JP4594193B2 - イオンミリング装置 - Google Patents
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Description
これらのことから、異なる電顕用試料ごとに最適な異なる照射条件の掘削を行い、イオンビームの照射時間の短縮を計ると共に、オペレータの負担を軽減するイオンミリング装置をいかに実現するかが重要となる。
また、請求項3に記載の発明にかかるイオンミリング装置は、請求項2に記載の発明において、前記イオン通過量情報が、前記検流計で計測されるイオン電流情報であることを特徴とする。
また、請求項4に記載の発明にかかるイオンミリング装置は、請求項1記載の発明において、前記掘削制御手段は、前記掘削の深さの変化の情報に基づいて、前記制御を行うことを特徴とする。
また、請求項5に記載の発明にかかるイオンミリング装置は、請求項1乃至4の何れか1項に記載の発明において、前記掘削制御手段は、前記制御を行う際の、前記照射物質の供給量および前記電圧の情報を保存する記憶部を備えることを特徴とする。
請求項4に記載の発明によれば、掘削制御手段は、変化の情報に基づいて、制御を行うこととしているので、掘削の変化をオペレータの目的とする大きさにすることができる。
まず、本実施の形態にかかるイオンミリング装置1の全体構成について図1を用いて説明する。図1は、イオンミリング装置1の全体構成を示す図である。なお、イオンミリング装置1の主たる構成要素である筐体9の部分には、筐体9の断面図が示されている。
試料5は、固定具23に固定される。また、固定具23は、電極板15上に固定されており、この電極板15は、試料5を挟んでイオンビーム8が入射する側と反対の側面に位置される。なお、試料5および電極板15の間には、これらを電気的に絶縁するための図示しない絶縁板が配設されるが、この絶縁板については後述する。
その後、掘削制御手段10は、ステップS504に移行し、イオン電流の大きさを所定時間間隔Δtを置いて2度計測し、イオン電流の変化ΔIを計測する。
また、本実施の形態では、通過イオン検出手段として、電極板15および検流計14を用いることとしたが、電極板15のかわりにファラデーカップ等を用いることもできる。
2 試料移動台
3 真空ポンプ
4 イオン発生手段
5 試料
6 絞り
7 遮断部
8 イオンビーム
9 筐体
10 掘削制御手段
11 制御弁
12 ガスボンベ
13 可変電圧源
14 検流計
15 電極板
16 絶縁板
21 回転軸
22 遮断部材
23 固定具
24 昇降テーブル
26 ナットブロック
27 ガイド
28 スクリュウシャフト
29 ギアボックス
30 回転テーブル
31 掘削部
Claims (5)
- 気体状の照射物質をイオン化し、前記イオン化された照射物質からなるイオンを試料に照射し、前記試料の掘削を行うイオンミリング装置であって、
前記イオン化の際に、前記照射物質の供給量を増減させる供給量調整手段と、
前記照射の際に、前記イオンを加速する電圧を可変にする可変電圧発生手段と、
前記試料を通過するイオンの通過量を計測する通過イオン計測手段と、
前記イオン通過量情報に基づいて、前記供給量調整手段および前記可変電圧発生手段の少なくとも1つを制御する掘削制御手段と、
を備えるイオンミリング装置において、
前記掘削制御手段は、異なる時間に計測される前記イオンの通過量の変化から、前記異なる時間の間に生じる前記掘削の変化を推定する推定手段を備え、
前記掘削の変化は、前記掘削の深さの変化であることを特徴とするイオンミリング装置。 - 前記通過イオン計測手段は、前記試料の前記イオンが照射されない側に配設される電極板および前記電極板に流れる電流を検出する検流計を備えることを特徴とする請求項1記載のイオンミリング装置。
- 前記イオン通過量情報は、前記検流計で計測されるイオン電流情報であることを特徴とする請求項2記載のイオンミリング装置。
- 前記掘削制御手段は、前記掘削の深さの変化の情報に基づいて、前記制御を行うことを特徴とする請求項1記載のイオンミリング装置。
- 前記掘削制御手段は、前記制御を行う際の、前記照射物質の供給量および前記電圧の情報を保存する記憶部を備えることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のイオンミリング装置。
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