JP4583020B2 - 半導体チップの樹脂封止成形方法および樹脂封止成形用金型 - Google Patents
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Description
従って、まず、成形用金型が型開き状態で、且つ、基板の半導体チップ・ワイヤ装着側を上方に向けた状態で、下型の所定位置である凹所に基板を供給セットする。次に、成形用金型を型締めすると共に、キャビティ内に嵌装された半導体チップ・ワイヤに、予め加熱ヒータにより成形用金型を所定温度に昇温させて樹脂材料を加熱溶融化して溶融樹脂として樹脂通路を介して注入し、次に、半導体チップ・ワイヤに樹脂封止された溶融樹脂が硬化して硬化樹脂を形成して封止済基板を成形するものである。また、成形された封止済基板においては、複数個の半導体チップが一括で樹脂封止成形されているので、その封止済基板が個々の半導体チップに対応する部分毎に切断分離されることによって、個々の製品(パッケージ)が完成する。また、基板においては、個々の製品(パッケージ)の集合体に相当する範囲、言い換えれば製品として有効となる製品有効範囲と、その製品有効範囲とは切断分離して廃棄される不要樹脂範囲とが、分離して設けられている。
図2(1)および図2(2)は、図1(1)に対応する成形用型を使用して基板を支受する実施方法を段階的に示した概略拡大断面図である。なお、図2(1)および図2(2)においては、基板の支受状態を明確にするために、一部省略している。図2(3)は、図1(1)に対応する成形用型が型締めした状態を示す概略断面図である。
従って、基板4の表面7に装着した半導体チップ5が上型1に設けたキャビティ12に平面視して重なるようにして、基板4の裏面8を基板セット部14の基板セット部水平面Aによって支受させる。その後に、上型1と下型2とを閉じ合わせる(型締めする)。そして、この状態でキャビティ12内に溶融樹脂18を充填してその基板4の表面7における所要の樹脂封止範囲Xを樹脂封止成形することにより、半導体チップ5を樹脂封止成形するように構成されている。
また、図1(1)、(2)に示すように、基板4の樹脂成形部9がキャビティ12内に嵌装されて樹脂封止される範囲を樹脂封止範囲Xとする。また、凹部15の形成範囲は、半導体チップ5・ワイヤ6が装着される製品有効範囲Y(図例の破線部分)よりも広く形成される(図例では樹脂封止範囲Xと略同一範囲で形成される。)。また、基板4の裏面8が基板セット部水平面Aに接する。
従って、凹部15を設けることにより、上型1と下型2とを型締めして半導体チップ5・ワイヤ6を装着した基板4を樹脂封止する時に発生する、基板4が上方に向けて反ったり湾曲したりする従来の基板4の変形を、キャビティ12内への溶融樹脂18の充填作用に先行して凹部15内を減圧する、すなわち、凹部15の周縁部位に形成された連通溝17・吸引孔16を介して凹部15内の空気を吸引することにより、基板4の少なくとも製品有効範囲Yを凹部15に嵌入し且つ凹部15の水平面である凹部水平面B(基板セット部水平面Aよりも下方の位置)に基板4を水平状の姿勢に修正して吸着固定することができる。つまりは、基板4の少なくとも製品有効範囲Y部分を均等な面一状の姿勢に修正する作用を行うことができる。
次に、図2(2)の示すように、前述した減圧状態を維持した状態で、凹部15部分に支受された基板4が下方に向けて移動して、基板4の裏面8が凹部水平面Bと当接して凹部15に嵌入された状態となる。このとき、基板4における少なくとも製品有効範囲Yが水平状になって凹部水平面Bに吸着固定される。ここで、従来のような平坦に形成された基板セット部14に支受された基板4においては、基板4が上方に向けて反ったり湾曲したりする変形が発生する。これに対して、本実施例では、下型2の基板セット部14に基板4を供給する前(樹脂封止成形工程前)または樹脂封止成形時において様々に変形した基板4における変形箇所、特に、封止前基板3における製品有効範囲Yに形成された変形箇所を水平状に修正する。これにより、本実施例では、凹部水平面Bにおいて基板4における少なくとも製品有効範囲Yを均等な面一状の姿勢に修正する作用を行う。例えば、フィルム(シート)状の基板4であれば、フィルム(シート)皺が発生する変形箇所が存在する場合においても、均等深さCの凹み(彫り込み)を形成した凹部15に基板4が嵌入する。これによって、凹部15内に基板自体が減圧(吸引)作用により下方に移動されて、フィルム自体が緊張した状態で、少なくとも凹部水平面Bにおいて基板4が面一状の姿勢に修正されて支受されることになる。
また、図2(1)および図2(2)に示すように、減圧機構を使用して連通溝17を介して凹部15内を減圧することと略同時に、連通溝17および吸引孔16の基板セット部水平面Aに形成された開口部分を介して基板4を吸引することによって、基板4の裏面8を基板セット部水平面Aに吸着固定することができるように構成されている。
ところで、前述したように、連通溝17および吸引孔16を凹部15の外周囲、すなわち、製品有効範囲Y以外となる周縁部位に設ける理由は、次の通りである。仮に、製品有効範囲Yに対向する下型面13(基板セット部水平面A・凹部水平面Bも含む)に連通溝17および吸引孔16を開口させて基板4を支受した場合には、樹脂封止成形時に樹脂の注入圧力により、樹脂封止成形後の封止済基板の減圧部分(吸引部分)に圧痕・膨らみが形成されるおそれがある。さらに、樹脂封止成形された半導体チップ5やワイヤ6の損傷を引き起こすおそれがある。そこで、それらの問題が発生しないように配慮されて構成されているからである。
次に、図2(1)に示すように、基板セット部14の直上部から基板セット部水平面Aに基板4を供給セットすると略同時に、基板4の裏面8と凹部水平面Bとの間で形成される空間領域Zの空気を、連通溝17、吸引孔16の経路を経て、減圧機構で吸引する。このとき、上型1と下型2とが型締めした状態で、且つ、上型1・下型2に埋設された適宜な加熱手段(図示なし)により、樹脂材料が加熱溶融化されて溶融樹脂18となるように上型1・下型2全体を昇温する。
次に、図2(1)の状態のままで、引き続いて空間領域Zを吸引する。これにより、図2(2)に示すように、基板4の裏面8が下方に向けて移動して、凹部15に嵌入する。そして、基板4の裏面8が凹部水平面Bと当接して、凹部水平面Bにおいて基板4が水平状に吸着固定された状態となる。
次に、図2(2)に示す状態から、図2(3)に示すように、上型1と下型2とが型締めした後に、溶融樹脂18が樹脂通路を経てキャビティ12内に嵌装された樹脂成形部9に注入充填される。
次に、図示していないが、溶融樹脂18が硬化するための所要時間が経過した後に、樹脂成形部9に充填された溶融樹脂18が硬化して硬化樹脂(図示なし)が形成され、これによって封止済基板(図示なし)が完成することになる。このとき、減圧機構を使用した基板4の吸着を停止することが好ましい。
さらに、最終的に、成形された封止済基板(図示なし)においては、複数個の半導体チップ5が一括で樹脂封止成形されている。そこで、個々の半導体チップ5に相当する単位に封止済基板を切断分離することによって、製品有効範囲Y内の部分から個々の製品(パッケージ)が完成する。また、製品有効範囲Y以外の不要樹脂範囲(図示なし)は廃棄されることになる。
図3(1)は、本発明に係るその他の成形用型および樹脂封止成形される基板を用いて、前記成形用型が型開きした状態を示す概略断面図である。図3(2)は、図3(1)に対応するその他の成形用型における他方の型面の概略拡大平面図である。
図4(1)および図4(2)は、図3(1)に対応するその他の成形用型を使用して基板4を支受する実施方法を段階的に示した概略拡大断面図である。なお、図4(1)および図4(2)においては、基板の支受状態を明確にするために、一部省略している。図4(3)は、図3(1)に対応するその他の成形用型が型締めした状態を示す概略断面図である。
従って、基板4の表面7に装着した半導体チップ5が上型1に設けたキャビティ12に平面視して重なるようにして、基板4の裏面8を基板セット部14の基板セット部水平面Aによって支受させる。その後に、上型1と下型2とを閉じ合わせる(型締めする)。そして、この状態でキャビティ12内に溶融樹脂18を充填してその基板4の表面7における所要の樹脂封止範囲Xを樹脂封止成形することにより、半導体チップ5を樹脂封止成形するように構成されている。
また、図例の構成とは別に、例えば、基板セット部14を設けずに下型面13及び凹部15によって基板を支受するような構成に適宜に変更して実施してもよい。
また、図3(1)、(2)に示すように、基板4の樹脂成形部9がキャビティ12内に嵌装されて樹脂封止される範囲を樹脂封止範囲Xとする。また、凹部15の形成範囲は、半導体チップ5・ワイヤ6が装着される製品有効範囲Yよりも広く形成される(図例では樹脂封止範囲Xと略同一範囲で形成される。)。また、基板4の裏面8が基板セット部水平面Aに接する。
従って、凹部15を設けることにより、上型1と下型2とを型締めして半導体チップ5・ワイヤ6を装着した基板4を樹脂封止する時に発生する、基板4が上方に向けて反ったり湾曲したりする従来の基板4の変形を、キャビティ12内への溶融樹脂18の充填作用に先行して凹部15内を減圧する、すなわち、凹部水平面Bの所要部位に形成された通気性部材19、吸引孔16を介して凹部15内の空気を吸引することにより、基板4の少なくとも製品有効範囲Yを凹部15に嵌入し且つ凹部15の水平面である凹部水平面B(基板セット部水平面Aよりも下方の位置)に基板4を水平状の姿勢に修正して吸着固定することができる。つまりは、基板4の少なくとも製品有効範囲Y部分を均等な面一状の姿勢に修正する作用を行うことができる。
次に、図4(2)の示すように、前述した減圧状態を維持した状態で、凹部15部分に支受された基板4が下方に向けて移動して、基板4の裏面8が凹部水平面Bと当接して凹部15に嵌入された状態となる。このとき、基板4における少なくとも製品有効範囲Yが水平状になって凹部水平面Bに吸着固定される。ここで、従来のような平坦に形成された基板セット部14に支受された基板4においては、基板4が上方に向けて反ったり湾曲したりする変形が発生する。これに対して、本実施例では、下型2の基板セット部14に基板4を供給する前(樹脂封止成形工程前)または樹脂封止成形時において様々に変形した基板4における変形箇所、特に、封止前基板3における製品有効範囲Yに形成された変形箇所を水平状に修正する。これにより、本実施例では、凹部水平面Bにおいて基板4における少なくとも製品有効範囲Yを均等な面一状の姿勢に修正する作用を行う。例えば、フィルム(シート)状の基板4であれば、フィルム(シート)皺が発生する変形箇所が存在する場合においても、均等深さCの凹み(彫り込み)を形成した凹部15に基板4が嵌入する。これによって、凹部15内に基板自体が減圧(吸引)作用により下方に移動されて、フィルム自体が緊張した状態で、少なくとも凹部水平面Bにおいて基板4が面一状の姿勢に修正されて支受されることになる。
次に、図4(1)に示すように、基板セット部14の直上部から基板セット部水平面Aに基板4を供給セットすると略同時に、基板4の裏面8と凹部水平面Bとの間で形成される空間領域Zの空気を、通気性部材19、吸引孔16の経路を経て、減圧機構で吸引する。このとき、上型1と下型2とが型締めした状態で、且つ、上型1・下型2に埋設された適宜な加熱手段(図示なし)により、樹脂材料が加熱溶融化されて溶融樹脂18となるように上型1・下型2全体を昇温する。
次に、図4(1)の状態のままで、引き続いて空間領域Zを吸引する。これにより、図4(2)に示すように、基板4の裏面8が下方に向けて移動して、凹部15に嵌入する。そして、基板4の裏面8が凹部水平面Bと当接して、凹部水平面Bにおいて基板4が水平状に吸着固定された状態となる。
次に、図4(2)に示す状態から、図4(3)に示すように、上型1と下型2とが型締めした後に、溶融樹脂18が樹脂通路を経てキャビティ12内に嵌装された樹脂成形部9に注入充填される。
次に、図示していないが、溶融樹脂18が硬化するための所要時間が経過した後に、樹脂成形部9に充填された溶融樹脂18が硬化して硬化樹脂(図示なし)が形成され、これによって封止済基板(図示なし)が完成することになる。このとき、減圧機構を使用した基板4の吸着を停止することが好ましい。
さらに、最終的に、成形された封止済基板(図示なし)においては、複数個の半導体チップ5が一括で樹脂封止成形されている。そこで、個々の半導体チップ5に相当する単位に封止済基板を切断分離することによって、製品有効範囲Y内の部分から個々の製品(パッケージ)が完成する。また、製品有効範囲Y以外の不要樹脂範囲(図示なし)は廃棄されることになる。
また、本実施例1・2における基板セット部14、凹部15、吸引孔16、連通溝17、通気性部材19、減圧機構については、図例に限定されるものではない。例えば、基板セット部14を上型面11または成形用型1・2の各型面11・13に設けてもよい。また、基板セット部14や凹部15の側面を垂直に形成せずに、基板4が凹部15に嵌入しやすい適宜な形状(例えば、テーパ形状)に形成してもよい。また、吸引孔16の平面形状を丸状でなく多角形状に形成してもよい。また、所要個の吸引孔16を図の垂直方向に各別に減圧機構へ連絡するのではなく成形用型内で吸引孔16を統合した経路構成にしてもよい。また、基板4を成形用型へ支受して減圧機構で減圧(吸引)する方法として、実施例1では、すべての吸引孔16から略同時または段階的に吸引してもよい。或いは、凹部15の外周囲に吸引孔16を一重でなく幾重に設けてもよい。さらに、前述した内容を踏まえたうえで、それらの内容を適宜に取捨選択して実施することもできる。
また、基板4自体の形状も四角形でなく、例えば、円形や多角形等の適宜な形状をした基板4を採用することもできる。さらに、本実施例では、半導体チップ5・ワイヤ6が装着された基板4を対象として説明しているが、他の基板としては、例えば、バンプを備えたフリップチップ基板を採用すること、或いは、ウエハーレベルパッケージを採用することもできる。
2 下型(他方の型)
3 封止前基板
4 基板
5 半導体チップ
6 ワイヤ
7 表面
8 裏面
9 樹脂成形部
10 基板外周部
11 上型面
12 キャビティ
13 下型面
14 基板セット部
15 凹部
16 吸引孔
17 連通溝
18 溶融樹脂
19 通気性部材
A 基板セット部底面
B 凹部水平面
C 均等深さ
X 樹脂封止範囲
Y 製品有効範囲
Z 空間領域
Claims (2)
- 相対向する成形用型のうち一方の型に設けられたキャビティ内に基板の表面に装着された半導体チップを収容する工程と、前記基板の裏面を前記成形用型のうち他方の型の型面において保持した状態にする工程と、前記キャビティを溶融樹脂によって充填された状態にする工程と、前記成形用型を閉じ合わせる工程と、前記溶融樹脂を硬化させて前記基板の表面における所要の樹脂封止範囲において硬化樹脂を形成する工程とを有する半導体チップの樹脂封止成形方法であって、
前記他方の型の型面に前記基板を配置する工程と、
前記他方の型の型面に設けられた凹部を経由して前記基板の裏面を吸引する工程とを備えるとともに、
前記基板は柔軟性を有し、
前記凹部は、所要の均等深さを有するとともに、前記基板において製品として有効となる範囲からなる製品有効範囲を平面視して含み、かつ、平面視して前記基板に含まれるようにして設けられ、
前記基板の裏面を吸引する工程では、前記凹部における平面からなる底面に前記基板の裏面を吸着することにより、少なくとも前記製品有効範囲における前記基板を前記底面に沿って均等な面一状の姿勢に修正することを特徴とする半導体チップの樹脂封止成形方法。 - 相対向する成形用型と、前記成形用型のうち一方の型に設けられたキャビティとを有し、前記成形用型のうち他方の型の型面に基板が配置されることを特徴とする半導体チップの樹脂封止成形用金型であって、
前記他方の型の型面に設けられた凹部と、
少なくとも前記凹部における空間領域を吸引する減圧機構とを備えるとともに、
前記基板は柔軟性を有し、
前記凹部は、所要の均等深さを有するとともに、前記基板において製品として有効となる範囲からなる製品有効範囲を平面視して含み、かつ、平面視して前記基板に含まれるようにして設けられ、
前記減圧機構によって前記凹部における平面からなる底面に前記基板の裏面が吸着されることにより、少なくとも前記製品有効範囲における前記基板が前記底面に沿って均等な面一状の姿勢に修正されることを特徴とする半導体チップの樹脂封止成形用金型。
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