JP4602692B2 - 面発光レーザ及び光伝送システム - Google Patents
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Description
B.Tell et al.,Appl. Phys. Lett., 57(1990)1855 K.D.Choquette et al.IEEE Photonics Techology Letters. 7(1995)1237
本発明の第1の形態は、半導体基板上に、下部半導体多層膜反射鏡(下部半導体DBR)、下部スペーサ層、活性層、上部スペーサ層、第1の上部半導体多層膜反射鏡(第1の上部半導体DBR)、第2の上部多層膜反射鏡(第2の上部DBR)が順次に設けられ、前記第1の上部半導体多層膜反射鏡の少なくとも一部の層には、複数の高抵抗領域形成用孔が設けられ、複数の高抵抗領域形成用孔から酸化を施して高抵抗領域形成用孔の周辺に高抵抗領域を形成することで、導電性領域と前記高抵抗領域形成用孔の周辺に形成された高抵抗領域とからなる電流狭窄層が形成されていることを特徴とする面発光レーザ(VCSEL)である。
本発明の第2の形態は、上述した本発明の面発光レーザが発光デバイスとして用いられていることを特徴とする光伝送システムである。
Claims (5)
- 半導体基板上に、下部半導体多層膜反射鏡(下部半導体DBR)、下部スペーサ層、活性層、上部スペーサ層、第1の上部半導体多層膜反射鏡(第1の上部半導体DBR)、第2の上部多層膜反射鏡(第2の上部DBR)が順次に設けられ、前記第1の上部半導体多層膜反射鏡の少なくとも一部の層には、複数の高抵抗領域形成用孔が設けられ、複数の高抵抗領域形成用孔から酸化を施して高抵抗領域形成用孔の周辺に高抵抗領域を形成することで、導電性領域と前記高抵抗領域形成用孔の周辺に形成された高抵抗領域とからなる電流狭窄層が形成されており、前記第2の上部多層膜反射鏡(第2の上部DBR)の少なくとも一部は、誘電体多層膜からなっていることを特徴とする面発光レーザ。
- 請求項1記載の面発光レーザにおいて、前記電流狭窄層の導電性領域は、Al(Ga)As層からなり、前記高抵抗領域は、前記Al(Ga)As層が前記高抵抗領域形成用孔を通して供給された酸化種により酸化された層からなっていることを特徴とする面発光レーザ。
- 請求項1または請求項2記載の面発光レーザにおいて、前記高抵抗領域形成用孔は、少なくとも内面が、素子構成膜よりも低い屈折率の材料で被覆または充填されていることを特徴とする面発光レーザ。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の面発光レーザにおいて、活性層は、GaInNAs系材料を含んでいることを特徴とする面発光レーザ。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の面発光レーザが発光デバイスとして用いられることを特徴とする光伝送システム。
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