JP4575052B2 - 多層膜マイナスフィルター及び蛍光顕微鏡 - Google Patents
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Description
特許文献1には、光源から発せられる望ましくない強い輝線から、眼や、その他のセンサーを保護するために、ポリマーによる干渉スタックを含んで成るマイナスフィルターが記載されている。
特許文献2には、光通信システムにおいて用いられる光増幅器の利得スペクトルを平坦化することを目的に、屈折率差の小さい誘電体薄膜を同じ光学膜厚(反射波長をλとしたときλ/4)で交互に積層することで形成した干渉スタックによるマイナスフィルターが記載されている。
特許文献3には、前記特許文献2と同様の目的で、誘電体薄膜を同じ光学膜厚で交互に積層した時の高次反射を利用した干渉スタックによるマイナスフィルターが記載されている。
これに対して、本発明の実施形態に係るマイナスフィルターは、高屈折率層の光学膜厚の平均値と低屈折率層の光学膜厚の平均値との和が、ほぼ反射しようとする波長λに等しい。
0.5H 0.6L 0.4H 0.5L (0.5H 0.5L)S 0.5H 0.6L 0.4H 0.5L 0.5H ・・・
のように表記される。この表記は、基材側に積層される層から順に記載される。記号H、Lはそれぞれ高屈折率層、低屈折率層を示し、その前の数字は、設計の基準波長をλとして、その層が前記設計の基準波長λの何倍の光学膜厚を持つかを示す。また、記号Sは括弧内の構成をS回繰り返した構成となっていることを示す。
上記の光学多層膜フィルター膜構成の表記法を用いて、より具体的に本発明の実施形態を示す。
下記の膜構成、(a)、(b)、(c)、(d)における光学多層膜フィルターの分光透過率特性を図2に示す。ここで、基材はBK7光学ガラスで、最終層は空気と接しているものとする。なお、具体例を除く以降の膜設計値では、全て基材はBK7光学ガラスで、最終層は空気と接しているものとする。
(a) (0.5H 0.5L)10 0.5H 0.25L (λ=500nm)
(b) (0.525H 0.475L)10 0.525H 0.238L (λ=500nm)
(c) (0.575H 0.425L)10 0.575H 0.213L (λ=500nm)
(d) (0.65H 0.35L)10 0.65H 0.175L (λ=500nm)
図2から、(a)の高屈折率層Hと高屈折率層Lの膜厚の比率H/Lが1.0の場合では、λ(=500nm)には反射帯自体が存在しない。(b)の高屈折率層Hと低屈折率層Lの膜厚の比率が約1.1の場合では、λに小さく細い反射帯が形成される。(c)の高屈折率層Hと高屈折率層Lの膜厚の比率が約1.35の場合では、λに対して(b)よりも大きく太い(幅の広い)反射帯が形成される。(d)の高屈折率層Hと高屈折率層Lの膜厚の比率が約1.86の場合では、λに対して(c)よりも更に大きく太い反射帯が形成される。
A :(0.55H 0.45L)25 0.55H 0.225L
A一改(1):0.508H 0.4716L 0.524H 0.485L 0.527H 0.481L 0.531H 0.474L (0.55H 0.45L)18 0.537H 0.468L 0.517H 0.467L 0.505H 0.46L 0.483H 0.229L
A−改(2):0.493H 0.471L 0.518H 0.484L 0.528H 0.477L 0.535H 0.472L 0.537H 0.464L 0.541H 0.458L 0.539H 0.453L 0.545H 0.451L 0.546H 0.45L 0.553H 0.448L 0.552H 0.446L 0.556H 0.444L 0.552H 0.444L 0.556H 0.444L 0.554H 0.445L 0.557H 0.445L 0.554H 0.446L 0.553H 0.447L 0.548H 0.45L 0.547H 0.454L 0.545H 0.458L 0.544H 0.461L 0.538H 0.465L 0.5274H 0.464L 0.508H 0.454L 0.472H 0.224L
これらはすべて、52層の積層構造を有するフィルターであり、λは543nmである。図4から、上記の方法によって、リップルを小さく出来ることが明らかである.なお、設計AおよびA−改(1)では括弧内(同じ膜厚での繰り返し層部分)において、高屈折率層と低屈折率層の光学膜厚の平均の和が1×λであり、高屈折率層と低屈折率層の光学膜厚の比1.22となっている。また、A−改(2)における高屈折率層膜厚の平均は0.538×λであり、最終層を除く低屈折率層膜厚の平均は、0.456×λとなっている。従って、これらの平均の和は、0.994×λであり、比(H/L)は、約1.18である。
これら、高屈折率層の光学膜厚が低屈折率層の光学膜厚よりも大きい場合(H/L>1の場合)と、低屈折率層の光学膜厚が高屈折率層の光学膜厚よりも大きくなる場合(H/L<1の場合)について、阻止率(反射率)が99%を超えるように、比率を変えながら設計した例を図5及び図6に示す。なお、図5は、H/L>1の場合であり、図6は、H/L<1の場合である。ここで、それぞれにおける膜設計値は次のとおりである。
(1) (0.525H 0.475L)56 0.525H 0.238L(λ=532nm)
(2) (0.55H 0.45L)27 0.55H 0.225L(λ=532nm)
(3) (0.6H 0.4L)14 0.6H 0.2L(λ=532nm)
(4) (0.65H 0.35L)10 0.65H 0.175L(λ=532nm)
(5) (0.475H 0.525L)56 0.475H 0.2625L(λ=532nm)
(6) (0.45H 0.55L)27 0.45H 0.275L(λ=532nm)
(7) (0.4H 0.6L)14 0.4H 0.3L(λ=532nm)
(8) (0.35H 0.65L)10 0.35H 0.325L(λ=532nm)
上記の例では、H/Lが1.1から1.86までの範囲、および0.53から0.9までの範囲で示しているが、H/Lがより1.0に近づく場合においても、そこに反射帯が形成されて、それをマイナスフィルターとして積極的に使用する場合においては、本発明の趣旨に該当する。また、H/Lが1.86よりも大きくなる場合や0.53よりも小さくなる場合においても、形成される反射帯をマイナスフィルターとして積極的に使用する場合においては、本発明の趣旨に該当する。しかし、H/Lが2以上となる場合や0.5よりも小さくなる場合においては、反射帯の波長方向の幅が従来のマイナスフィルターに比べて狭いとはいえず、反射帯の波長方向の幅はおおきく変動しなくなるために、波長方向の幅を高屈折率層と低屈折率層の光学膜厚比率によって選択できるという特徴も十分に発揮されない。従って、本発明の有用さは、H/Lが0.5より大きく、2未満である場合において、十分に発揮される。
(0.55H 0.45L)27 0.55H 0.476L (0.619H 0.501L)27 0.619H 0.251L (λ=488nmとして)
上記の膜設計値は、設計の中心波長(λ)を変更して、次のように表記することも出来る。
(0.489H 0.404L)27 0.489H 0.427L (0.55H 0.45L)27 0.55H 0.225L(λ=543nmとして)
ここで、2通りの表記を記したが、これは2つの反射帯の中心波長λのそれぞれについて光学膜厚の表記をしたものであり、同一のフィルターの設計値である。上記の2通りの表記の内、第1番目の (0.55H 0.45L)27 0.55から、図7のマイナスフィルター設計値における基板側の繰り返し層部分は、高屈折率層と屈折率層の光学膜厚の平均が1×λ(488nm)となっており、その光学膜厚の比率が1.22である。また、第2番目の(0.55H 0.45L)27 0.55から、図7のマイナスフィルター設計値における空気側の繰り返し層部分は、高屈折率層と屈折率層の光学膜厚の平均が1×λ(543nm)となっており、その光学膜厚の比率が1.22である。
(9) (0.504H 0.496L)56 0.504H 0.248L
(10) (0.529H 0.471L)27 0.529H 0.236L
(11) (0.579H 0.421L)14 0.579H 0.211L
(12) (0.629H 0.371L)10 0.629H 0.186L
(13) (0.454H 0.546L)56 0.454H 0.273L
(14) (0.429H 0.5711))27 0.429H 0.286L
(15) (0.379H 0.621L)14 0.379H 0.311L
(16) (0.329H 0.671L)10 0.329H 0.336L
光の入射角が45°の場合においては、高屈折率層と低屈折率層の膜厚の比率H/Lが1のときではなく、H/Lが0.92程度となる場合に反射帯がなくなる。すなわち、H/Lを0.92からずらすことで本発明の実施形態におけるマイナスフィルターで使用する反射帯を得ることができる。このため、光の入射角が45°の場合においては、前記光の入射が垂直になされる場合とは、マイナスフィルターを得るのに有効な高屈折率層と低屈折率層のそれぞれの光学膜厚が変わる。光の入射角が45°の場合、本発明の実施形態に係るマイナスフィルターを得るのに好適な膜厚範囲は、H/L>0.92の場合には、高屈折率層の平均的な光学膜厚が0.49λ0〜0.63λ0、低屈折率層の平均的な光学膜厚が0.37λ0〜0.51λ0であり、H/L<0.92の場合には、高屈折率層の平均的な光学膜厚が0.32λ0〜0.47λ0、低屈折率層の平均的な光学膜厚が0.53λ0〜0.68λ0である。但し、本発明の実施形態におけるマイナスフィルターはこの膜厚範囲に限定されるものではなく、垂直入射の場合について示したのと同様に、よりH/Lが0.92に近づく場合や、より離れる場合についても含む。
(第1の具体例)
(構成)
高屈折率材料としてTa2O5、低屈折率材料としてSiO2を使用した45°入射する光に対して用いる多層膜マイナスフィルターであり、下記の膜構成を持つ。ここで、基準波長は0°入射の光に対する反射帯の中心波長となる437.5nmとしている。
0.527H 0.53L 0.534H 0.501L 0.513H 0.484L 0.522H 0.478L 0.523H 0.473L 0.53H 0.467L 0.532H 0.467L 0.537H 0.462L 0.538H 0.463L 0.54H 0.459L 0.54H 0.461L 0.541H 0.459L 0.541H 0.46L 0.542H 0.459L 0.542H 0.46L 0.542H 0.46L 0.541H 0.461L 0.54H 0.463L 0.538H 0.464L 0.536H 0.467L 0.534H 0.469L 0.531H 0.473L 0.528H 0.476L 0.523H 0.482L 0.518H 0.488L 0.511H 0.496L 0.502H 0.504L 0.504H 0.52L 0.508H 0.523L 0.501H 0.260L
上記の全60層の膜構成において、基材から5〜50層目における高屈折率層の光学膜厚の平均は、0.534×λであり、低屈折率層の光学膜厚の平均は0.468×λである。高屈折率層の光学膜厚の平均と、低屈折率層の光学膜厚の平均の和は、1.002×λであり、これらの比H/Lは、1.141となる。
本具体例における多層膜マイナスフィルターの分光透過率特性を図10に示す。ここで、明示してはいないが、垂直入射光に対しては437.5nmにピークを持つ反射帯が形成される。
(効果)
45°入射光に対して405nmに反射帯を持つ本具体例のマイナスフィルターは、405nm付近の光のみを反射し、他の波長を持つ光を透過する。これは、レーザ光を光源として利用した共焦点レーザ顕微鏡において、生きた細胞の動的挙動を観察する際の、蛍光物質の励起や観察に用いる光とは別に用いる、細胞に刺激を与え、その反応を見るための光(刺激光=405nmLDレーザ)を観察系に入れるためのミラーに使用することができる。
(構成)
高屈折率材料としてTa2O5、低屈折率材料としてSiO2を使用した垂直入射する光に対して用いる多層膜マイナスフィルターであり、下記の膜構成を持つ。ここで、基準波長は0°入射の光に対する反射帯の中心波長となる633nmである。
0.516H 0.508L 0.546H 0.507L 0.543H 0.478L 0.514H 0.464L 0.527H 0.474L 0.534H 0.464L 0.531H 0.464L 0.539H 0.463L 0.539H 0.458L 0.539H 0.458L 0.544H 0.457L 0.543H 0.453L 0.545H 0.454L 0.548H 0.453L 0.546H 0.45L 0.549H 0.452L 0.549H 0.449L 0.548H 0.45L 0.551H 0.45L 0.55H 0.448L 0.55H 0.45L 0.551H 0.448L 0.55H 0.448L 0.551H 0.449L 0.551H 0.448L 0.55H 0.449L 0.551H 0.449L 0.55H 0.449L 0.549H 0.45L 0.55H 0.451L 0.548H 0.45L 0.548H 0.453L 0.548H 0.452L 0.545H 0.453L 0.546H 0.456L 0.543H 0.454L 0.541H 0.459L 0.542H 0.46L 0.536H 0.461L 0.537H 0.468L 0.535H 0.467L 0.528H 0.469L 0.526H 0.474L 0.526H 0.472L 0.512H 0.453L 0.471H 0.229L
上記、全92層の膜構成において、基材から15〜76層目における高屈折率層の光学膜厚の平均は、0.547×λであり、低屈折率層の光学膜厚の平均は0.452×λである。高屈折率層の光学膜厚の平均と、低屈折率層の光学膜厚の平均の和は、0.999×λであり、これらの比H/Lは、1.209となる。
本具体例における多層膜マイナスフィルターの分光透過率特性を図11に示す。ここで現れている垂直入射光に対する反射帯のピークは633nmにある。
垂直入射光に対して633nm付近に阻止帯(633±4nmで反射率99.9%以上、阻止帯の半値幅約25nm)を持つ本具体例のマイナスフィルターは、633nm付近の波長を持つ光のみ阻止しながら、他の波長の光を透過させることができる。本具体例のマイナスフィルターは、633nmに対応したレーザである633nm Red HeNeレーザの阻止に、特に有効である。
(構成)
高屈折率材料としてTa2O5、低屈折率材料としてSiO2を使用した垂直入射する光に対して用いる多層膜マイナスフィルターであり、下記の膜構成を持つ。ここで、基準波長は0°入射の光に対する反射帯の中心波長となる543nmである。
0.505H 0.526L 0.549H 0.531L 0.545H 0.516L 0.496H 0.456L 0.489H 0.499L 0.521H 0.481L 0.491H 0.486L 0.52H 0.496L 0.512H 0.485L 0.514H 0.49L 0.519H 0.487L 0.51H 0.483L 0.516H 0.486L 0.513H 0.481L 0.517H 0.484L 0.516H 0.48L 0.518H 0.482L 0.518H 0.48L 0.518H 0.479L 0.52H 0.48L 0.519H 0.477L 0.52H 0.48L 0.521H 0.477L 0.52H 0.478L 0.522H 0.477L 0.521H 0.477L 0.522H 0.478L 0.522H 0.477L 0.521H 0.478L 0.522H 0.477L 0.521H 0.478L 0.522H 0.477L 0.521H 0.477L 0.522H 0.478L 0.521H 0.477L 0.522H 0.478L 0.522H 0.477L 0.521H 0.478L 0.522H 0.478L 0.521H 0.478L 0.522H 0.479L 0.52H 0.477L 0.521H 0.48L 0.521H 0.478L 0.519H 0.48L 0.521H 0.48L 0.519H 0.48L 0.518H 0.482L 0.518H 0.481L 0.515H 0.483L 0.518H 0.482L 0.514H 0.484L 0.519H 0.486L 0.513H 0.482L 0.511H 0.489L 0.518H 0.489L 0.496H 0.468L 0.498H 0.499L 0.531H 0.512L 0.538H 0.503L 0.486H 0.45L 0.487H 0.503L 0.52H 0.472L 0.425H 0.217L
上記、全128層の膜構成において、基材から15〜106層目における高屈折率層の光学膜厚の平均は、0.519×λであり、低屈折率層の光学膜厚の平均は0.480×λである。高屈折率層の光学膜厚の平均と、低屈折率層の光学膜厚の平均の和は、0.999×λであり、これらの比H/Lは、1.081となる。
本具体例における多層膜マイナスフィルターの分光透過率特性を図12に示す。ここで現れている垂直入射光に対する反射帯のピークは543nmにある。
垂直入射光に対して543nm付近に阻止帯(543nmで反射率98%程度、阻止帯の半値幅約10nm)を持つ本具体例のマイナスフィルターは、543nm付近の波長を持つ光のみ阻止しながら、他の波長の光を透過させることができる。また、本具体例のマイナスフィルターは、前記した設計の基準波長λのみをずらした本具体例と同じ構成のマイナスフィルターを複数毎の平行平板ガラスに形成することによって、複数の波長を阻止しながらその間の波長を透過させることの出来る、これまでに実現が難しかった光学素子を提供する。
(構成)
高屈折率材料としてTa2O5、低屈折率材料としてSiO2を使用した垂直入射する光に対して用いる多層膜マイナスフィルターであり、下記の膜構成を持つ。ここで、基準波長は0°入射の光に対する反射帯の中心波長となる481nmと548nmの2種類の表記で示した。
0.497H 0.509L 0.42H 0.521L 0.452H 0.547L 0.456H 0.574L 0.408H 0.59L 0.425H 0.589L 0.418H 0.577L 0.393H 0.594L 0.407H 0.62L 0.392H 0.61L 0.384H 0.594L 0.41H 0.604L 0.391H 0.612L 0.387H 0.6L 0.411H 0.6L 0.395H 0.608L 0.405H 0.584L 0.432H 0.549L 0.433H 0.57L 0.425H 0.597L 0.503H 0.613L 0.579H 0.617L 0.549H 0.615L 0.551H 0.608L 0.509H 0.618L 0.501H 0.613L 0.52H 0.632L 0.538H 0.618L 0.542H 0.637L 0.491H 0.618L 0.483H 0.637L 0.53H 0.624L 0.535H 0.636L 0.509H 0.627L 0.499H 0.632L 0.507H 0.634L 0.517H 0.625L 0.518H 0.635L 0.519H 0.627L 0.508H 0.631L 0.502H 0.628L 0.522H 0.629L 0.524H 0.626L 0.513H 0.621L 0.519H 0.627L 0.526H 0.62L 0.517H 0.614L 0.521H 0.616L 0.545H 0.616L 0.545H 0.608L 0.517H 0.594L 0.525H 0.608L 0.576H 0.594L 0.57H 0.621L 0.564H 0.302L
(λ=548nmによる表記)
0.43H 0.446L 0.364H 0.457L 0.391H 0.479L 0.395H 0.503L 0.353H 0.517L 0.368H 0.516L 0.362H 0.506L 0.34H 0.52L 0.352H 0.544L 0.339H 0.535L 0.333H 0.521L 0.355H 0.529L 0.339H 0.537L 0.335H 0.526L 0.356H 0.525L 0.341H 0.533L 0.351H 0.512L 0.373H 0.481L 0.374H 0.5L 0.368H 0.523L 0.435H 0.537L 0.501H 0.541L 0.475H 0.539L 0.477H 0.533L 0.44H 0.542L 0.433H 0.537L 0.45H 0.554L 0.466H 0.542L 0.469H 0.558L 0.425H 0.541L 0.418H 0.558L 0.459H 0.547L 0.463H 0.558L 0.44H 0.549L 0.432H 0.554L 0.439H 0.556L 0.448H 0.548L 0.448H 0.556L 0.449H 0.55L 0.439H 0.553L 0.434H 0.551L 0.452H 0.552L 0.453H 0.549L 0.444H 0.544L 0.449H 0.549L 0.455H 0.543L 0.448H 0.538L 0.451H 0.54L 0.472H 0.54L 0.471H 0.533L 0.447H 0.521L 0.455H 0.533L 0.498H 0.521L 0.493H 0.544L 0.488H 0.265L
上記、全110層の膜構成において、基材から7〜38層目が481nmにおける反射帯を形成している。前記基材から7〜38層目におけるλ=481nmとしたときの高屈折率層の光学膜厚の平均は、0.409×λであり、低屈折率層の光学膜厚の平均は0.592×λである。(高屈折率層の光学膜厚の平均と、低屈折率層の光学膜厚の平均の和は、1.001×λであり、これらの比H/Lは、0.691となる。)また、上記、全110層の膜構成において、基材から53〜100層目が548nmにおける反射帯を形成している。前記基材から53〜100層目におけるλ=548nmとしたときの高屈折率層の光学膜厚の平均は、0.449×λであり、低屈折率層の光学膜厚の平均は0.548×λである。高屈折率層の光学膜厚の平均と、低屈折率層の光学膜厚の平均の和は、0.997×λであり、これらの比H/Lは、0.819となる。
本具体例における多層膜マイナスフィルターの分光透過率特性を図13に示す。ここで現れている垂直入射光に対する反射帯のピークは481nmおよび548nmにある。
垂直入射光に対して481nm付近と543nm付近に阻止帯を持つ本具体例のマイナスフィルターは、481nm付近と543nm付近の波長を持つ光のみ阻止しながら、可視波長域内の他の波長の光を透過させることができる。
(構成)
高屈折率材料としてTa2O5、低屈折率材料としてSiO2を使用した45°入射する光に対して用いる多層膜マイナスフィルターであり、下記の膜構成を持つ。ここで、基準波長は0°入射の光に対する反射帯の中心波長となる620nmと686nmの2種類の表記で示した。
0.524H 0.558L 0.559H 0.502L 0.455H 0.466L 0.5H 0.491L 0.526H 0.491L 0.568H 0.474L 0.518H 0.48L 0.495H 0.5L 0.481H 0.447L 0.561H 0.461L 0.584H 0.467L 0.571H 0.445L 0.456H 0.469L 0.475H 0.474L 0.62H 0.439L 0.594H 0.455L 0.574H 0.458L 0.408H 0.489L 0.507H 0.456L 0.604H 0.453L 0.621H 0.472L 0.606H 0.572L 0.593H 0.536L 0.617H 0.452L 0.604H 0.499L 0.612H 0.533L 0.559H 0.532L 0.686H 0.506L 0.549H 0.462L 0.636H 0.527L 0.606H 0.543L 0.526H 0.517L 0.725H 0.477L 0.474H 0.459L 0.331H 0.596L 0.581H 0.654L 0.546H 0.705L 0.649H 0.566L 0.62H 0.668L 0.608H 0.645L 0.567H 0.658L 0.645H 0.605L 0.578H 0.596L 0.413H 0.482L 0.378H 0.534L 0.595H 0.318L 0.448H 0.538L 0.451H 0.54L 0.472H 0.54L 0.471H 0.533L 0.447H 0.521L 0.455H 0.533L 0.498H 0.521L 0.493H 0.544L 0.488H 0.265L
(λ=686nmによる表記)
0.471H 0.504L 0.502H 0.453L.409H 0.421L 0.449H 0.443L 0.473H 0.443L 0.511H 0.429L 0.466H 0.433L 0.445H 0.452L 0.432H 0.403L 0.504H 0.417L 0.525H 0.422L 0.513H 0.402L 0.41H 0.424L 0.427H 0.428L 0.558H 0.396L 0.534H 0.411L 0.516H 0.413L 0.367H 0.442L 0.456H 0.412L 0.543H 0.409L 0.558H 0.426L 0.544H 0.517L 0.533H 0.484L 0.554H 0.408L 0.543H 0.451L 0.55H 0.481L 0.503H 0.48L 0.617H 0.457L 0.494H 0.418L 0.572H 0.477L 0.545H 0.49L 0.473H 0.467L 0.652H 0.431L 0.426H 0.414L 0.298H 0.538L 0.522H 0.591L 0.491H 0.636L 0.584H 0.511L 0.558H 0.604L 0.547H 0.582L 0.51H 0.595L 0.58H 0.546L 0.52H 0.539L 0.372H 0.436L 0.339H 0.483L 0.535H 0.287L 0.448H 0.538L 0.451H 0.54L 0.472H 0.54L 0.471H 0.533L 0.447H 0.521L 0.455H 0.533L 0.498H 0.521L 0.493H 0.544L 0.488H 0.265L
上記、全110層の膜構成において、基材から7〜38層目が45°入射光に対する568nmにおける反射帯(垂直入射では620nmにおける反射帯)を形成している。前記基材から7〜34層目におけるλ=620nmとしたときの高屈折率層の光学膜厚の平均は、0.537×λであり、低屈折率層の光学膜厚の平均は0.468×λである。(高屈折率層の光学膜厚の平均と、低屈折率層の光学膜厚の平均の和は、1.005×λであり、これらの比H/Lは、1.148となる。)また、上記、全110層の膜構成において、基材から43〜74層目が45°入射光に対する633nmにおける反射帯(垂直入射では686nmにおける反射帯)を形成している。前記基材から53〜100層目におけるλ=686nmとしたときの高屈折率層の光学膜厚の平均は、0.52×λであり、低屈折率層の光学膜厚の平均は0.484×λである。高屈折率層の光学膜厚の平均と、低屈折率層の光学膜厚の平均の和は、1.004×λであり、これらの比H/Lは、1.074となる。
本具体例における多層膜マイナスフィルターの分光透過率特性を図14に示す。図14から、本具体例のマイナスフィルターは45°入射光に対して488nm付近と543nm付近と633nm付近に反射帯を持つ。このうち、543nm付近の反射帯と、633nm付近の反射帯が、本発明におけるマイナスフィルターに相当する。ここで明示していないが、543nm付近の反射帯と633nm付近の反射帯に対応する垂直入射光に対する反射帯のピークは620nmおよび686nmにある。
本具体例のマイナスフィルターにおける反射帯は、488nmMultiArレーザ、543nmGreenHeNeレーザ、633nmRedHeNeレーザに対応しており、これらのレーザ光を光源として利用した共焦点レーザ顕微鏡において、利用することができる。これによって、蛍光物質の励起にこれら複数の波長の光を同時に用いることが出来るようになり、いくつもの種類の蛍光を同時に観察することで、細胞内の相互作用や複数の観察対象の配置を正確に見たいという要求に応えることが出来る。このような観察を多重染色の同時観察と呼ぶが、この多重染色の同時観察には、本発明のような複数の反射帯(=複数の透過帯)を持つフィルター(多重励起フィルター)が必須である。
2・・・繰り返し層
21・・・高屈折率層
22・・・低屈折率層
Claims (12)
- 所定の波長の光を反射し、それよりも長い波長の光と短い波長の光とを透過する多層膜マイナスフィルターにおいて、
高屈折率層と低屈折率層が交互に繰り返して積層された繰り返し層を有し、
前記高屈折率層の光学膜厚の平均値と前記低屈折率層の光学膜厚の平均値との和が、垂直入射光に対する反射波長λ0に等しく、前記高屈折率層の光学膜厚Hと前記低屈折率層の光学膜厚Lとの比H/Lが0.5より大きく、2未満であるように構成され、前記繰り返し層によって前記反射波長λ0に形成される反射帯を利用したことを特徴とする多層膜マイナスフィルター。 - 請求項1に記載の多層膜マイナスフィルターにおいて、前記繰り返し層は、高屈折率層の平均的な光学膜厚が0.51λ0〜0.62λ0、低屈折率層の平均的な光学膜厚が0.38λ0〜0.49λ0で形成されていることを特徴とする多層膜マイナスフィルター。
- 請求項1に記載の多層膜マイナスフィルターにおいて、前記繰り返し層は、高屈折率層の平均的な光学膜厚が0.39λ0〜0.48λ0、低屈折率層の平均的な光学膜厚が0.52λ0〜0.62λ0で形成されていることを特徴とする多層膜マイナスフィルター。
- 請求項1に記載の多層膜マイナスフィルターにおいて、前記反射帯が複数あることを特徴とする多層膜マイナスフィルター。
- 所定の波長の光を反射し、それよりも長い波長の光と短い波長の光とを透過する多層膜マイナスフィルターにおいて、
高屈折率層と低屈折率層が交互に繰り返して積層された繰り返し層を有し、
前記高屈折率層の光学膜厚の平均値と前記低屈折率層の光学膜厚の平均値との和が、垂直入射光に対する反射波長λ 0 に等しく、前記高屈折率層の光学膜厚Hと前記低屈折率層の光学膜厚Lとの比H/Lが0.5より大きく、2未満であるように構成され、前記繰り返し層によって垂直入射光に対して反射波長λ0で現れる反射帯がより短波長側にシフトして形成される斜め入射光に対する反射帯を利用することを特徴とする多層膜マイナスフィルター。 - 請求項5に記載の多層膜マイナスフィルターにおいて、前記斜め入射光の入射角が45°として用いられ、高屈折率層の平均的な光学膜厚が0.49λ0〜0.63λ0、低屈折率層の平均的な光学膜厚が0.37λ0〜0.51λ0で形成された繰り返し層を含むことを特徴とする多層膜マイナスフィルター。
- 請求項5に記載の多層膜マイナスフィルターにおいて、前記斜め入射光の入射角が45°として用いられ、高屈折率層の平均的な光学膜厚が0.32λ0〜0.47λ0、低屈折率層の平均的な光学膜厚が0.53λ0〜0.68λ0で形成された繰り返し層を含むことを特徴とする多層膜マイナスフィルター。
- 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の多層膜マイナスフィルターにおいて、前記反射波長がレーザ光源のレーザ光の波長に選択され、レーザ光のみを反射することを特徴とする多層膜マイナスフィルター。
- 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の多層膜マイナスフィルターにおいて、前記多層膜マイナスフィルターは、周囲の環境による特性の変化が少ないシフトレスフィルターであり、前記多層膜マイナスフィルターを構成する高屈折率膜材料が、Ta2O5、TiO2、Nb2O5、HfO2、Al2O3若しくはこれらを含む混合物からなり、なおかつ低屈折率膜材料が、SiO2若しくはこれを含む混合物からなることを特徴とする、多層膜マイナスフィルター。
- 請求項9に記載の多層膜マイナスフィルターにおいて、多層膜を形成するための透明基板が、石英ガラス若しくは線膨張係数が0.8×10−6以下のガラスであることを特徴とする多層膜マイナスフィルター。
- 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の多層膜マイナスフィルターを具備することを特徴とする蛍光顕微鏡。
- 請求項11に記載の蛍光顕微鏡において、励起光源としてレーザを更に具備することを特徴とする蛍光顕微鏡。
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