JP4583194B2 - 赤外線検知器 - Google Patents
赤外線検知器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4583194B2 JP4583194B2 JP2005027232A JP2005027232A JP4583194B2 JP 4583194 B2 JP4583194 B2 JP 4583194B2 JP 2005027232 A JP2005027232 A JP 2005027232A JP 2005027232 A JP2005027232 A JP 2005027232A JP 4583194 B2 JP4583194 B2 JP 4583194B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quantum dot
- layer
- cap layer
- infrared detector
- barrier layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
S=Iphoto=eΦηg ・・・(1)
N=(4eIphotogB)0.5=2eg(ΦηB)0.5 ・・・(2)
式(1)、(2)において、S及びIphotoは信号値、eは電荷量、Φは単位フォトン数、ηはフォトンからキャリアへの変換効率、gは光伝導ゲイン、Nはノイズ信号値、Bは周波数である。
このようにすると、量子ドット構造体を積層した場合でも結晶欠陥の発生が抑えられるようになるので、量子ドット構造体をより多く繰り返し積層可能になる。これにより、高感度の赤外線検知器が実現可能になる。
まず、第1の実施の形態について説明する。図1は第1の実施の形態の光吸収部の一例の要部断面模式図、図2は量子ドット構造体のエネルギ帯構造図である。
量子ドット1aから放出されたキャリアは、量子ドット1a、キャップ層1b及びバリア層1cの伝導帯を移動できるエネルギを得ると、上部と下部のコンタクト層間に与えられた電界に従って流れる。すなわち、赤外線の吸収によって量子ドット1aの価電子帯のキャリアが励起され、量子ドット1aの準位A、キャップ層1bの準位B、バリア層1cの準位Cを超えると、上部と下部のコンタクト層間に電流が流れるようになる。
なお、この第1の実施の形態では、1種の材料でキャップ層1bを形成する場合を例にして述べたが、キャップ層1bを複数の材料を適当な準位で積層した構成にすれば、量子ドット1aから放出されたキャリアの捕獲量を微調整して赤外線検知器の感度を調整することも可能になる。
次に、第2の実施の形態について説明する。図3は、第2の実施の形態の光吸収部の一例の要部断面模式図である。
量子ドット2aから放出されたキャリアは、量子ドット2a、キャップ層2b及びバリア層2cの伝導帯を移動できるエネルギを得ると、与えられた電界に従って流れる。すなわち、赤外線の吸収によって量子ドット2aの価電子帯のキャリアが励起され、量子ドット2aの準位A、キャップ層2bの準位B、バリア層2cの準位Cを超えると、電流が流れるようになる。
その後、電流出口2dにより、発生した電流が光吸収部2から取り出される。また、電流入口2eにより、光吸収部2にキャリアが充電される。
(付記1) 赤外線を検知する赤外線検知器において、
赤外線を吸収してキャリアを放出する量子ドットが、格子定数の類似する複数の埋め込み層によって埋め込まれた量子ドット構造体を有する光吸収部を備えることを特徴とする赤外線検知器。
(付記4) 前記量子ドットがInAs、InGaAs、InAlAsまたはInGaAlAsで形成され、前記一の埋め込み層がGaAsまたはAlGaAsで形成され、前記他の埋め込み層がAlGaAsで形成されることを特徴とする付記2記載の赤外線検知器。
(付記7) 前記量子ドット構造体の積層数が20層以上可能であることを特徴とする付記6記載の赤外線検知器。
(付記9) 前記光吸収部が複数の前記量子ドット構造体が積層されて構成される場合、前記各電流経路が直列に接続されることを特徴とする付記8記載の赤外線検知器。
1a 量子ドット
1b キャップ層
1c バリア層
Claims (5)
- AlGaAsのバリア層と、
前記バリア層の上方に配置された量子ドットと、
前記量子ドットを埋め込むGaAsのキャップ層と、
を有する量子ドット構造体を備えることを特徴とする赤外線検知器。 - 前記キャップ層の電子エネルギポテンシャルが前記量子ドットよりも高く、
前記バリア層の電子エネルギポテンシャルが前記キャップ層よりも高いことを特徴とする請求項1記載の赤外線検知器。 - 前記キャップ層は、前記バリア層の厚さより薄いことを特徴とする請求項2記載の赤外線検知器。
- 複数の前記量子ドット構造体が積層されて構成されることを特徴とする請求項1記載の赤外線検知器。
- 前記量子ドット構造体の積層数が20層以上可能であることを特徴とする請求項4記載の赤外線検知器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005027232A JP4583194B2 (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 赤外線検知器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005027232A JP4583194B2 (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 赤外線検知器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006216734A JP2006216734A (ja) | 2006-08-17 |
JP4583194B2 true JP4583194B2 (ja) | 2010-11-17 |
Family
ID=36979694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005027232A Expired - Fee Related JP4583194B2 (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 赤外線検知器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4583194B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4571920B2 (ja) * | 2006-03-14 | 2010-10-27 | 富士通株式会社 | 光検知器 |
JP6252884B2 (ja) * | 2013-03-01 | 2017-12-27 | 日本電気株式会社 | 赤外線検出器の製造方法および波長スペクトル測定装置の製造方法 |
JP6332993B2 (ja) * | 2013-04-03 | 2018-05-30 | パイオニア株式会社 | 光伝導基板、電磁波発生検出装置および光伝導基板の製造方法 |
JP6259843B2 (ja) * | 2016-01-12 | 2018-01-10 | シャープ株式会社 | 間接遷移半導体材料を用いた量子構造を有する光電変換素子 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001044453A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Fujitsu Ltd | 光検出素子 |
JP2004349542A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Fujitsu Ltd | 量子半導体装置およびその作製方法 |
-
2005
- 2005-02-03 JP JP2005027232A patent/JP4583194B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001044453A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Fujitsu Ltd | 光検出素子 |
JP2004349542A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Fujitsu Ltd | 量子半導体装置およびその作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006216734A (ja) | 2006-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4459286B2 (ja) | 赤外線検知器 | |
JP4571920B2 (ja) | 光検知器 | |
US6614086B2 (en) | Avalanche photodetector | |
US9941431B2 (en) | Photodiode having a superlattice structure | |
JP6137195B2 (ja) | 赤外線検出器 | |
JP2002203986A6 (ja) | アバランシェ光検出器 | |
US20100032651A1 (en) | Quantum dot infrared photodetector | |
US8729602B2 (en) | Avalanche photodiode | |
JP2009026887A (ja) | 太陽電池 | |
JP4583194B2 (ja) | 赤外線検知器 | |
JP4669281B2 (ja) | 量子ドット型赤外線検知器 | |
JP2007227744A (ja) | 量子ドット型光半導体装置及びその製造方法 | |
JP4673398B2 (ja) | 量子ドット型赤外線検知素子 | |
JP6030971B2 (ja) | 受光素子および受光素子を備えた太陽電池 | |
JP5817229B2 (ja) | 赤外線検出器 | |
JP2008187022A (ja) | 赤外線検知器 | |
JP4927911B2 (ja) | 量子ドット型光検知器 | |
US20180331240A1 (en) | Quantum dot infrared detector | |
JP2011071306A (ja) | 光検知器及びその製造方法 | |
JP6398408B2 (ja) | 赤外線検出素子 | |
JP2006228994A (ja) | 光検知器 | |
JP2009152246A (ja) | 量子ドット型赤外線検知器 | |
JP7275567B2 (ja) | 赤外線検出器及びその製造方法、撮像素子、撮像システム | |
JP7187867B2 (ja) | 赤外線検出器、撮像素子、光半導体装置 | |
JP4694417B2 (ja) | 量子ドット光半導体素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100831 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4583194 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |