JP4604012B2 - インプリントリソグラフィ - Google Patents
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Description
Claims (11)
- 基板を保持するように配置された第1の基板テーブルと、
基板を保持するように配置された第2の基板テーブルと、
インプリントテンプレートを保持するように配置されたインプリントテンプレートホルダと、
インプリント可能媒体ディスペンサと、を備え、
前記第1の基板テーブルは、前記インプリント可能媒体ディスペンサの位置である第1の位置と、前記インプリントテンプレートホルダの位置である第2の位置との間で移動可能であり、
前記第2の基板テーブルは、前記第1及び第2の基板テーブルが位置を交換するように前記第1の位置と第2の位置との間で移動可能である、インプリントリソグラフィ装置。 - 前記インプリント可能媒体ディスペンサにまたはそれに隣接して位置する第1のアライメントシステムと、前記インプリントテンプレートホルダにまたはそれに隣接して位置する第2のアライメントシステムとをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のアライメントシステムは、前記第1の基板テーブルの上の1つまたは複数のアライメントマークに対して、前記第1の基板の上の1つまたは複数のアライメントマークの位置を測定するように配置される、請求項2に記載の装置。
- 前記第2のアライメントシステムは、前記第2の基板の1つまたは複数のターゲット部分が、前記インプリントテンプレートホルダによって保持されたときに前記インプリントテンプレートと位置合わせされ得るように、前記第2の基板テーブルの上の1つまたは複数のアライメントマークの位置を測定するように配置される、請求項2に記載の装置。
- 前記基板テーブルの位置をモニターするように配置された1組の干渉計をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- どちらの基板テーブルの位置が前記インプリント可能媒体ディスペンサの箇所にあるかまたはそれに隣接しているかをモニターするように配置された第1の組の干渉計と、どちらの基板テーブルの位置が前記インプリントテンプレートホルダの箇所にあるかまたはそれに隣接しているかをモニターするように配置された第2の組の干渉計とを備える、請求項5に記載の装置。
- 前記基板テーブルは、前記インプリントテンプレートホルダの移動軸に対して実質的に垂直な平面内に共に位置する2つの方向へ移動可能である、請求項1に記載の装置。
- 前記基板テーブルはそれぞれがガス足部によって支持される、請求項1に記載の装置。
- 前記インプリント可能媒体ディスペンサは、インクジェットノズル、またはインクジェットノズルの配列を備える、請求項1に記載の装置。
- 基板を保持するように配置された第1の基板テーブルと、
基板を保持するように配置された第2の基板テーブルと、
インプリントテンプレートと、
インプリント可能媒体を提供するように構成されたディスペンサと、を備え、
前記第1の基板テーブルは、前記ディスペンサの位置である第1の位置と、前記インプリントテンプレートの位置である第2の位置との間で移動可能であり、
前記第2の基板テーブルは、前記第1及び第2の基板テーブルが位置を交換するように前記第1の位置と第2の位置との間で移動可能である、インプリントリソグラフィ装置。 - 第1の基板を保持する第1の基板テーブルを、インプリント可能媒体ディスペンサが位置する第1の位置に移動させる工程と、
前記第1の基板を、前記第1の位置にある前記第1の基板テーブルに位置合わせする工程と、
前記インプリント可能媒体ディスペンサを使用してインプリント可能媒体層を前記第1の基板の上に前記第1の位置で提供する工程と、
前記第1の基板を、1つ又は複数のテンプレートが位置する第2の位置に移動させる工程と、
第2の基板を保持する第2の基板テーブルを前記第1の位置に移動させる工程と、
前記第2の位置で、前記1つ又は複数のテンプレートを前記インプリント可能媒体層中にプレスする工程と、
前記1つ又は複数のテンプレートを前記インプリント可能媒体層中にプレスする工程の少なくとも一部の間に、前記第2の基板を前記第2の基板テーブルに位置合わせする工程と、を含み、
前記第1及び第2の基板テーブルが位置を交換するように前記第1の位置と第2の位置との間で移動可能である、インプリントリソグラフィ方法。
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