JP4546502B2 - プラズマディスプレイパネル及び前記プラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法 - Google Patents
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Description
図22に示されたPDP120の輝度、発光効率、及び色温度を評価した。実験例として前記PDP120を、比較例として従来のエッチング工法を利用して、蛍光体に関係なく放電空間が同一に形成されたPDPを利用した。
111 前面基板
114 上部誘電体層
115 保護層
121 背面基板
122 アドレス電極
125 下部誘電体層
126a 赤色蛍光体層
126b 緑色蛍光体層
126c 青色蛍光体層
130 隔壁
130a1,135a1 第1横隔壁
130a2,135a2 第2横隔壁
130b1,135b1 第1縦隔壁
130b2,135b2 第2縦隔壁
150 前面パネル
160 背面パネル
180a 赤色放電セル
180b 緑色放電セル
180c 青色放電セル
200,200a 第1隔壁層
220,220a 第2隔壁層
240 隔壁層
260,260a 多重隔壁層
Claims (24)
- アドレス電極が形成された基板上でかつ異なる色の放電セル間に、異なるエッチング速度を有する第1隔壁層及び第2隔壁層を形成するステップと、
放電セルが形成される前記第1隔壁層の所定領域及び前記第2隔壁層の所定領域を露出するエッチングマスク層を前記第1隔壁層及び前記第2隔壁層上に形成するステップと、
前記エッチングマスク層を利用して露出された前記第1隔壁層及び第2隔壁層をエッチングするステップと、
前記エッチングマスク層を除去して非対称隔壁を形成するステップと、を含むプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。 - 前記第1隔壁層は、所定のエッチング液に対して第1エッチング速度を有し、
前記第2隔壁層は、前記エッチング液に対して前記第1エッチング速度より遅い第2エッチング速度を有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。 - 前記基板上に第1隔壁層及び第2隔壁層を形成するステップは、
第1放電セルが形成される前記基板上に前記第1隔壁層を形成し、
前記第1放電セルと異なる色の光を発光する第2放電セルが形成される前記基板上に、前記第2隔壁層を形成することを特徴とする請求項2に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。 - 前記基板上に第1隔壁層及び第2隔壁層を形成するステップは、
前記第1放電セルが形成される前記基板上に、前記第1隔壁層と前記第1隔壁層上に形成された前記第2隔壁層とを備える多重隔壁層を形成し、
前記第1放電セルと異なる色の光を発光する第2放電セルが形成される前記基板上に、第2隔壁層を備える単一隔壁層を形成することを特徴とする請求項2に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。 - 前記第1放電セルは、緑色を発光する緑色放電セルであることを特徴とする請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
- 前記第1放電セルは、緑色を発光する緑色放電セルであることを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
- 前記第2放電セルは、赤色を発光する赤色放電セルであることを特徴とする請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
- 前記第2放電セルは、赤色を発光する赤色放電セルであることを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
- アドレス電極が形成された基板上でかつ異なる色の第1、第2放電セル間に、隔壁層を形成するステップと、
前記隔壁層上に第1放電セルが形成される隔壁層の所定領域を露出する第1エッチングマスク層を形成するステップと、
前記第1エッチングマスク層及び前記隔壁層に対して、第1エッチング速度を有する第1エッチング液を利用して、露出された前記隔壁層をエッチングするステップと、
前記第1エッチングマスク層を除去するステップと、
前記第1放電セルと異なる色の光を発光する第2放電セルが形成される隔壁層の所定領域を露出する第2エッチングマスク層を前記隔壁層上に形成するステップと、
前記第2エッチングマスク層及び前記隔壁層に対して、前記第1エッチング速度より遅い第2エッチング速度を有する第2エッチング液を利用して、露出された前記隔壁層をエッチングするステップと、
前記第2エッチングマスク層を除去して、非対称隔壁を形成するステップと、を含むプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。 - 前記第1放電セルは、緑色放電セルであることを特徴とする請求項9に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
- 前記第2放電セルは、赤色放電セルであることを特徴とする請求項9に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
- 背面基板と、
前記背面基板に離隔されて配置された前面基板と、
前記前面基板と前記背面基板との間に配置されて放電セルを区画し、かつ異なる色の該放電セル間にて非対称に形成された隔壁と、
前記前面基板を横切る複数の維持電極対と、
前記背面基板を横切り、前記維持電極対と交差する複数のアドレス電極と、
前記放電セル内に配置された蛍光体層と、を備え、
前記隔壁は、中心軸に対して対応するように、所定のエッチング液に対して第1エッチング速度を有する第1隔壁層と、前記第1エッチング速度より遅い第2エッチング速度を有する第2隔壁層とを備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 前記隔壁は、中心軸に対して対応するように、
所定のエッチング液に対して第1エッチング速度を有する第1隔壁層と、前記第1隔壁層上に形成され、前記第1エッチング速度より遅い第2エッチング速度を有する第2隔壁層とを備える多重隔壁層と、
前記第2隔壁層から形成される単一隔壁層と、を備えることを特徴とする請求項12に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 前記多重隔壁層の側面には、少なくとも2個の屈曲が形成されたことを特徴とする請求項13に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記多重隔壁層の側面は、前記単一隔壁層の側面より表面積が広いことを特徴とする請求項13に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記隔壁は、複数の横隔壁及び前記複数の横隔壁と交差する複数の縦隔壁を備えることを特徴とする請求項12に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記横隔壁は、第1横隔壁と前記第1横隔壁より下部幅の狭い第2横隔壁とを備えることを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記第1横隔壁は、所定のエッチング液に対して第2エッチング速度を有する第2隔壁層を備え、
前記第2横隔壁は、前記エッチング液に対して前記第2エッチング速度より速い第1エッチング速度を有する第1隔壁層を備えることを特徴とする請求項17に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 前記第1横隔壁は、所定のエッチング液に対して第2エッチング速度を有する第2隔壁層から形成される単一隔壁層を備え、
前記第2横隔壁は、前記エッチング液に対して前記第2エッチング速度より速い第1エッチング速度を有する第1隔壁層、及び前記第1隔壁層上に形成された前記第2隔壁層を備える多重隔壁層を備えることを特徴とする請求項17に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 前記第1横隔壁は、赤色放電セルを区画し、
前記第2横隔壁は、緑色放電セルまたは青色放電セルを区画することを特徴とする請求項17に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 前記縦隔壁は、中心軸に対して非対称である第1縦隔壁と、中心軸に対して対称である第2縦隔壁とを備えることを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記第1縦隔壁は、中心軸に対して対応するように、所定のエッチング液に対して第1エッチング速度を有する第1隔壁層と、前記第1エッチング速度より遅い第2エッチング速度を有する第2隔壁層とを備え、
前記第2縦隔壁は、前記第1隔壁層を備えることを特徴とする請求項21に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 前記第1縦隔壁は、中心軸に対して対応するように、
所定のエッチング液に対して第2エッチング速度を有する第2隔壁層から形成される単一隔壁層と、前記エッチング液に対して前記第2エッチング速度より速い第1エッチング速度を有する第1隔壁層及び前記第1隔壁層上に形成された前記第2隔壁層を備える多重隔壁層と、を備え、
前記第2縦隔壁は、前記多重隔壁層を備えることを特徴とする請求項21に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 前記第1縦隔壁は、赤色放電セルと緑色放電セルとを区画し、
前記第2縦隔壁は、緑色放電セルと青色放電セルとを区画することを特徴とする請求項21に記載のプラズマディスプレイパネル。
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