JP4564762B2 - 照明装置及び画像測定機 - Google Patents
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Description
これは、被測定物を載置したテーブルを有する測定機本体と、光源からの光束を被測定物の真上から照射する垂直落射照明装置と、測定機本体に着脱可能に取り付けられ光源からの光束を被測定物に対して斜めから照射する斜め照明装置と、光源からの光束を垂直落射照明装置と斜め照明装置との間で切り替える切替手段とを備える構成である。
この構成によれば、切替手段を用いることによって、垂直落射照明と斜め照明との切り替えが可能である。
また、斜め照明を行うときに、ワークの種類によっては、特定の方向からのみ斜め照明光を照射したほうが、全方向(360°)から斜め照明光を照射するよりも、表面形状を鮮明に浮かびあがらせることが可能な場合もある。斜め照明用受光部全体が透光部であるような構成の照明装置では、斜め照明は、ワークに対して全ての方向(360°)から光の照射を行うリング照明となっているので、前記のようなワークの照明に用いるのには不適当である。
しかし、この発明では、一方の円弧部分が透光部であり、かつ、他方の円弧部分が遮光部であるから、一方の円弧部分としての透光部を透過した光のみが斜め照明を構成する。そのため、第4透光・遮光パターンを光源から発せられる光の光路上に位置させると、ワークに対して特定の方向から光の照射を行う斜め照明が可能となる。さらに、回転機構によって、一方の円弧部分としての透光部は円輪形状の中心を回転中心として回転できるようになっているから、斜め照明の照射方向をワークの表面形状等に応じて自由に変えることができる。
また、操作輪を手指で回すと、その回転は動力伝達部材によって従動輪へと伝達されるから、従動輪と同軸上に形成されている第4透光・遮光パターンが回転される。これにより、前記のように斜め照明の照射方向を変えることができる。
図1は本実施形態の照明装置を用いた測定顕微鏡の斜視図である。この測定顕微鏡は、本体1を備えている。本体1は、ベース2と、ベース2に垂直に立設されたコラム3とを有する。ベース2には、上面にワークWを載置するテーブル4が設けられているとともに、内部に透過照明装置(図示省略)が設けられている。テーブル4は、操作ハンドル5、6の回動操作によって、水平面内における直交二軸方向、つまり、左右方向(X軸方向)および前後方向(Y軸方向)へ移動可能となっている。コラム3には、操作ハンドル7の回動操作によって、上下方向(Z軸方向)へ昇降可能な本体鏡筒8が設けられているとともに、各軸方向(X、Y、Z軸方向)の移動量を表示する表示器9が取り付けられている。
例えば、斜め照明パターン35が、図7(A)のときは左下からの斜め照明、図7(B)のときは右下からの斜め照明、図7(C)のときは右上からの斜め照明、図7(D)のときは左上からの斜め照明である。
(1)斜め照明を得るためにLED照明装置やファイバー照明装置等の高価な斜め照明装置を用いていないから、安価である。
例えば、前記実施形態では、斜め照明パターン35は、円形の遮光部351を有することとしていたが、本発明では、この代わりに円形のNDフィルタによって形成される一部透光部を有するものであってもよい。この構成によると、一部透光部を透過された光は垂直落射照明を形成し、かつ、斜め照明用受光部352の透光部352Aを透過された光が特定方向からの斜め照明を形成するから、この両照明を併用した照明とすることができる。特に、照明光量が必要な低反射率のワークWの照明に便利である。
しかし、本発明では、照明切替プレートは、円板形状で、かつ、その円板形状の中心を回転中心として回転自在に設けられた基板を備え、この基板の上面に、その円周方向に沿って等間隔に各照明パターンが配置されるものであってもよい。この構成では、円板形状の基板を回転させることによって、各照明パターンを順次光源からの光の光路上に位置させることが可能であり、照明パターンの切り替えを行うことができる。
4…テーブル
8…本体鏡筒
22…集光レンズ
30…照明切替プレート
32…垂直落射照明パターン
33…リング照明パターン
34…垂直落射・リング照明併用パターン
35…斜め照明パターン
36…スライド操作つまみ
37…回転機構
111…光源
121…接眼レンズ
131…対物レンズ
132…反射鏡
133…対物レンズ格納筒
371…第1プーリ
372…ローラ
372A…ローラ露出部
373…第2プーリ
374…ベルト
Claims (5)
- 光源と、
この光源から受けた光をテーブルに載置されるワークに対して垂直に照射する垂直落射照明用光学素子と、
この垂直落射照明用光学素子の周囲に配置され、かつ、前記光源から受けた光を前記ワークに対して斜めに照射する斜め照明用光学素子と、
前記光源から発せられる光の光路上に設けられる照明切替部材とを備え、
この照明切替部材は、前記光源から前記垂直落射照明用光学素子に向けて照射される光を透過させる透光部と、この透光部の外側に形成され前記光源から前記斜め照明用光学素子に向けて照射される光を遮断する遮光部とを有する第1透光・遮光パターンと、
前記光源から前記垂直落射照明用光学素子に向けて照射される光を遮断する遮光部と、この遮光部の外側に形成され前記光源から前記斜め照明用光学素子に向けて照射される光を透過させる透光部とを有する第2透光・遮光パターンと、
前記光源から前記垂直落射照明用光学素子に向けて照射される光を遮断する円形の遮光部、あるいは、一部を透過させる円形の一部透光部と、この円形の遮光部あるいは一部透光部と同心の円輪形状で前記光源から前記斜め照明用光学素子に向けて照射される光を受光する、斜め照明用受光部とを有する第4透光・遮光パターンとを備え、
かつ、
前記照明切替部材は、前記いずれかの透光・遮光パターンを前記光源から発せられる光の光路上に位置させることによって、前記ワークに対して照射される光のパターンの切り替えを行い、
前記斜め照明用受光部は、その円輪形状を2つの円弧部分に分割され、一方の円弧部分が透光部、他方の円弧部分が遮光部とされ、
かつ、前記斜め照明用受光部を、その円輪形状の中心を回転中心として回転させる回転機構が設けられることを特徴とする照明装置。 - 請求項1に記載の照明装置において、前記垂直落射照明用光学素子および前記斜め照明用光学素子は、一つの格納筒内に格納されていることを特徴とする照明装置。
- 請求項1または請求項2に記載の照明装置において、前記照明切替部材は、前記光源から前記垂直落射照明用光学素子に向けて照射される光の一部を透過させる一部透光部と、この一部透光部の外側に形成され前記光源から前記斜め照明用光学素子に向けて照射される光を透過させる透光部とを有する第3透光・遮光パターンを備え、かつ、前記照明切替部材は、前記第1透光・遮光パターン、前記第2透光・遮光パターン及び前記第3透光・遮光パターンのいずれか一つを前記光源から発せられる光の光路上に位置させることによって、前記ワークに対して照射される光のパターンの切り替えを行うことを特徴とする照明装置。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の照明装置において、前記照明切替部材は、一端にスライド操作つまみを備えるとともに、前記光源から発せられる光の光路に対してスライド可能に設けられ、
前記回転機構は、前記第4透光・遮光パターンと同軸上に設けられた従動輪と、前記スライド操作つまみ近傍に回転可能に設けられた操作輪と、この操作輪および前記従動輪にかけわたされた動力伝達部材とを含んで構成されることを特徴とする照明装置。 - 前記テーブルを備えるベースと、前記テーブルに対向され前記ワークの照明を行う請求項1から請求項4のいずれかに記載の照明装置と、前記テーブルに対向され前記ワークの画像測定を行う画像測定手段とを備えていることを特徴とする画像測定機。
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