JP4630962B2 - Tilt stage and processing device - Google Patents

Description

【０００１】
本発明は、被加工物に任意の傾斜角度をつけて被加工物を固定する傾斜ステージを備える加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被加工物に傾斜をつけて研削・切削等の加工を施す際に、多次元バイス（万力）等により、被加工物を任意の傾斜角度に挟持・固定して、被加工物の傾斜角度の調整が行われる。ここで、被加工物を支持するとともに被加工物の傾斜角度を調整するために、所望の高さを有する精密な板材を必要とし、この精密な板材を多数組み合わせて傾斜角度の調整を行わなければならない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した精密な板材は非常に高価であり、また、剛性を確保するために板材本体の大きさも非常に大きく使用できる加工装置が限定される。加えて、被加工物の傾斜角度を変更する際に、角度調整用の板材の変更・交換を行わなければならず、様々な傾斜角度で被加工物を加工するのは煩雑な作業を伴う。
【０００４】
また、上記した多次元バイスのような傾斜治具を用いずに、光学用ゴニオメータを用いて被加工物に傾斜をつけて研削・切削等の加工を行うことも可能であるが、光学用ゴニオメータは剛性に乏しく加工用の傾斜治具としては不適である。さらに加工用ゴニオメータを用いることも可能であるが、加工用ゴニオメータ自体がサイズ面のみならず重量面においても非常に大きく、被加工物の特殊な加工に用いられている。これらのことより、被加工物の傾斜角度の調整を容易に行うことができ、さらに被加工物の取付治具をかねた傾斜治具として様々な加工装置に適用できる汎用性に優れた傾斜治具（傾斜ステージ）が求められている。
【０００５】
そこで本発明は、被加工物の傾斜角度を容易に調整することのできる汎用性に優れた傾斜ステージを備える加工装置を提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
例えば図１、２及び図４〜８に示すように、請求項１記載の発明の傾斜ステージ（Ａ）は、基台となる第１板体（固定板１）と、前記第1板体に対して対向配置される第２板体（傾斜板２）と、少なくとも円柱の側周面の一部又は少なくとも球面の一部を有するように形成され、前記第１板体に対して前記第２板体を傾斜可能に支持する支持体（球体３，半球体３０，円柱３１，半円柱３２）と、前記第２板体を前記第１板体に対して所望の傾斜状態に調整可能かつ前記傾斜状態を保持可能に、前記第１板体と前記第２板体とを互いに連結する保持部材（ボルト４）と、を備える。
【０００７】
ここで、「少なくとも円柱の側周面の一部」とは、円柱の側周面と、側周面のうち円弧を形成する一部分との両方を含むものである。また、「少なくとも球面の一部」とは、球体全体と、半球面のような球面の一部との両方を含むものである。円柱の側周面又は球面の一部が第１板体又は第2板体のいずれかに一体に形成されていてもよい。
【０００８】
請求項１記載の発明によれば、支持体の円柱の側周面の一部又は球面の一部によって第２板体が支持される場合、支持体が支点となって、第２板体は第１板体に対して揺動自在とされることになる。そして、保持部材を用いてこれら二枚の板体を連結することにより、第２板体の第１板体に対する傾斜角度を所望通りに容易に調整することができる。従って、この第２板体に被加工物を固定した際に、第２板体に一体となって固定された被加工物の加工面の傾斜角度の調整も容易に行うことができる。
【０００９】
また、第２板体は支持体に支持されるとともに保持部材により第１板体に連結されるので、第２板体の傾斜状態は確実に保持され、剛性を有する傾斜ステージとすることができる。
【００１０】
さらに、本発明の傾斜ステージは、板体の面積と二枚の板体の厚みと板体同士の間隔とからその占有されるスペースがほぼ決まることになり、容易に小型化可能である。従って、この傾斜ステージを各種加工装置等に容易に組み込んで使用することができる。
【００１１】
なお、傾斜ステージを加工装置に組み込む場合に、被加工物の載置・固定される第２板体のステージ面には、被加工物を固定する固定装置が設けられているものとしても良いし、ステージ面にワックス等の接着及び剥離が可能な材料で被加工物をステージ面に取り付けるものとしても良いし、ステージ面上に締結、クランプ等により板材を固定し、該板材に部材をワックス等により固定するものとしても良い。また、基台となる第１板体に加工装置への固定機構を設けても良い。
【００１２】
請求項２記載の発明は、例えば図２，３に示すように、請求項１記載の傾斜ステージにおいて、前記支持体は、前記少なくとも球面の一部を有するように形成されており、少なくとも前記第1板体又は前記第2板体のいずれか一方に前記球面を受ける球受部（１ａ，２ａ）が形成されており、前記保持部材は、前記第１板体に平行な同一平面内で直交する２軸（Ｘ軸，Ｙ軸）上の少なくとも３点に均等に配置されているものである。
【００１３】
ここで、「保持部材」は２軸上の少なくとも３点に配置されていれば、第２板体を所望の傾斜状態に調整可能であるが、２軸上の４点に均等に配置される場合のほうが、より簡単に傾斜状態を保持できるので好ましい。
【００１４】
保持部材をＸ軸，Ｙ軸の２軸上の４点に均等に配置した場合には、Ｘ軸上の二つの保持部材により、Ｙ軸を回転軸とするステージ面の傾斜角を決め、かつ、Ｙ軸上の二つの保持部材によりＸ軸を回転軸とする第２板体の傾斜角を決めることができる。すなわち、Ｘ軸及びＹ軸のうちの一方の軸を回転中心とする第２板体の角度を決めた後に、他方の軸を回転中心とする第２板体の角度を決めることで、第２板体において被加工物の載置・固定されるステージ面の傾斜方向と傾斜角度を容易に決めることができる。
【００１５】
また、請求項３記載の発明は、例えば図２に示すように、請求項２記載の傾斜ステージにおいて、前記支持体は、前記第２板体の中心を支持するように配設されているものである。
【００１６】
請求項３記載の発明によれば、支持体が第２板体の中心を支持するので、第２板体の傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）の調整を容易に行うことができる。
【００１７】
また、請求項４記載の発明は、例えば図２に示すように、請求項２又は３記載の傾斜ステージにおいて、前記支持体は、球体（３）に形成されているものである。
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、支持体を球体に形成するので、傾斜ステージの構造がより簡単になり、傾斜ステージを容易に製造することができる。すなわち、請求項１乃至３の傾斜ステージの構成も考慮すると、傾斜ステージは、二枚の板体と、球体と、ボルト等の保持部材により製造できるので、既製の部材を利用して極めて容易かつ安価に製造することができる。従って、この傾斜ステージを加工装置に組み込むものとしても、加工装置のコストアップを最小限のものとすることができ、各種加工装置に角度調整が可能な機構を安価に付加することができる。そして、これらのことより、本発明の傾斜ステージを汎用性に優れたものとすることができる。
【００１９】
請求項１乃至４記載の発明は、例えば図９に示すように、一方端に研削砥石（砥石５ａ）が固定された第１回転軸（砥石軸５ｂ）と、一方端に前記研削砥石と対向するように被加工物（Ｗ）を配置可能かつ前記第１回転軸と軸方向が平行になるように配設された第２回転軸（ステージ軸６）とを備えた加工装置（Ｂ）において、前記第２回転軸の前記一方端に、傾斜ステージ（Ａ）が基台となる第１板体と、前記第1板体に対して対向配置される第２板体と、少なくとも円柱の側周面の一部又は少なくとも球面の一部を有するように形成され、前記第１板体に対して前記第２板体を傾斜可能に支持する支持体と、前記第２板体を前記第１板体に対して所望の傾斜状態に調整可能かつ前記傾斜状態を保持可能に、前記第１板体と前記第２板体とを互いに連結する保持部材と、を備えた傾斜ステージが着脱自在に固定されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項１乃至４記載の発明によれば、第２回転軸の一方端に傾斜ステージが着脱自在に固定されるので、傾斜ステージの取り付け、取り外しを容易に行うことができる。また、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の傾斜ステージは固定されているので、被加工物に所望の傾斜状態を与えて簡単に加工することができる。
【００２１】
なお、傾斜ステージを加工装置に固定する際には、直接、被加工物を固定することに限られるものではなく、被加工物を掴んだり挟持したりして被加工物を固定する装置を加工装置に固定する装置、すなわち、間接的に被加工物を加工装置に固定する装置を備えて傾斜ステージを加工装置に固定するようにしてもよい。また、傾斜ステージ全体が載置された状態で、傾斜ステージ全体の自重と、傾斜ステージの載置された加工装置の載置面の摩擦力とにより傾斜ステージが加工装置に固定されるものとしてもよいし、被加工物の搭載された傾斜テーブルを磁力により加工装置に固定するようにしてもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の傾斜ステージ及び加工装置に係る実施の形態について図面を参照して説明する。なお、本実施の形態において、「加工装置」は被加工物固定用ステージに被加工物を固定し、回転させた研削砥石を用いて被加工物表面の研削を行う装置であり、「傾斜ステージ」は固定された被加工物に所定の傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）を与えるステージである。
【００２３】
図１〜３に示すように、傾斜ステージＡは、二枚の板体１，２と、球体３（支持体）と、二枚の板体１，２を連結する四本のボルト４（保持部材）とから主要部が構成されている。
【００２４】
二枚の板体１，２は、傾斜ステージＡを備える加工装置（後述）側に固定される固定板（第１板体）１と、固定板１に対する傾斜状態が調整される傾斜板２（第２板体）とから構成されている。
【００２５】
固定板１は、図２に示すように、所定の厚みを有する円盤状の部材であって、焼きいれ鋼で形成されている。また、固定板１には、球体３と接する側面の略中央に略円錐凹状に形成された球受部１ａが設けられている。この球受部１ａは、球体３が全方向に回転自在となるように球体３を受けている。球受部１ａから放射状に延在する固定板１の四方向の端部には、四本のボルト４が螺合・締結されるための締結孔１ｂが形成されている。詳しくは、締結孔１ｂは、球受部１ａ（または嵌合された状態の球体３）の中心を通るＸ軸上で、かつ、球受部１ａを中央に挟む二つの位置と、Ｘ軸に直交するＹ軸上で、かつ、球受部１ａを中央に挟む二つの位置との計四つの位置に形成されている。
【００２６】
傾斜板２は、前記した固定板１と略同様の構成とされており、固定板１に対して対向する位置に配置されている。そして、球体３と接する側面に球受部２ａが形成されるとともに、四本のボルト４が挿通されるための挿通孔２ｂが形成されている。なお、球受部２ａは略円錐凹状に形成されており、球体３が全方向に回転自在となるように球体３を受けている。そして、これら固定板１及び傾斜板２それぞれの球体３と接する側面同士を重ねた状態においては、球受部１ａ，２ａ及び締結孔１ｂ，挿通孔２ｂとが一致するようになっている。
【００２７】
また、傾斜板２の球体３と接する側面の反対側面にベースＢを介して被加工物Ｗが固定されるようになっている。詳しくは、ベースＢは略正方形に形成された所定の厚みを有する板状部材であって、四つの角部がボルトＢ１により傾斜板２に固定されている。そして、傾斜板２に固定されたベースＢの表面に被加工物Ｗが固定されるようになっている。従って、傾斜板２のベースＢの固定された側面が、被加工物Ｗに所定の傾斜角度及び傾斜方向を与えるステージ面２ｃとされる。なお、傾斜板２のステージ面２ｃにベースＢを介して被加工物Ｗを固定するようにしているが、被加工物Ｗをステージ面２ｃに直接固定するようにしてもよい。
【００２８】
球体３は、焼きいれ鋼球で形成されており、前述した固定板１及び傾斜板２により挟みこまれている。即ち、球体３は、球受部１ａ，２ａそれぞれに嵌合され、傾斜板２の中心を支持するように配設されている。この場合、二枚の板体１，２間で球体３は回転自在に保持されるが、嵌合された位置からの水平方向及び垂直方向への移動は規制された状態となる。
【００２９】
なお、球体３が二枚の板体１，２の球受部１ａ，２ａそれぞれに嵌合された際には、球体３全体が嵌合されるのではなく、球体３の端部同士（すなわち球体３の一部同士）が嵌合されるので、二枚の板体１，２は互いに間隔をあけて配置されることになる。従って、球体３が二枚の板体１，２間に保持された状態にあっては、これら二枚の板体１，２は球体３を介して互いに揺動自在に配置された状態となる。また、この状態を保持しつつ固定板１を水平面状に固定した際には、傾斜板２は回転自在な球体３が支点となって、固定板１に対して傾斜板２を傾斜可能に支持する。すなわち、球体３が傾斜板２の中心を支点として傾斜板２を支持するため、固定板１に対する傾斜板２のステージ面２ｃの傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）を自在なものとすることができるとともに、傾斜状態の調整が容易に行えるようになっている。
【００３０】
ボルト４は、前述したような球体３を介して二枚の板体１，２を配置した際に、傾斜板２の挿通孔２ｂに挿通し、さらに固定板１の締結孔１ｂに螺合・締結することにより、これら二枚の板体１，２間同士を互いに連結するものである。また、ボルト４は、その締め具合を操作することにより、傾斜板２を固定板１に対して所望の傾斜状態に調整可能かつ前記傾斜状態を保持可能にするものである。
【００３１】
ここで、図３に示すように、ボルト４は球体の中心を通るＸ，Ｙ軸のそれぞれの軸上を通り、かつ、球体３を中心に配置するように４箇所に配置されて二枚の板体１、２を締結する。従って、Ｘ軸上の二本のボルト４（以下、Ｘボルト４と称する）を固定・保持した状態で、Ｙ軸上の二本のボルト４（以下、Ｙボルト４と称する）の締め具合を操作することにより、Ｘボルト４及び球体３を支点とした（Ｘ軸を回転中心とした）Ｙ軸方向の傾斜角度（すなわち傾斜板２のステージ面２ｃのＹ軸方向の傾斜角度）を任意に決めることができる。また、同様にＹボルト４を固定・保持した状態で、Ｘボルト４の締め具合を操作することにより、Ｙボルト４及び球体３を支点とした（Ｙ軸を回転中心とした）Ｘ軸方向の傾斜角度を決めることができる。そして、これらＸ，Ｙボルト４の締め具合をそれぞれ組み合わせて操作することにより、傾斜板２のステージ面２ｃの固定板１に対する傾斜角度及び傾斜方向を所望通りに設定することができる。すなわち、これらの構成を備えた傾斜ステージＡはＸ，Ｙ軸それぞれに対応して傾斜する、いわゆる二軸式の傾斜ステージとすることができる。
【００３２】
前記した傾斜ステージＡにおいては、傾斜板２を傾斜可能に支持する支持体が球体（球体３）に形成されている例を示したが、他の変形例としては以下のようなものも考えられる。なお、以下に示す変形例は、前記した傾斜ステージＡの支持体（球体３）と二枚の板体１，２の支持体と関わり合う部分を除く構成が略同様であるので、上記例と同様の構成要素には同一の符号を付して説明は省略する。
【００３３】
図４に示すように、第一の変形例においては、支持体は半球体３０に形成されている。半球体３０は、底部が平坦に形成された基端部３０ａと、頂部が少なくとも球面の一部を有する半球部３０ｂとを備えている。基端部３０ａは固定板１の中央に形成されている凹部１ｃに嵌合・固定されている。一方、半球部３０ｂは傾斜板２の上記例と同様の球受部２ａに回転自在に受けられている。そして、ボルト４の締め具合を操作することにより、傾斜板２のステージ面２ｃは、Ｘ及びＹ軸の二軸が回転中心となって所望の傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）が可能となる。
【００３４】
また、図５及び６に示すように、第二の変形例においては、支持体は円柱３１に形成されている。円柱３１は、その側周面の一部が固定板１及び傾斜板２の受部１ｄ，２ｄそれぞれに回転自在に受けられている。なお、この場合、受部１ｄ，２ｄは円柱３１の延在する方向に断面三角形状の溝となって形成され、この溝内で円柱３１が周方向に回転自在となっている。そして、ボルト４の締め具合を操作することにより、傾斜板２のステージ面２ｃはＸ又はＹ軸の一軸が回転中心となって傾斜可能となる。
【００３５】
さらに、図７及び８に示すように、第三の変形例においては、支持体は半円柱３２に形成されている。半円柱３２は底部が平坦に形成された基端部３２ａを有し、略長方形状に形成された固定板１の凹部１ｅに嵌合・固定されている。また、半円柱３２の側周面の一部が傾斜板２の受部２ｅに回転自在に受けられている。なお、この場合、受部２ｅは半円柱３２の延在する方向に断面三角形状の溝となって形成されている。そして、この場合においても、図５及び６に示した傾斜ステージＡと同様に、ボルト４の締め具合を操作することにより、傾斜板２のステージ面２ｃはＸ又はＹ軸の一軸が回転中心となって傾斜可能となる。
【００３６】
次に、前述した傾斜ステージを備えた加工装置において、加工装置の概略構成を説明するとともに被加工物の研削方法を図面を参照して説明する。図９に示すように、加工装置Ｍは、被加工物Ｗを研削する砥石車５と、前述した傾斜ステージＡとを備え、砥石車５と傾斜ステージＡに固定される被加工物Ｗとが互いに対向する位置に配置されている。
【００３７】
砥石車５は、被加工物Ｗに向かう表面側に砥石５ａを備え、この砥石５ａにより被加工物Ｗの研削を行う。また、砥石車５は砥石軸（第１回転軸）５ｂの先端に装着されており、砥石軸５ｂの基端に備えられた駆動手段（図示しない）を作動させることにより、その駆動力に連動して砥石軸５ｂが軸心となって砥石車５が回転可能になるとともに、砥石車５を略垂直に保持した状態で紙面の左右方向に沿って砥石車５を移動可能とすることができるようになっている。
【００３８】
傾斜ステージＡは、上記した砥石車５の対向する位置に配置されるとともに、加工装置Ｍに備えられたステージ軸（第２回転軸）６の先端に略垂直に立設された状態で着脱自在に固定されている。詳しくは、図３に示すように、固定板１底部の中心には軸受１ｆが形成されており、ステージ軸６の先端をこの軸受１ｆに装着することにより、傾斜ステージＡがステージ軸６に着脱自在に固定されるようになっている。従って、傾斜ステージＡの加工装置Ｂに対する取り付け・外しを容易に行うことができる。
【００３９】
また、ステージ軸６の基端には駆動手段（図示しない）が備えられ、駆動手段を作動させることにより、その駆動力に連動してステージ軸６が軸心となって傾斜ステージＡが回転可能となっている。なお、ステージ軸６は前記した砥石車５の砥石軸５ｂと軸方向が平行になるように配設されている。
【００４０】
そして、実際に、被加工物Ｗを研削する際には、図２に示すように、球体３を二枚の板体１，２間に介した状態でボルト４を締結し、二枚の板体１，２同士を連結する。そして、傾斜板２のステージ面２ｃにベースＢをボルトＢ１により固定し、さらに、ベースＢの表面に被加工物Ｗを研削面が表面側に配置するようにワックス等の材料で取り付ける。次に、四本のボルト４の締め具合を操作するとともにマイクロメータ等の機器を用いて、傾斜板２のステージ面２ｃが所望の傾斜角度及び傾斜方向になるように調整する。
【００４１】
なお、マイクロメータは一般に測定用として利用されている周知なもので、先端に設けられたヘッドが微小間隔で移動可能であり、傾斜板２のステージ面２ｃの各点と前記ヘッドとの距離を測定することでステージ面２ｃの傾斜角度及び傾斜方向を容易に測定することができる。
【００４２】
その後、図９に示すように、被加工物Ｗが固定された傾斜ステージＡを垂直に立てた状態でステージ軸６の先端に固定する。最後に、前述した二つの駆動手段を作動させることで、砥石軸５ｂ及びステージ軸６を回転させるとともに、砥石車５を被加工物Ｗ側に移動させて、砥石５ａにより被加工物Ｗの研削面を研削する。
【００４３】
なお、二枚の板体１，２及び支持体としての球体３（半球体３０，円柱３１，半円柱３２）は鋼製材料から形成されており、被加工物Ｗを研削する際に、被加工物Ｗが傾斜ステージＡに適するサイズであれば、被加工物Ｗに対して砥石車５からの圧力が加わったとしても、該圧力に抗する剛性力を充分に有しているものである。また、仮に、前記圧力により傾斜ステージＡが弾性変形したとしても、傾斜板２自体の復元力により、被加工物Ｗは所望の傾斜角度及び傾斜方向の状態に戻され、被加工物Ｗの研削面への研削精度は充分に確保される。
【００４４】
以上、本実施の形態に係る傾斜ステージＡ及び加工装置Ｍによれば、ボルト４の締め具合により、傾斜板２のステージ面２ｃの固定板１に対する傾斜角度及び傾斜方向を容易に調整することができる。従って、ステージ面２ｃに固定された被加工物Ｗの研削面の傾斜角度及び傾斜方向の調整も容易に行うことができる。
【００４５】
また、傾斜ステージＡは、板体１，２の面積と二枚の板体１，２の厚みと板体１，２同士の間隔とからその占有されるスペースがほぼ決まることになり、容易に小型化可能であり、各種加工装置等に容易に組み込んで使用することができる。さらに、傾斜ステージＡは二枚の板体１，２と、球体３と、ボルト４により製造できるので、既製の部材を利用して極めて容易かつ安価に製造することができる。そして、この傾斜ステージＡを加工装置Ｍに組み込むものとしても、加工装置Ｍのコストアップを最小限のものとすることができ、加工装置Ｍに角度調整が可能な機構を安価に付加することができる。これらのことから、傾斜ステージＡを汎用性に優れたものとすることができる。
【００４６】
なお、本実施形態に係る傾斜ステージでは、ボルトで保持部材を構成するとして説明したが、ボルトに限られず、クランプやネジで構成してもよい。また、支持体として、固定板1、傾斜板２と別体に形成されたものを説明したが、これに限定されず、固定板１又は傾斜板２と一体的に形成されていてもよい。
【００４７】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、簡単な構成で被加工物の加工面の傾斜角度の調整を容易に行うことができる。また、支持体が少なくとも円柱の側周面の一部又は少なくとも球面の一部を有するように形成されているため、剛性があるという効果を奏する。さらに、本発明に係る傾斜ステージを平面研削盤や回転研削盤に取りつけてサファイアの面調整加工を行なうと、0.02度以下の精度で面の調整を行なうことができる。
【００４８】
請求項２記載の発明によれば、同一平面内で直交する二軸（Ｘ，Ｙ軸）を回転中心として容易に傾斜ステージのステージ面の傾斜方向と傾斜角度を決めることができる。
【００４９】
請求項３記載の発明によれば、第２板体の中心を支点とするため、第２板体の傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）の調整を容易に行うことができる。
【００５０】
請求項４記載の発明によれば、既製の部材を利用して極めて容易かつ安価に製造することができる。また、本発明の傾斜ステージを汎用性に優れたものとすることができる。
【００５１】
請求項５記載の発明によれば、加工装置に対する傾斜ステージの取り付けや取り外しを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係る傾斜ステージを示す斜視図である。
【図２】前記傾斜ステージを示す断面図である。
【図３】前記傾斜ステージを示す平面図である。
【図４】本実施の形態に係る支持体として半球体を用いた場合の傾斜ステージを示す断面図である。
【図５】本実施の形態に係る支持体として円柱を用いた場合の傾斜ステージを示す断面図である。
【図６】図５に示す傾斜ステージを水平方向に９０度回転させた場合の断面図である。
【図７】本実施の形態に係る支持体として半円柱を用いた場合の傾斜ステージを示す断面図である。
【図８】図７に示す傾斜ステージを水平方向に９０度回転させた場合の断面図である。
【図９】本実施の形態に係る加工装置を示す概略図である。
【符号の説明】
Ａ 傾斜ステージ
Ｍ 加工装置
Ｗ 被加工物
１ 板体，固定板（第１板体）
１ａ 球受部
２ 板体，傾斜板（第２板体）
２ａ 球受部
３ 球体（支持体）
４ ボルト（保持部材）
５ａ 砥石
５ｂ 砥石軸（第１回転軸）
６ ステージ軸（第２回転軸）
３０ 半球体（支持体の変形例）
３１ 円柱（支持体の変形例）
３２ 半円柱（支持体の変形例）[0001]
The present invention relates to a processing apparatus including an inclined stage that fixes an object with an arbitrary inclination angle.
[0002]
[Prior art]
When a workpiece is tilted and subjected to grinding, cutting, etc., the workpiece is clamped and fixed at an arbitrary tilt angle with a multidimensional vise (vise), etc. Adjustments are made. Here, in order to support the workpiece and adjust the inclination angle of the workpiece, a precise plate material having a desired height is required, and the inclination angle must be adjusted by combining a number of these precise plate materials. I must.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-described precision plate material is very expensive, and a processing apparatus that can use the size of the plate material main body very large in order to ensure rigidity is limited. In addition, when changing the tilt angle of the workpiece, it is necessary to change or replace the plate for adjusting the angle, and processing the workpiece with various tilt angles is complicated.
[0004]
In addition, it is possible to perform processing such as grinding / cutting by inclining the workpiece using an optical goniometer without using an inclination jig such as the multi-dimensional vise described above, but the optical goniometer Has poor rigidity and is not suitable as a tilting jig for machining. Further, a processing goniometer can be used, but the processing goniometer itself is very large not only in size but also in weight, and is used for special processing of a workpiece. As a result, the tilt angle of the workpiece can be easily adjusted, and the tilt jig has excellent versatility that can be applied to various processing devices as a tilt jig that also serves as a work fixture. A tool (tilted stage) is required.
[0005]
Therefore, the present invention provides a machining apparatus including a versatile tilt stage that can easily adjust the tilt angle of a workpiece.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
For example, as shown in FIGS. 1 and 2 and FIGS. 4 to 8, the tilt stage (A) according to the first aspect of the present invention includes a first plate body (fixed plate 1) serving as a base and the first plate body. The second plate body (inclined plate 2) disposed opposite to the first plate body is formed so as to have at least a part of the side circumferential surface of the cylinder or at least a part of the spherical surface. The support body (sphere 3, hemisphere 30, cylinder 31, semi-column 32) that supports the plate body to be tiltable, and the second plate body can be adjusted to a desired tilt state with respect to the first plate body, and A holding member (bolt 4) for connecting the first plate body and the second plate body to each other so as to hold the inclined state;
[0007]
Here, “at least a part of the side circumferential surface of the cylinder” includes both the side circumferential surface of the cylinder and a part of the side circumferential surface forming an arc. Further, “at least a part of a spherical surface” includes both the entire sphere and a part of a spherical surface such as a hemispherical surface. A side peripheral surface or a part of the spherical surface of the cylinder may be formed integrally with either the first plate body or the second plate body.
[0008]
According to the first aspect of the present invention, when the second plate body is supported by a part of the side circumferential surface of the column of the support body or a part of the spherical surface, the support body serves as a fulcrum, It will be swingable with respect to the first plate. And the inclination angle with respect to the 1st plate body of a 2nd plate body can be easily adjusted as desired by connecting these two plate bodies using a holding member. Therefore, when the workpiece is fixed to the second plate body, the inclination angle of the processing surface of the workpiece fixed integrally with the second plate body can be easily adjusted.
[0009]
In addition, since the second plate is supported by the support and is connected to the first plate by the holding member, the inclined state of the second plate can be reliably held and a tilting stage having rigidity can be obtained. .
[0010]
Furthermore, the inclined stage of the present invention can be easily downsized because the occupied space is almost determined from the area of the plate, the thickness of the two plates, and the distance between the plates. Therefore, the tilt stage can be easily incorporated and used in various processing apparatuses.
[0011]
When the tilt stage is incorporated in the processing apparatus, a fixing device for fixing the workpiece may be provided on the stage surface of the second plate on which the workpiece is placed and fixed. The workpiece may be attached to the stage surface with a material that can be bonded and peeled off such as wax on the stage surface, or the plate material is fixed on the stage surface by fastening, clamping, etc., and the member is waxed on the plate material. It is good also as what fixes by. Moreover, you may provide the fixing mechanism to a processing apparatus in the 1st board used as a base.
[0012]
The invention according to claim 2 is, for example, as shown in FIGS. 2 and 3, in the tilt stage according to claim 1, the support is formed to have at least a part of the spherical surface, and at least the first A ball receiving portion (1a, 2a) for receiving the spherical surface is formed on either one plate body or the second plate body, and the holding member is orthogonal within the same plane parallel to the first plate body. Are arranged evenly on at least three points on the two axes (X axis, Y axis).
[0013]
Here, if the “holding members” are arranged at at least three points on the two axes, the second plate body can be adjusted to a desired inclined state, but are equally arranged at four points on the two axes. The case is preferable because the inclined state can be more easily maintained.
[0014]
When the holding members are evenly arranged at four points on the two axes of the X axis and the Y axis, the inclination angle of the stage surface with the Y axis as the rotation axis is determined by the two holding members on the X axis, and The inclination angle of the second plate having the X axis as the rotation axis can be determined by the two holding members on the Y axis. That is, after determining the angle of the second plate having the other axis as the rotation center after determining the angle of the second plate having the rotation axis as one of the X axis and the Y axis, the second The inclination direction and the inclination angle of the stage surface on which the workpiece is placed and fixed on the plate body can be easily determined.
[0015]
According to a third aspect of the present invention, for example, as shown in FIG. 2, in the inclined stage according to the second aspect, the support is arranged so as to support the center of the second plate. It is.
[0016]
According to invention of Claim 3, since a support body supports the center of a 2nd board body, the adjustment of the inclination state (inclination angle and inclination direction) of a 2nd board body can be performed easily.
[0017]
According to a fourth aspect of the present invention, for example, as shown in FIG. 2, in the tilt stage according to the second or third aspect, the support is formed on a sphere (3).
[0018]
According to the fourth aspect of the present invention, since the support body is formed in a spherical body, the structure of the tilt stage becomes simpler and the tilt stage can be easily manufactured. That is, in consideration of the configuration of the tilting stage of claims 1 to 3, the tilting stage can be manufactured by two plate bodies, a sphere, and a holding member such as a bolt. It can be manufactured at low cost. Therefore, even if this tilt stage is incorporated in the processing apparatus, the cost of the processing apparatus can be minimized, and a mechanism capable of adjusting the angle can be added to various processing apparatuses at a low cost. And from these things, the inclination stage of this invention can be made excellent in versatility.
[0019]
The invention according to claims 1 to 4 , for example, as shown in FIG. 9, is opposed to the first rotating shaft (grinding wheel shaft 5b) having a grinding wheel (grinding stone 5a) fixed at one end and the grinding wheel at one end. In a processing apparatus (B) provided with a second rotating shaft (stage shaft 6) arranged so that the workpiece (W) can be arranged and the first rotating shaft is parallel to the axial direction. A first plate body on which the inclined stage (A) serves as a base at the one end of the second rotation shaft, a second plate body disposed to face the first plate body, and at least a column side. A support body that is formed so as to have a part of a peripheral surface or at least a part of a spherical surface, and supports the second plate body in a tiltable manner with respect to the first plate body, and the second plate body as the first plate The first plate and the second plate can be adjusted to a desired inclined state with respect to the plate and can hold the inclined state. An inclined stage including holding members connected to each other is detachably fixed.
[0020]
According to the first to fourth aspects of the invention, since the tilt stage is detachably fixed to one end of the second rotating shaft, the tilt stage can be easily attached and detached. Furthermore, tilting stage according to any one of claims 1 to 4 because it is fixed, can be easily processed to give the desired inclined state to the workpiece.
[0021]
When the tilt stage is fixed to the processing apparatus, it is not limited to directly fixing the work piece, but a device for fixing the work piece by gripping or clamping the work piece is processed. An inclined stage may be fixed to the processing apparatus by providing an apparatus for fixing to the apparatus, that is, an apparatus for indirectly fixing the workpiece to the processing apparatus. In addition, the tilt stage may be fixed to the processing apparatus by the weight of the entire tilt stage and the frictional force of the mounting surface of the processing apparatus on which the tilt stage is mounted in a state where the entire tilt stage is mounted. Alternatively, the inclined table on which the workpiece is mounted may be fixed to the processing apparatus by a magnetic force.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the tilt stage and processing apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, the “processing device” is a device that fixes a workpiece on a workpiece fixing stage and grinds the surface of the workpiece using a rotated grinding wheel. "Is a stage that gives a fixed tilt state (tilt angle and tilt direction) to a fixed workpiece.
[0023]
As shown in FIGS. 1 to 3, the tilt stage A includes two plates 1 and 2, a sphere 3 (support), and four bolts 4 (holding) that connect the two plates 1 and 2. The main part is comprised from the member.
[0024]
The two plates 1 and 2 are a fixed plate (first plate) 1 fixed to a processing apparatus (described later) side including the inclined stage A, and an inclined plate 2 (inclined with respect to the fixed plate 1). Second plate).
[0025]
As shown in FIG. 2, the fixed plate 1 is a disk-shaped member having a predetermined thickness, and is formed of tempered steel. Further, the fixed plate 1 is provided with a ball receiving portion 1 a formed in a substantially conical concave shape at the approximate center of the side surface in contact with the sphere 3. The ball receiver 1a receives the sphere 3 so that the sphere 3 is rotatable in all directions. Fastening holes 1b for four bolts 4 to be screwed and fastened are formed at the four ends of the fixing plate 1 extending radially from the ball receiving portion 1a. Specifically, the fastening hole 1b is on the X axis passing through the center of the ball receiving portion 1a (or the fitted sphere 3) and at two positions sandwiching the ball receiving portion 1a in the center, and on the X axis. It is formed at a total of four positions on the orthogonal Y axis and two positions sandwiching the ball receiving portion 1a in the center.
[0026]
The inclined plate 2 has substantially the same configuration as the fixed plate 1 described above, and is disposed at a position facing the fixed plate 1. And the ball receiving part 2a is formed in the side surface which contact | connects the spherical body 3, and the penetration hole 2b for the four bolts 4 to be penetrated is formed. The ball receiving portion 2a is formed in a substantially conical concave shape, and receives the sphere 3 so that the sphere 3 is rotatable in all directions. In the state where the side surfaces of the fixed plate 1 and the inclined plate 2 that are in contact with the spheres 3 are overlapped, the ball receiving portions 1a, 2a, the fastening holes 1b, and the insertion holes 2b coincide with each other.
[0027]
Further, the workpiece W is fixed to the side surface of the inclined plate 2 opposite to the side surface in contact with the sphere 3 via the base B. Specifically, the base B is a plate-like member having a predetermined thickness formed in a substantially square shape, and four corners are fixed to the inclined plate 2 by bolts B1. A workpiece W is fixed to the surface of the base B fixed to the inclined plate 2. Therefore, the side surface to which the base B of the inclined plate 2 is fixed serves as the stage surface 2c that gives the workpiece W a predetermined inclination angle and inclination direction. Although the workpiece W is fixed to the stage surface 2c of the inclined plate 2 via the base B, the workpiece W may be directly fixed to the stage surface 2c.
[0028]
The sphere 3 is formed of a hardened steel ball and is sandwiched between the fixed plate 1 and the inclined plate 2 described above. That is, the sphere 3 is fitted to each of the ball receiving portions 1 a and 2 a and is disposed so as to support the center of the inclined plate 2. In this case, the sphere 3 is rotatably held between the two plates 1 and 2, but the movement in the horizontal and vertical directions from the fitted position is restricted.
[0029]
In addition, when the sphere 3 is fitted to each of the ball receiving portions 1a and 2a of the two plates 1 and 2, the entire sphere 3 is not fitted, but the end portions of the sphere 3 (that is, each other) Since a part of the sphere 3 is fitted to each other, the two plates 1 and 2 are arranged at intervals. Therefore, when the sphere 3 is held between the two plates 1 and 2, the two plates 1 and 2 are arranged so as to be swingable with respect to each other via the sphere 3. . Further, when the fixed plate 1 is fixed in a horizontal plane while maintaining this state, the inclined plate 2 is supported by the rotatable sphere 3 as a fulcrum so that the inclined plate 2 can be inclined with respect to the fixed plate 1. To do. That is, since the sphere 3 supports the inclined plate 2 with the center of the inclined plate 2 as a fulcrum, the inclined state (inclination angle and inclination direction) of the stage surface 2c of the inclined plate 2 with respect to the fixed plate 1 can be made free. In addition, the inclination state can be easily adjusted.
[0030]
The bolt 4 is inserted into the insertion hole 2b of the inclined plate 2 when the two plates 1 and 2 are arranged via the sphere 3 as described above, and is further screwed into the fastening hole 1b of the fixed plate 1. By fastening, the two plates 1 and 2 are connected to each other. Further, the bolt 4 is capable of adjusting the inclined plate 2 to a desired inclined state with respect to the fixed plate 1 and maintaining the inclined state by operating the tightening degree.
[0031]
Here, as shown in FIG. 3, the bolts 4 are arranged at four locations so as to pass on the X and Y axes passing through the center of the sphere and center on the sphere 3. The plate bodies 1 and 2 are fastened. Therefore, with the two bolts 4 on the X axis (hereinafter referred to as X bolts 4) fixed and held, the tightening of the two bolts 4 on the Y axis (hereinafter referred to as Y bolts 4) is tightened. By operating, the tilt angle in the Y-axis direction (that is, the tilt angle in the Y-axis direction of the stage surface 2c of the tilt plate 2) with the X bolt 4 and the sphere 3 as fulcrums (with the X axis as the rotation center) is arbitrarily set. I can decide. Similarly, by operating the tightening of the X bolt 4 with the Y bolt 4 fixed and held, the Y bolt 4 and the sphere 3 are used as fulcrums (with the Y axis as the rotation center) in the X axis direction. The inclination angle can be determined. Then, by operating the X and Y bolts 4 in combination, the inclination angle and the inclination direction of the stage surface 2c of the inclined plate 2 with respect to the fixed plate 1 can be set as desired. That is, the tilt stage A having these configurations can be a so-called biaxial tilt stage that tilts corresponding to the X and Y axes.
[0032]
In the tilt stage A described above, an example in which the support body that supports the tilt plate 2 so as to be tilted is formed in a sphere (sphere 3), but other modifications may be considered as follows. . In addition, since the structure except the part which concerns on the support body (sphere 3) of the above-mentioned inclination stage A and the support body of the two board bodies 1 and 2 is substantially the same, the modification shown below is the above example. Similar components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
[0033]
As shown in FIG. 4, in the first modification, the support body is formed on a hemisphere 30. The hemispherical body 30 includes a base end portion 30a having a flat bottom portion and a hemispherical portion 30b having a top portion having at least a part of a spherical surface. The base end portion 30 a is fitted and fixed to a concave portion 1 c formed at the center of the fixing plate 1. On the other hand, the hemispherical portion 30b is rotatably received by a ball receiving portion 2a similar to the above example of the inclined plate 2. Then, by operating the tightening degree of the bolt 4, the stage surface 2c of the inclined plate 2 can be in a desired inclined state (inclination angle and inclination direction) with the X and Y axes as the rotation centers. .
[0034]
Further, as shown in FIGS. 5 and 6, in the second modified example, the support is formed in a column 31. A part of the peripheral surface of the column 31 is rotatably received by the receiving portions 1d and 2d of the fixed plate 1 and the inclined plate 2, respectively. In this case, the receiving portions 1d and 2d are formed as a groove having a triangular cross section in the extending direction of the cylinder 31, and the cylinder 31 is rotatable in the circumferential direction in the groove. Then, by operating the tightening degree of the bolt 4, the stage surface 2 c of the inclined plate 2 can be inclined with one axis of the X or Y axis as the rotation center.
[0035]
Further, as shown in FIGS. 7 and 8, in the third modified example, the support is formed in a semi-cylinder 32. The semi-cylinder 32 has a base end portion 32a having a flat bottom portion, and is fitted and fixed to the concave portion 1e of the fixing plate 1 formed in a substantially rectangular shape. Further, a part of the side circumferential surface of the semi-cylindrical 32 is rotatably received by the receiving portion 2 e of the inclined plate 2. In this case, the receiving portion 2e is formed as a groove having a triangular cross section in the extending direction of the semi-cylinder 32. Even in this case, similarly to the tilt stage A shown in FIGS. 5 and 6, the stage surface 2c of the tilt plate 2 has one axis of the X or Y axis as the center of rotation by operating the tightening of the bolt 4. Can be tilted.
[0036]
Next, in the processing apparatus provided with the tilt stage described above, a schematic configuration of the processing apparatus will be described, and a grinding method for a workpiece will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 9, the processing apparatus M includes a grinding wheel 5 for grinding the workpiece W and the tilt stage A described above, and the grinding wheel 5 and the workpiece W fixed to the tilt stage A include It arrange | positions in the position which mutually opposes.
[0037]
The grinding wheel 5 includes a grinding wheel 5a on the surface side facing the workpiece W, and the workpiece W is ground by the grinding wheel 5a. The grinding wheel 5 is attached to the tip of a grinding wheel shaft (first rotating shaft) 5b. By operating a driving means (not shown) provided at the base end of the grinding wheel shaft 5b, the grinding wheel 5 is interlocked with the driving force. Thus, the grinding wheel 5 can be rotated around the grinding wheel shaft 5b, and the grinding wheel 5 can be moved along the left-right direction of the paper surface while the grinding wheel 5 is held substantially vertically. It is like that.
[0038]
The tilt stage A is disposed at a position facing the grinding wheel 5 described above, and is detachable in a state of being erected substantially vertically at the tip of a stage shaft (second rotation shaft) 6 provided in the processing apparatus M. It is fixed to. Specifically, as shown in FIG. 3, a bearing 1 f is formed in the center of the bottom of the fixed plate 1, and the inclined stage A is attached to and detached from the stage shaft 6 by attaching the tip of the stage shaft 6 to the bearing 1 f. It is designed to be freely fixed. Therefore, it is possible to easily attach and detach the tilt stage A to the processing apparatus B.
[0039]
In addition, a drive means (not shown) is provided at the base end of the stage shaft 6, and by operating the drive means, the tilt stage A can rotate with the stage shaft 6 serving as an axis in conjunction with the drive force. It has become. The stage shaft 6 is disposed so that the axial direction thereof is parallel to the grinding wheel shaft 5b of the grinding wheel 5 described above.
[0040]
And when grinding the workpiece W actually, as shown in FIG. 2, the bolt 4 is fastened with the sphere 3 interposed between the two plates 1 and 2, and the two plates The bodies 1 and 2 are connected. Then, the base B is fixed to the stage surface 2c of the inclined plate 2 with bolts B1, and the workpiece W is attached to the surface of the base B with a material such as wax so that the grinding surface is disposed on the surface side. Next, while adjusting the tightening degree of the four bolts 4, the stage surface 2 c of the inclined plate 2 is adjusted to have a desired inclination angle and inclination direction using a device such as a micrometer.
[0041]
Note that the micrometer is a well-known one that is generally used for measurement, and the head provided at the tip is movable at a minute interval, and the distance between each point on the stage surface 2c of the inclined plate 2 and the head is determined. By measuring, the tilt angle and tilt direction of the stage surface 2c can be easily measured.
[0042]
Thereafter, as shown in FIG. 9, the inclined stage A to which the workpiece W is fixed is fixed to the tip of the stage shaft 6 in a state where the inclined stage A is vertically set. Finally, by operating the two driving means described above, the grindstone shaft 5b and the stage shaft 6 are rotated, and the grinding wheel 5 is moved to the workpiece W side, and the workpiece W is ground by the grindstone 5a. Grind the surface.
[0043]
The two plates 1 and 2 and the sphere 3 (the hemisphere 30, the cylinder 31, and the half cylinder 32) as the support are formed of a steel material, and when the workpiece W is ground, If the workpiece W is a size suitable for the tilt stage A, even if a pressure from the grinding wheel 5 is applied to the workpiece W, the workpiece W has sufficient rigidity to resist the pressure. . Further, even if the tilt stage A is elastically deformed by the pressure, the workpiece W is returned to the desired tilt angle and tilt state by the restoring force of the tilt plate 2 itself, and the workpiece W is ground. The grinding accuracy to the surface is sufficiently secured.
[0044]
As described above, according to the tilt stage A and the processing apparatus M according to the present embodiment, the tilt angle and the tilt direction of the stage surface 2c of the tilt plate 2 with respect to the fixed plate 1 can be easily adjusted by the tightening degree of the bolt 4. it can. Therefore, it is possible to easily adjust the inclination angle and the inclination direction of the grinding surface of the workpiece W fixed to the stage surface 2c.
[0045]
In addition, the inclined stage A has a space that is almost determined by the area of the plates 1 and 2, the thickness of the two plates 1 and 2, and the distance between the plates 1 and 2. It can be miniaturized and can be easily incorporated into various processing devices. Furthermore, since the tilt stage A can be manufactured by the two plates 1 and 2, the sphere 3 and the bolt 4, it can be manufactured extremely easily and inexpensively using a ready-made member. And even if this inclination stage A is incorporated in the processing apparatus M, the cost increase of the processing apparatus M can be minimized, and a mechanism capable of adjusting the angle can be added to the processing apparatus M at low cost. it can. From these things, the inclination stage A can be made excellent in versatility.
[0046]
In the tilt stage according to the present embodiment, the holding member is configured by a bolt. However, the holding stage is not limited to the bolt, and may be configured by a clamp or a screw. In addition, the support formed as a separate body from the fixed plate 1 and the inclined plate 2 has been described, but is not limited thereto, and may be formed integrally with the fixed plate 1 or the inclined plate 2.
[0047]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, it is possible to easily adjust the inclination angle of the processed surface of the workpiece with a simple configuration. Further, since the support is formed so as to have at least a part of the side peripheral surface of the cylinder or at least a part of the spherical surface, there is an effect that there is rigidity. Furthermore, when the tilt stage according to the present invention is attached to a surface grinder or a rotary grinder and the sapphire surface is adjusted, the surface can be adjusted with an accuracy of 0.02 degrees or less.
[0048]
According to the second aspect of the present invention, the tilt direction and the tilt angle of the stage surface of the tilt stage can be easily determined with the two axes (X and Y axes) orthogonal to each other in the same plane as the rotation center.
[0049]
According to the invention described in claim 3, since the center of the second plate body is used as a fulcrum, the inclination state (inclination angle and inclination direction) of the second plate body can be easily adjusted.
[0050]
According to invention of Claim 4, it can manufacture very easily and cheaply using a ready-made member. In addition, the tilt stage of the present invention can be excellent in versatility.
[0051]
According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to easily attach or remove the tilt stage to or from the processing apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an inclined stage according to the present embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the tilt stage.
FIG. 3 is a plan view showing the tilt stage.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an inclined stage when a hemisphere is used as a support according to the present embodiment.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an inclined stage when a column is used as a support according to the present embodiment.
6 is a cross-sectional view when the tilt stage shown in FIG. 5 is rotated 90 degrees in the horizontal direction. FIG.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an inclined stage when a semi-cylinder is used as a support according to the present embodiment.
8 is a cross-sectional view of the tilt stage shown in FIG. 7 when rotated 90 degrees in the horizontal direction. FIG.
FIG. 9 is a schematic view showing a processing apparatus according to the present embodiment.
[Explanation of symbols]
A Inclination stage M Processing device W Work piece 1 Plate, fixed plate (first plate)
1a Sphere receiving part 2 Plate, inclined plate (second plate)
2a Sphere receiving part 3 Sphere (support)
4 Bolt (holding member)
5a Whetstone 5b Whetstone shaft (first rotating shaft)
6 Stage axis (second rotation axis)
30 hemisphere (variation of support)
31 Cylinder (Modification of support)
32 Semi-cylinder

Claims (4)

一方端に砥石が固定された第１回転軸と、一方端に前記研削砥石と対向するように被加工物を配置可能かつ前記第１回転軸と軸方向が平行になるように配設された第２回転軸とを備えた加工装置において、前記第２回転軸の前記一方端に、基台となる第１板体と、前記第１板体に対して対向配置される第２板体と、少なくとも円柱の側周面の一部又は少なくとも球面の一部を有するように形成され、前記第１板体に対して前記第２板体を傾斜可能に支持する支持体と、前記第２板体を前記第１板体に対して所望の傾斜状態に調整可能かつ前記傾斜状態を保持可能に、前記第１板体と前記第２板体とを互いに連結する保持部材と、を備えた傾斜ステージが着脱自在に固定されていることを特徴とする加工装置。 A first rotating shaft having a grindstone fixed to one end and a workpiece to be disposed at one end so as to face the grinding grindstone and disposed so that the axial direction of the first rotating shaft is parallel to the first rotating shaft. In the processing apparatus provided with the second rotating shaft, a first plate serving as a base at the one end of the second rotating shaft, and a second plate disposed to face the first plate. A support body that is formed to have at least a part of a side peripheral surface of a cylinder or at least a part of a spherical surface, and supports the second plate body so as to be tiltable with respect to the first plate body; and the second plate A tilting member comprising: a holding member that connects the first plate body and the second plate body to each other so that the body can be adjusted to a desired tilted state with respect to the first plate body and the tilted state can be held. A processing apparatus, wherein the stage is detachably fixed. 前記支持体は、前記少なくとも球面の一部を有するように形成されており、少なくとも前記第１板体又は前記第２板体のいずれか一方に前記球面を受ける球受部が形成されており、前記保持部材は、前記第１板体に平行な同一平面内で直交する２軸上の少なくとも３点に均等に配置されているものである請求項１記載の加工装置。The support is formed to have at least a part of the spherical surface, and at least one of the first plate and the second plate is formed with a ball receiving portion for receiving the spherical surface. The processing apparatus according to claim 1, wherein the holding members are evenly arranged at at least three points on two axes orthogonal to each other in the same plane parallel to the first plate body. 前記支持体は、前記第２板体の中心を支持するように配設されているものである請求項２記載の加工装置。 The processing apparatus according to claim 2, wherein the support is disposed so as to support the center of the second plate . 前記支持体は、球体に形成されているものである請求項２又は請求項３記載の加工装置。The processing apparatus according to claim 2, wherein the support is formed in a sphere.

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