JP4594772B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明が適用される検査装置の概略構成を示す図である。なお、図1に示す検査装置は、光学機器(検査用顕微鏡)に適用されるものである。
図1に係る検査装置は、検査用顕微鏡1と、演算処理装置2とを備えている。
検査用顕微鏡1は、落射照明用投光管11によって、対物レンズ12を介して観察用の半導体ウェハ3(以下、単に「ウェハ」と称する)を照射する。その反射光は接眼レンズ16で観察され、また、CCD等の撮像素子17によって撮像される。撮像素子17で撮像された画像信号は演算処理装置2に出力される。演算処理装置2は、撮像素子17で撮像された画像を演算処理し、その演算結果に基づいて輝度設定などを実行する。
落射照明用透光管11の光源111からの照射光は、結像レンズ112及びNDフィルタ113を介して光路分割素子である偏光ビームスプリッタ13で対物レンズ12の方向に反射されて、対物レンズ12を介してウェハ3に到達する。
図2は、検査装置の欠陥判断処理における輝度調節処理のフローチャートである。本実施の形態においては、欠陥判断処理における輝度調節処理では、基本的に次のような処理を実行する。まず、欠陥のない参照パターン画像から注目部分の画像を取り込み、当該各注目部分の画像にかかる輝度調節値を算出して、各注目部分の画像に対応する輝度調節値を記憶する。次に、検査画像を取り込み、検査画像の注目部分に対応する参照パターン画像の注目部分を検索して、当該参照パターン画像の注目部分の輝度調節値に基づいて検査画像の輝度を補正する。そして、補正した検査画像と参照パターン画像とを比較することによって欠陥判断を行う。具体的には、以下の通りである。
なお、一旦輝度調節値が輝度調節記憶部25に記憶されれば(ステップA3)、その後の検査装置の欠陥判断処理フローでは、輝度調節値を輝度調節記憶部25に記憶されているかどうかの判断を行い、記憶されていれば、ステップA4から始めることとしても良い。
最大値がT_MIN以下であれば、図6(a)に示すように、画像が暗過ぎるとみられるので、明るくなるようにNDフィルタ113の電圧制御値を制御(調節)する。
また、最大値がT_MAX以上で且つT_MAX以上の輝度の累積頻度がH_MAX以上であれば、図6(b)に示すように、画像が明る過ぎるとみられるので、暗くするようにNDフィルタ113の電圧制御値を制御(調節)する。
そして、NDフィルタ113の電圧制御値を調節した後に、同じ注目部分の画像取得を再度行うようにする。
Claims (7)
- 第1の画像の画像情報を用いて前記第1の画像の輝度を所望の値に調節するための輝度調節値を算出する手段と、
算出された前記輝度調節値を記憶する記憶手段と、
第1の画像と異なる第2の画像に対応する画像情報を有する第1の画像を探索する手段と、
検索された第1の画像に対応する輝度調節値を前記記憶手段から読み出す手段と、
前記記憶手段から読み出された輝度調節値により前記第2の画像の輝度を調節する手段とを具備することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、第1の画像と輝度調節された第2の画像とを用いて検査を行う手段を更に具備することを特徴とする検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、前記輝度調節値の算出に用いられる画像情報は、第1の画像の周辺部の画像情報であることを特徴とする検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、前記輝度調節値を算出する手段は、前記第1の画像の画像情報の輝度を求め、前記輝度を用いたヒストグラムに基づく統計情報を用いて輝度調節値を決定することを特徴とする検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、前記輝度調節値は、画像の階調を変換する特性を表す値、又は画像の明るさを決めるための手段を調節する制御特性を表す値の少なくとも一方の値であることを特徴とする検査装置。
- 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査装置において、前記第2の画像の輝度を調整する手段による輝度調節値は、前記第1の画像の輝度調節値と同一であることを特徴とする検査装置。
- 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の検査装置において、前記第1の画像は、位置合わせ用のマークに隣接した画像であることを特徴とする検査装置。
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