JP2008014390A - 集積形流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 質量流量制御手段Mとそこにプロセスガスを流入する流入制御手段S、A1とプロセスガスを流出する流出制御手段A2、A3を含む第1の流体制御機器と、隣接する流体制御機器を連通させる流路を有する複数の流路ブロックV1〜V6とを有する複数列のプロセスガスラインL1〜L3をベースプレートD上に設置した集積形流体制御装置1において、
プロセスガスラインL1〜L3を構成する第1の流体制御機器M、S、A1〜A3は、加熱手段を介してベースプレートD上に設置されるとともに、
この加熱手段は、ベースプレートD上に設置された単一のシート状ヒータHと、その熱を流路ブロック又は質量流量制御手段に伝達する伝熱ブロックX1、X2を有する。
【選択図】 図2
Description
更に、集積流体制御装置には、メンテナンスや将来のガスラインの増設を考慮して、流路ブロックと開閉弁のみを配置させ、それ以外の流体制御機器を具備しないガス供給ライン(予備ライン)を設けることがある。この予備ラインの途中には、伝熱されるべき流体制御機器が存在しない箇所があるために、その個所の放熱が不充分で、一部が過熱され、ヒータの断線等が懸念される。
前記第1の流体制御機器及び前記流路ブロックは、加熱手段を介して前記ベースプレート上に設置されるとともに、
前記加熱手段は、前記ベースプレート上に設置された単一のシート状ヒータと、その熱を前記流路ブロック又は前記質量流量制御手段に伝達する伝熱ブロックを有することを特徴とする。
上記のプロセスガスラインL、予備ラインY1、Y2及びパージラインP1、P2は、ベースプレート上にヒータを含む加熱手段(いずれも図示を省略)を介して設置されており、その詳細は後述する。
H:ヒータ、H1:ヒータ端子、H2:凹凸部、H3:ヌスミ部
V1:流入継手ブロック、V、V2、V3、V4、V5:横流路ブロック、V6:流出継手ブロック、V11:凹部、V12:ガス流路、V13:ボルト穴、V14:ねじ部、V15:位置決め穴
T1、T2:縦流路ブロック
L、L1、L2、L3:プロセスガスライン
Y1、Y2:予備ライン
P1、P2:パージライン
X1、X2、X21:伝熱ブロック、X22:保温部材
Claims (5)
- 質量流量制御手段とそこにプロセスガスを流入させる流入制御手段と質量流量制御手段からプロセスガスを流出させる流出制御手段を含む第1の流体制御機器と、隣接する前記制御手段を連通させる流路を有する複数の流路ブロックとを有する複数列のプロセスガスラインをベースプレート上に設置した集積形流体制御装置において、
前記第1の流体制御機器及び前記流路ブロックは、加熱手段を介して前記ベースプレート上に設置されるとともに、
前記加熱手段は、前記ベースプレート上に設置された単一のシート状ヒータと、その熱を前記流路ブロック又は前記質量流量制御手段に伝達する伝熱ブロックを有することを特徴とする集積形流体制御装置。 - 前記ベースプレート上に、前記プロセスガスラインと並列に、プロセスガスを流入する流入制御手段とプロセスガスを流出させる流出制御手段を含む第2の流体制御機器と、隣接する前記制御手段を連通させる流路を有する複数の流路ブロックとを有する予備ラインが加熱手段を介して設置されることを特徴とする請求項1に記載の集積形流体制御装置。
- 前記プロセスガスラインと前記予備ラインにパージガスを導入するパージラインが付設されるとともに、前記各流路ブロックは、断面略T字形状のブロックであることを特徴とする請求項1又は2に記載の集積形流体制御装置。
- 前記伝熱ブロックは、前記質量流量制御手段とそれに連通する流路ブロックと前記ヒータで囲まれた領域及び/又は流路ブロックと前記ヒータで囲まれた領域に設置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の集積形流体制御装置。
- 前記伝熱ブロックの少なくともひとつは、表面の一部が保温部材で被覆されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の集積形流体制御装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006185670A JP2008014390A (ja) | 2006-07-05 | 2006-07-05 | 集積形流体制御装置 |
KR1020070066877A KR20080004383A (ko) | 2006-07-05 | 2007-07-04 | 집적형 유체 제어 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006185670A JP2008014390A (ja) | 2006-07-05 | 2006-07-05 | 集積形流体制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008014390A true JP2008014390A (ja) | 2008-01-24 |
Family
ID=39071610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006185670A Pending JP2008014390A (ja) | 2006-07-05 | 2006-07-05 | 集積形流体制御装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008014390A (ja) |
KR (1) | KR20080004383A (ja) |
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- 2006-07-05 JP JP2006185670A patent/JP2008014390A/ja active Pending
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- 2007-07-04 KR KR1020070066877A patent/KR20080004383A/ko not_active Application Discontinuation
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KR20080004383A (ko) | 2008-01-09 |
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