JP4587314B2 - プラズマ励起装置およびプラズマコーティングシステム - Google Patents
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HUETTINGER Elektronik GmbH+Co.KG編 "Operating Instructions RF Generators TIG/BIG"
Claims (7)
- 電源端子(3)に接続可能な複数のDC給電部と、該複数のDC給電部に接続され出力側にAC電圧を形成する少なくとも1つの中間周波数ユニット(4,8)と、開制御または閉ループ制御ユニット(11)とを有しており、ここで中間周波数とは20〜500kHzの周波数領域であり、
前記中間周波数ユニットの出力側はコーティングチャンバ(7)の複数の電極(5,6,9,10)へ接続され、
前記開制御または閉ループ制御ユニットは、前記複数のDC給電部の出力量および前記少なくとも1つの中間周波数ユニットの出力量を開制御または閉ループ制御するために前記複数のDC給電部および前記少なくとも1つの中間周波数ユニットに接続され、前記少なくとも1つの中間周波数ユニットの出力量を記述するパラメータを受け取るための少なくとも1つの入力インタフェース(11c,11d)と、前記少なくとも1つの中間周波数ユニット(4,8)へ制御入力を供給するための少なくとも1つの制御出力インタフェース(11e,11f)とを有している、
プラズマプロセスへの電力供給用のプラズマ励起装置(1)において、
第1の中間回路電圧を形成するために前記複数のDC給電部が並列に前記電源端子(3)に接続可能に設けられている
ことを特徴とするプラズマ励起装置。 - 各中間周波数ユニット(4,8)は出力側の発振回路(23)に給電するために1つのインバータ(22)を有しており、該インバータ(22)に前記複数のDC給電部(2,2’)が接続されている、請求項1記載の装置。
- 各DC給電部にその出力側の電流、電圧または電力を測定する測定装置が配属されており、該測定装置は前記開制御または閉ループ制御ユニット(11)の入力インタフェースに接続されている、請求項1または2記載の装置。
- 第2の中間回路電圧を形成するためにさらに別の複数のDC給電部(2",2’")が並列に前記電源端子(3)に接続可能に設けられている、請求項1記載の装置。
- 各中間周波数ユニット(4,8)は出力側の発振回路(23)に給電するために第1のインバータ(22)と第2のインバータ(30)とを有しており、該第1のインバータ(22)は前記複数のDC給電部のうち第1のグループ(2,2’)に接続されており、該第2のインバータは前記複数のDC給電部のうち第2のグループ(2",2"’)に接続されており、該第1のインバータの出力側と該第2のインバータの出力側とはまとめられている、請求項4記載の装置。
- 各DC給電部(2,2’,2",2"’)は前記開制御または閉ループ制御ユニット(11)の収容部を有する、請求項5記載の装置。
- 請求項1から6までのいずれか1項記載のプラズマ励起装置(1)と少なくとも2つの電極(5,6,9,10)を備えたコーティングチャンバ(7)とを有しており、各電極はプラズマ励起装置および少なくとも1つのターゲットに接続されている、
フラットパネルディスプレイをコーティングする大面積処理用のプラズマコーティングシステムにおいて、
コーティングチャンバ(7)は面積1m2以上の基板を載置するのに適した1つまたは複数の基板支承部または基板収容部を有しており、
プラズマ励起装置の1つまたは複数の出力端子に周波数領域20〜500kHzのAC電圧を形成可能であり、
コーティングチャンバ(7)内でほぼ均一な2次元のプラズマが形成される
ことを特徴とするプラズマコーティングシステム。
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