JP4630540B2 - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
ノズルプレートの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4630540B2 JP4630540B2 JP2003415867A JP2003415867A JP4630540B2 JP 4630540 B2 JP4630540 B2 JP 4630540B2 JP 2003415867 A JP2003415867 A JP 2003415867A JP 2003415867 A JP2003415867 A JP 2003415867A JP 4630540 B2 JP4630540 B2 JP 4630540B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle plate
- manufacturing
- flat
- work material
- burrs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 23
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 9
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 claims description 4
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 21
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 2
- 241000831652 Salinivibrio sharmensis Species 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 229960000583 acetic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 238000010291 electrical method Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012362 glacial acetic acid Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N lead tin Chemical compound [Sn].[Pb] LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
- B23H9/14—Making holes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21C—MANUFACTURE OF METAL SHEETS, WIRE, RODS, TUBES OR PROFILES, OTHERWISE THAN BY ROLLING; AUXILIARY OPERATIONS USED IN CONNECTION WITH METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL
- B21C37/00—Manufacture of metal sheets, bars, wire, tubes or like semi-manufactured products, not otherwise provided for; Manufacture of tubes of special shape
- B21C37/06—Manufacture of metal sheets, bars, wire, tubes or like semi-manufactured products, not otherwise provided for; Manufacture of tubes of special shape of tubes or metal hoses; Combined procedures for making tubes, e.g. for making multi-wall tubes
- B21C37/15—Making tubes of special shape; Making tube fittings
- B21C37/28—Making tube fittings for connecting pipes, e.g. U-pieces
- B21C37/29—Making branched pieces, e.g. T-pieces
- B21C37/292—Forming collars by drawing or pushing a rigid forming tool through an opening in the tube wall
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D—WORKING OR PROCESSING OF SHEET METAL OR METAL TUBES, RODS OR PROFILES WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D28/00—Shaping by press-cutting; Perforating
- B21D28/24—Perforating, i.e. punching holes
- B21D28/28—Perforating, i.e. punching holes in tubes or other hollow bodies
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49345—Catalytic device making
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Punching Or Piercing (AREA)
Description
本発明は、液体吐出ヘッドのノズルプレートの製造方法に関するものである。
マイクロマシン等の発達に伴って、微細加工技術への要求度は高まっており、特に、微細穴の形成は微細加工技術の基本となる部分であるから、その重要度は高く、小径かつ高アスペクト比の高精度な微細穴の必要性が増している。
このような微細穴を用いるデバイスとして、ＰＺＴ等の圧力発生部材と金属板やセラミックスとの積層体で構成される圧力発生器や、インク等の液体に熱エネルギーを加えることで液体を発泡させて吐出圧力を得る発熱素子を有する圧力発生器を有し、前記圧力発生器の吐出圧力により液滴を吐出するノズルを備えたオンデマンド方式の液体吐出ヘッドが知られている。
近年これらの液体吐出ヘッドを搭載する記録装置を用いることで、紙等の被記録媒体に対して高速かつ高精度、高精細な描画ができるようになってきており、民生用のプリンターやファクシミリ、捺染、産業用途にいたるまで幅広く利用されるようになってきた。
高精細、高精度な描画を安定に行うためには、液体吐出のための高精度な微細穴であるノズルを有するノズルプレートの存在が不可欠であり、様々な穴開け手法が提唱されてきた。
第一の方式は、特許文献１に開示されている、精密プレス機などを用いる機械加工によるものである。これは、一般的に使用されるプレス加工用の雄型（ポンチ）と雌型（ダイ）を精度良く作成し、プレス加工により被加工材に微細穴を開ける手法である。
また、放電加工などの電気的手法を用いる加工方法もある。これは、高精度ステージ上において治具に固定した被加工材料に対し、微小エネルギーの放電パルスの発生が可能なＲＣ回路で構成される放電発生回路を利用し、工具材料に対し放電加工を実施するものである。
さらに、特許文献２に開示されたように、エッチングなどの化学的加工により行う方法もある。
特開昭６０−４２０５４号公報
特開平０４−３１２８５３号公報
しかしながら、従来のプレス加工においては、ポンチ強度の問題や、ダイとポンチのクリアランスを高精度にセッティングしなければならない等の制約により、アスペクト比１〜２を超える高アスペクト比の微細穴の加工には限界があった。特に、被加工材料を上下の金型部材の間により挟圧するため、ポンチ入射時に微細穴の周辺に押しのけられた一部材料の、いわゆる平面方向への肉逃げが発生し、複数の微細穴を加工した際のピッチ精度が悪くなるという問題が発生する。
他方、電気的加工では、穴周辺や穴内壁に加工痕跡が残り、さらに環境因子などの加工条件に大きく左右されるため、安定的に形状精度の高い加工を行うことが難しかった。また、化学的加工では、複数穴を加工した際の穴ピッチ精度が上記他の手法と比較して悪いという問題があった。
加えて、上記いずれの手法においても、かえしやバリ、ダレが大きく発生することは避けられず、これらがノズル等微細穴の高精度化において障害となっていた。
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、平面方向への肉逃げや、かえし、バリ等の発生を抑制し、形状の整った高ピッチ精度、高アスペクト比の微細穴を形成することのできる液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するため、本発明のノズルプレートの製造方法は、液体を吐出するための複数の吐出エネルギー発生手段および複数の液流路を有する本体部と、前記複数の液流路に連通する複数のノズルを有するノズルプレートと、を備える液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法において、ビッカース硬度が１００以上５００以下の材料からなり、プレス工具を嵌挿させるための開口を持たない、平板状の雌型上に、ノズルプレートを形成するためのノズルとなる穴を形成する前の被加工材料を用意し、水平方向の位置決めをする工程と、前記被加工材料を肉厚方向に拘束せず、水平方向に拘束した状態で、先端部が断面円形でストレート状の前記プレス工具の前記先端部が前記被加工材料を押圧して前記被加工材料の一部を排除し、排除された被加工材料の一部が、前記プレス工具が前記被加工材料と前記平板状の雌型とを押圧することで前記平板状の雌型に形成される凹部に肉逃げするように、前記被加工材料に対して前記プレス工具を移動させる工程と、前記排除された被加工材料の一部が前記凹部に肉逃げすることで生じたバリを除去する工程と、を有することを特徴とする。
少なくとも一対の位置決めピンを被加工材料の位置決め穴に嵌合させることで、前記平板上に前記被加工材料を位置決めし、水平方向に拘束するとよい。
プレス機による穴開け加工において、プレス機の雌型（ダイ）上に被加工材料を水平方向の位置決めをして水平方向にのみ拘束することで、肉厚方向に押さえることなくプレス工具を下降させて微細穴を形成する。このように無圧保持状態で穴開け加工を行うことで、上下方向から金型部材によって被加工材料を挟んでプレス加工する場合のような肉逃げによるピッチ精度の低下や、穴周辺のバリ、ダレ等の変形、あるいはポンチに対する材料のかじりつき等を低減し、高アスペクト比でピッチ精度の高いノズル等の微細穴を形成することができる。
このような穴開け加工によって液体吐出ヘッドのノズルプレートのノズルを形成することで、吐出性能の安定した、超精細化に対応することの容易な液体吐出ヘッドを実現できる。
図１は一実施の形態による液体吐出ヘッドを示すもので、基板１に加圧室等の液流路となる複数の溝２を形成し、各溝２の底部に第１の電極３を被着するとともに、基板１に形成した吐出エネルギー発生手段である圧電体４の下面に第２の電極５を配設した本体部と、本体部の溝２を覆うように本体部に積層された穴開き部材であるノズルプレート１０を有し、ノズルプレート１０は、各溝２に開口する微細穴であるノズル１１を備えている。
図１の（ａ）に矢印で示す方向に供給されたインク等液体Ｌは、両電極３、５に印加された電圧により圧電体４に発生する歪によって加圧され、ノズルプレート１０のノズル１１から液滴として吐出される。
図２は、上記のノズルプレートにノズルを形成するための、プレス機による微細穴形成の参考例１を説明するものである。ステージ１００の上方からプレス工具であるポンチ１０１を下降させ、雌型１０２上の、ノズルプレートの材料である被加工材料１１０に押圧することにより、ノズルとなる微細穴１１１の穴開け加工を行う際に、ステージ１００に立設された一対の位置決めピン１０３を被加工材料１１０の両端の位置決め穴１１０ａに嵌挿し、被加工材料１１０の下面を雌型１０２の開口１０２ａの周囲上面に密着させて水平方向の位置決めをし、一対の位置決めピン１０３によって雌型１０２上の被加工材料１１０を水平方向にのみ拘束し、ポンチ１０１の入射側から被加工材料１１０を肉厚方向に押さえることのない、いわゆる無圧保持状態でポンチ１０１を下降させて穴開け加工を行う。
このようにプレス機による穴開け加工を、肉厚方向に被加工材料を加圧することなく行うことで、加工中の水平方向への材料の肉逃げや穴周辺のバリ等の変形、材料のポンチへのかじりつき等を回避でき、高ピッチ精度、高アスペクト比の微細穴の形成が可能となる。
図３に示すように、プレス工具であるポンチ１０１を嵌挿させる開口を持たない非開口型である平板状の雌型１０４上に、上記と同様に無圧保持状態で被加工材料１２０を位置決め固定し、ポンチ１０１を下降させることで微細穴１２１を形成する。この場合は、特に加工時のバリＢ1 の発生を押さえて、高アスペクト比、高ピッチ精度の微細穴の形成を効率的に行うことが可能である。
図４に示すように、被加工材料１３０の下面を支持する非開口型の雌型１０５のビッカース硬度ＨｖをＨｖ＝１００以上、Ｈｖ＝５００以下に限定するとよい。これによって、加工時のバリＢ1 の発生をより一層効果的に抑制し、かつ、ポンチ１０１への負荷を軽減させた状態で、高アスペクト比、高ピッチ精度の微細穴の形成を行うことが可能である。
また、図６に示すように、加工中の被加工材料１５０の下面を雌型１０７に吸着する吸引手段１０７ａを用いて雌型１０７に固定すれば、被加工材料１５０の無圧保持をより一層効果的に行い、図７に示すような穴周辺にかえし等の歪Ｂ2 が生じるのを防ぐことができる。これによって、穴径精度、穴ピッチ精度をより一層向上させることが可能である。
（参考例１）
（参考例１）
図２に示す方法で穴開け加工を行った。被加工材料１１０は、厚みｔ＝０．０８ｍｍのニッケル圧延材料（（株）ニラコ製）であり、硬度はビッカース硬度Ｈｖ＝２１０である。その両端には直径５００μｍを有する一対の位置決め穴１１０ａが形成されている。各位置決め穴１１０ａをプレス機である穴開け加工マシンのステージ１００上の位置決めピン１０３にはめ込み、被加工材料１１０を無圧保持状態で位置決め固定した。被加工材料１１０の下には、ダイ穴１０２ａを有する雌型（ダイ）１０２が置かれている。プレス工具であるポンチ１０１には０．７μｍ粒径を持つ超微粒タイプの超硬母材を研削したものを用いて、先端径２０μｍ、先端ストレート部の長さ２０μｍ、ストレート部に続くテーパー角２５度で作成した。
ポンチ１０１を上下動させる穴開け加工マシンには、高精度マシニングセンタＶ３３（（株）牧野フライス製作所製）を用い、その工具主軸にポンチ１０１を取り付け固定した。
穴開け加工は、上記加工マシンの工具主軸に固定されたポンチ１０１を図１の（ａ）、（ｂ）に示すように上下復動させ、ポンチ下降時、上昇時の移動速度は２ｍｍ／ｍｉｎに制御した。図２の（ｃ）に示すように、穴径２０μｍ、穴深さ８０μｍを有するアスペクト比４の微細穴（ノズル）１１１を、穴径精度２０±１．０μｍ、ピッチ精度２５０μｍ±１．０μｍで１００個形成することができた。
図３に示す方法で穴開け加工を行った。被加工材料１２０の下に準備する非開口型の雌型（ダイ）１０４は、厚み１０ｍｍ、ダイ穴直径０のニッケル材料、つまりニッケル平板（（株）ニラコ製）を用いた。このニッケル平板上に被加工材料１２０を位置決めピン１０３を用いて固定し、ポンチ１０１を上下復動することにより微細穴１２１の形成を行った。これにより、穴開け加工の際にポンチ出射側に形成されるバリＢ1 が、下の平板状の雌型１０４によって抑制され、ノズル形状が整ったノズルプレートを製作することができた。
図４に示すように、平板状の雌型１０５にビッカース硬度ＨｖをＨｖ＝１００〜５００の雌型材料を用いた。Ｈｖ＝１００以下では、穴開け加工時においてポンチ１０１の出射側に形成されるバリＢ1 が大きくなってしまい、また、Ｈｖ＝５００以上ではポンチ１０１への負荷が大きく、折れや欠損を引き起こしやすくなる。そこで、平板状の雌型１０５にＨｖ＝１０５の真鍮平板を用いた。これにより、穴径２０μｍ、穴深さ８０μｍを有するアスペクト比４の微細穴１３１を、バリＢ1 の発生を極力押さえながら穴径精度２０±１．０μｍ、ピッチ精度２５０±１．０μｍで１００個形成することが可能であった。
（参考例２）
（参考例２）
図５に示すように、ポンチ１０１の下端面の到達位置（下死点）を被加工材料１４０の下面以下にするための貫通型の雌型１０６を用いてポンチ１０１を出射側に完全に抜ききることができるようにした。被加工材料１４０におけるポンチ１０１の出射側の穴形状を均一にし、その精度を向上させることができる。これにより、穴径精度２０±０．８μｍ、ピッチ精度２５０±１．０μｍのアスペクト比４を有する微細穴を、１００個形成することが可能であった。
（参考例３）
（参考例３）
図６に示すように、被加工材料１５０を、吸引手段１０７ａを有する雌型１０７を備えた穴開け加工マシンによって微細穴を形成した。吸引手段１０７ａにはバキュームユニット（フジエンジニアリング製）を用い、真空チューブを介して雌型１０７上に被加工材料１５０を吸引し、被加工材料１５０を無圧保持状態で位置決め固定した。このように被加工材料１５０を雌型１０７に吸引吸着させて固定した状態で穴開け加工を行うことにより、図７に示すようなポンチ１０１の押圧時における穴周辺の歪Ｂ2 を回避することができ、穴径精度およびピッチ精度を向上させることができた。その結果、穴径精度２０±０．６μｍ、ピッチ精度２５０±０．８μｍのアスペクト比４を有する微細穴を１００個形成することが可能であった。
図８に示すように、精密研磨装置：商品名 ＭＡ−２００Ｄ（ムサシノ電子（株）製）１０８を用い、実施例１によって作製された微細穴であるノズルを有するノズルプレートを研磨した。その際ノズルプレートは、φ１００貼り付けホルダー上に両面テープ：商品名 Ｖ−１２−Ｔ（日東電工（株）製）で固定した。研磨条件は荷重１．０ｋｇ、回転数４０ｒｐｍ、研磨吐粒には１／２μｍ多結晶ダイヤモンドを使用し、研磨ディスク１０８ａには錫鉛盤を使用した。上記条件で３０分間研磨することによって、加工時に突出したバリを効果的に除去でき、穴の形状精度向上加工が可能であった。それにより、真円度０．９２、穴径精度２０±０．５μｍ、ピッチ精度２５０±０．６μｍのアスペクト比４の微細穴を有するノズルプレートを製造できた。
図９に示すように、被加工材料１６０の穴開け加工において、ポンチ１０１の出射側となる面に溶解可能なレジストフィルム１６１として膜厚２５μｍのドライフィルムレジストｏｒｄｙｌ ＳＹ３２５（東京応化工業（株）製）を密着させた状態で、実施例１に記載の方法と同様に穴開け加工を行った。
次に図１０に示すように、前記工程において穴開けを行った被加工材料１６０を陽極とし、白金極１０９ａを陰極として電解槽１０９に浸漬し適当な電圧を印加してバリ取りを行った。電解研磨を用いたバリ取りは、金属の表面エネルギーの差を利用して行うものであり、バリ部は他の部位と比較して特に電流密度が高く選択的に溶解していくため、バリ除去のためには有効な手段である。
電解槽１０９の電解研磨液には、氷酢酸４７０重量パーセント、過塩素酸３０重量パーセントの混合溶液を用い、ポテンショスタット／ガルバノスタッ：商品名 ＨＡ５０１（北斗電工（株）製）で１０Ｖ、２分の条件で行った。温度は使用する液組成および対象物により異なるが、常温から８０℃位までである。本実験では５０℃で行った。電流密度は高電流密度ほど早く行えるが、安定して行うにはガス発生のないプラトー領域内で行う必要がある。
上記工程によりバリを除去し穴形状を平滑化することができた。このとき、被加工材料１６０に密着させたレジストフィルム１６１があるため穴部以外には電流が流れず、侵されることがない。
レジストフィルム１６１は剥離液中へ浸漬することで剥離除去し、真円度０．９２、穴径精度２０±０．５μｍ、ピッチ精度２５０±０．６μｍのアスペクト比４の微細穴であるノズルを有する高精度なノズルプレートを製造することができた。
１ 基板
２ 溝
３、５ 電極
４ 圧電体
１０ ノズルプレート
１１ ノズル
１００ ステージ
１０１ ポンチ
１０２、１０４、１０５、１０６、１０７ 雌型
１０３ 位置決めピン
１０７ａ 吸引手段
１０９ 電解槽
１１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０ 被加工材料
１１１、１２１、１３１ 微細穴
２ 溝
３、５ 電極
４ 圧電体
１０ ノズルプレート
１１ ノズル
１００ ステージ
１０１ ポンチ
１０２、１０４、１０５、１０６、１０７ 雌型
１０３ 位置決めピン
１０７ａ 吸引手段
１０９ 電解槽
１１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０ 被加工材料
１１１、１２１、１３１ 微細穴
Claims (6)
- 液体を吐出するための複数の吐出エネルギー発生手段および複数の液流路を有する本体部と、前記複数の液流路に連通する複数のノズルを有するノズルプレートと、を備える液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法において、
ビッカース硬度が１００以上５００以下の材料からなり、プレス工具を嵌挿させるための開口を持たない、平板状の雌型上に、ノズルプレートを形成するためのノズルとなる穴を形成する前の被加工材料を用意し、水平方向の位置決めをする工程と、
前記被加工材料を肉厚方向に拘束せず、水平方向に拘束した状態で、先端部が断面円形でストレート状の前記プレス工具の前記先端部が前記被加工材料を押圧して前記被加工材料の一部を排除し、排除された被加工材料の一部が、前記プレス工具が前記被加工材料と前記平板状の雌型とを押圧することで前記平板状の雌型に形成される凹部に肉逃げするように、前記被加工材料に対して前記プレス工具を移動させる工程と、
前記排除された被加工材料の一部が前記凹部に肉逃げすることで生じたバリを除去する工程と、
を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 少なくとも一対の位置決めピンを被加工材料の位置決め穴に嵌合させることで、前記平板状の雌型上に前記被加工材料を位置決めし、水平方向に拘束することを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記平板状の雌型はニッケルまたは真鍮から形成されることを特徴とする請求項１または２に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記被加工材料はニッケルから形成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記被加工材料を研磨ディスクにより研磨することにより前記バリを除去することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記被加工材料に電圧を印加することにより、前記被加工材料の前記バリの部分を溶解させて前記バリを除去することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003415867A JP4630540B2 (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | ノズルプレートの製造方法 |
| US11/010,469 US20050223555A1 (en) | 2003-12-15 | 2004-12-13 | Method for forming holes, component having holes, and liquid-discharge head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003415867A JP4630540B2 (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | ノズルプレートの製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005169479A JP2005169479A (ja) | 2005-06-30 |
| JP2005169479A5 JP2005169479A5 (ja) | 2007-02-01 |
| JP4630540B2 true JP4630540B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=34735213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003415867A Expired - Fee Related JP4630540B2 (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | ノズルプレートの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20050223555A1 (ja) |
| JP (1) | JP4630540B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5047734B2 (ja) * | 2007-08-28 | 2012-10-10 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
| CN103028799B (zh) * | 2012-12-28 | 2015-04-22 | 江苏大学 | 一种冲孔与电火花复合的微细阵列通孔加工方法和装置 |
| JP2019089233A (ja) * | 2017-11-14 | 2019-06-13 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 噴射孔プレートの製造方法 |
| KR101975571B1 (ko) * | 2018-09-17 | 2019-08-28 | 임회진 | 프레스 타발을 이용한 카메라 모듈용 조리개의 제조방법 |
| CN113102607A (zh) * | 2021-03-11 | 2021-07-13 | 合肥正特机械有限公司 | 一种板材的连续冲压打孔模具 |
| JP7462361B1 (ja) | 2023-05-11 | 2024-04-05 | 大阪アサヒ化学株式会社 | 噴流式はんだ付け装置に用いる凸状ノズルプレートの表面処理方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042054A (ja) * | 1983-07-23 | 1985-03-06 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | インクジエツトプリンタ用ノズルプレ−トの製造方法及び装置 |
| JPH08229616A (ja) * | 1995-02-27 | 1996-09-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属板からの軸形成方法 |
| JPH09234698A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-09-09 | Ngk Insulators Ltd | シート材の順送り加工方法 |
| JPH1158747A (ja) * | 1997-08-12 | 1999-03-02 | Ricoh Co Ltd | ノズル形成部材及びその製造方法並びにインクジェットヘッド |
| JPH11147316A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Fujitsu Ltd | インクジェット記録ヘッド及びノズル板の製造方法 |
| JP2003165226A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-10 | Hitachi Printing Solutions Ltd | インクジェットヘッドのオリフィスプレート製造方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4037646A (en) * | 1975-06-13 | 1977-07-26 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Molds for continuously casting steel |
| US4342214A (en) * | 1980-06-16 | 1982-08-03 | Neuendorf J R | Pilot assembly for progressive die machines |
| JPH071675B2 (ja) * | 1990-08-22 | 1995-01-11 | 大日本スクリーン製造株式会社 | シャドウマスクの製造方法及びシャドウマスク板材 |
| US5515604A (en) * | 1992-10-07 | 1996-05-14 | Fujitsu Limited | Methods for making high-density/long-via laminated connectors |
| US6336976B1 (en) * | 1999-01-04 | 2002-01-08 | Kabushiki Kaisha Sankyo Seiki Seisakusho | Hole processing apparatus and method thereof and dynamic pressure bearings cleaning method |
| US20010042453A1 (en) * | 1999-10-14 | 2001-11-22 | Albrecht Schneider | Method and apparatus for marking workpieces |
| US6237388B1 (en) * | 2000-03-08 | 2001-05-29 | Can Industry Products, Inc. | Transfer apparatus and method for transferring container bodies in a press |
| JP3930300B2 (ja) * | 2001-11-20 | 2007-06-13 | 日本碍子株式会社 | 打抜同時積層用打抜金型 |
-
2003
- 2003-12-15 JP JP2003415867A patent/JP4630540B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-12-13 US US11/010,469 patent/US20050223555A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042054A (ja) * | 1983-07-23 | 1985-03-06 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | インクジエツトプリンタ用ノズルプレ−トの製造方法及び装置 |
| JPH08229616A (ja) * | 1995-02-27 | 1996-09-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属板からの軸形成方法 |
| JPH09234698A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-09-09 | Ngk Insulators Ltd | シート材の順送り加工方法 |
| JPH1158747A (ja) * | 1997-08-12 | 1999-03-02 | Ricoh Co Ltd | ノズル形成部材及びその製造方法並びにインクジェットヘッド |
| JPH11147316A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Fujitsu Ltd | インクジェット記録ヘッド及びノズル板の製造方法 |
| JP2003165226A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-10 | Hitachi Printing Solutions Ltd | インクジェットヘッドのオリフィスプレート製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2005169479A (ja) | 2005-06-30 |
| US20050223555A1 (en) | 2005-10-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Snoeys et al. | Current trends in non-conventional material removal processes | |
| Zheng et al. | The tool geometrical shape and pulse-off time of pulse voltage effects in a Pyrex glass electrochemical discharge microdrilling process | |
| Zheng et al. | 3D microstructuring of Pyrex glass using the electrochemical discharge machining process | |
| JP2005349470A (ja) | マイクロマシニング方法およびシステム | |
| US20010050235A1 (en) | Electrode design for electrochemical machining of grooves | |
| JP4630540B2 (ja) | ノズルプレートの製造方法 | |
| JP2004207718A (ja) | ニオブまたはタンタルの成形品を電気化学エッチングで製造する方法 | |
| Mishra et al. | Fabrication of deep microfeatures in glass substrate using electrochemical discharge machining for biomedical and microfluidic applications | |
| JP2005254345A (ja) | ハニカム構造体成形用口金の製造方法 | |
| US6711802B2 (en) | Method of manufacturing multi-core ferrule | |
| JP6526588B2 (ja) | ペリクル枠およびペリクル枠の製造方法 | |
| Rajurkar et al. | Micro EDM can produce micro parts | |
| JP4843755B2 (ja) | 回路基板材料の製造方法 | |
| JP2007050487A (ja) | 導電性材料から成るワークを切断する方法 | |
| CN108637411B (zh) | 一种微流道电解加工装置 | |
| JP2010161370A (ja) | 基板を電気化学的に加工する方法及び装置 | |
| Wang et al. | The feasibility study on a fabricated micro slit die using micro EDM | |
| JP2017192963A (ja) | プレス金型の製造方法、プレス加工法及びプレス金型機構 | |
| JPS6348714B2 (ja) | ||
| KR101640342B1 (ko) | 글라스 미세 홀 에칭 방법 | |
| JP4154303B2 (ja) | 回路基板材料の製造方法 | |
| Skoczypiec et al. | Research on electrodischarge drilling of polycrystalline diamond with increased gap voltage | |
| JPH0755490B2 (ja) | セラミックスの精密加工方法 | |
| JPH11268281A (ja) | ノズルプレートの製造方法およびシリコン基板の加工方法 | |
| EP3173173B1 (en) | Electrochemical machining apparatus for forming turbine blades |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061211 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061211 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090521 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090527 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090727 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100421 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101109 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101115 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |