JP4615509B2 - コンベア炉 - Google Patents
コンベア炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4615509B2 JP4615509B2 JP2006352294A JP2006352294A JP4615509B2 JP 4615509 B2 JP4615509 B2 JP 4615509B2 JP 2006352294 A JP2006352294 A JP 2006352294A JP 2006352294 A JP2006352294 A JP 2006352294A JP 4615509 B2 JP4615509 B2 JP 4615509B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- belt
- holding wire
- conveyor
- fork
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Belt Conveyors (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
まず、従来のコンベア炉100は、図16に示すような基板検出器111を用いているので、炉内で基板101が位置ずれを起こし、基板101の前後の間隔が狭くなって炉から出てきた場合、基板検出器111の投光経路112が遮断されたままになり、基板検出が不可能になる。
図1は、実施の形態1に係るコンベア炉1を示す斜視図である。図1において、2は基板3を搬送する搬送ベルト、4は搬送ベルト2の両端に設けられ、搬送ベルト2を駆動させる一対のベルト駆動ローラ、5は搬送ベルト2の中央部に設けられ、搬送ベルト2上に載置された基板3を加熱するチャンバー、6は搬送ベルト2の上流端に設けられ、搬送ベルト2に基板3を投入する基板投入器、7は基板投入器6に設けられた一対の基板投入フォーク、8は搬送ベルト2の下流端に設けられ、搬送ベルト2から基板3を取り出す基板取出器(基板取出手段)、9は基板取出器8に設けられた一対の基板取出フォーク(基板取出手段)、10は搬送ベルト2上に設けられ、基板3が直接、搬送ベルト2に接触しないように基板3を保持する基板保持ワイヤ(基板保持手段)である。
次に、実施の形態2に係るコンベア炉を説明する。図6は、実施の形態2のコンベア炉に設けられた基板保持ワイヤ18を示す断面図である。この実施の形態2が図5に示す実施の形態1と異なるのは、基板保持ワイヤ10の代わりに、基板保持ワイヤ18を備えている点である。その他の構成については実施の形態1と同一又は同等である。なお、実施の形態1と同一又は同等な構成部分については同一符号を付し、その説明は省略する。
次に、実施の形態3に係るコンベア炉を説明する。図7は、実施の形態3のコンベア炉に設けられた基板保持ワイヤ19を示す断面図である。この実施の形態3が図5に示す実施の形態1と異なるのは、基板保持ワイヤ10の代わりに、基板保持ワイヤ19を備えている点である。その他の構成については実施の形態1と同一又は同等である。なお、実施の形態1と同一又は同等な構成部分については同一符号を付し、その説明は省略する。
次に、実施の形態4に係るコンベア炉を説明する。図8は、実施の形態4のコンベア炉に設けられたベルヌーチャック(基板吸引手段)20を示す断面図である。この実施の形態4が図1に示す実施の形態1と異なるのは、基板投入フォーク7と基板取出フォーク9との少なくとも一方の代わりに、ベルヌーチャック20を備えている点である。その他の構成については実施の形態1と同一又は同等である。なお、実施の形態1と同一又は同等な構成部分については同一符号を付し、その説明は省略する。
次に、実施の形態5に係るコンベア炉を説明する。図9は、実施の形態5のコンベア炉に設けられた端部挟持器(端部挟持手段)23を示す断面図である。この実施の形態5が図5に示す実施の形態1と異なるのは、基板保持ワイヤ10の代わりに、端部挟持器23を備えている点である。その他の構成については実施の形態1と同一又は同等である。なお、実施の形態1と同一又は同等な構成部分については同一符号を付し、その説明は省略する。
次に、実施の形態6に係るコンベア炉を説明する。図10及び図11は、実施の形態6のコンベア炉に設けられた基板検出器(基板検出手段)28を示す図である。この実施の形態6が図1に示す実施の形態1と異なるのは、搬送ベルト2の搬送路上に基板検出器28を備えている点である。その他の構成については実施の形態1と同一又は同等である。なお、実施の形態1と同一又は同等な構成部分については同一符号を付し、その説明は省略する。
図17に示した一体型基板取り出しフォーク114は、リフトアップ前に基板101を吸着してそのまま待機しているので、基板101が基板保持ワイヤ110と衝突して基板101が破損したり、位置ずれを起こしたりしていた。図1に示した実施の形態1では、基板取り出しフォーク9を独立して駆動させているので、リフトアップ前に基板3を吸着してそのまま待機させる必要がなく、上述の問題は発生しない。
本発明に係るコンベア炉は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。即ち、基板整列手段では、複数の整列ピンを用いて段階的に基板を整列させている。その結果、各整列ピンが基板に与える衝撃が緩和され、基板の割れや欠けが抑制される。
2 搬送ベルト
3 基板
5 チャンバー
8 基板取出器(基板取出手段)
9 基板取出フォーク(基板取出手段)
10,18,19 基板保持ワイヤ(基板保持手段)
11 収容カセット(基板収容ケース)
13 基板収容フォーク
15 基板整列器(基板整列手段)
15a〜15c 整列ピン
20 ベルヌーチャック(基板吸引手段)
21 エアー吹き出し口
22 基板保持ワイヤ(基板保持部)
23 端部挟持器(端部挟持手段)
28 基板検出器(基板検出手段)
29 投光部
30 受光部
Claims (1)
- 基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉において、
前記基板を搬送する搬送ベルトと、
前記搬送ベルトの搬送路上に設けられ、前記搬送ベルト上の前記基板を加熱するチャンバーと、
前記搬送ベルトの下方に設けられ搬送方向斜め上方に向けて検出光を投光する投光部、及び前記搬送ベルトの上方に設けられ前記検出光を受光する受光部を含み、前記搬送ベルト上の前記基板を検出する基板検出手段と、
前記搬送ベルトの下流端に設けられ、前記搬送ベルト上の前記基板をリフトアップして取り出す基板取出フォークを含む基板取出手段とを備え、
前記基板検出手段は、前記搬送ベルト上で先行する基板を前記基板取出フォークがリフトアップしたとき、先行する基板と後続する基板との間に形成された隙間に検出光を通すように、前記投光部から投光される検出光の光軸を傾斜させる
ことを特徴とするコンベア炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006352294A JP4615509B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | コンベア炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006352294A JP4615509B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | コンベア炉 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31189399A Division JP2001133160A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | コンベア炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007155327A JP2007155327A (ja) | 2007-06-21 |
JP4615509B2 true JP4615509B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=38239922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006352294A Expired - Fee Related JP4615509B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | コンベア炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4615509B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS533909A (en) * | 1976-07-01 | 1978-01-14 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Steel plate detector |
-
2006
- 2006-12-27 JP JP2006352294A patent/JP4615509B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS533909A (en) * | 1976-07-01 | 1978-01-14 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Steel plate detector |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007155327A (ja) | 2007-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4997292B2 (ja) | 一方の面にドーピングされるウエハ、特にソーラウエハのスタックの形成方法、及びプロセスボートに複数のウエハバッチを積み込むハンドリングシステム | |
JP2001133160A (ja) | コンベア炉 | |
US9130011B2 (en) | Apparatus for mounting semiconductor device | |
US20070294883A1 (en) | Apparatus for the processing of photovoltaic cells | |
TWI668786B (zh) | 基板搬送裝置及基板搬送方法 | |
KR20130077794A (ko) | 태양전지용 탭리드의 솔더링 장치 | |
JP5293708B2 (ja) | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 | |
JP2007158103A (ja) | チップ突き上げ装置 | |
JP2003218187A (ja) | ガラス基板移載装置 | |
JP4615509B2 (ja) | コンベア炉 | |
JP2007238291A (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP4827573B2 (ja) | 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。 | |
TWI423354B (zh) | 導電球安裝裝置 | |
JP2009091075A (ja) | 基板移載方法及び基板移載装置 | |
JP2004121990A (ja) | ワーク搬送収納装置及びワーク搬送収納方法 | |
CN114308701B (zh) | 一种pcb薄板的检修***及其检修方法 | |
KR101669992B1 (ko) | 기판의 양면 검사장치 | |
JP4976811B2 (ja) | 基板処理システム、基板搬送装置、基板搬送方法、および記録媒体 | |
JP5206927B2 (ja) | 電子部品のピックアップ方法と装置 | |
JP7406306B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2585146Y2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP3013848B1 (ja) | 大型基板デバイス搬送用のハンドリングユニット | |
KR101915572B1 (ko) | 피시비용 분리코어 박리장치 | |
JP5436949B2 (ja) | アダプタユニット内蔵型ローダ室 | |
JP2001267794A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101019 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101020 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131029 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |