JP4632525B2 - 微小構造体組立装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の微小部品からなる微小構造体を組み立てるための微小構造体組立装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、情報機器の携帯化、医療機器等の低侵襲化等にともない、このような精密な機器を組み立てる技術が注目されている。精密な機器を組み立てるために、複数の微小部品からなる微小構造体を組み立てる装置が必要とされている。
【0003】
このような装置は、例えば特開2000−52289号公報に開示されている。この装置は、図11(特開2000−52289号公報に含まれている図面中の図1を引用)に示されるように、複数の顕微鏡光学系2001とカメラからなり、微小部品を撮影する撮像系と、この撮像系からの画像をステレオ処理し、3次元モデルを作成する3次元モデル形成部2002と、3次元モデルをもとに右目、左目用に視差画像を生成する立体画像生成部2003と、この視差画像を人間の目前に表示し、立体画像を表示する画像表示装置2004と、この画像表示装置に取り付けられ、頭の位置や顔の方向を計測する位置・姿勢センサ2005と、人間の腕の動きを計測し反力を返すことのできる操作部2006と、微小部品からなる微小構造体を操作し、マイクロ力センサが取り付けられたマイクロオペレーション部2007と、操作部2006により計測された人間の腕の動きを縮小し、マイクロオペレーション部2007を操作するコントローラ部2008とを具備している。この装置の使用者はあたかも通常の物体を扱っているかのように微小部品を観察し操作する。マイクロオペレーション部2007は、微小部品を裁置するためのテーブル2010と、このテーブル2010の両側から夫々延びており、微小部品を操作する2つのマニピュレータ2011,2012とを有している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の装置では、マイクロオペレーション部2007が微小部品を操作できるのは、テーブル2010の中央部の限られた領域でしかなく、微小部品を操作できる内容は限られる。特に、複数の微小部品からなる複雑な微小構造体を組み立てるような、複数の組立工程を必要とする操作に対応することができず、各々の工程に対応して異なる装置が必要となる。従って、微小部品に小ささのわりに、比較的規模の大きい設備を必要とする。
【0005】
また、微小部品をテーブル2010上に裁置した状態、あるいはマイクロオペレーション部2007が微小部品を支持した状態からのみしか微小な操作を行うことができないため、微小な操作が可能な状態に微小部品やマイクロオペレーション部2007をセッティングするまで、又は微小な操作が終了した後に微小部品を取り出す際に非常な困難を伴う。
【0006】
また、マイクロオペレーション部2007の2つのマニピュレータ2011,2012は、テーブル2010の中央部のような限られた領域内で微小部品を操作するように設けられているため、複数の微小部品からなる複雑な微小構造体を組み立てるような複雑な操作の際、マニピュレータ2011,2012が互いに干渉し、マニピュレータの操作が困難となる。
【0007】
また、マニピュレータの干渉を防止するために、例えば多数の関節を有するマニピュレータのような大きな自由度を有するマニピュレータを用いることが考えられる。しかしながら、このようなマニピュレータは大型であるので、微小部品に小ささのわりに、比較的規模の大きい設備を必要とする。
【0008】
また、マニピュレータ2011,2012はテーブル2010の両側から夫々延びている。テーブル2010上において微小部品を操作する領域を確保しつつテーブル2010にマニピュレータ2011,2012を取り付けるためには、一般に、テーブル2010から側方に突出するように固定され、マニピュレータ2011,2012の一端を支持する部材をさらに設ける必要がある。従って、多数のマニピュレータをテーブル2010に取り付けると、装置が大型になる。
【0009】
従って、本発明の目的は、複数の微小部品からなる微小構造体を確実かつ容易に組み立てる小型の微小構造体組立装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項1に係わる微小構造体組立装置は、複数の微小部品からなる微小構造体を組み立てる微小構造体組立装置であって、
側面と、移動領域として使用される上面と、を有するテーブルと、
前記テーブルの前記上面の前記移動領域に移動可能に載置された複数の移動ユニットと、
前記テーブルの前記上面の前記移動領域で前記複数の移動ユニットの夫々の移動と位置決めとを行う駆動手段と、
前記複数の移動ユニットに設けられており、前記微小部品を支持する組立手段と、
前記テーブルの前記側面に配置されており、近接した前記移動ユニットの前記組立手段に複数の前記微小部品を供給する複数の部品供給ユニットを含む複数の作業ユニットと、
を具備しており、
前記組立手段は、前記複数の作業ユニットの前記複数の部品供給ユニットから供給され支持している複数の前記微小部品の位置及び姿勢を決め移動させ相互に当接させる位置決めツール,組立治具,そして組立ツールを有しており、
前記作業ユニットはさらに、近接した前記移動ユニットの前記組立手段の前記位置決めツール,前記組立治具,そして組立ツールにより位置及び姿勢が決められ移動され相互に当接されている複数の前記微小部品を、締結させる締結手段を含んでいる、
ことを特徴としている。
【0011】
駆動手段は移動ユニットをテーブルの上面の移動領域で自在に移動させる。移動ユニットの組立手段は微小部品を支持することができる。移動ユニットの組立手段が微小部品を支持しつつ、移動ユニットはテーブルの移動領域で移動することができる。移動ユニットはテーブルの側面に配置されている作業ユニットが設けられている場所まで移動できる。これを利用して複数の微小部品からなる微小構造体を組み立てることができる。従って、微小構造体を確実かつ容易に組み立てる小型の微小構造体組立装置を提供することができる。
【0012】
本発明の請求項3に係わる微小構造組立装置では、複数の前記作業ユニットの各々は、各々における前記微小部品を撮影するための撮影ユニットを備えていることを特徴としている。
【0013】
作業ユニットの各々は撮影ユニットを備えているため、拡大観察下で微小構造体を組み立てることができ、移動ユニット及び作業ユニットのテーブルの移動領域での位置調整等を容易に行うことができる。
【0016】
本発明の請求項1に係わる微小構造体組立装置では、前記テーブルは側面を備えており、前記作業ユニットはこのテーブルの側面に配置されていることを特徴としている。
【0017】
作業ユニットを移動テーブルの側面に配置することにより、作業ユニットはテーブルの移動領域を占有しないので、作業ユニットは移動ユニットの移動の障害となることがない。また微小構造体組立装置において移動領域が占める割合を大きくすることができる。
【0018】
本発明の請求項2に係わる微小構造体組立装置では、前記駆動手段は、サーフェイスリニアモータを有していることを特徴としている。
【0019】
サーフェイスリニアモータは、移動ユニットを極めて自在に移動させることができるので、移動ユニットが移動できる範囲、即ちテーブルにおいて移動領域として活用できる範囲は大きくなる。従って、微小構造体組立装置において移動領域が占める割合を大きくすることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
図1ないし図10を参照して、本発明の実施の形態に係わる微小構造体組立装置を説明する。図1は微小構造体組立装置の平面図であり、図2の(A)は微小構造体組立装置の斜視図である。図中1は側面と、移動領域として使用されている上面101とを有しているテーブルである。テーブル1の上面101は、約800mm×800mm以下の面積、好ましくは800mm×800mm程度の面積を有する。テーブル1の上面101には、操作ユニット3と組立ユニット5とが裁置されている。操作ユニット3と組立ユニット5とは移動ユニットとして用いられている。テーブル1には駆動手段として用いられている表面2軸型のサーフェイスリニアモータ7が設けられている(図2の(A))。サーフェイスリニアモータ7は、テーブル1の上面101に網目状に形成された微小な多数の歯と、操作ユニット3と組立ユニット5との底面に夫々設けられた電磁石とを有している。テーブル1の上面101からは上方に、又は組立ユニット3と操作ユニット5とからは下方に空気を吹き出すことが可能であり、この空気が吹き出す力により操作ユニット3と組立ユニット5とを浮上させる。操作ユニット3及び組立ユニット5の電磁石とテーブル1の微小な歯のと間の励磁状態を制御することで、操作ユニット3及び組立ユニット5の移動及び位置決めを行う。
【0021】
操作ユニット3の上面302には図3に示されている吸着式部品供給マニピュレータ301が取り付けられている。吸着式部品供給マニピュレータ301は組立手段として用いられている。吸着式部品供給マニピュレータ301は移載ツール3011と、この移載ツール3011を図3に示されたx,y,zの3方向に動かす駆動部3013とを有している。駆動部3013はx,y,z方向に夫々動くx軸ステージ3015、y軸ステージ3016及びz軸ステージ3017を組み合わせて構成されている。ステージ3015,3016,3017の、動く方向に沿った長さは90mm程度である。ステージ3015,3016,3017は超音波リニアモータにより動かされる。超音波リニアモータは、超音波を発振する駆動子と被駆動子とを有している。駆動子により発振された超音波振動を利用して摩擦力を発生させ、この摩擦力により被駆動子を移動させることで、駆動子に対する被駆動子の移動及び位置決めを行う。移載ツール3011は針状の部材であり、真空吸着を利用して微小部品を支持する。移載ツール3011には真空吸着のための吸引器(図示せず)が接続されている。吸引器に吸引させると微小部品が移載ツール3011に吸着される。この後、吸引器の吸引を止めると微小部品が移載ツール3011から離れる。
【0022】
操作ユニット3の上面302にはさらに図4に示されている組立マニピュレータ303が取り付けられている。組立マニピュレータ303は組立手段として用いられている。組立マニピュレータ303は、組立部材として用いられている組立ツール3031と、この組立ツール3031を図4に示されたx,y,zの3方向に動かす駆動部3033とを有している。駆動部3033は吸着式部品供給マニピュレータ301の駆動部3013と同様の構成及び作用を有する。駆動部3033はx軸ステージ3035、y軸ステージ3036及びz軸ステージ3037を組み合わせて構成されている。組立ツール3031は針状の部材である。
【0023】
組立ユニット5の上面502には図5に示されている組立治具501が取り付けられている。組立治具501は組立手段として用いられている。組立治具501は、組立ユニット5の上面502に固定された基台5011と、この基台5011の側面から水平に延びているガイド部5013を有している。ガイド部5013には、ガイド部5015が延びる方向に案内溝5015が設けられている。案内溝5015には微小部品が裁置される。案内溝5015の断面形状等は微小部品の形状、大きさ等に依存して適切に決められる。
【0024】
組立ユニット5の上面502にはさらに図6に示されている位置決めマニピュレータ503が取り付けられている。位置決めマニピュレータ503は組立手段として用いられている。位置決めマニピュレータ503は、位置決めツール5031と、図6に示されたx,yの2方向にこの位置決めツール5031を動かす駆動部5033とを有している。駆動部5033はx軸ステージ5035とy軸ステージ5037とを組み合わせて構成されている。x軸ステージ5035とy軸ステージ5037とは、吸着式部品供給マニピュレータ301のx軸ステージ3015とy軸ステージ3016と同様の構成及び作用を有する。位置決めツール5031は駆動部5033から延びている、例えば平板状の部材である。位置決めツール5031の先端には微小部品に当接するための切り欠き5039が設けられている。切り欠き5039の形状は微小部品の形状、大きさ等に依存して適切に決められる。切り欠き5039の形状は例えば矩形であっても良いし、またその他の形状であっても良い。
【0025】
再び図1及び図2の(A)を参照して説明する。テーブル1の側面には適切な基台を介して第1部品供給ユニット9、把持式マニピュレータ11及び第2部品供給ユニット13が配置されている。第1部品供給ユニット9と把持式マニピュレータ11とは隣接している。さらにテーブル1の側面から延びる適切な支柱を介して溶接ヘッド15がテーブル1の上面101の上方に配置されている。第1部品供給ユニット9、把持式マニピュレータ11、第2部品供給ユニット13及び溶接ヘッド15は作業ユニットとして用いられている。図2の(A)に示されているように、テーブル1の側面102には側方に引き出すことができる引き出し103が設けられている。引き出し103にはテーブル1の中に収納される電装部105が取り付けられている。図2の(B)はテーブル1の側面から引き出し103が引き出された状態を示している。電装部105はメンテナンス等のために引き出し103を引き出すことにより容易に取り出すことができる。
【0026】
図7に示すように、第1部品供給ユニット9は、基台901と、この基台901上に取り付けられたパレット903とを有している。パレット903には第1の微小部品902を配列させることができる。基台901には基台901から上方に延びている支柱907を介してペン型CCDカメラ905がパレット903の上方に固定されている。ペン型CCDカメラ905は撮影ユニットとして使用されており、パレット903に配列された第1の微小部品902を上方から撮影する。
【0027】
図8に示すように、把持式マニピュレータ11は、微小部品を挟持するためのチャックユニット1101と、チャックユニット1101を図8に示されたx,y,x,θx,θy,θz方向に動かす6軸テーブル1103とを有している。チャックユニット1101は、6軸テーブル1103から延びているアーム1105の先端に固定されている。6軸テーブル1103には撮影ユニットとして使用されているペン型CCDカメラ1107が、チャックユニット1101を撮影するように配置されている。CCDカメラ1107の方向は電動で変更可能である。チャックユニット1101には圧電チャック、エアチャック等が用いられる。
【0028】
図9に示すように、第2部品供給ユニット13は、基台1301と、この基台1301上に取り付けられたパーツフィーダ1303とを有している。パーツフィーダ1303は、本体1305と本体1305の上に設けられた操作面1307とを有している。操作面1307には第2の微小部品が裁置される。パーツフィーダ1303は振動を利用して裁置された第2の微小部品を操作面1307の上で移動させることができる。また第2の微小部品の姿勢を任意に変更することができる。例えば第2の微小部品が6面体であり、夫々の面に1〜6の数字が夫々描かれている物体である場合を考える。この第2の微小部品の姿勢は、数字1が描かれた面が上に向いておりかつ数字2の面が右を向いているような姿勢であるとする。パーツフィーダ1303は、この姿勢を例えば数字3の面が上を向いておりかつ数字5の面が右を向いている姿勢に変更することができる。パーツフィーダ1303は、第2の微小部品の移動及び姿勢の変更を利用して第2の微小部品を整列することができる。基台1301には、基台1301から上方に延びている支柱1309を介してペン型CCDカメラ1311がパーツフィーダ1303の上方に固定されている。ペン型CCDカメラ1311は撮影ユニットとして使用されており、パーツフィーダ1303の操作面1307を上方から撮影する。
【0029】
図10に示すように、溶接ヘッド15は、集光光学系1501と集光光学系1501に接続されている光ファイバ1503と撮影光学系1505と同一軸光学系1507とこれらの光学系1501,1505,1507を収納する本体1509とを有している。本体1509の大きさは、100mm×20mm×15mm程度である。溶接ヘッド15は、光ファイバ1503から供給されたレーザ光を溶接ヘッド15の下方に位置する微小部品に照射することができる。光ファイバ1503からのレーザ光は集光光学系1501により集光された後、同一軸光学系1507を介して下方に出射される。微小部品においてレーザ光が照射される部分は撮影光学系1505を用いて撮影される。撮影される光は、微小物体においてレーザ光が照射される部分から反射される可視光であり、照射されるレーザ光の光軸を通って同一軸光学系1507に入射する。この光は同一軸光学系1507で可視光のみが反射されて撮影光学系1505に導かれる。同一軸光学系1507から微小部品に照射されるレーザ光の光軸(レーザ光軸)と微小部品から同一軸光学系1507に入射する可視光の光軸(撮影光軸)とが平行でないように、レーザ光軸と撮影光軸とが本体に固定されている溶接ヘッドでは微小部品とこの溶接ヘッドとの距離が変わると、撮影光学系により撮影される画像の画面上において、レーザ光が微小部品に照射される位置(照射位置)が動く。また、レーザ光軸と撮影光軸とが平行であるが、重なっていないように構成された溶接ヘッドでは、照射位置が画面の中央に位置しない。レーザ光軸と撮影光軸とが重なるように構成された溶接ヘッド15では、微小部品と溶接ヘッドとの距離に関わりなく常に照射位置を画面のほぼ中央に位置させることができる。
【0030】
再び図1及び図2の(A)を参照して説明する。テーブル1の上面101の中央部の上方には、テーブル1の側面から延びる適切な支柱を介して撮影器17が配置されている。撮影器17は双眼の実体顕微鏡と、この実体顕微鏡の2つの接眼部の接眼レンズの結像位置に夫々配設された2つのCCDカメラとを有している。実体顕微鏡の撮影倍率を変更するための倍率切換部にはモータが連結されており、このモータには撮影倍率を変更するための適切な制御がなされる。実体顕微鏡はテーブル1の上面101の中央部に向いている。
【0031】
図1を参照して説明する。テーブル1の近くには操作台19が設置されている。操作台19の上部には上面パネル1901が設けられている。上面パネル1901には、マニピュレータ301,303,503,11を操作するためのジョイスティック1903及びトラックボール1905並びにマニピュレータ301,303,503,11の内から操作されるマニピュレータを選択するためのマニピュレータ切換スイッチ1907が配設されている。マニピュレータにおいて動かされるもの、例えば吸着式部品供給マニピュレータ301において駆動部3013により動かされる移載ツール3011、の変位量は、ジョイスティック1903及びトラックボール1905の操作量に比例する。上面パネル1901にはさらに、この比例関係に関する比例定数、即ち変位倍率を切り換えるための変位倍率切換スイッチ1909が設けられている。操作台19の内部には電装部(図示せず)が配設されている。上面パネル1901は操作台19に枢支されており、上面パネル1901を跳ね上げることにより開くことができる。これにより、容易に操作台19の内部に配設された電装部をメンテナンスすることができる。オペレータ1911は操作台19に対峙して微小構造体組立装置を運転する。上記撮影器17により撮影された画像はオペレータ1911の頭部に装着された双眼の頭部装着型表示器1913に表示される。撮影器17の双眼の実体顕微鏡により撮影され、双眼の頭部装着型表示器1913に表示された対象物の画像をオペレータ1911が観察すると、オペレータ1911は撮影器17の実体顕微鏡の接眼レンズから直接観察するように対象物を拡大して観察できる。上面パネル1901の上にはパーソナルコンピュータ1915が裁置されている。このパーソナルコンピュータ1915のディスプレイには、撮影器17により撮影される画像、第1部品供給ユニット9、把持式マニピュレータ11及び第2部品供給ユニット13、溶接ヘッド15の夫々CCDカメラ905,1107,1311、撮影光学系1505により夫々撮影される画像、操作ユニット3及び組立ユニット5の位置及び向きに関する情報、並びにマニピュレータ301,303,503,11の変位量及び上記変位倍率に関する情報等が表示される。ディスプレイには、マルチウィンドウ機能等を利用して、これらの画像及び情報の内の少なくとも1つを表示することができる。CCDカメラ905,1107,1311、撮影光学系1505により夫々撮影される対象物は拡大してパーソナルコンピュータ1915のディスプレイに表示されることが可能である。頭部装着型表示器1913は表示器1913を装着していないときにオペレータ1911が観察する風景を撮影器17により撮影された画像に重畳して表示することができる。これにより、撮影器17により撮影された画像とパーソナルコンピュータ1915のディスプレイに表示された画像を同時に観察することができる。
【0032】
図1及び図2の(A)を参照して、微小構造体組立装置を用いて第1の微小部品と第2の微小部品とからなる微小構造体を組み立てる方法を説明する。第1部品供給ユニット9のパレット903には第1の微小部品が配列されている。一方、第2部品供給ユニット13のパーツフィーダ1303の操作面1307には第2の微小部品が配列されている。以下の工程では、オペレータ1911は撮影器17により撮影された対象物を拡大して観察しながら微小構造体組立装置を運転することができる。
【0033】
先ず、第1の工程を説明する。第1部品供給ユニット9のパレット903上の第1の微小部品902(図7)を把持式マニピュレータ11のチャックユニット1101(図8)により挟持させる。組立ユニット5をテーブル1の上面101で移動して第1部品供給ユニット9と把持式マニピュレータ11とに近接させる。把持式マニピュレータ11を用いて挟持させた第1の微小部品を組立治具501の案内溝5015(図5)に適切な姿勢で裁置させる。本工程が進行する間、第1部品供給ユニット9のCCDカメラ905と微小部品を把持式マニピュレータ11のCCDカメラ1107とにより撮影された画像がパーソナルコンピュータ1915のディスプレイに表示される。
【0034】
次に、第2の工程を説明する。第2部品供給ユニット13のパーツフィーダ1303の操作面1307(図9)上の第2の微小部品を所定の位置に移動させるとともに、第2の微小部品の姿勢を所定の姿勢に変更する。操作ユニット3をテーブル1の上面101で移動して第2部品供給ユニット13に近接させる。吸着式部品供給マニピュレータ301の吸引器に吸引を行わせて移載ツール3011(図3)に操作面1307上の第2の微小部品を吸着させる。本工程が進行している間、パーソナルコンピュータ1915のディスプレイには、第1の工程が進行する間このディスプレイに表示されていた画像に替わり、第2部品供給ユニット13のCCDカメラ1311により撮影された画像がこのディスプレイに表示される。上述したようにディスプレイには、マルチウィンドウ機能等を利用して、撮影器17により撮影された画像及びCCDカメラ905,1107,1311、撮影光学系1505により夫々撮影された画像を選択的に表示することができる。オペレータ1911はマルチウィンドウ機能を利用して画像の切り替えを行う。例えば、第1の工程ではCCDカメラ905,1107の画像が表示されたウィンドウを開いておき、第1の工程から第2の工程に移り変わるときに、このウィンドウを閉じて、CCDカメラ1311の画像が表示されたウィンドウを開くことで画像の切り替えを行っても良い。また、このような画像の切り替えは、操作台19の上面パネル1901に設けられた適切なスイッチをオペレータ1911が操作することにより実行されても良い。また、第1の工程から第2の工程に移り変わるときに、オペレータ1911による操作なしに自動的にこのような画像の切り替えを行う機能をパーソナルコンピュータ1915に設けても良い。これにより、画像の切り替えの際にオペレータ1911による特別な操作を必要としない。上記の画像の切り替えは第1の工程から第2の工程に移り変わるときに、行われるけれども以下の工程において、工程が移り変わるときには同様の画像の切り替えが行われる。
【0035】
次に、第3の工程を説明する。撮影器17により操作ユニット3上の吸着式部品供給マニピュレータ301と組立ユニット5上の組立治具501とが撮影されるように、操作ユニット3と組立ユニット5とを移動させる。吸着式部品供給マニピュレータ301の移載ツール3011(図3)に吸着させた第2の微小部品が組立治具501の案内溝5015(図5)の上に位置されるように、操作ユニット3と組立ユニット5とを移動させる。このとき、第2の微小部品の特定の部分(当接部分)は位置決めマニピュレータ503に面している。吸着式部品供給マニピュレータ301の吸引器による吸引を止める。このとき、移載ツール3011から第2の微小部品が離れる。この結果、第2の微小部品が案内溝5015に裁置される。
【0036】
次に、第3の工程を説明する。位置決めマニピュレータ503の位置決めツール5031の切り欠き5039(図6)を第1の微小部品の当接部分に押し当てる。切り欠き5039は第1の微小部品の当接部分に嵌合するような形状を有している。切り欠き5039をこの当接部分に押しつけると、切り欠き5039が第1の微小部品の当接部分に嵌合するとともに、第1の微小部品において当接部分とは反対側の部分が案内溝5015の内面に当接する。この結果、案内溝5015(図5)における第1の微小部品の位置及び姿勢が決められる。
【0037】
次に、第4の工程を説明する。操作ユニット3を移動させることにより、組立マニピュレータ303の組立ツール3031(図4)を第2の微小部品に当接させながら、第2の微小部品の姿勢を維持しつつ案内溝5015に沿って第2の微小部品を移動させる。第2の微小部品は第1の微小部品に当接する。第1の微小部品が第2の微小部品に当接する部分(第1部分)と第2の微小部品が第1の微小部品に当接する部分(第2部分)の夫々の形状は、第1部分が第2部分に嵌合するような形状であっても良い。例えば第1部分は凸形状を有しており、第2部分はこの凸形状に適合する凹形状を有していても良い。第1の微小部品が第2の微小部品に当接したとき、操作ユニット3の移動を止める。
【0038】
次に、第5の工程を説明する。組立ユニット3を移動させることにより、組立マニピュレータ303の組立ツール3031(図4)を第2の微小部品から離す。この後、組立治具501の案内溝5015(図5)の上で互いに当接している第1の微小部品と第2の微小部品とが溶接ヘッド15(図10)により出射されるレーザ光の光軸上に位置するように、組立ユニット5を移動させる。次に、溶接ヘッド15からレーザ光を第1の微小部品が第2の微小部品に当接している部分に照射する。これにより、第1の微小部品が第2の微小部品に溶接され、互いに締結される。本工程が進行する間、撮影光学系1505により撮影された画像がパーソナルコンピュータ1915のディスプレイに表示される。
【0039】
次に、第6の工程を説明する。組立ユニット3を移動させることにより、組立治具501を把持式マニピュレータ11に近接させる。この後、第1の微小部品に嵌合している位置決めツール5031の切り欠き5039(図6)を第1の微小部品から離す。次に、把持式マニピュレータ11を用いて、組立治具501の案内溝5015(図5)から締結された第1の微小部品と第2の微小部品とを把持して取り出す。そして取り出された第1の微小部品と第2の微小部品とを第1部品供給ユニット9のパレット903(図7)に裁置する。
【0040】
以上詳述した如く構成されている微小構造体組立装置の実施の形態においては、サーフェイスリニアモータ7を用いることにより、移動ユニットを極めて自在に移動させることができるので、移動ユニットが移動できる範囲、即ちテーブルにおいて移動領域として活用できる範囲は大きくなる。従って、微小構造体組立装置において移動領域が占める割合を大きくすることができる。
【0041】
また、組立ユニット3と操作ユニット5とがテーブル1の上面101で自在に移動することを利用して2つの微小部品からなる微小構造体を組み立てるので、テーブル1から延びる複数の多関節のマニピュレータを用いて微小構造体を組み立てるときに起こり得るマニピュレータの干渉を防止することができる。
【0042】
また、把持式マニピュレータ11により第1の微小部品を第1部品供給ユニット9から組立治具501に移裁する第1の工程の間、オペレータ1911は、CCDカメラ905,1107により撮影された第1の微小部品の側方からの画像と、撮影器17により撮影された第1の微小部品の上方からの画像とを同時に観察しながら行うことができる。CCDカメラ905,1107は第1の微小部品を異なる2つの方向から撮影することができ、これらの画像をパーソナルコンピュータ1915のディスプレイに同時に表示することができる。従って、把持式マニピュレータ11と第1の微小部品との3次元空間での相対位置を容易に把握できるので、微小部品からなる微小構造体を容易に組み立てることができる。また、パーソナルコンピュータ1915のディスプレイには、撮影器17により撮影された画像及びCCDカメラ905,1107,1311、撮影光学系1505により夫々撮影された画像を表示することができる。即ち、このディスプレイには把持式マニピュレータ11のような作業ユニットを夫々表示することができる。従って、連続的に工程を進行させる(第1の工程が終了したらすぐ第2の工程を始める)場合、現在行われている工程が終了する前に次に行う工程で使用する作業ユニットの状態を確認することができるので、工程のスケジュールを管理するのに便利である。
【0043】
また、頭部装着型表示器1913は撮影器17により撮影される対象物を立体的に表示することができるので、オペレータ1911はマニピュレータ301,303,11,503と微小部品との3次元空間での相対位置を容易に把握できる。また、頭部装着型表示器1913により表示される3次元画像は、特開2000−52289号公報において説明されている装置で表示されるような仮想の3次元モデルではなく、3次元の実像であるため、オペレータ1911は細部まで実際の微小部品と差のない画像を観察しながらマニピュレータ301,303,11,503を操作することができる。従って、微小部品からなる微小構造体を容易に組み立てることができる。
【0044】
また、微小構造体組立装置を小型にできるため、微小部品を組み立てるために不可欠な、温湿度やクリーン度などの環境調整された空間を必要最小限にすることができる。
【0045】
また、テーブル1の側面に作業ユニットととして用いられている第1部品供給ユニット9、把持式マニピュレータ11、第2部品供給ユニット13及び溶接ヘッド15が設置されているため、これらの作業ユニットがテーブル1の外側に大きく突出ことがなく、装置をより小型にできる。テーブル1の側面を利用すれば、各作業ユニットの配置も自由となり、組み立てるための工程の増減や対象部品の変更などにも容易に対応できる。
【0046】
また、移動領域として用いられているテーブル1の上面101には全く障害物がなくなるため、移動ユニットとして用いられている組立ユニット3と操作ユニット5との移動順等も自由に設定することができる。
【0047】
また、全ての作業ユニットはCCDカメラを夫々備えているため、これらの作業ユニットに係わる全ての組み立てるための工程を拡大観察下で行うことができる。従って、各作業ユニットの位置調整等が容易である。
【0048】
また、パーソナルコンピュータ1915のディスプレイに表示される画像及び情報を利用して、作業ユニットの位置補正等を自動で行うことも可能となり、微小構造体の複雑な組立作業を確実に行うことができる。
【0049】
なお、この発明の実施の形態の各構成は、当然、各種の変形、変更が可能である。本発明の実施の形態では、第1の微小部品を組立治具501に裁置するために、第1の工程に従って第1部品供給ユニット9のパレット903と把持式マニピュレータ11とが操作される。また、第2の微小部品を組立治具501に裁置するために、第2の工程に従って第2部品供給ユニット13のパーツフィーダ1305と吸着式部品供給マニピュレータ301とが操作される。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。微小部品を組立治具501に裁置するための作業ユニットの構成、配置及び位置の組み合わせはこれに限るものではない。
【0050】
また、移動ユニットに設けられている組立手段の構成や配置は本実施の形態の組合せに限るものではない。
【0051】
また、微小構造体組立装置は、オペレータ1911が表示器1913とパーソナルコンピュータ1915とに表示される画像を観察しつつ、ジョイスティック1930とトラックボール1905とを操作することにより運転される。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、撮影器17、CCDカメラ905,1107,1311、撮影光学系1505により撮影された画像に基づいて組立ユニット3、操作ユニット5の位置並びにマニピュレータ301,303,503,11により動かされるもの(例えばチャックユニット1101)の位置及び向きを特定し、この特定された位置に基づいて組立ユニット3、操作ユニット5、マニピュレータ301,303,503,11、パーツフィーダ1305、溶接ヘッド15を夫々操作する制御部を設けて、オペレータ1911なしにこの制御部を利用して微小構造体組立装置を自動的に運転しても良い。
【0052】
また、マニピュレータ301,303,503,11を操作するためにジョイスティック1903とトラックボール1905とを用いているけれども、本発明はこれに限定されるものではない。例えばセンサ式グローブ等を用いても良い。
【0053】
また、本発明の実施の形態では、2つの微小部品からなる微小構造体を組み立てるが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば3つ以上の微小部品からなる微小構造体を組み立てても良い。
【0054】
また、組立ユニット3及び操作ユニット5をテーブル1の上面101で移動させるためにサーフェイスリニアモータ7を使用しているけれども、本発明はこれに限定されるものではない。例えば超音波モータ等を使用しても良い。
【0055】
また、本発明の実施の形態では、2つの移動ユニット、組立ユニット3及び操作ユニット5を用いて、4つの組立手段吸着式部品供給マニピュレータ301、組立マニピュレータ303、組立治具501及び位置決めマニピュレータ503を移動させているけれども、本発明はこれに限定されるものではない。移動ユニットの数並びに夫々の移動ユニットに取り付けられる組立手段の数及び種類は本発明の実施の形態に限定されない。また、組立ユニット3及び操作ユニット5に第1部品供給ユニット9、把持式マニピュレータ11、第2部品供給ユニット13及び溶接ヘッド15を取り付けても良い。
【0056】
また、本発明の実施の形態では、作業ユニットとして第1部品供給ユニット9、把持式マニピュレータ11、第2部品供給ユニット13及び溶接ヘッド15を用いているけれども、本発明はこれに限定されるものではない。微小構造体の構造や微小部品の形状によって最適な作業ユニットを選択して設置して構わない。例えば、本実施の形態では部品の締結手段として溶接ヘッドを使用したが、締結手段が接着の場合は接着剤塗布装置や接着剤の硬化装置を搭載することができる。また、作業ユニットの配置や数も、組立作業の内容によって自在に選択して構わない。
【0057】
また、本発明の実施の形態では、ペン型のCCDカメラを使用した場合について説明したが、カメラの種類や設置位置、観察方向などは、観察する作業によって自在に変更が可能である。
【0058】
また、撮影器17のみが、電動ズーム機能を備え、3D映像の観察が可能となっているが、必要であればCCDカメラ905,1107,1311、撮影光学系1505を電動ズーム機能を備え、3D映像の観察が可能としても良い。
【0059】
また、CCDカメラ905,1107の組み合わせのみが、同一箇所を異なる方向から撮影しているが、これに限るものではない。
【0060】
また、CCDカメラ1107の撮影方向のみが、電動で変更可能となっているが、これに限るものではない。
【0061】
また、マニピュレータ301,303,503,11は、超音波リニアモータを直交3軸に組み合わせた駆動部で駆動されるが、電磁モータを用いた駆動部で駆動されても良い。また、マニピュレータ301,303,503,11は、多関節マニピュレータ等の直交座標系以外で駆動するマニピュレータでも構わない。
【0062】
尚、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変形や応用が可能であることは勿論である。
【0063】
【発明の効果】
以上詳述したことから明らかなように、本発明に従った微小構造体組立装置においては、複数の微小部品からなる微小構造体を確実かつ容易に組み立てる小型の微小構造体組立装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における微小構造体組立装置の平面図である。
【図2】(A)は図1の微小構造体組立装置の斜視図、(B)はこの微小構造体組立装置のテーブルの側面から引き出しが引き出された状態を示す図である。
【図3】本発明の実施の形態における吸着式部品供給マニピュレータの斜視図である。
【図4】本発明の実施の形態における組立マニピュレータの斜視図である。
【図5】本発明の実施の形態における組立治具の斜視図である。
【図6】本発明の実施の形態における位置決めマニピュレータの斜視図である。
【図7】本発明の実施の形態における第1部品供給ユニットの斜視図である。
【図8】本発明の実施の形態における把持式マニピュレータの斜視図である。
【図9】本発明の実施の形態における第2部品供給ユニットの斜視図である。
【図10】本発明の実施の形態における溶接ヘッドの斜視図である。
【図11】微小部品からなる微小構造体を組み立てるための従来の装置を示す図である。
【符号の説明】
1 テーブル
101 上面(移動領域)
3 組立ユニット(移動ユニット)
301 吸着式部品供給マニピュレータ(組立手段)
303 組立マニピュレータ(組立手段)
5 操作ユニット(移動ユニット)
501 組立治具(組立手段)
503 位置決めマニピュレータ(組立手段)
7 サーフェイスリニアモータ(駆動手段)
9 第1部品供給ユニット(作業ユニット)
902 第1の微小部品
905 CCDカメラ(撮影ユニット)
11 把持式マニピュレータ(作業ユニット)
1107 CCDカメラ(撮影ユニット)
13 第2部品供給ユニット(作業ユニット)
1311 CCDカメラ(撮影ユニット)
3031 組立ツール(組立部材)
15 溶接ヘッド(作業ユニット)
1505 撮影光学系(撮影ユニット)
Claims (4)
- 複数の微小部品からなる微小構造体を組み立てる微小構造体組立装置であって、
側面と、移動領域として使用される上面と、を有するテーブルと、
前記テーブルの前記上面の前記移動領域に移動可能に載置された複数の移動ユニットと、
前記テーブルの前記上面の前記移動領域で前記複数の移動ユニットの夫々の移動と位置決めとを行う駆動手段と、
前記複数の移動ユニットに設けられており、前記微小部品を支持する組立手段と、
前記テーブルの前記側面に配置されており、近接した前記移動ユニットの前記組立手段に複数の前記微小部品を供給する複数の部品供給ユニットを含む複数の作業ユニットと、
を具備しており、
前記組立手段は、前記複数の作業ユニットの前記複数の部品供給ユニットから供給され支持している複数の前記微小部品の位置及び姿勢を決め移動させ相互に当接させる位置決めツール,組立治具,そして組立ツールを有しており、
前記作業ユニットはさらに、近接した前記移動ユニットの前記組立手段の前記位置決めツール,前記組立治具,そして組立ツールにより位置及び姿勢が決められ移動され相互に当接されている複数の前記微小部品を、締結させる締結手段を含んでいる、
ことを特徴とする微小構造体組立装置。 - 前記駆動手段はサーフェイスリニアモータを有している、ことを特徴とする請求項1に記載の微小構造体組立装置。
- 複数の前記作業ユニットの各々は、各々における前記微小部品を撮影するための撮影ユニットを備えている、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の微小構造体組立装置。 - 前記テーブルの前記上面の上方に配置され前記上面に向いている撮影器を更に備えているとともに、
前記撮影器により撮影された画像及び複数の前記作業ユニットの前記撮影ユニットにより撮影された画像を表示させるディスプレイを更に備えている、
ことを特徴とする請求項3に記載の微小構造体組立装置。
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