JP4629134B2 - Xyステージ装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態のXYステージ装置は、XY方向に移動するステージと、このステージの位置を測長するためのレーザー干渉計とを有している。そして、ステージとレーザー干渉計間の測長光路の少なくとも一部を覆い、測長光路のレーザー干渉計側に設けられ、レーザー干渉計に固定される固定筒と、測長光路の少なくとも一部を覆い、測長光路のステージ側に設けられ、ステージの移動と連動して運動する可動筒とを備える測長光路筒機構を有している。そして、固定筒または可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入されるテレスコピックな構造を備えている。
図2は、本実施の形態のXYステージ装置の上面図である。図2では、本実施の形態のXYステージ装置60のXYステージならびに測長光路筒機構の一部を拡大して示している。なお、XYステージ(Xステージ)16については簡略のためガイドなどの図示を省略している。なお、第1の実施の形態と重複する内容については記載を省略する。
12 ステージ定盤面
14 Yステージ
16 Xステージ
18 ガラスカバー
20 Xエアガイド
22 ワーク部
24 Xレーザー干渉計
26 X反射鏡
28 X測長光路
30 Yレーザー干渉計
32 Y反射鏡
34 Y測長光路
36 X測長光路筒機構
38 Y測長光路筒機構
40 X固定筒
42 X可動筒
44 第1スライダ機構
46 第2スライダ機構
48 Yスライダ部
50 Xスライダ部
52 Xレーザー干渉計カバー
54 Y固定筒
56 Y可動筒
58 Y可動筒保持具
59 Yレーザー干渉計カバー
60 XYステージ装置
62 測長光路筒機構
64a、b 固定治具
66 Yスライダ機構軸
70 Y移動方向
72 Xスライダ部
74 干渉計ベース
76 ミラーユニット
78 光路遮蔽カバー
80 光路遮蔽カバー
82 X移動方向
Claims (3)
- ステージ定盤と、
前記ステージ定盤上に設けられ、前記ステージ定盤に対しY方向に移動するYステージと、
前記Yステージに支持され、前記ステージ定盤に対しXY方向に移動するXステージと、
前記Xステージ上に設けられるワーク部と、
前記ワーク部のX方向の位置を測長するためのX測長光路筒機構と、
前記ワーク部のY方向の位置を測長するためのY測長光路筒機構と、
を備え、
前記X測長光路筒機構は、Xレーザー干渉計と、前記ワーク部と前記Xレーザー干渉計間のX測長光路の少なくとも一部を覆い、前記第X測長光路の前記Xレーザー干渉計側に設けられ、前記Xレーザー干渉計に固定されるX固定筒と、前記X測長光路の少なくとも一部を覆い、前記X測長光路の前記ワーク部側に設けられ、前記Xステージの移動と連動して運動するX可動筒と、前記X可動筒を保持し、前記Y方向の前記Xステージの移動を許容し、前記Xステージに固定される第1スライダ機構と、前記X可動筒を保持し、前記X方向の前記Xステージの移動を許容し、前記ステージ定盤に固定される第2スライダ機構と、を有し、前記X固定筒または前記X可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入され、
前記Y測長光路筒機構は、Yレーザー干渉計と、前記ワーク部と前記Yレーザー干渉計間のY測長光路の少なくとも一部を覆い、前記第Y測長光路の前記Yレーザー干渉計側に設けられ、前記Yレーザー干渉計に固定されるY固定筒と、前記Y測長光路の少なくとも一部を覆い、前記Y測長光路の前記ワーク部側に設けられ、前記Yステージに固定されるY可動筒と、を有し、前記Y固定筒または前記Y可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入されることを特徴とするXYステージ装置。 - 前記一方の端部と前記他方の端部が互いに非接触で挿入されることを特徴とする請求項1記載のXYステージ装置。
- 前記X固定筒と前記X可動筒により前記X測長光路の略全域が覆われ、前記Y固定筒と前記Y可動筒により前記Y長光路の略全域が覆われていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のXYステージ装置。
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---|---|---|---|---|
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US8794610B2 (en) * | 2011-09-20 | 2014-08-05 | Mitutoyo Corporation | Two-dimension precision transfer equipment, three-dimension precision transfer equipment, and coordinate measuring machine |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05283313A (ja) * | 1992-04-01 | 1993-10-29 | Nikon Corp | ステージの位置計測装置 |
JPH0681515A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-22 | Naganori Sato | 制振装置の付加振動装置 |
JP2007183189A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Konica Minolta Opto Inc | 形状測定装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4278352A (en) * | 1979-10-24 | 1981-07-14 | The Boeing Company | Support system for extensible bellows |
US5469260A (en) * | 1992-04-01 | 1995-11-21 | Nikon Corporation | Stage-position measuring apparatus |
JP3508240B2 (ja) * | 1994-09-13 | 2004-03-22 | 株式会社ニコン | レーザー干渉距離測定装置 |
US5552888A (en) * | 1994-12-02 | 1996-09-03 | Nikon Precision, Inc. | Apparatus for measuring position of an X-Y stage |
JP3400393B2 (ja) * | 1999-10-13 | 2003-04-28 | 株式会社ミツトヨ | レーザ干渉装置 |
JP3826042B2 (ja) * | 2002-01-30 | 2006-09-27 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、それを用いた半導体露光装置および位置計測方法 |
-
2008
- 2008-09-25 JP JP2008245090A patent/JP4629134B2/ja active Active
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05283313A (ja) * | 1992-04-01 | 1993-10-29 | Nikon Corp | ステージの位置計測装置 |
JPH0681515A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-22 | Naganori Sato | 制振装置の付加振動装置 |
JP2007183189A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Konica Minolta Opto Inc | 形状測定装置 |
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