JP2007050487A - 導電性材料から成るワークを切断する方法 - Google Patents

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伸一 吉田
Yuzo Doi
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【課題】ワイヤ放電加工とウォータジェット加工の複合によって導電性材料から成るワークに貫通穴を短縮された加工時間で精密に形成する方法を提供する。
【解決手段】導電性材料から成るワーク20を要求寸法26の形状へ切断する方法。荒加工であるファーストカットで、上面から底面へ向かって広がる傾斜面24を有する貫通穴22をワーク20中に切断する。仕上げ加工であるセカンドカットで、貫通穴22を要求寸法26へ仕上げる。ファーストカットはウォータジェット加工によって、セカンドカットはワイヤ放電加工によって行われる。切断片28は傾斜面24によって貫通穴22から円滑に落下できる。
【選択図】図2

Description

本発明は、金属やグラファイトのような導電性材料から成るワークを切断する方法に関し、特に、ウォータジェット加工がワイヤ放電加工に複合された切断方法に関する。
ワイヤ放電加工は、導電性材料から成るワークを、数μm以下の形状精度、数μmRz以下の面粗さで複雑な形状に加工できる。工具は、φ0.1mm〜φ0.3mmの黄銅のワイヤ電極である。垂直に張架されたワイヤ電極は、導電性のワークとの間に微小な加工間隙を形成するよう位置決めされる。ワイヤ電極をワークに接触させず加工間隙に放電を発生させることによってワークは精密に加工される。したがって、ワークは、超硬合金のような難切削材であってもよい。
金型や精密部品を加工する際、多くの場合、ワイヤ放電加工はいくつかのステップに分けて行われる。第1のステップで、大きな電気エネルギによっておおよそ要求寸法の形状がワーク中に荒く切断される。第1のステップにおける荒加工はファーストカットと呼ばれる。加工速度を上げるためには、加工間隙により大きな電気エネルギを供給することが必要である。しかしながら、電気エネルギは、ワイヤ電極を溶断させてしまわない程度に制限される。現在、加工速度は、φ0.3mmの亜鉛鍍金された特殊黄銅ワイヤ電極を使用した場合に、250mm2/min〜550mm2/min程度である。その後に続く複数のステップで、電気エネルギは段階的に小さくされる。こうして、要求寸法の形状が高精度にワーク中に切断され、切断面が所望の粗さに仕上げられる。このような複数のステップは、総称してセカンドカットと呼ばれる。
出願人は、特願2004−302976において、ファーストカットをウォータジェット加工によって行い加工時間を短縮することを提案した。ウォータジェット加工では、超高圧水がノズルへ供給され、ウォータジェットがノズルからワークの表面へ向けて噴射される。ウォータジェットは、種々の材料、例えば、紙、ガラス、木材、金属、プラスチック、コンクリート、セラミック及びウェーハの切断、孔開け及び研削に利用されている。切断能力を高めるため、ガーネットやアルミナ等の砥粒が超高圧水に添加される。砥粒を含むウォータジェットは、ワイヤ放電加工の10倍近い加工速度で、鋼製のワークを切断できるようになってきている。ワークがグラファイト材の場合、10000mm2/min程度の加工速度が可能である。
ワイヤ放電加工とウォータジェット加工を一つの工場内で使用できる環境は知られている。特許文献1は、中央にワーク移動ステーションが設けられ、その周囲にワイヤ放電加工ステーション、形彫放電加工ステーション、レーザ加工ステーション、放電被覆加工ステーション及びウォータジェット加工ステーションが配置されたFMSを開示している。特許文献2に示される工場では、ワイヤ放電加工装置、レーザ加工装置及びウォータジェット加工装置が並べて設置され、ワークがパレットを使って移動させられる。
特開昭62−120960号公報(第3頁) 特許第2928323号公報(第3頁)
そのような公知の環境は、ワイヤ放電加工におけるファーストカットをウォータジェット加工によって置き換えるために用意されたものではなかった。本発明は、ワイヤ放電加工とウォータジェット加工の複合によって導電性材料から成るワークに貫通穴を短縮された加工時間で精密に形成する方法を提供することを目的とする。その他の本発明によって得られる利点は、追って詳細に説明される。
本発明により導電性材料から成るワークを要求寸法の形状へ切断する方法は、
ウォータジェット加工によって上面から底面へ向かって広がる傾斜面を有する貫通穴をワーク中に切断するステップと、
切断片が貫通穴から除去されたことを確認するステップと、
ワイヤ放電加工によって貫通穴を要求寸法へ仕上げるステップを含む。
好ましくは、本発明の方法は切断片を落下させるステップを含む。
さらに、好ましくは、傾斜面の角度はワークの厚さが50mm以上のとき少なくとも5度である。
本発明の方法によれば、ウォータジェット加工によって底面に向かって広がるよう傾斜した切断面が形成されるので、不要な切断片は円滑に人手を介さずに落下する。また、切断片をワークから除去するための追加の装置をウォータジェット加工装置に設ける必要が無い。
導電性材料から成るワークを切断する方法が、図1、2及び3を参照して以下に説明される。
まず、金属又はグラファイトのワーク20が、ウォータジェット加工装置に固定される。ワークを支持する種々の手段がウォータジェット加工装置に使用されてきた。例えば、キャッチャータンクの底面から直立する多数の金属製支持板が知られている。そのような支持板は、互いに平行に又は格子状に配置されている。あるいは、ワークを真空吸着する手段が知られている。図示された実施例では、切断片を収容可能な空間をワーク20の下に確保できる支持手段が使用されている。一対のワークスタンド34が、十分な大きさの空間をおいて互いに平行に配置されている。ワーク20は適当な締付治具(図示しない)によってワークスタンド34に水平に固定される。ワークスタンド34はセラミック製テーブル32の上に直立し、テーブル32は公知のキャッチャータンクの底面に載置されている。水で満たされたキャッチャータンクは、ワーク20を貫通したウォータジェットのエネルギを吸収する。多数のセラミック球36が、一対のワークスタンド34の間でテーブル32の上に設けられている。セラミック球36は、ウォータジェットのエネルギを偏向させテーブル32の損傷を減少させる。
ウォータジェット加工装置は、標準的な切断ヘッド10を備えている。切断ヘッド10は、砥粒としてのガーネットと410MPaの超高圧水が供給される混合室、ノズル12、ハイトセンサ14、A軸モータ及びB軸モータを含んでいる。切断ヘッド10は、水平なX−Y平面内で水平に移動可能であるとともに、垂直なZ軸の方向に移動可能である。ノズル12は下端に1mmの開口を有する。ノズル12に並置されたハイトセンサ14はワーク20の上面の高さを接触によって検出する。検出信号は数値制御装置(図示しない)へ供給される。数値制御装置は、Z軸モータを駆動しノズル12をワーク20の上面から数十mm上方へ位置させる。ノズル12は、さらに、X−Y平面内で移動させられ、切断開始点へ位置させられる。
砥粒を含む超高圧水が、ノズル12によってウォータジェット13を形成し、ワーク20へ向けて噴射させられる。こうして、要求寸法26の貫通穴よりもわずかに小さい貫通穴22を切断するためのファーストカットが始まる。説明を簡単にするため、図2中に示されるように、製品は垂直な切断面を有する要求寸法26の貫通穴をもつこととする。ノズル12は、貫通穴22の切断面24が上面から底面へ向かって広がるよう、A軸モータ又はB軸モータの回転によって傾斜させられる。ノズル12は、プログラム経路にしたがって、設定速度でX−Y平面内で移動させられる。プログラム経路の上に形成される切断溝の幅はおよそ1.5mmである。切断面24の粗さは、ワークの材質や加工条件によるが、25〜35μRzである。貫通穴22の切断が完了すると、不要な切断片28は傾斜面24によって円滑にワーク20から落下する。傾斜面24の角度θは、厚さ50mm以上のワークで少なくとも5度であれば、落下の際に貫通穴22の中で引っ掛かりにくい。
もし、切断片28が貫通穴22の中に引っ掛かったままワーク20が移動させられると、ワーク20やウォータジェット加工装置が損傷を受けるかもしれない。そのような損傷を防止するため、標準的な切断ヘッド10に備わったハイトセンサ14が切断片28の落下を確認する。ハイトセンサ14は貫通穴22の上に位置させられZ軸の方向にワーク20の底面と同じ高さまで降下させられる。もし、ハイトセンサ14が貫通穴22の中に切断片28を検出した場合、ノズル12は貫通穴22のほぼ中心に移動させられる。切断片28を落下させるため、低圧水がノズル12から貫通穴22へ向けて適当な時間だけ噴射させられる。その後、ハイトセンサ14が切断片28の落下を確認するとファーストカットは終了する。場合によっては、ファーストカットは、ウォータジェット加工による追加のステップを含んでも良い。追加のステップでは、切断面24は所望寸法26の貫通穴と同じように垂直に切断される。このような、追加のステップは、ワーク20の厚さが大きい場合や、傾斜面24の角度θが大きい場合に、好ましい。
次に、図3中に示されるように、ワーク20はセカンドカットのためワイヤ放電加工装置に固定される。ワイヤ放電加工装置は、水平なX−Y平面内で移動可能な加工槽を備えている。セラミック製テーブル42が加工槽の底面に載置され、一対のワークスタンド44が互いに平行にテーブル42の上に設けられている。ワーク20は適当な締付治具(図示しない)によってワークスタンド34に水平に固定される。ワイヤ電極40は、自動ワイヤ挿通装置(AWT)によって、貫通穴22を通って上側及び下側ガイドユニット46、48の間に張架される。誘電性液が加工槽の中へ供給され、ワーク20は誘電性液に浸される。
電気エネルギの供給によって、ワーク20の切断面24とワイヤ電極40との間に放電が発生させられる。ワイヤ電極40は、設定速度で、ワーク20に相対的にプログラム経路の上を移動させられる。ワイヤ電極40のプログラム経路は段階的に拡大され、垂直面をもつ要求寸法26の貫通穴が形成される。最後のステップでは、小さな電気エネルギによって、切断面は要求される粗さへ仕上げられる。こうして、セカンドカットは終了する。
ワイヤ放電加工装置では、切断片28の落下は、ワーク20の下に位置する下側ガイドユニット48に損傷を与えるかもしれない。本発明によれば、ワイヤ放電加工に先立って不要な切断片28がワーク20から除去されている。したがって、そのような損傷の恐れが無いと共に、ワイヤ電極40の挿通が容易に行われる。
本発明の方法に使用するウォータジェット加工装置を示す斜視図である。 ウォータジェット加工装置に固定されたワークの断面図である。 ワイヤ放電加工装置に固定されたワークの断面図である。
符号の説明
10 切断ヘッド
12 ノズル
13 ウォータジェット
14 ハイトセンサ
16 A軸モータ
17 B軸モータ
20 ワーク
22 貫通穴
24 切断面
26 要求寸法
28 切断片
32 テーブル
34 ワークスタンド
36 セラミック球
40 ワイヤ電極
42 テーブル
44 ワークスタンド
46 上側ガイドユニット
48 下側ガイドユニット

Claims (11)

  1. ウォータジェット加工によって上面から底面へ向かって広がる傾斜面を有する貫通穴をワーク中に切断するステップと、切断片が貫通穴から除去されたことを確認するステップと、ワイヤ放電加工によって貫通穴を要求寸法へ仕上げるステップを含む、導電性材料から成るワークを要求寸法の形状へ切断する方法。
  2. 傾斜面の角度はワークの厚さが50mm以上のとき少なくとも5度である請求項1に記載の切断方法。
  3. 切断片を落下させるステップを含む請求項1に記載の切断方法。
  4. ウォータジェット加工によって上面から底面へ向かって広がる傾斜面を有する貫通穴をワーク中に切断するステップと、ワイヤ放電加工によって貫通穴の傾斜面を要求寸法の垂直面に形成するステップを含む、導電性材料から成るワークを要求寸法の形状へ切断する方法。
  5. 傾斜面の角度はワークの厚さが50mm以上のとき少なくとも5度である請求項4に記載の切断方法。
  6. 切断片が貫通穴から除去されたことを確認するステップを含む請求項4に記載の切断方法。
  7. 切断片を落下させるステップを含む請求項4に記載の切断方法。
  8. ウォータジェット加工によって上面から底面へ向かって広がる傾斜面を有する貫通穴をワーク中に切断するステップと、ウォータジェット加工によって貫通穴の傾斜面を垂直面に形成するステップと、ワイヤ放電加工によって垂直面を要求寸法に仕上げるステップを含む、導電性材料から成るワークを要求寸法の形状へ切断する方法。
  9. 傾斜面の角度はワークの厚さが50mm以上のとき少なくとも5度である請求項8に記載の切断方法。
  10. 切断片が貫通穴から除去されたことを確認するステップを含む請求項8に記載の切断方法。
  11. 切断片を落下させるステップを含む請求項8に記載の切断方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008260070A (ja) * 2007-04-10 2008-10-30 Sodick Co Ltd ワイヤカット放電加工方法
JP2011516280A (ja) * 2008-03-31 2011-05-26 スネクマ フライス加工仕上げ工程後に除去される一時的なブレード支持リングを有する一体型ブリスクを製造するための改良化された方法
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