JP4581865B2 - 電圧印加装置 - Google Patents
電圧印加装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4581865B2 JP4581865B2 JP2005184379A JP2005184379A JP4581865B2 JP 4581865 B2 JP4581865 B2 JP 4581865B2 JP 2005184379 A JP2005184379 A JP 2005184379A JP 2005184379 A JP2005184379 A JP 2005184379A JP 4581865 B2 JP4581865 B2 JP 4581865B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- output
- digital
- analog converter
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Continuous-Control Power Sources That Use Transistors (AREA)
- Dc-Dc Converters (AREA)
- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Description
設定電圧とフィードバックした出力電圧との差電圧に基づいて、ICテスタが試験を行うメモリICの電源電圧として与える出力電圧を制御する電圧印加装置において、
一定のステップ時間毎に所定のステップ電圧幅だけ変化する階段状の電圧を出力するデジタル/アナログ変換器と、
前記デジタル/アナログ変換器の出力経路、または、出力電圧の帰還経路のいずれかに配置される時定数回路と
を具備し、前記ステップ時間は、前記デジタル/アナログ変換器の出力がステップ状に変化したときに、前記メモリICに供給される電圧がほぼ100%になる時間が設定されることを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明であって、
前記ステップ電圧幅を変化させることにより、出力電圧のスルーレートを変化させるようにしたことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明であって、
前記時定数回路は少なくとも2つの異なった時定数を切り換えられるようにされ、この異なった時定数毎に前記ステップ時間を変化させるようにしたことを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明であって、
前記時定数回路は、抵抗およびコンデンサで構成されたことを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、
設定電圧とフィードバックした出力電圧との差電圧に基づいて、ICテスタが試験を行うメモリICの電源電圧として与える出力電圧を制御する電圧印加装置において、
一定のステップ時間毎に所定のステップ電圧幅だけ変化する階段状の電圧を出力するデジタル/アナログ変換器と、
このデジタル/アナログ変換器が出力する設定電圧と前記出力電圧との差電圧を出力する分圧抵抗と、
この分圧抵抗の差電圧を反転入力端子に入力し、非反転入力端子を接地し、前記出力電圧を出力する差動アンプと、
この差動アンプの反転入力端子と出力端子との間に設けられるコンデンサと
を設け、前記ステップ時間は、前記デジタル/アナログ変換器の出力がステップ状に変化したときに、前記メモリICに供給される電圧がほぼ100%になる時間が設定されることを特徴とするものである。
設定電圧とフィードバックした出力電圧の差電圧に基づいて、出力電圧を制御する電圧印加装置において、一定のステップ時間で階段状に変化する波形を出力するデジタル/アナログ変換器の出力を、このデジタル/アナログ変換器の出力経路または出力電圧の帰還経路に設けた時定数回路で高周波成分を除去するようにしたものである。
11 デジタル/アナログ変換器
12,13,51 抵抗
14 差動アンプ
19,54 バッファ
20 DUT
31,52,61 スイッチ
32,53,62,63 コンデンサ
Claims (5)
- 設定電圧とフィードバックした出力電圧との差電圧に基づいて、ICテスタが試験を行うメモリICの電源電圧として与える出力電圧を制御する電圧印加装置において、
一定のステップ時間毎に所定のステップ電圧幅だけ変化する階段状の電圧を出力するデジタル/アナログ変換器と、
前記デジタル/アナログ変換器の出力経路、または、出力電圧の帰還経路のいずれかに配置される時定数回路と
を具備し、前記ステップ時間は、前記デジタル/アナログ変換器の出力がステップ状に変化したときに、前記メモリICに供給される電圧がほぼ100%になる時間が設定されることを特徴とする電圧印加装置。 - 前記ステップ電圧幅を変化させることにより、出力電圧のスルーレートを変化させるようにしたことを特徴とする請求項1記載の電圧印加装置。
- 前記時定数回路は少なくとも2つの異なった時定数を切り換えられるようにされ、この異なった時定数毎に前記ステップ時間を変化させるようにしたことを特徴とする請求項1または2記載の電圧印加装置。
- 前記時定数回路は、抵抗およびコンデンサで構成されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電圧印加装置。
- 設定電圧とフィードバックした出力電圧との差電圧に基づいて、ICテスタが試験を行うメモリICの電源電圧として与える出力電圧を制御する電圧印加装置において、
一定のステップ時間毎に所定のステップ電圧幅だけ変化する階段状の電圧を出力するデジタル/アナログ変換器と、
このデジタル/アナログ変換器が出力する設定電圧と前記出力電圧との差電圧を出力する分圧抵抗と、
この分圧抵抗の差電圧を反転入力端子に入力し、非反転入力端子を接地し、前記出力電圧を出力する差動アンプと、
この差動アンプの反転入力端子と出力端子との間に設けられるコンデンサと
を設け、前記ステップ時間は、前記デジタル/アナログ変換器の出力がステップ状に変化したときに、前記メモリICに供給される電圧がほぼ100%になる時間が設定されることを特徴とする電圧印加装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005184379A JP4581865B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | 電圧印加装置 |
TW95114323A TWI294970B (en) | 2005-06-24 | 2006-04-21 | Voltage source device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005184379A JP4581865B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | 電圧印加装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007003368A JP2007003368A (ja) | 2007-01-11 |
JP4581865B2 true JP4581865B2 (ja) | 2010-11-17 |
Family
ID=37689146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005184379A Active JP4581865B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | 電圧印加装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4581865B2 (ja) |
TW (1) | TWI294970B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103698692B (zh) * | 2013-12-31 | 2016-09-14 | 工业和信息化部电子第五研究所 | Tddb失效预警电路 |
JP6709961B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2020-06-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電圧印加装置、及び放電装置 |
JP6986910B2 (ja) * | 2017-09-12 | 2021-12-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 電圧印加装置および出力電圧波形の形成方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63190974U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-08 | ||
JPH04357479A (ja) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Fujitsu Ltd | 半導体試験装置 |
JPH10242756A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-09-11 | Kinseki Ltd | 電圧制御回路及びそれを用いた温度補償型圧電発振器 |
JPH10290117A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Kinseki Ltd | 電圧制御回路及びこれを用いた温度補償型圧電発振器 |
JPH10293155A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Ando Electric Co Ltd | プログラマブル電源 |
JP2000224039A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Da変換器 |
JP2002286808A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-03 | Yokogawa Electric Corp | 負荷駆動回路 |
JP2003185716A (ja) * | 2001-10-12 | 2003-07-03 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 半導体試験装置のデバイス用電源制御方法及びデバイス用電源装置 |
-
2005
- 2005-06-24 JP JP2005184379A patent/JP4581865B2/ja active Active
-
2006
- 2006-04-21 TW TW95114323A patent/TWI294970B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63190974U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-08 | ||
JPH04357479A (ja) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Fujitsu Ltd | 半導体試験装置 |
JPH10242756A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-09-11 | Kinseki Ltd | 電圧制御回路及びそれを用いた温度補償型圧電発振器 |
JPH10290117A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Kinseki Ltd | 電圧制御回路及びこれを用いた温度補償型圧電発振器 |
JPH10293155A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Ando Electric Co Ltd | プログラマブル電源 |
JP2000224039A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Da変換器 |
JP2002286808A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-03 | Yokogawa Electric Corp | 負荷駆動回路 |
JP2003185716A (ja) * | 2001-10-12 | 2003-07-03 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 半導体試験装置のデバイス用電源制御方法及びデバイス用電源装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200702685A (en) | 2007-01-16 |
TWI294970B (en) | 2008-03-21 |
JP2007003368A (ja) | 2007-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6456103B1 (en) | Apparatus for reducing power supply noise in an integrated circuit | |
EP1821171B1 (en) | Testing apparatus and electric source circuit | |
WO2010029597A1 (ja) | 試験装置および回路システム | |
US9852860B2 (en) | Parameter setting circuit of a power conversion apparatus and a method for generating a current | |
KR20110095121A (ko) | 출력 장치 및 시험 장치 | |
CN103513073A (zh) | 电源装置以及使用该电源装置的试验装置 | |
JP4581865B2 (ja) | 電圧印加装置 | |
US9772351B2 (en) | Pulsed current source with internal impedance matching | |
KR100798835B1 (ko) | 전압 인가 장치 및 ic 테스터 | |
JP3905889B2 (ja) | ドライバ回路 | |
US7102405B2 (en) | Pulse-width modulation circuit and switching amplifier using the same | |
US20050225349A1 (en) | Semiconductor tester | |
US7027945B2 (en) | Method of self-calibration of pulse rise and fall times | |
JP2006242936A (ja) | ソース測定回路 | |
US7180310B2 (en) | Amplitude varying driver circuit and test apparatus | |
JP2010190768A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP2007303986A (ja) | 直流試験装置 | |
KR100897304B1 (ko) | 반도체 메모리 장치의 전압 레벨 비교 회로 및 이를 이용한전압 조정 회로 | |
JP3136890B2 (ja) | プログラマブル遅延発生装置 | |
JP2014215048A (ja) | 電源装置およびそれを用いた試験装置 | |
JP2013088146A (ja) | 試験装置 | |
KR102664683B1 (ko) | 내부 임피던스 매칭을 가진 펄스 전류 소스 | |
JP7176030B2 (ja) | 短パルス発生回路及び短パルス発生方法、並びにそれを用いたサンプリングオシロスコープ | |
JPH04259868A (ja) | Ic試験装置 | |
US20110062920A1 (en) | Power supply, test apparatus, and control method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090716 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100803 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100816 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4581865 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20170910 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20170910 Year of fee payment: 7 |
|
S201 | Request for registration of exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20170910 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |