JP4586260B2 - ディスクリート・トラック方式の磁気記憶媒体の表面欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディスクリート・トラック方式の磁気ディスクの表面欠陥検査において、磁気ディスクの偏心の影響を受けることなく検査を可能にする検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の磁気ディスクの検査工程は、大略、
(1)バーニッシュ工程で磁気ディスクの表面の突起が削られ平坦にされる。
(2)表面欠陥検査工程で表面に所定の基準以上の欠陥がある磁気ディスクを取り除く。
(3)グライドテスト工程で、磁気ディスク表面の突起の数が検査され、突起の数が所定数以上あればそのディスクは取り除かれ、合格となったディスクは、サーテイフアイ工程で記録性能が検査される。
という工程で検査が行われる。
【0003】
上述の(2)の表面欠陥検査工程においては、一般に、レーザ光を媒体表面に照射し、反射した戻り光の位相のずれを高さ情報として得てこれを表面形状の指標とする光学的表面欠陥検査装置や、光量変化を面の傾き情報として表面形状を判断する光学的表面欠陥検査装置などが用いられている。
【0004】
図8に代表的な光学的表面欠陥検査装置の例を示す。この装置では、適当な投光器からスプリッタ91と対物レンズ92を通してレーザ光の光スポット93を磁気記憶媒体90の表面に照射して、その戻り光をスプリッタ91および結像レンズ94を通してセンサ95で受け、処理部100の高さ検出部96で測定領域(0.3〜2μm角程度)の高さ情報を得る。
【0005】
得られた高さ情報を予め設定された高さ・深さの閥値と比較器97、98で比較し、高さ情報>上限閥値または高さ情報<下限閾値であれば検出器99にて欠陥ありと判断する。
【0006】
図9は別タイプの光学的表面欠陥検査装置の例を示す。ここでは、スループットを上げるために、適当な投光器からライン集光レンズ101、スリット102、スプリッタ103および対物レンズ104を用いて磁気記憶媒体100の測定領域上に半径方向に長い光スポツト105を当てる。
【0007】
さらに、分解能を上げるために、スプリッタ103、結像レンズ106を通る戻り光は多数のセンサからなる1〜nセンサ107に集光され、各センサの出力から処理部109の高さ検出部108にて高さ情報を測定する。
【0008】
処理部109における高さ情報の信号処理は図8の処理部におけるそれをn倍したものに他ならないので、詳述は省略する。
【0009】
図9の方式の特徴は、円周方向の分解能を得るために、円周方向に幅狭で半径方向に細長い形状の光スポツトを用いることにある。
【0010】
ところで、近年の記録密度の向上に伴う著しいトラック密度の上昇は、再生信号のS/N比低下という問題を引き起こしている。これは、データ書き込み時に、ヘッドキャップの側面から生じる漏れ磁界によって、トラックとトラックとの間の領域に余計な記録(サイド・フリンジング)をしてしまい、これが雑音の原因となることに依る。
【0011】
トラック密度の上昇に伴うサイド・フリンジングによる雑音の増加を防止するために、近年、磁気記憶媒体の記録トラックの間に溝を設けたいわゆるディスクリート・トラック方式の磁気記憶媒体が採用されるようになっている。
【0012】
上述のようなディスクリート・トラック方式の磁気ディスクに対する光学式表面欠陥検査において、図8や図9に示す装置をそのまま用いたのでは、センサによる測定領域がディスクの偏心の影響などで溝部を横切った際に、溝とトラックの凸凹を検出してしまい、それがノイズとなるため正確な欠陥検出が困難であるという問題がある。
【0013】
これを図8に示す装置に関して図10にて説明すると、同図(A)に示すようにトラック111と溝112とが交互に配置されてなる磁気ディスクのある矩形視野110において、本来であれば測定領域Aのごとくトラック111の上を走行すべき測定スポットが、磁気ディスクの偏心などが原因で測定領域Bに移行してしまうことがある。この場合には測定領域から得られる高さ情報は同図(B)に示すように波打つことになり、欠陥ありとの誤判断を引き起こす可能性がある。
【0014】
図9に示す装置に関しても、個々のセンサの測定領域が溝を横切る際に同様な現象が発生するため、同様に欠陥検出が困難である。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の課題は、ディスクリート・トラック方式の磁気記憶媒体の表面欠陥検査において、偏心が生じた際にもトラック間に設けられた溝に影響されることなく、表面欠陥の検出を可能とすることにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
図8のような光学式表面欠陥検査装置において、図5に示すように測定領域Aの半径方向の長さがトラックピッチに比べて十分に長くなるような関係に光スポット63の長さを選ぶと、走査中、測定領域内には常に複数のトラック61と溝62が存在し、溝とトラックの平均の高さ情報が検出される。
【0017】
複数の溝とトラックの部分の高さ情報が平均化されることで、偏心などにより測定領域が溝を横切るときの高さ情報の変動を低減できる。
【0018】
測定領域に対してある程度以上の大きさを持つ欠陥箇所では、測定領域のほぼ全体が欠陥の影響をうけるので、得られる高さ情報は欠陥の無い箇所に比べて大きく違っている。
【0019】
これを図6の参照の下で説明する。図6は欠陥の無い個所(左上)と欠陥のある個所(右下)を測定した場合の高さ情報の相違を、図の上部に平面図、下部に断面図の形式で略示したもので、光スポットが当たった場合、欠陥の無い表面(測定領域▲1▼)では測定領域内のトラック71と溝72との高さ情報が平均化され、図中点線Aの高さ情報が得られる。測定領域を半径方向に長く取ることにより、測定領域が溝を横切るときの高さ情報の変動は小さい。
【0020】
欠陥箇所(測定領域▲2▼)で得られる欠陥箇所の高さ情報Bは正常面の高さ情報Aに比べて低く、この差により欠陥の有無が検出できる。
【0021】
上述の表面検査においては、測定領域を半径方向に長く取ればよく、円周方向の幅は分解能を得るため通常通り狭くてかまわない。
【0022】
また、図9に示す表面欠陥検査装置において、1〜nの全センサが一体となってカバーする測定領域をみれば、ディスクリート・トラック方式媒体のトラックピッチより半径方向に長く取っていることになる。
【0023】
これは図7を参照すれば明らかである。図9の例では1〜nセンサ107の個々のセンサは1トラック分の信号を受けるに過ぎないが、図7の例では▲1▼〜nのセンサ全体で複数個(必ずしもn個でなくともよい)のトラック分の信号を受けることになるので、結局トラックピッチより半径方向に長い測定領域を採用しているといえるわけである。
【0024】
そして、トラックn個分の高さ情報の平均をとりその領域の高さ情報とみなすことで、媒体表面に設けられた溝の影響を低減することができる。トラックn個分に対してある程度以上の大きさを持つ欠陥箇所では、センサの大部分が欠陥の影響を受け、得られる高さ情報は欠陥の無い箇所に比べて大きく違ってくるので、この差により欠陥として検出できる。
【0025】
上記したトラック1〜nの平均化は、例えば、1〜5、6〜10、・・・、(n-4)〜n、というように、半径方向の検出分解能をあげるために分割して平均化してもかまわない。ただし、この場合は、分割された各領域下には複数のトラックと溝の存在が必要である。
【0026】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施例を示すもので、図8に示す装置の改良版であり、半径方向の測定領域をトラックピッチより十分長く取ることで、ディスクリート・トラック方式の磁気ディスクの表面欠陥検査を可能とする装置の例である。
【0027】
適切な投光器より射出されたレーザ光は、ライン集光レンズ1、スリット板2により、ライン状の光となり射出される。射出された光はスプリッタ3に入射し、スプリッタ3で分けられた光の一方は対物レンズ4を通して媒体10の表面に光スポット5として照射される。
【0028】
照射された光は媒体表面で反射され、その反射光は対物レンズ4、スプリッタ3、結像レンズ6を通ってセンサ7に入射する。そして、反射光のドップラー効果による周波数シフトから高さ方向の変化速度を高さ検出器8にて検出し、高さ情報を得る。
【0029】
光スポット内部にはトラック、溝など高さの異なる部分が含まれるが、個々の点からそれぞれの変化速度に応じたドップラーシフト周波数成分の光が反射し、それらのスペクトルの総和をとると、光スポット領域内全体の平均化された高さが検出される。
【0030】
測定領域下には複数のトラックと溝が存在するので、図3に示すように偏心により測定領域がAからBのように移動しその際に溝を横切ったとしても、平均化の効果のため得られる高さ情報の変動は小さい。
【0031】
また、図4のような測定領域に対して大きな欠陥D(図ではへこんでいる欠陥の例を示す)がある場合、欠陥箇所で得られる高さ情報は欠陥の影響を受け、欠陥の無い箇所とは異なる高さ情報となる。
【0032】
これらの高さ情報を比較器9H、9Lにおいてそれぞれ高さの上限閾値または下限閾値と比較し、高さ情報>上限閾値または高さ情報<下限閾値なら検出器11にて欠陥ありと判定することで、ディスクリート・トラック方式磁気記録媒体の表面欠陥の光学的検査が可能となる。
【0033】
図2は本発明の異なる実施例を示すもので、図9の装置の改良版であり、1〜nセンサ27のそれぞれの高さ情報を高さ検出器28−1〜28−nで検出し、平均化装置29で平均化して、高さ上限閾値、高さ下限閾値と比較器30H、30Lにて比較して、高さ情報>上限閾値または高さ情報<下限閾値なら検出器31にて欠陥ありと判定することによって、ディスクリート・トラック方式磁気記録媒体の表面欠陥の光学的検査を可能としている。
【0034】
1〜nセンサ27がカバーする半径方向の測定領域は、トラックピッチに対して十分に長く取ってある。
【0035】
このような装置構成にすることで、測定領域が溝を横切るとき個々のセンサの高さ情報は安定しないが、1〜nの全センサの高さ情報を平均化し、その場所の高さとしているので、溝を横切るときの変動を軽減できる。
【0036】
測定領域に対して大きな欠陥箇所、たとえば凹み欠陥がある場合、凹みによりその箇所で得られる高さ情報(1〜nを平均化したもの)は、欠陥の無い箇所に比べ低くなる。
【0037】
逆に膨れ欠陥に関しても同様に、その箇所で得られる高さ情報は、欠陥の無い箇所に比べ高くなる。この通常面に対する高さ情報の違いにより表面欠陥を検出することができる。
【0038】
平均化に関しては、本実施例では1〜nのすべてで平均化しているが、例えば、1〜5、6〜10、‥・、(n‐4)〜nというように、いくつかに分割してもかまわない。
【0039】
そうすることで、検出の半径方向の分解能が向上できる。ただし、この場合の分割された領域下には、複数のトラックと溝の存在が必要である。
【0040】
また、図2においては個々のセンサで高さを算出した後に平均化をしているが、別の方法として、各センサの出力信号レベルを平均化し、その信号を用いて高さの算出を行っても同様の結果が得られる。
【0041】
【発明の効果】
このように、本発明によれば、記録トラック間に溝を設けてある磁気記億媒体における光学式表面欠陥検査方法において、測定領域をトラックピッチにくらべ大きくすることで、高さ情報の違いから、表面欠陥検査を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の要部断面図を伴う配置ならびに回路ブロック図である。
【図2】本発明の異なる実施例の要部断面図を伴う配置ならびに回路ブロック図である。
【図3】ディスクの偏心による測定領域の移動状態を示す部分平面図である。
【図4】ディスクの表面欠陥と測定領域の関係を示す部分平面図である。
【図5】本発明の実施例における測定領域とトラックピッチとの関係を示す部分平面図である。
【図6】欠陥の有無による高さ情報の違いを示す部分平面ならびに断面図である。
【図7】本発明の異なる実施例における測定領域とトラックピッチとの関係を示す部分平面図である。
【図8】従来の光学式外観検査装置の一例における要部断面図を伴う配置ならびに回路ブロック図である。
【図9】従来の光学式外観検査装置の他の一例における要部断面図を伴う配置ならびに回路ブロック図である。
【図10】従来の実施例における高さ情報の変動についての説明図である。
【符号の説明】
1、21 ライン集光レンズ
2、22 スリット
3、23 スプリッタ
4、24 対物レンズ
5、25 光スポット
6、26 結像レンズ
7、27 センサ
8、28−1〜28−n 高さ検出器
9H、9L、30H、30L 下限閾値比較器
10、20 磁気記憶媒体
11、31 欠陥検出器
Claims (2)
- 記録トラック間に溝を有する磁気記憶媒体の高さを光学的手段により測定して測定結果に基づき欠陥を検出するに当たり、
前記光学的手段は、前記磁気記憶媒体表面に照射した光の反射光のドップラー効果による周波数シフトを検出して高さ情報を得るものであり、かつ、測定スポットの長さを半径方向に少なくともトラックと溝を各1つ以上含む長さとし、複数の測定箇所で測定された高さ情報を比較して欠陥の判定を行なうことを特徴とする光学式表面欠陥検査方法。 - 記録トラック間に溝を有する磁気記憶媒体の高さを光学的手段により測定して測定結果に基づいて欠陥を検出するに当たり、半径方向に複数の測定領域を持ち、各領域の高さを同時に測定する光学式表面欠陥検査方法であって、
前記光学的手段は、前記磁気記憶媒体表面に照射した光の反射光のドップラー効果による周波数シフトを検出して高さ情報を得るものであり、かつ、複数の測定領域の検出信号または検出高さを平均化してその箇所の高さ情報とし、この高さ情報を比較して欠陥の判定を行なうことを特徴とする光学式表面欠陥検査方法。
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---|---|---|---|---|
JP4940122B2 (ja) * | 2007-12-21 | 2012-05-30 | 株式会社日立製作所 | ハードディスクメディア上のパターンの検査方法及び検査装置 |
JP5175605B2 (ja) * | 2008-04-18 | 2013-04-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン形状検査方法 |
JP2010086590A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hoya Corp | 磁気ディスクの製造方法 |
JP5337458B2 (ja) * | 2008-11-19 | 2013-11-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン形状検査方法及びその装置 |
JP5002611B2 (ja) | 2009-03-26 | 2012-08-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンドメディアの表面欠陥検出方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62256225A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-07 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク |
JPH01292202A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-24 | Ricoh Co Ltd | 溝形状測定方法 |
JPH02210249A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-21 | Hitachi Ltd | 外観検査方法および装置 |
JPH04109421A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-10 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク装置 |
JPH06118008A (ja) * | 1992-10-01 | 1994-04-28 | Ricoh Co Ltd | 光情報記録媒体欠陥検査装置 |
JPH06281590A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-07 | Glory Ltd | ハードディスクの欠陥検出方法 |
JPH08304050A (ja) * | 1995-05-02 | 1996-11-22 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気ディスクの磁気膜欠陥検査装置 |
JP2000065553A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Hitachi Ltd | 磁気ディスクの表面欠陥検出装置及び摩擦試験装置 |
JP2001174249A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Sony Corp | 面形状測定装置および面形状測定方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5414789A (en) * | 1977-07-05 | 1979-02-03 | Mitsubishi Electric Corp | Surface inspecting apparatus |
JPS6426102A (en) * | 1988-07-08 | 1989-01-27 | Toshiba Corp | Shape measuring instrument |
JPH0317539A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 光ディスクのグルーブ欠陥の検出方式 |
JP2810121B2 (ja) * | 1989-06-26 | 1998-10-15 | 三井化学株式会社 | 光ディスク用スタンパー検査装置 |
JPH06241758A (ja) * | 1993-02-15 | 1994-09-02 | Canon Inc | 欠陥検査装置 |
JP2000266683A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Disk Tekku Kk | 光ディスク外観欠陥検査装置 |
JP4258058B2 (ja) * | 1999-03-23 | 2009-04-30 | ソニー株式会社 | 円盤状記録媒体の検査装置及び検査方法 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62256225A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-07 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク |
JPH01292202A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-24 | Ricoh Co Ltd | 溝形状測定方法 |
JPH02210249A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-21 | Hitachi Ltd | 外観検査方法および装置 |
JPH04109421A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-10 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク装置 |
JPH06118008A (ja) * | 1992-10-01 | 1994-04-28 | Ricoh Co Ltd | 光情報記録媒体欠陥検査装置 |
JPH06281590A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-07 | Glory Ltd | ハードディスクの欠陥検出方法 |
JPH08304050A (ja) * | 1995-05-02 | 1996-11-22 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気ディスクの磁気膜欠陥検査装置 |
JP2000065553A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Hitachi Ltd | 磁気ディスクの表面欠陥検出装置及び摩擦試験装置 |
JP2001174249A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Sony Corp | 面形状測定装置および面形状測定方法 |
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