JP4547138B2 - 往復動モータを用いたダイヤフラムポンプ - Google Patents

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本発明は、定量注入ポンプや真空ポンプ等に使用される往復動モータを用いたダイヤフラムポンプに関する。
近年、ダイヤフラムポンプは定量注入等の様々な分野で活用されている。このようなダイヤフラムポンプは定量注入の精度が高く、騒音が低いことが望まれている。
ダイヤフラムポンプを駆動する駆動源として、図9に示すようなソレノイドを使用するものがある。
このようにソレノイドを使用するダイヤフラムポンプは騒音が高い。なぜなら、瞬間的な水平運動によりシャフト11が締結されているプランジャ12とコイル13を収納されているコイルケース14が非常に速い速度で衝突するからである。
このような騒音問題を解決するためにために、ダイヤフラムポンプの駆動源として往復動モータを使用されたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。この往復動モータは、シャフトに締結される可動子と、モータフレーム側に接続される固定子は衝突しない構造を有する。従って、ソレノイドを使用するダイヤフラムポンプのような騒音は発生しない。
特開平8−68379号公報
そもそも、ダイヤフラムポンプは薬液などを定量注入することを目的としている。往復動モータを使用しているダイヤフラムポンプは、往復動モータのシャフトが一往復する間に吐出される流量は一定である。シャフトのストローク長は、往復動モータに流れる駆動電流により決定される。
単位時間当りの吐出流量を変化させるためには、往復動モータの駆動周波数を変化させる必要があった。このように、駆動周波数を変化させると、往復動モータを構成するコイルのインピーダンスが変化してしまうため、往復動モータの駆動電流が変化して、シャフトのストローク長も一定とならないため、定量注入ができないという問題があった。
また、往復動モータの構造は、鉄などの磁性体を有する可動子にシャフトが締結され、前記磁性体に相対する位置に電磁鋼板などで構成された固定子がモータフレームに締結されている。さらに、固定子の周囲には、モータコイルが配置されており、可動子及びシャフトはモータフレームに締結された板バネ等により中心位置を保持されているだけあり、シャフトの往復動の位置決めはされていなかった。
このため、薬液などを注入する管路の圧力によりシャフトのストローク長が変動してしまい、定量注入の精度が低下するという問題もあった。
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、その目的は、定量注入を精度良く行うことができ、しかも、騒音が少ない往復動モータを用いたダイヤフラムポンプを提供することにある。
請求項1記載の発明は、往復動モータの出力軸の往復動に連動するダイヤフラムのストローク量に応じた吐出量を出力する往復動モータを用いたダイヤフラムポンプにおいて、前記往復動モータに流れる電流を検出する電流検出部と、この電流検出部により検出された前記往復動モータに流れる電流が一定電流値となるように制御する定電流制御部と、前記往復動モータの出力軸に設けられた切欠き部と、前記往復動モータの固定子又はモータフレームに固定され、その一部が前記切欠き部に当接することで、前記出力軸の往復動ストローク長を規制可能に形成されたストッパと、を具備することを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1に記載のダイヤフラムポンプであって、前記ストッパは円形状であり、半径方向に複数の切欠き部が設けられていることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項2に記載のダイヤフラムポンプであって、前記ストッパは薄板を積層したものであることを特徴とする。
本発明によれば、往復動モータに流れる電流を電流検出部により検出し、その電流値が一定値となるように定電流制御部で制御するようにしたので、ダイヤフラムポンプの吐出量を変化させるために往復動モータに供給する駆動信号の周波数を変化させることにより往復動モータのインピーダンスが変化しても往復動モータに流れる電流値を一定値に保つことができる。従って、駆動信号の周波数を変化させても、ダイヤフラムポンプのストローク長を一定に保つことができるので、定量注入を高精度に行うことができる。
本発明によれば、一定電流値により前記ダイヤフラムのストローク長が決定されるので、ダイヤフラムポンプの最高使用圧力にて所定のストローク長を得ることができるようにすることができる。
本発明によれば、往復動モータの出力軸に切欠き部を設け、出力軸が往復動した時に、ストッパを切欠き部に当接させるようにしたので、往復動モータのストローク長を一定とすることができる。
本発明によれば、ストッパにより往復動モータの固定子やモータフレームへの振動伝播を低減させることができる。この結果、ダイヤフラムポンプの騒音レベルを低減させることができる。
本発明によれば、複数の薄板を積層することにより、ストッパとしての機械的強度を維持することができる。
以下、図面を参照して本発明の第1の実施の形態について説明する。図1は往復動モータを用いたダイヤフラムポンプの断面図である。図において、21は円筒形状のポンプケーシングである。このポンプケーシング21の一端には例えば薬液のような液体を吸い込む吸い込み口22が設けられ、その他端には液体を吐出させる吐出口23が設けられ、その側面から中心軸付近までポンプ室24が形成されている。
前記吸い込み口22からポンプ室24との間には吸い込み管路25が形成され、ポンプ室24と吐出口23との間には吐出管路26が形成されている。
さらに、吸い込み管路25には、吸い込み口22からポンプ室24方向のみの液体の吸い込みを可能とするチェック弁27が介装される。さらに、吐出管路26には、ポンプ室24から吐出口23方向のみの液体の吐出を可能とするチェック弁28が介装されている。
31は往復動モータ30のモータフレームである。このモータフレーム31には円筒形状のモータカバー32が取り付けられている。
さらに、モータフレーム31には周方向に4箇所支持ピン33a〜33dの一端がリベット止めされている。図1においては、33a,33cのみが図示されている。
支持ピン33aにはモータフレーム31側から図2を参照して詳細な説明を後述するストッパ41、円板状の板ばね42、固定子43、円板状の板ばね44が固定されている。
さらに、支持ピン33cにも、ストッパ41、円盤状の板ばね42、固定子45、板ばね44が固定されている。
そして、往復動モータ30のシャフト(出力軸)51は板ばね42と44により両端が支持されている。
このシャフト51の一端側には前述したストッパ41の一部が出没する一定幅の切り欠き部52が形成された支持部材53が固定されている。
さらに、シャフト51の一端側は径が細くなる小径部51aを有する。この小径部51aにはダイヤフラム61を介して円筒形状のピストン部材62が取り付けられている。
固定子43には第1のコイル71が巻回され、固定子45には第2のコイル72が巻回されている。
また、固定子43のシャフト51に面する側面にはシャフト51の軸方向に向かって永久磁石73が着磁され、固定子45のシャフト51に面する側面にはシャフト51の軸方向に向かって永久磁石74が着磁されている。ここで、永久磁石73及び74の極性は同じである。
第1のコイル71及び第2のコイル72は図4に示すように直列に接続されており、第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる電流I(例えば、図5に示す)は制御部81からの駆動信号により制御される。この制御部81には、電流Iを検出する電流検出部81a、この電流検出部81bで検出された電流Iの値を一定に保つ定電流制御部81bを有する。
さらに、第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる電流Iにより発生する磁界の方向は同じ向きとなるように巻き線方向が定められている。
従って、図5あるいは図6に示すような電流が第1のコイル71及び第2のコイル72に流れると、周期的に電流方向が異なるため、第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる電流により発生する磁界により永久磁石73及び74の磁界が増加されたり、減少されたりする。
この結果、シャフト51は軸方向に周期的に往復動をする。このシャフト51に往復動によりダイヤフラム61も往復動し、ピストン部材62も往復動する。
ダイヤフラム61の往復動の大きさ、つまりストローク長ΔLは電流Iの大きさにより決定される。
図1において、ピストン部材62のポンプ室24側の端面が段差を持っているが、上側半分(符号62aで示す)はポンプ室24の液体を吐出させる吐出し工程の終端位置を示し、下側半分(符号62bで示す)はポンプ室24に液体を吸い込む吸込工程の終端位置を示している。
91はコネクタである。このコネクタ91には制御部81からの制御線92に接続されるコネクタ92が接続される。これにより、図4に示すような電気回路が形成される。
制御部81内には、第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる電流Iを検出する電流検出部81aとこの電流Iを一定値に保つ定電流制御部81bを有する。これは、電流値Iを一定値に保つように制御することによりストローク長ΔLを一定にしている。
このように、ストローク長ΔLを一定にすることにより、ポンプ室24の液体を吐出させる吐出し工程の終端位置及びポンプ室24に液体を吸い込む吸込工程の終端位置を一定とすることができ、ポンプ室24から吐出される液体の量を一定に保つことができる。
次に、図2及び図3を参照してストッパ41の構成について説明する。ストッパ41は図2に示すように円形状の複数の薄板が積層されて構成される。そして、ストッパ41の中心位置から半径方向の略半分位置までに複数の切り欠き100a〜100fが設けられている。隣接する切り欠き100a〜100fにより舌部101a〜101fが形成されている。
そして、図3に示すように各舌部101a〜101fが切り欠き部52に出没する。
このように、往復動モータ30のシャフトに一定幅の切欠き部52を設け、出力軸が往復動した時に、ストッパ41を切欠き部52に突出させて、切欠き部52の両端に当接させるようにしたので、管路、例えば吐出管路26の圧力が変動しても、往復動モータ30のストローク長ΔLを常に一定とすることができる。
次に、動作について説明する。制御部81からの駆動信号の制御により図5に示すような正弦波電流Iが第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる。
この結果、ダイヤフラム61は、正弦波電流Iの大きさに応じたストローク長ΔLで往復動する。
この結果、ピストン部材62はポンプ室24内をストローク長ΔLで往復動する。つまり、ピストン部材62は、ポンプ室24に液体を吸い込む吸込工程の終端位置62bとポンプ室24の液体を吐出させる吐出し工程の終端位置62aとの間で往復動する。
従って、吸込工程でポンプ室24内に吸い込まれた液体は吐出し工程で吐出口23を介して吐出される。この際、吐出口23から吐出される液体の吐出量はストローク長ΔLにより決定される。
このストローク長ΔLは第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる正弦波電流Iの大きさにより決定される。
ところで、第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる正弦波電流Iの大きさは電流検出部81aで検出される。そして、定電流制御部81bは、第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる正弦波電流Iを一定に保つように制御する。
従って、第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる正弦波電流Iであれば、ポンプ部材62が一往復動する間に吐出される液体量は一定である。
ところで、正弦波電流Iの周波数を可変すると単位時間当りにピストン部材62がストローク長ΔLで往復動する回数が変化する。
これにより、単位時間当りに吐出される液体量は可変される。
この際に、制御部81から出力される駆動信号の周波数に応じて第1のコイル71及び第2のコイル72のインピーダンスは変化する。この結果、正弦波電流Iも変化する。
しかしながら、本願発明は、正弦波電流Iの電流値は電流検出部81aで検出され、この電流値を一定に保つように定電流制御部81bを設けているので、例え駆動周波数が変化することにより第1のコイル71及び第2のコイル72のインピーダンスは変化しても、
第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる電流を一定に保つことができる。
このように、第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる電流、つまり往復動モータ30に流れる電流を電流検出部81aにより検出し、その電流値が一定値となるように定電流制御部81bで制御するようにしたので、ダイヤフラムポンプの吐出量を変化させるために往復動モータに供給する駆動信号の周波数を変化させることにより往復動モータのインピーダンスが変化しても往復動モータに流れる電流値を一定値に保つことができる。従って、駆動信号の周波数を変化させても、ダイヤフラムポンプのストローク長を一定に保つことができるので、定量注入を高精度に行うことができる。
次に、本発明の第2実施の形態について図7を参照して説明する。図7において、図1と同一部分には同一番号を付し、その詳細な説明については省略する。
この第2の実施の形態において、モータカバー32の内壁に往復動モータ30のシャフト51の軸方向の位置を検出する位置検出部100が設けられている。この位置検出部100で検出された往復動モータ30のシャフト51の軸方向の位置を示す位置信号は制御部81に入力される。
制御部81は、位置検出部100で検出された往復動モータ30のシャフト51の軸方向の位置を示す位置信号に応じて第1のコイル71及び第2のコイル72に流れる電流を制御して、往復動モータ30のストローク長ΔLを一定に保つ制御を行う。
このように、往復動モータ30のシャフト51の位置を位置検出部100で検出し、この位置検出部100により検出された往復動モータ30のシャフト51の位置に応じて往復動モータ30に流れる電流を制御して往復動モータのシャフト51の往復動に連動するダイヤフラムのストローク量ΔLを一定に保つように制御するようにしたので、往復動モータ30に供給される駆動信号の周波数や管路圧力が変化しても、往復動モータを常に一定のストローク長ΔLで駆動することができる。
次に、本発明の第3の実施の形態について図8を参照して説明する。この第3の実施の形態では往復動モータ30のシャフト51の両側にポンプケーシング21a及び21bを設けている。そして、このポンプケーシング21a及び21b内にそれぞれポンプ室24a及び24bを設けている。ストッパ41a,41b及びダイヤフラム61a,61bについても往復動モータ30の両側に設けられているが、片側のみのストッパ(41a、41b)としても良い。それ以外の構成については、図1の構成と同じである。
このように往復動モータ30のシャフト51の両側にポンプケーシング21a及び21bを設けることにより、一方のポンプケーシング21aのポンプ室24aにおいて液体を吸入する吸入工程が行われている間に、他方のポンプケーシング21bのポンプ室24bにおいて液体を吐出する吐出し工程が行われる。
このように一方のポンプの吸引工程時に他方のポンプが液体を吐出する吐出工程とするようにすることにより、均一注入化を計ることができる。
さらに、上記実施の形態では、往復動モータ30に流れる電流を一定となるように制御部81で制御するようにしたが、往復動モータ30に流れる電流を可変制御することにより往復動モータ30のストローク長ΔLを可変して、吐出流量を可変するようにしても良い。
本発明の第1の実施の形態に係る往復動モータを用いたダイヤフラムポンプの断面図。 同第1の実施の形態に係るストッパの平面図。 同第1の実施の形態に係るストッパを切り欠き部に装着した状態を示す要部断面図。 同第1の実施の形態に係る往復動モータを用いたダイヤフラムポンプを駆動する電気回路図。 同第1の実施の形態に係る往復動モータを用いたダイヤフラムポンプを駆動する駆動信号の波形図。 同第1の実施の形態に係る往復動モータを用いたダイヤフラムポンプを駆動する駆動信号の波形図。 本発明の第2の実施の形態に係る往復動モータを用いたダイヤフラムポンプの断面図。 本発明の第3の実施の形態に係る往復動モータを用いたダイヤフラムポンプの断面図。 従来のソレノイドを用いたダイヤフラムポンプの要部断面図。
符号の説明
21…ポンプケーシング、41…ストッパ、43…固定子、51…シャフト
81…制御部、81a…電流検出部、81b…定電流制御部。

Claims (3)

  1. 往復動モータの出力軸の往復動に連動するダイヤフラムのストローク量に応じた吐出量を出力する往復動モータを用いたダイヤフラムポンプにおいて、
    前記往復動モータに流れることで、前記ダイヤフラムのストローク長を決定する電流を検出する電流検出部と、
    この電流検出部により検出された前記往復動モータに流れる前記電流が一定電流値となるように制御する定電流制御部と、
    前記往復動モータの出力軸に設けられた切欠き部と、
    前記往復動モータの固定子又はモータフレームに固定され、その一部が前記切欠き部に当接することで、前記出力軸の往復動ストローク長を規制可能に形成されたストッパと、を具備することを特徴とする往復動モータを用いたダイヤフラムポンプ。
  2. 前記ストッパは円形状であり、半径方向に複数の切欠き部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の往復動モータを用いたダイヤフラムポンプ。
  3. 前記ストッパは薄板を積層したものであることを特徴とする請求項2記載の往復動モータを用いたダイヤフラムポンプ。
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