JP4558524B2 - リニアモータ及びその製造方法及びこのリニアモータを用いたステージ装置 - Google Patents
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Description
(手順1)複数のコイル66を並設する(図4参照)。
(手順2)コイル66から引き出されたリード線86をリード線ガイド部材88に挿入する。
(手順3)複数のコイル66の周囲にモールド76を形成する(図3(A)(B)参照)。
(手順4)モールド76の表面に液体ガラスをコーティングしてガラス膜80を形成する(図3(A)(B)参照)。
(手順5)冷却水が供給される冷却水流路74を形成するカバー部材78によりガラス膜80の周囲を覆う(図3(A)(B)参照)。
(手順6)リード線86が挿入されたリード線ガイド部材88をカバー部材78の端部内側に取り付ける(図6(A)(B)参照)。
(手順7)カバー部材78の両端に溶接によりブロック82,84を接合する。
(手順8)複数の永久磁石68を有するマグネットヨーク部62がコイル部60に対向するように、マグネットヨーク部62をコイル部60に組み付ける(図2参照)。
14 ベース
18 スライダ
20 リニアモータ
24 Yスライダ
60 コイル部
62 マグネットヨーク部
66 コイル
68 永久磁石
70 冷却水供給口
72 冷却水排出口
74 冷却水流路
76 モールド
78 カバー部材
80,89,90 ガラス膜
82,84 ブロック
86 リード線
88 リード線ガイド部材
92 第1ガラス膜
94 第2ガラス膜
Claims (7)
- 複数のコイルが並設されたコイル部と、
複数の永久磁石が前記コイル部に対向するように並設されたマグネットヨーク部と、
前記コイル部を覆うカバー部材と、
前記カバー部材の内側に形成され、冷却水の供給により前記コイル部を冷却するコイル冷却部と、
を備え、
前記コイル部は、前記複数のコイルの周囲に樹脂材を形成し、前記樹脂材の表面にガラス膜を形成したことを特徴とするリニアモータ。 - 前記カバー部材の内面にガラス膜を形成したことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
- 前記コイル部は、前記複数のコイルの周囲に第1ガラス膜を形成し、前記第1ガラス膜の表面に樹脂材を形成し、前記樹脂材の表面に第2ガラス膜を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。
- 前記コイル部は、前記複数のコイルから引き出されたリード線を前記カバー部材の外部に導くリード線通路を有し、該リード線通路の外周にガラス膜を形成したことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のリニアモータ。
- 前記冷却水は、純水であることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のリニアモータ。
- 複数のコイルを並設する第1の工程と、
前記複数のコイルの周囲に樹脂材を形成する第2の工程と、
前記樹脂材の表面にガラス膜を形成する第3の工程と、
冷却水が供給される冷却水流路を形成するカバー部材で前記ガラス膜の周囲を覆う第4の工程と、
前記コイルから引き出されたリード線を引き出すリード線通路を前記カバー部材の端部内側に取り付ける第5の工程と、
複数の永久磁石を有するマグネットヨーク部が前記コイル部に対向するように前記マグネットヨーク部を取り付ける第6の工程と、
を有することを特徴とするリニアモータの製造方法。 - 請求項1乃至5の何れかに記載のリニアモータを駆動手段に用いたことを特徴とするステージ装置。
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