JP4567370B2 - ガス供給集積ユニット - Google Patents
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Description
ジクロールシラン等のプロセスガスの液化を防止するため、特許文献1のガス供給装置では、例えば図9に示すように、配管、継手、ガス弁62、64及び質量流量計付電磁弁61等により構成されるガスユニットの両側に、伝熱ブロック51と副伝熱ブロック52とに形成された保持溝53、54にテープ状のヒータ60が保持され、配設されることにより、ジクロールシラン等が気化温度以上になるように加熱保温される。
また、図10に示すように、伝熱ブロック51の上面は、質量流量計付電磁弁61に下方から接触する接触面65となっており、質量流量計付電磁弁61を加熱保温している。
(1)ガス供給装置はコストダウンのため、小型化と集積化が望まれているが、図9に示すガス供給装置は、ガスユニットの両側に、伝熱ブロック51と副伝熱ブロック52とに形成された保持溝53、54にテープ状のヒータ60を保持するように配接しているので、ガスユニット巾が、ヒータを必要としないガスユニットに比較して大きくなる。
(2)ガス供給装置は、ガスユニットの両側にヒータ60、伝熱ブロック51及び副伝熱ブロック52など、加熱保温のための部品を多く必要とし、コストが高くなる。
そこで本発明は、係る課題を解決すべく、常温常圧では液化しやすいプロセスガスを加熱保温しながら供給するためのガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。
(1)出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられたエアオペレート弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロック及びユニット固定板により直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、断面がコの字型であって、前記流路ブロック及びユニット固定板が嵌合される保持部材と、前記ユニット固定板の下部に配設され、前記保持部材と前記流路ブロック及び前記ユニット固定板との間に挟まれて固定される平面ヒータとを有することを特徴とする。
(2)(1)に記載するガス供給集積ユニットにおいて、前記ガスユニットが前記保持部材に嵌合されて、締結されるレールと、前記保持部材と前記レールの間に狭持される板状のスペーサ部材とを有することを特徴とする。
(3)出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられたエアオペレート弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロック及びユニット固定板により直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、前記ガスユニットの底面に接して配設される1枚又は2枚以上の平面ヒータと、前記平面ヒータを保持する保持部材と、前記平面ヒータを前記保持部材と前記流路ブロック及び前記ユニット固定板との間に挟んで、保持部材を固定する保持部材固定板とを有することを特徴とする。
本発明のガス供給集積ユニットは、出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられたエアオペレート弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロック及びユニット固定板により直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、断面がコの字型であって、前記流路ブロック及び前記ユニット固定板が嵌合される保持部材と、前記ユニット固定板の下部に配設され、前記保持部材と前記流路ブロック及び前記ユニット固定板との間に挟まれて固定される平面ヒータとを有するので、ガスユニットの外形寸法を平面ヒータを必要としないガスユニットと全く同一にすることが出来る。従って、ガスユニットを集積したガス供給集積ユニット全体でも外形寸法が変化しない。更に、ガスユニットの流路ブロック及びユニット固定板を裏面から加熱保温するので、加熱保温するための部品として、1ガスユニットに対して、1枚の平面ヒータと1個の保持部材を必要するだけで、部品点数が少なく、コストダウンすることが出来る。
また、本発明のガス供給集積ユニットは、出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられたエアオペレート弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロック及びユニット固定板により直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、前記ガスユニットの底面に接して配設される1枚又は2枚以上の平面ヒータと、前記平面ヒータを保持する保持部材と、前記平面ヒータを前記保持部材と前記流路ブロック及び前記ユニット固定板との間に挟んで、保持部材を固定する保持部材固定板とを有するので、ガスユニット毎に平面ヒータと保持部材を各1個必要とせず、ガス供給集積ユニット全体で平面ヒータと保持部材がそれぞれ、1枚又は2枚以上であればよく、ガス供給集積ユニットを加熱保温するための部品点数が少なく、コストダウンすることが出来る。更に、平面ヒータの枚数が減ることで配線が容易になり、平面ヒータの交換もし易い。
2本のレール10、12は、両端をレール固定棒13,14により平行に固定される。レール固定棒13,14に平行に、左からパージガスユニット、プロセスガスユニット、ガスユニットA、B、C,D、Eがそれぞれユニット固定板15により、レール10、12に沿って横方向に平行移動可能に取り付けられる。パージガスユニット、プロセスガスユニット、ガスユニットA、B、C,D、Eにそれぞれ取り付けられる機器の回路構成は図3に示す。
パージガス手動弁29はパージガス供給口28を介して図示しないパージガスタンクと接続する。パージガス手動弁29は、エアオペレート弁32、逆止弁33、パージガス共通流路43を介して、第2手動弁25A、25B、25C,25D、25Eの一方のポートに接続する。パージガス手動弁29と、エアオペレート弁32とを連通させる流路に、圧力計31が連通される。第2手動弁25A、25B、25C,25D、25Eの他のポートは、レギュレータ24A、24B、24C,24D、24Eの一方のポートに接続される。
エアオペレート弁26A、26B、26C,26D、26Eの他のポートは、レギュレータ24A、24B、24C,24D、24Eの一方のポートに接続される。レギュレータ24A、24B、24C,24D、24Eの他のポートは、第1手動弁22A、22B、22C,22D、22Eを介して、プロセスガス出口21A、21B、21C,21D、21Eと連通される。レギュレータ24A、24B、24C,24D、24Eと、第1手動弁22A、22B、22C,22D、22Eとを連通させる流路に、圧力計23A、23B、23C,23D、23Eが連通される。
プロセスガス共通流路44の端部は、プロセスガス共通流路端部手動弁41により封止される。また、パージガス共通流路43の端部は、パージガス共通流路端部手動弁38により封止される。
また、第1実施例のガス供給集積ユニットによれば、ガスユニットが保持部材18に嵌合されて、締結されるレール10、レール12と、保持部材18とレール10、レール12の間に狭持される板状のスペーサ部材19とを有するので、平面ヒータ16の交換が容易で、メンテナンスし易い。即ち、スペーサ部材19を抜き取ることにより、ガス供給集積ユニットを使用できる状態を維持したままで、平面ヒータ16を取り外し、別の平面ヒータ16を取り付けることができる。
平面ヒータ17は、1枚又は2枚以上であるが、図7及び図8では、2枚の例で示す。2枚の平面ヒータ17は、パージガスユニット、プロセスガスユニット、ガスユニットA、B、C,D、Eがそれぞれ固定されているユニット固定板15の下部に接して、ユニット固定板15の長手方向に直交して配設される。2枚の平面ヒータ17はそれぞれ保持部材48により保持され、保持部材48は締結手段49により、二つの保持部材固定板47により固定される。一つの保持部材固定板47は、レール固定棒13と平行にプロセスガスユニットの左側に取り付けられ、もう一つの保持部材固定板47は、レール固定棒14と平行にガスユニットEの右側に取り付けられる。二つの保持部材固定板47は両端をそれぞれレール10、12に固定される。
なお、本発明の実施の一形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、様々な応用が可能である。
12 レール
15 ユニット固定板
16 平面ヒータ
17 平面ヒータ
18 保持部材
19 スペーサ部材
22 第1手動弁
25 第2手動弁
26 エアオペレート弁
43 パージガス共通流路
44 プロセスガス共通流路
46 流路ブロック
47 保持部材固定板
48 保持部材
Claims (3)
- 出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられたエアオペレート弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロック及びユニット固定板により直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
断面がコの字型であって、前記流路ブロック及びユニット固定板が嵌合される保持部材と、
前記ユニット固定板の下部に配設され、前記保持部材と前記流路ブロック及び前記ユニット固定板との間に挟まれて固定される平面ヒータとを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項1に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記ガスユニットが前記保持部材に嵌合されて、締結されるレールと、
前記保持部材と前記レールの間に狭持される板状のスペーサ部材とを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられたエアオペレート弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロック及びユニット固定板により直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
前記ガスユニットの底面に接して配設される1枚又は2枚以上の平面ヒータと、
前記平面ヒータを保持する保持部材と、
前記平面ヒータを前記保持部材と前記流路ブロック及び前記ユニット固定板との間に挟んで、保持部材を固定する保持部材固定板とを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
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