JP4608238B2 - アライメントステージ装置 - Google Patents
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Description
前記ベッドは,前記内輪の内径側に形成したハウジングフランジ部に前記内輪を所定の位置に配設して前記ベッドに形成された固定用孔に固定ねじを通して当該固定ねじを前記内輪に形成された固定ねじ孔に螺入することによって前記内輪を前記ベッドの前記上面に直接にねじ固定して成り,
前記内輪に前記ローラを介して回転支持される前記外輪は,前記ベッドの前記上面に対向して形成された前記ターンテーブルのハウジング面と前記ターンテーブルの前記円周溝との境界部に形成されたハウジングフランジ部に前記外輪の外径が接して配置されて前記ターンテーブルの前記ハウジング面に形成された固定用孔に固定ねじを通して当該固定ねじを前記外輪に形成された固定ねじ孔に螺入することによって前記ターンテーブルの前記ハウジング面に直接にねじ固定されて成り,
前記ベッドの前記円周溝は前記軸受の円周外側にあって当該円周溝の内周面が前記外輪の前記外径の位置から形成されて成り,
前記電機子コイル及び前記マグネットは,前記ターンテーブルの回転中心に収束する形状の台形に形成されて成ることを特徴とするアライメントステージ装置に関する。
2 ベッド
3 軸受
4 界磁マグネット
4M マグネット
5 電機子コイル
10 電機子組立体
12 外輪
13 内輪
14,15 円周溝
19,20 ハウジングフランジ部
22,23 固定ねじ
24 永久磁石式モータ
31 ローラ(転動体)
32,33 ハウジング面
34,35 固定用孔
42,43 固定ねじ孔
O 回転中心
Claims (1)
- 固定側でなるベッド,前記ベッドに軸受を介して回転支持されたターンテーブル,及び前記ベッドに対して前記ターンテーブルを相対回転駆動するモータを有し,前記モータの一次側でなる電機子コイルは扁平で環状に巻回された三相のコアレスコイルからなり且つ前記ベッドの上面に形成された円環状の凹部でなる円周溝の円形平面に周方向に沿ってそれぞれ配設され,前記モータの二次側でなる界磁マグネットを構成する多数のマグネットは板状に形成され且つ前記ターンテーブルの下面に前記電機子コイルに対向して形成された円環状の凹部でなる円周溝の円形平面に磁極を交互に異にして周方向に沿ってそれぞれ配設され,前記ベッド及び前記ターンテーブルは,磁性材料で構成されて,前記ベッドがコイルヨークとして且つ前記ターンテーブルがマグネットヨークとして前記モータの磁気回路部分に構成され,前記軸受は,内輪,該内輪の外周側に位置する外輪,及び前記内輪と前記外輪との間で軸心を交互に直交して交差状に配設された転動体でなるローラから成るクロスローラ軸受で構成されていることから成るアライメントステージ装置において, 前記ベッドは,前記内輪の内径側に形成したハウジングフランジ部に前記内輪を所定の位置に配設して前記ベッドに形成された固定用孔に固定ねじを通して当該固定ねじを前記内輪に形成された固定ねじ孔に螺入することによって前記内輪を前記ベッドの前記上面に直接にねじ固定して成り,
前記内輪に前記ローラを介して回転支持される前記外輪は,前記ベッドの前記上面に対向して形成された前記ターンテーブルのハウジング面と前記ターンテーブルの前記円周溝との境界部に形成されたハウジングフランジ部に前記外輪の外径が接して配置されて前記ターンテーブルの前記ハウジング面に形成された固定用孔に固定ねじを通して当該固定ねじを前記外輪に形成された固定ねじ孔に螺入することによって前記ターンテーブルの前記ハウジング面に直接にねじ固定されて成り,
前記ベッドの前記円周溝は前記軸受の円周外側にあって当該円周溝の内周面が前記外輪の前記外径の位置から形成されて成り,
前記電機子コイル及び前記マグネットは,前記ターンテーブルの回転中心に収束する形状の台形に形成されて成ることを特徴とするアライメントステージ装置。
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