、前記第1連通流路に連通する弁孔が形成された弁座と、
前記突起部の周りに形成されるとともに、前記弁孔と前記出力流路とを連通させる第2連通流路と、
前記弁座に当接・離間する弁体と、
前記弁座の外周端部に設けられ、その両端部が前記出力流路に対応した位置にある障壁と、を有し、
前記障壁の高さは、前記弁座の弁体当接面よりも高く、かつ弁全開時における前記弁体の下面位置よりも低いことを特徴とする薬液制御弁。 - 請求項1に記載する薬液制御弁において、
前記障壁は、その両端部が前記出力流路の中心線を基準として両側にそれぞれ30〜90度をなして位置することを特徴とする薬液制御弁。 - 請求項1又は請求項2に記載する薬液制御弁において、
前記障壁の高さは、前記弁座の弁体当接面を基準として前記弁体の移動量の略半分であることを特徴とする薬液制御弁。 - 薬液の供給制御を行う薬液制御弁であって、
入力流路および出力流路と、略円筒部とを備える弁本体と、
前記入力流路に連通する第1連通流路が中央に形成された突起部と、
前記突起部の端面に設けられるとともに、前記流路に連通する弁孔が形成された弁座と、
前記突起部の周りの全周にわたり形成され、軸方向について弁座よりも低い位置に形成
され、幅方向について前記突起部の外周面から前記略円筒部の内周面の範囲にわたって形成されるとともに、前記弁孔と前記出力流路とを連通させる第2連通流路と、
前記弁座に当接・離間するポペット弁体とを有し、
前記第2連通流路における全ての底面の縦断面形状は半径が流路幅の半分とする略半円形に形成されていることを特徴とする薬液制御弁。 - 薬液の供給制御を行う薬液制御弁であって、
入力流路および出力流路と、
前記入力流路に連通する第1連通流路が中央に形成された突起部と、
前記突起部の端面に設けられるとともに、前記流路に連通する弁孔が形成された弁座と、
前記突起部の周りに形成されるとともに、前記弁孔と前記出力流路とを連通させる第2連通流路と、
前記弁座に当接・離間する弁体とを有し、
前記入力流路と前記第1連通流路との連通屈曲部の外側にテーパ部が形成され、
前記テーパ部は、前記第1連通流路の中心線に対して45度をなし、
前記テーパ部を備える前記連通屈曲部における最小流路径は、前記入力流路の径と略同一であることを特徴とする薬液制御弁。 - 請求項1から請求項5に記載するいずれか1つの薬液制御弁において、
半導体製造工程で使用される、研磨粒子を含むスラリーの供給制御に使用されることを特徴とする薬液制御弁。
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