JP4572371B2 - 機能性デバイス及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッド - Google Patents
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- 複数の基板を接着剤で接合して形成される機能性デバイスにおいて、
互いに接着される基板同士の接合面の少なくとも一方に、余分な接着剤の逃げ用の領域となる凹部が形成され、
前記凹部の開口部の形状を、鋭角部分が前記基板の深さ方向を支配する結晶方位に直交する方向側にならないように形成してなる、機能性デバイス。 - 前記開口部の形状を、鈍角部分が前記基板の深さ方向を支配する結晶方位に直交する方向側になるように形成してなる、請求項1記載の機能性デバイス。
- 前記開口部の形状が平行四辺形、菱形、又は多角形である請求項1又は2に記載の機能性デバイス。
- 前記多角形の開口部が六角形以上の多角形の開口部である、請求項3記載の機能性デバイス。
- 前記基板を貫通する孔及び/又は前記基板に配線が形成されており、前記凹部が前記孔及び/又は配線の回りに複数列から成るように、前記基板に対してハーフエッチングにより形成されてなる請求項1〜4の何れか項記載のデバイス。
- 複数の基板を接着剤で接合して、液滴を吐出するノズル開口へ液体を供給する液体流路を形成してなる液体噴射ヘッドにおいて、
互いに接着される基板同士の接合面の少なくとも一方の、前記液体流路となる孔部周辺及び配線部の少なくとも一方の周辺に、余分な接着剤の逃げ用の領域となる凹部が形成され、
前記凹部の開口部の形状が、請求項1〜5の何れか記載の形状になるように形成されてなる、液体噴射ヘッド。 - 複数の基板を接着剤で接合して機能性デバイスを製造する方法において、
互いに接着される基板同士の接合面の少なくとも一方に、余分な接着剤の逃げ用の領域となる凹部を形成し、
前記凹部の開口部の形状を、請求項1〜5の何れか記載の形状になるように形成した機能性デバイスの製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07323543A (ja) * | 1994-06-02 | 1995-12-12 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
JPH10304685A (ja) * | 1997-04-21 | 1998-11-13 | Seiko Epson Corp | 静電アクチュエータ及びそれを利用したインクジェットヘッド |
JP2002210965A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置 |
JP2003200578A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-15 | Seiko Epson Corp | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2004098498A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置 |
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---|---|---|---|---|
JPH07323543A (ja) * | 1994-06-02 | 1995-12-12 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
JPH10304685A (ja) * | 1997-04-21 | 1998-11-13 | Seiko Epson Corp | 静電アクチュエータ及びそれを利用したインクジェットヘッド |
JP2002210965A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置 |
JP2003200578A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-15 | Seiko Epson Corp | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2004098498A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置 |
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