JP4546502B2 - プラズマディスプレイパネル及び前記プラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法 - Google Patents

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）及びその隔壁の形成方法に関する。

一般的に、ＰＤＰは、気体放電で生成された紫外線で蛍光体を励起させて所定の画像を具現する表示装置であって、高解像度の大画面構成が可能で次世代薄型表示装置として注目されている。

このようなＰＤＰは、構造及び駆動原理によって交流型（ＡＣタイプ）、直流型（ＤＣタイプ）及び混合型に分けられており、特に、放電構造によって交流型及び直流型ＰＤＰは、面放電型と対向放電型とに分けられているが、最近では、交流型の面放電ＰＤＰが普遍化されている。

従来のＰＤＰは、サンドブラスタを利用して隔壁を形成したが、量産につれて、サンドブラスト工法は、砂を利用して隔壁パターンを形成するという点で、隔壁のオープン不良が多く発生するという問題が発生した。したがって、最近、隔壁のオープン不良を減らせる方法として、放電セルを形成する部位にエッチング液を噴射して隔壁をパターニングするエッチング工法をＰＤＰの隔壁の形成に適用している。

一方、一般的に、ＰＤＰでは、赤色発光、緑色発光、青色発光の蛍光体層が配置された赤色、青色、緑色の放電セルを適切に配置してカラー画像を具現する。しかし、前記蛍光体層に含まれた赤色発光、緑色発光、青色発光の蛍光体は、各蛍光体別に輝度及び発光効率の向上、または色温度の改善の寄与程度が異なる。

したがって、本発明では、隔壁のオープン不良を減らすエッチング工法を利用した隔壁の形成において、前記隔壁によって区画される放電セルの放電空間を、前記蛍光体別に異なって形成し、前記蛍光体の塗布面積を異ならせて、輝度及び発光効率を上げ、かつ色温度を改善したＰＤＰを開発しようとした。

本発明の目的は、隔壁のオープン不良を減らしつつ、隔壁の厚さ制御を通じて放電空間及び蛍光体の塗布面積を蛍光体別に異なって形成しうるＰＤＰの隔壁の形成方法を提供することである。

また、本発明の目的は、輝度及び発光効率を上げ、色温度が改善されたＰＤＰを提供することである。

本発明は、ＰＤＰの隔壁の形成方法を提供する。

本発明の一実施形態に関する隔壁の形成方法によれば、アドレス電極が形成された基板上に異なるエッチング速度を有する第１隔壁層及び第２隔壁層を形成し、放電セルが形成される前記第１隔壁層の所定領域及び前記第２隔壁層の所定領域を露出するエッチングマスク層を前記第１隔壁層及び前記第２隔壁層上に形成し、前記エッチングマスク層を利用して露出された前記第１隔壁層及び第２隔壁層をエッチングし、前記エッチングマスク層を除去して非対称隔壁を形成する。

本発明において、非対称隔壁とは、一つの隔壁で中心軸を基準として異なる隔壁層を備える隔壁、または二つ以上の隔壁が異なる下部幅を有する隔壁を意味する。

前記隔壁の形成方法で、第１隔壁層は、所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有し、前記第２隔壁層は、前記エッチング液に対して第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有しうる。

前記隔壁の形成方法で、前記第１隔壁層は、第１放電セルが形成される前記基板上に形成し、前記第２隔壁層は、前記第１放電セルと異なる色の光を発光する第２放電セルが形成される前記基板上に形成しうる。

前記隔壁の形成方法において、前記第１放電セルが形成される前記基板上に前記第１隔壁層と前記第１隔壁層上に形成された前記第２隔壁層とを備える多重隔壁層を形成し、前記第１放電セルと異なる色の光を発光する第２放電セルが形成される前記基板上に第２隔壁層を備える単一隔壁層を形成することによって、前記基板上に第１隔壁層及び第２隔壁層を形成しうる。

前記第１放電セルは、ＰＤＰの輝度及び発光効率を向上させうる緑色放電セルまたは色温度を改善できる青色放電セルであり、前記第２放電セルは、赤色放電セルでありうる。

また、本発明の他の実施形態に関する隔壁の形成方法によれば、アドレス電極が形成された基板上に隔壁層を形成し、前記隔壁層上に第１放電セルが形成される隔壁層の所定領域を露出する第１エッチングマスク層を形成し、前記第１エッチングマスク層、及び前記隔壁層に対して第１エッチング速度を有する第１エッチング液を利用して露出された前記隔壁層をエッチングし、前記第１エッチングマスク層を除去し、前記第１放電セルと異なる色の光を発光する第２放電セルが形成される隔壁層の所定領域を露出する第２エッチングマスク層を前記隔壁層上に形成し、前記第２エッチングマスク層及び前記隔壁層に対して前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２エッチング液を利用して露出された前記隔壁層をエッチングし、前記第２エッチングマスク層を除去して非対称隔壁を形成しうる。

前記第１放電セルは、ＰＤＰの輝度及び発光効率を向上させうる緑色放電セルまたは色温度を改善できる青色放電セルであり、前記第２放電セルは、赤色放電セルでありうる。

また、本発明は、非対称隔壁を備えるＰＤＰを提供する。

前記ＰＤＰは、背面基板と、前記背面基板に離隔されて配置された前面基板と、前記前面基板と前記背面基板との間に配置されて放電セルを区画して非対称に形成された隔壁と、前記前面基板を横切る複数の維持電極対と、前記背面基板を横切りつつ、前記維持電極対と交差する複数のアドレス電極と、前記放電セル内に配置された蛍光体層と、を備える。

前記隔壁は、所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有する第１隔壁層と、前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層とを前記隔壁の中心軸に対応するように備えうる。

また、前記隔壁は、中心軸に対応するように、所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有する第１隔壁層及び前記第１隔壁層上に形成されて前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層を備える多重隔壁層と、前記第２隔壁層から形成される単一隔壁層とを備えうる。

前記多重隔壁層の側面には、少なくとも２個の屈曲が形成され、前記多重隔壁層の側面が前記単一隔壁層の側面よりその表面積が広く形成されうる。

前記隔壁は、複数の横隔壁と、前記複数の横隔壁と交差する複数の縦隔壁とを備えうる。

前記横隔壁は、第１横隔壁と、前記第１横隔壁より下部幅が狭い第２横隔壁とを備えうる。

本発明において、下部幅とは、第１隔壁層または第２隔壁層と、前記隔壁層と接する層との境界での前記隔壁の幅を意味する。

前記第１横隔壁は、所定のエッチング液に対して第２エッチング速度を有する第２隔壁層を備え、前記第２横隔壁は、前記エッチング液に対して前記第２エッチング速度より速い第１エッチング速度を有する第１隔壁層を備えうる。

また、前記第１横隔壁は、所定のエッチング液に対して第２エッチング速度を有する第２隔壁層から形成される単一隔壁層を備え、前記第２横隔壁は、前記エッチング液に対して前記第２エッチング速度より速い第１エッチング速度を有する第１隔壁層及び前記第１隔壁層上に形成された前記第２隔壁層を備える多重隔壁層を備えうる。

前記第１横隔壁は、赤色放電セルを区画し、前記第２横隔壁は、ＰＤＰの輝度及び発光効率を向上させうる緑色放電セルまたは色温度を改善できる青色放電セルを区画しうる。前記第２横隔壁は、前記第１横隔壁より下部幅が広く形成されるので、前記緑色放電セルまたは青色放電セルの放電空間が前記赤色放電セルに比べて広く形成され、蛍光体が多く塗布されて、ＰＤＰの輝度及び発光効率を向上させて色温度を改善しうる。

前記縦隔壁は、前記隔壁の中心軸に対して非対称である第１縦隔壁と、中心軸に対して対称である第２縦隔壁とを備えうる。

前記第１縦隔壁は、中心軸に対して、一側に所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有する第１隔壁層を備え、他側に前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層を備え、前記第２縦隔壁は、前記第１隔壁層を備えうる。

また、前記第１縦隔壁は、所定のエッチング液に対して第２エッチング速度を有する第２隔壁層から形成される単一隔壁層と、前記エッチング液に対して前記第２エッチング速度より速い第１エッチング速度を有する第１隔壁層及び前記第１隔壁層上に形成された前記第２隔壁層を備える多重隔壁層を中心軸に対応するように備え、前記第２縦隔壁は、前記多重隔壁層を備えうる。

前記第１縦隔壁は、赤色放電セルと緑色放電セルとを区画し、前記第２縦隔壁は、緑色放電セルと青色放電セルとを区画しうる。前記第１縦隔壁は、非対称の瓶の首形状に赤色放電セルの方向に広く隔壁が形成され、前記２縦隔壁は、対称形状を有し、緑色放電セルまたは青色放電セルの方向に相対的に狭く隔壁が形成されるか、またはある程度直線型に隔壁が形成される。したがって、前記緑色放電セルまたは青色放電セルの放電空間が前記赤色放電セルに比べて広く形成され、蛍光体が多く塗布されて、ＰＤＰの輝度及び発光効率を向上させて色温度を改善しうる。

本発明によるＰＤＰの隔壁の形成方法は、エッチング工法を利用することによって隔壁のオープン不良を減らせる。

また、本発明によるＰＤＰの隔壁の形成方法は、複数の隔壁層で隔壁を形成してエッチングすることによって非対称隔壁を形成し、したがって、蛍光体別に容易に隔壁の厚さを異なって形成し、放電空間及び蛍光体の塗布面積を蛍光体別に異なって設定しうる。

それと共に、前記のような隔壁の形成方法で形成された本発明のＰＤＰは、蛍光体別に隔壁の厚さを制御することによって、輝度及び発光効率の向上または色温度の改善の寄与度に優れた蛍光体を多く塗布して、輝度及び発光効率が向上し、かつ色温度が改善されたＰＤＰを提供しうる。

以下、添付された図面に示された本発明の実施形態を参照して、本発明の構成及び作用を詳細に説明する。

図１ないし図４は、本発明の一実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。また、図５Ａないし図６Ｂは、図１ないし図４に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。

図１を参照すれば、背面基板１２１上にアドレス電極１２２が形成され、前記アドレス電極１２２を覆うように下部誘電体層１２５が形成される。このように、アドレス電極１２２及び下部誘電体層１２５が形成された背面基板１２１上に、所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有する第１隔壁層２００と、前記エッチング液に対して前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層２２０とを備える。詳細には、前記第１隔壁層２００は、ＰＤＰの輝度及び発光効率の向上の寄与に優れた緑色放電セルまたは色温度改善の寄与が大きい青色放電セルが形成される前記基板１２１の所定領域上に形成され、前記第２隔壁層２２０は、赤色放電セルが形成される前記基板１２１の所定領域上に形成される。

例えば、前記第１隔壁層２００は、ＺｎＯを３７.４％、ＢａＯを１３.５％、Ｂ_２Ｏ_３を２３.７％、Ｐ_２Ｏ_５を８.４％、Ｌｉ_２Ｏを１.０％、Ｎａ_２Ｏを１.０％、Ａｌ_２Ｏ_３を５.０％、及びＺｎＯを１０.０％含有するパウダー７１.９１％と、溶媒としてＣ_１０Ｈ_１８Ｏを２.０１％、及び酢酸ブチルカルビトールを０.８１％と、残量の添加剤を含有する。前記第２隔壁層２２０は、ＺｎＯを３０〜５０％、ＢａＯを２０〜３５％、Ｂ_２Ｏ_３を２０〜４０％、Ｐ_２Ｏを５５〜２０％、Ｌｉ_２Ｏを１〜５％、Ｍｎ_２Ｏ_３を１〜１０％、Ｃｒ_２Ｏ_３を１〜５％、Ａｌ_２Ｏ_３を３.０％、ＺｎＯを４.０％含有するパウダー７１.９１％と、溶媒としてＣ_１０Ｈ_１８Ｏを２.０１％、及び酢酸ブチルカルビトールを０.８１％と、残量の添加剤を含有する。前記％は、重量％である。前記のように構成された第１隔壁層２００は、エッチング液であるＨＮＯ_３に対して前記第２隔壁層２２０より速いエッチング速度でエッチングされる。

第１隔壁層２００及び第２隔壁層２２０は、第１隔壁層２００と第２隔壁層２２０とを備えるフィルムをラミネーションロールを利用してラミネーティングすることによって前記基板１２１上に形成しうる。または、前記基板１２１の所定領域に前記第１隔壁層２００を形成するペースト組成物を塗布及び焼成し、前記基板１２１の他の領域に前記第２隔壁層２２０を形成するペースト組成物を塗布及び焼成して形成することもできる。これ以外に、当業者において容易に実施されうる多様な方法によって、基板１２１上に第１隔壁層２００及び第２隔壁層２２０を形成しうる。

図２を参照すれば、第１隔壁層２００及び第２隔壁層２２０が形成された基板１２１上にエッチングマスク層５００を形成する。前記エッチングマスク層５００は、前記隔壁層２００,２２０上にエッチングマスク用層を形成し、前記エッチングマスク用層上にフォトレジスト層を形成した後に、フォトマスクを利用して前記フォトレジスト層を露光及び現像してフォトレジストパターン層を形成しうる。そして、前記フォトレジストパターン層を利用して前記エッチングマスク用層をエッチングすることによってエッチングマスク層５００を形成しうる。または、前記エッチングマスク用層を形成することを省略し、前記フォトレジストパターン層を直接エッチングマスク層５００として利用しうる。本実施形態では、マトリックス型のエッチングマスク層５００を形成することを例示する。しかし、これに限定されず、隔壁の形状によって、すなわち、二重隔壁、ストライプ隔壁などの隔壁形状によって、エッチングマスク層５００は、多様なパターンを有しうる。

前記エッチングマスク層５００は、放電セルが形成される前記隔壁層２００,２２０の所定領域を露出し、隔壁が形成される前記隔壁層２００,２２０の残りの領域をマスキングするように形成する。

図３を参照すれば、エッチングマスク層５００をエッチングマスクとして利用して、露出された隔壁層２００,２２０を下部誘電体層１２５のような前記隔壁層２００,２２０の下に形成された層が露出されるようにエッチングする。このとき、エッチング液を前記結果物の全面に均等に噴射してエッチングする化学的エッチング方法を利用する。前記エッチング液としてＨＮＯ_３を使用しうる。化学的エッチング方法は、等方性エッチング方法であって、前記隔壁層２００,２２０の全ての方向にエッチング液が浸透する。したがって、前記のようなエッチングによって形成された隔壁層２００ａ,２２０ａは、側面に屈曲が形成される。

前記エッチング液に対して、第１隔壁層２００ａは、第１エッチング速度を有し、前記第２隔壁層２２０ａは、前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する。したがって、前記第１隔壁層２００ａが第２隔壁層２２０ａより同時間にさらに多くエッチングされうる。

図４を参照すれば、図３の結果物から前記エッチングマスク層５００を除去すれば、マトリックス型の隔壁１３０が完成される。前記隔壁１３０は、複数の横隔壁１３０ａと複数の縦隔壁１３０ｂとを備える。

図５Ａ及び図５Ｂを参照して、前記横隔壁１３０ａの断面図が示される。詳細には、図５Ａによれば、赤色放電セル１８０ａを区画する第１横隔壁１３０ａ_１は、第２隔壁層２２０ａによって形成され、ｗ_１の下部幅を有する。図５Ｂによれば、緑色放電セル１８０ｂまたは青色放電セル１８０ｃを区画する第２横隔壁１３０ａ_２は、第１隔壁層２００ａで形成され、前記ｗ_１より小さいｗ_２の下部幅を有するので、第１横隔壁１３０ａ_１は、第２横隔壁１３０ａ_２と非対称隔壁関係を有する。したがって、緑色放電セル１８０ｂ及び青色放電セル１８０ｃが赤色放電セル１８０ａに比べて放電空間がさらに広く形成され、蛍光体の塗布面積も広く形成される。

図６Ａ及び図６Ｂには、前記縦隔壁１３０ｂの断面図が示される。具体的に、図６Ａを参照すれば、第１縦隔壁１３０ｂ_１は、隔壁の中心軸Ｃを基準に所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有する第１隔壁層２００ａと、前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層２２０ａとを備え、前記第１隔壁層２００ａと前記第２隔壁層２２０ａとが対応するように形成される。図６Ｂを参照すれば、第２縦隔壁１３０ｂ_２は、第１隔壁層２００ａを備え、中心軸Ｃを基準に対称的に形成される。前記第１縦隔壁１３０ｂ_１は、赤色放電セル１８０ａと緑色放電セル１８０ｂとを区画し、赤色放電セル１８０ａの方向にさらに広い幅を有するように形成される。また、前記第２縦隔壁１３０ｂ_２は、緑色放電セル１８０ｂと青色放電セル１８０ｃとを区画し、対称的に形成される。したがって、緑色放電セル１８０ｂ及び青色放電セル１８０ｃが赤色放電セル１８０ａに比べて放電空間を広く確保し、蛍光体の塗布面積もさらに大きく形成される。

図７ないし図１０は、本発明の他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための図面である。また、図１１Ａないし図１２Ｂは、図７ないし１０に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。

図７を参照すれば、アドレス電極１２２と下部誘電体層１２５とが形成された背面基板１２１上に、第１隔壁層２００と第２隔壁層２２０とが形成される。具体的に、緑色放電セル及び青色放電セルが形成される基板１２１上に、前記第１隔壁層２００と前記第１隔壁層上に形成された前記第２隔壁層２２０とを備える多重隔壁層２６０を形成し、前記緑色放電セルと異なる色の光を発光する赤色放電セルが形成される前記基板１２１上に第２隔壁層２２０を備える単一隔壁層を形成する。

例えば、前記第１隔壁層２００は、ＺｎＯを３７.４％、ＢａＯを１３.５％、Ｂ_２Ｏ_３を２３.７％、Ｐ_２Ｏ_５を８.４％、Ｌｉ_２Ｏを１.０％、Ｎａ_２Ｏを１.０％、Ａｌ_２Ｏ_３を５.０％、ＺｎＯを１０.０％含有するパウダー７１.９１％と、溶媒としてＣ_１０Ｈ_１８Ｏを２.０１％、及び酢酸ブチルカルビトールを０.８１％と、残量の添加剤を含有する。前記第２隔壁層２２０は、ＺｎＯを３０〜５０％、ＢａＯを２０〜３５％、Ｂ_２Ｏ_３を２０〜４０％、Ｐ_２Ｏを５５〜２０％、Ｌｉ_２Ｏを１〜５％、Ｍｎ_２Ｏ_３を１〜１０％、Ｃｒ_２Ｏ_３を１〜５％、Ａｌ_２Ｏ_３を３.０％、ＺｎＯを４.０％含有するパウダー７１.９１％と、溶媒としてＣ_１０Ｈ_１８Ｏを２.０１％、及び酢酸ブチルカルビトールを０.８１％と、残量の添加剤を含有する。前記のように構成された第１隔壁層２００は、エッチング液であるＨＮＯ_３に対して前記第２隔壁層２２０より速いエッチング速度でエッチングされる。

本実施形態では、二重隔壁層を例示したが、これに限定されず、上部層より下部層がエッチング速度の速い物質からなる多重層で形成することもできる。

前記多重隔壁層２６０及び単一隔壁層は、図１で説明されたように、ラミネーティング方法で形成され、または、ペースト組成物、スラリーを塗布及び焼成して形成することもできる。

図８を参照すれば、多重隔壁層２６０及び単一隔壁層上にエッチングマスク層５００を形成する。前記エッチングマスク層５００は、図２に説明されたように、露光及び現像することによって、放電セルが形成される多重隔壁層２６０及び単一隔壁層を露出するように形成される。

図９を参照すれば、前記エッチングマスク層５００を利用して多重隔壁層２６０及び単一隔壁層をエッチングして放電セル１８０ａ,１８０ｂ,１８０ｃを形成する。前記エッチング方法として化学的なエッチング方法を利用する。エッチング液が多重隔壁層２６０に浸透すれば、第１エッチング速度で前記第１隔壁層２００がエッチングされ、第２隔壁層２２０は、前記第１エッチング速度よりさらに遅い第２エッチング速度でエッチングされうる。したがって、多重隔壁層２６０ａは、側面に２個の屈曲が形成され、ある程度直進性を有する隔壁を形成しうる。単一隔壁層は、第２隔壁層２２０ａの単一層で形成されているので、一つの屈曲が形成された瓶の首形状に形成される。前記エッチング工程は、同じマスク及びエッチング液を利用して同時に進められ、このとき、エッチング速度が異なる第１隔壁層２００ａと第２隔壁層２２０ａとの境界は、同時に露出され、前記隔壁のうち何れか一つがエッチング停止膜として使われず、エッチング速度が異なってエッチングされるので、前記第１隔壁層２００ａと第２隔壁層２２０ａとの境界は、緩慢に連結されうる。

前記多重層の隔壁２６０ａは、側面に少なくとも２個の屈曲が形成されるので、単一層の隔壁より側面の表面積がさらに広く形成されうる。

そして、前記エッチングマスク層５００を除去すれば、図１０のように、隔壁１３５が完成される。前記隔壁１３５は、マトリックス型に形成され、したがって、複数の横隔壁１３５ａと複数の縦隔壁１３５ｂとを備える。

前記横隔壁１３５ａは、第１横隔壁１３５ａ_１と第２横隔壁１３５ａ_２とを備え、縦隔壁１３５ｂも、第１縦隔壁１３５ｂ_１と第２縦隔壁１３５ｂ_２とを備える。

図１１Ａを参照すれば、前記第１横隔壁１３５ａ_１の断面図が示される。前記第１横隔壁１３５ａ_１は、相対的に遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層２２０ａで形成されて対称構造を有し、相対的に、下部幅ｗ_１が広く形成される。図１１Ｂを参照すれば、前記第２横隔壁１３５ａ_２の断面図が示される。前記第２横隔壁１３０ａ_２は、相対的に速い第１エッチング速度を有する第１隔壁層２００ａと、前記第１隔壁層２００ａ上に形成された第２隔壁層２２０ａとの多重隔壁層２６０ａで形成され、前記ｗ_１より小さいｗ_３の下部幅を有する。したがって、第１横隔壁１３０ａ_１は、第２横隔壁１３０ａ_２と非対称隔壁関係にあり、第１横隔壁１３５ａ_１が区画する赤色放電セル１８０ａの放電空間が、第２横隔壁１３５ａ_２が区画する緑色放電セル１８０ｂまたは青色放電セル１８０ｃより広く形成されうる。

図１２Ａを参照すれば、第１縦隔壁１３５ｂ_１の断面図が示される。前記第１縦隔壁１３５ｂ_１は、中心軸Ｃを基準に第２隔壁層２２０ａで形成された単一隔壁層と、第１隔壁層２００ａ及び第２隔壁層２２０ａで形成された多重隔壁層２６０ａとが相互対応するように形成されて、非対称隔壁を形成する。このとき、前記第１縦隔壁１３５ｂ_１は、赤色放電セル１８０ａの方向にさらに広い幅を有するように形成され、赤色放電セル１８０ａの放電空間が相対的に狭く形成される。図１２Ｂを参照すれば、第２縦隔壁１３５ｂ_２は、前記多重隔壁層２６０ａを備え、中心軸Ｃを基準に対称隔壁を形成する。

図１３ないし図１７は、本発明のさらなる他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。

図１３を参照すれば、アドレス電極１２２及び下部誘電体層１２５が形成された背面基板１２１上に隔壁層２４０が形成される。前述したように、隔壁層２４０は、ラミネーティング方法、またはペースト組成物またはスラリーを塗布して焼成することによって形成されうる。それ以外に、当業者において容易に使われうる方法によって形成されうる。

図１４を参照すれば、前記隔壁層２４０上に緑色放電セル及び青色放電セルが形成される前記隔壁層３４０の所定領域を露出するように第１エッチングマスク層５２０を形成する。前記第１エッチングマスク層５２０は、露光及び現像工程によってパターニングして形成しうる。

図１５を参照すれば、前記第１エッチングマスク層５２０をエッチングマスクとして利用して第１エッチング液を前記図１４の結果物に噴射してエッチング工程を行う。前記第１エッチング液は、前記隔壁層２４０に対して第１エッチング速度を有するので、前記エッチング工程によって形成された隔壁層２４０ａは、相対的に下部幅の狭い瓶の首形状の隔壁が形成される。そして、前記隔壁によって緑色放電セル１８０ｂと青色放電セル１８０ｃとが定義される。

図１６を参照すれば、前記第１エッチングマスク層５２０を除去し、隔壁層２４０ａ上に赤色放電セルが形成される隔壁層２４０ａの所定領域を露出する第２エッチングマスク層５６０を形成する。前記第２エッチングマスク層５６０は、緑色放電セル１８０ｂと青色放電セル１８０ｃとがそれ以上エッチングされないように、前記２個の放電セルを覆うように形成される。

図１７を参照すれば、前記第２エッチングマスク層５６０をエッチングマスクとして利用して、第２エッチング液を噴射して隔壁層２４０ａをエッチングする。前記第２エッチング液は、隔壁層２４０ａに対して前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有するので、前記エッチング工程によって形成された隔壁層２４０ｂは、図１６で説明されたエッチング工程によって形成された隔壁層２４０ａより下部幅がさらに広く形成されうる。

そして、第２エッチングマスク層５４０を除去すれば、隔壁を完成しうる。本実施形態で形成された隔壁は、図４及び図５Ａないし６Ｂに示された隔壁と同じ形態を有する。

図１８は、本発明の一実施形態によるＰＤＰを示す斜視図である。図１９ないし図２１は、図１８に示されたＰＤＰの断面図である。

図１８を参照すれば、ＰＤＰ１００は、相互対向して結合する前面パネル１５０及び背面パネル１６０を備える。前面パネル１１０は、前面基板１１１、維持電極対、上部誘電体層１１４、及び保護層１１５を備える。また、背面パネル１６０は、背面基板１２１、アドレス電極１２２、下部誘電体層１２５、隔壁１３０及び蛍光体層１２６ａ,１２６ｂ,１２６ｃを備える。

背面基板１２１と前面基板１１１とは、一定の間隔をおいて相互対向して配置されて、その間にプラズマ放電が発生する放電空間を形成する。前面基板１１１及び背面基板１２１は、可視光透過率に優れたガラスを利用して形成されることが望ましい。しかし、明室コントラストの向上のために、前面基板１１１及び／または背面基板１２１が着色されることもある。

前面基板１１１と背面基板１２１との間には、隔壁１３０が配置されているが、さらに詳細には、隔壁１３０は、下部誘電体層１２５上に配置されている。隔壁１３０は、放電空間を複数の放電セル１８０ａ,１８０ｂ,１８０ｃに区画し、放電セル１８０ａ,１８０ｂ,１８０ｃ間の光学的／電気的クロストークを防止する機能を行う。

図１８を参照すれば、隔壁１３０は、アドレス電極１２２が延びる方向（ｙ方向）に延びる横隔壁１３０ａと、前記横隔壁１３０ａを連結する縦隔壁１３０ｂとを備える。

横隔壁１３０ａは、第１横隔壁１３０ａ_１と第２横隔壁１３０ａ_２とを備え、縦隔壁１３０ｂは、第１縦隔壁１３０ｂ_１と第２縦隔壁１３０ｂ_２とを備える。

図１９に、前記ＰＤＰ１００のＹ方向の断面図が示される。図１９を参照すれば、第１縦隔壁１３０ｂ_１は、隔壁の中心軸を基準に対応するように、第１隔壁層２００ａと第２隔壁層２２０ａとを備える。前記第２隔壁層２２０ａは、前記第１隔壁層２００ａよりエッチング速度が遅いので、中心軸を基準に赤色放電セル１８０ａの方向に第２隔壁層２００ａの下部幅が、青色放電セル１８０ｃの方向に第１隔壁層２００ａの下部幅より広く形成される。したがって、赤色放電セル１８０ａの放電空間が他の放電セルに比べてさらに狭く形成され、赤色蛍光体１２６ａの塗布面積も縮小する。また、第２横隔壁１３０ｂ_２は、第１隔壁層２００ａで形成されて薄い瓶の首形状の対称構造を有する。

前記第１隔壁層２００は、ＺｎＯを３７.４％、ＢａＯを１３.５％、Ｂ_２Ｏ_３を２３.７％、Ｐ_２Ｏ_５を８.４％、Ｌｉ_２Ｏを１.０％、Ｎａ_２Ｏを１.０％、Ａｌ_２Ｏ_３を５.０％、ＺｎＯを１０.０％含有するパウダー７１.９１％と、溶媒としてＣ_１０Ｈ_１８Ｏを２.０１％、及び酢酸ブチルカルビトールを０.８１％と、その他の添加剤を含有する。前記第２隔壁層２２０は、ＺｎＯを３０〜５０％、ＢａＯを２０〜３５％、Ｂ_２Ｏ_３を２０〜４０％、Ｐ_２Ｏ_５を５〜２０％、Ｌｉ_２Ｏを１〜５％、Ｍｎ_２Ｏ_３を１〜１０％、Ｃｒ_２Ｏ_３を１〜５％、Ａｌ_２Ｏ_３を３.０％、ＺｎＯを４.０％含有するパウダー７１.９１％と、溶媒としてＣ_１０Ｈ_１８Ｏを２.０１％、及び酢酸ブチルカルビトールを０.８１％と、残量の添加剤を含有する。前記のように構成された第１隔壁層２００は、エッチング液であるＨＮＯ_３に対して前記第２隔壁層２２０より速いエッチング速度でエッチングされる。

図２０及び図２１は、前記ＰＤＰ１００のＸ方向の断面図が示される。図２０及び図２１を参照すれば、前記第１横隔壁１３０ａ_１は、エッチング速度が相対的に遅い第２エッチング速度の第２隔壁層２２０ａで形成され、前記第２横隔壁１３０ａ_２は、エッチング速度が相対的に速い第１エッチング速度の第１隔壁層２００ａで形成されたところ、前記第１横隔壁１３０ａ_１の下部幅ｗ_１が前記第２横隔壁１３０ａ_２の下部幅ｗ_２より広く形成される。前記横隔壁１３０ａ_１,１３０ａ_２は、下部幅が異なって非対称的に形成されるが、それぞれは、中心軸に対して対称的に形成される。

図１８には、隔壁１３０が四角形の横断面をもってマトリックス配列された放電セルを区画するものと示されたが、本発明は、これに限定されない。すなわち、隔壁１３０は、放電セル１８０ａ,１８０ｂ,１８０ｃが三角形、五角形などの多角形、または円形、楕円形などの横断面を有するように形成され、ストライプのような開放型に形成されることもある。また、隔壁１３０は、放電セル１８０ａ,１８０ｂ,１８０ｃをデルタ配列に区画することもある。

再び、図１８を参照すれば、背面基板１２１に対向する前面基板１１１上には、維持電極対が配置されている。維持電極対は、前面基板１１１上に相互平行に配列されている。維持電極対は、維持電極作用を行うＸ電極１３１と走査電極作用を行うＹ電極１３２とを含む。

Ｘ電極１３１及びＹ電極１３２のそれぞれは、透明電極１３１ａ,１３２ａ及びバス電極１３１ｂ,１３２ｂを備えている。透明電極１３１ａ,１３２ａは、放電を起こせる導電体であり、かつ蛍光体層１２６ａ,１２６ｂ,１２６ｃから放出される光が前面基板１１１に進むことを妨害しない透明な材料で形成されるが、このような材料としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）がある。しかし、ＩＴＯのような透明な導電体は、一般的に、その抵抗が大きく、したがって、透明電極でのみ放電電極を形成すれば、その長手方向への電圧降下が大きくて、駆動電力が多く消費され、かつ応答速度が遅くなる。このような問題点を改善するために、透明電極上には、金属材質で形成され、狭い幅に形成されるバス電極１３１ｂ,１３２ｂが配置される。透明電極１３１ａ,１３２ａ及びバス電極１３１ｂ,１３２ｂは、フォトエッチング法、フォトリソグラフィ法を利用して形成する。

Ｘ電極１３１及びＹ電極１３２の形状及び配置を詳細に説明すれば、バス電極１３１ｂ,１３２ｂは、単位放電セル１８０から所定の間隔で離隔されて平行に配置され、放電セル１８０を横切って延びる。前述したように、各バス電極１３１ｂ,１３２ｂには、透明電極１３１ａ,１３２ａが電気的に接続されるが、四角形の透明電極１３１ａ,１３２ａは、単位放電セル１８０ごとに不連続的に配置される。透明電極１３１ａ,１３２ａの一側は、バス電極１３１ｂ,１３２ｂに連結され、他側は、放電セル１８０ａ,１８０ｂ,１８０ｃの中心方向に向かうように配置される。

前面基板１１１上には、維持電極対を埋め込むように上部誘電体層１１４が形成されている。上部誘電体層１１４は、隣接したＸ電極１３１とＹ電極１３２とが相互通電されることを防止すると同時に、荷電粒子または電子がＸ電極１３１とＹ電極１３２とに直接衝突して、Ｘ電極１３１とＹ電極１３２とを損傷させることを防止する。このような上部誘電体層１１４は、ＰｂＯ、Ｂ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２を利用して形成される。

前記ＰＤＰ１００は、上部誘電体層１１４上に形成された保護層１１５をさらに備えうる。保護層１１５は、放電時に荷電粒子と電子とが上部誘電体層１１４に衝突して上部誘電体層１１４が損傷されることを防止する。保護層１１５は、２次電子放出係数が高く、可視光透過率が高い物質を利用して形成される。保護層１１５の形成方法は、スパッタリング、電子ビーム蒸着法がある。

前面基板１１１に対向する背面基板１２１上には、アドレス電極１２２が配置されている。アドレス電極１２２は、Ｘ電極１３１及びＹ電極１３２と交差するように放電セル１８０を横切って延びる。アドレス電極１２２は、Ｘ電極１３１とＹ電極１３２との間の維持放電をさらに容易にするためのアドレス放電を起こすためのものであって、さらに具体的には、維持放電が発生するための電圧を下げる役割を行う。アドレス放電は、Ｙ電極１３２とアドレス電極１２２との間に発生する放電である。

背面基板１２１と隔壁１３０との間には、アドレス電極１２２を埋め込むように下部誘電体層１２５が形成されている。下部誘電体層１２５は、放電時に荷電粒子または電子がアドレス電極１２２に衝突してアドレス電極１２２を損傷させることを防止しつつも、電荷を誘導できる誘電体として形成されるが、このような誘電体としては、ＰｂＯ、Ｂ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２がある。

下部誘電体層１２５上に形成された隔壁１３０の両側面と隔壁１３０が形成されていない下部誘電体層１２５の前面とには、赤色、緑色、青色蛍光体層１２６ａ,１２６ｂ,１２６ｃが配置されている。蛍光体層１２６ａ,１２６ｂ,１２６ｃは、真空紫外線を受けて可視光線を発生させる成分を有するが、赤色放電セルに形成された蛍光体層は、Ｙ（Ｖ,Ｐ）Ｏ_４：Ｅｕのような蛍光体を含み、緑色放電セルに形成された蛍光体層は、Ｚｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎ、ＹＢＯ_３：Ｔｂのような蛍光体を含み、青色放電セルに形成された蛍光体層は、ＢＡＭ：Ｅｕのような蛍光体を含む。

また、前記放電セル１８０ａ,１８０ｂ,１８０ｃには、ネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）が混合された放電ガスが充填され、前記のように放電ガスが充填された状態で、前面基板１１１及び背面基板１２１のエッジに形成されたフリットガラスのような密封部材（図示せず）によって前面基板１１１及び背面基板１２１が相互封合されて結合される。

図１８に示されたプラズマパネル１００の作動を説明すれば、次の通りである。ＰＤＰ１００で発生するプラズマ放電は、アドレス放電と維持放電とに大別される。アドレス放電は、アドレス電極１２２とＹ電極１３２との間にアドレス放電電圧が印加されることによって発生し、アドレス放電の結果、維持放電が発生する放電セル１８０が選択される。次いで、選択された放電セル１８０のＸ電極１３１とＹ電極１３２との間に維持電圧パルスが印加されれば、放電セル１８０で維持放電が発生する。維持放電時、上部誘電体層１１４で電子が発生して、放電セル１８０内に供給され、保護層１１５でも２次電子が発生するため、維持放電がさらに活発に発生するという長所を有する。維持放電時に励起された放電ガスのエネルギー準位が低くなりつつ、真空紫外線が放出される。そして、真空紫外線が放電セル１８０内に塗布された蛍光体を励起させるが、この励起された蛍光体のエネルギー準位が低くなりつつ、可視光が放出され、この可視光が前面基板１１１を透過して出射されつつ、ユーザが認識できる画像を形成する。

図２２は、本発明の他の実施形態によるＰＤＰを示す斜視図である。図２３ないし図２５は、図２２に示されたＰＤＰの断面図である。

図２２に示されたＰＤＰ１２０は、図１８に示されたＰＤＰ１００とほぼ類似しているので、共通する部分及び作動原理は、図１８ないし図２１で説明された通りである。以下、図１８に示されたＰＤＰ１００と異なる部分を中心に詳細に説明する。

図２２を参照すれば、背面パネル１７０は、背面基板１２１、アドレス電極１２２、及び下部誘電体層１２５を備える。そして、アドレス電極１２２及び下部誘電体層１２５が形成された背面基板１２１上に隔壁１３０が形成される。

前記隔壁１３０は、複数の横隔壁１３５ａと複数の縦隔壁１３５ｂとを備える。前記横隔壁１３５ａは、単一隔壁層で形成された第１横隔壁１３５ａ_１と多重隔壁層２６０ａで形成された第２横隔壁１３５ａ_２とを備え、縦隔壁１３５ｂは、中心軸を基準に非対称的に形成された第１縦隔壁１３５ｂ_１と対称的に形成された第２縦隔壁１３５ｂ_２とを備える。

図２３は、図２２に示されたＰＤＰ１２０のＹ方向の断面図である。図２３を参照すれば、前記第１縦隔壁１３５ｂ_１は、中心軸を基準に、一側には、エッチング速度が相対的に速い第１隔壁層２００ａと前記第１隔壁層２００ａ上に形成された第２隔壁層２２０ａとを備える多重隔壁層２６０ａが形成され、他側には、前記第２隔壁層２２０ａで形成された単一隔壁層が形成されて非対称構造を有する。多重隔壁層２６０ａは、下部にエッチング速度が速い第１隔壁層２００ａが形成されることによって、隔壁層の下部でもエッチングが円滑に進められて、前記多重隔壁層２６０ａは、ある程度直進性を有する。したがって、前記多重隔壁層２６０ａによって区画される緑色放電セル１８０ｂ及び青色放電セル１８０ｃは、放電空間が相対的に広く、蛍光体の塗布面積も大きく形成される。緑色蛍光体は、一般的に、発光効率に優れているので、前記緑色放電セル１８０ｂの放電空間の拡大及び蛍光体の塗布面積によって輝度が向上し、青色蛍光体は、色温度を改善するので、前記青色放電セル１８０ｃの放電空間の拡大及び蛍光体の塗布面積によって色温度の改善に寄与しうる。前記単一隔壁層は、エッチング速度が相対的に遅い第２隔壁層２２０ａを備えることによって、前記単一隔壁層の下部にエッチング液が浸透する確率が低くなり、エッチング速度も遅くて、前記単一隔壁層の下部では、エッチングが円滑に行われないので、単一隔壁層は、赤色放電セル１８０ａの方向に広い幅を有するように形成される。したがって、赤色放電セル１８０ａの放電空間が相対的に縮小され、蛍光体の塗布面積も小さくなる。

図２４及び図２５は、図２２に示されたＰＤＰ１２０のＸ方向の断面図である。図２４及び図２５を参照すれば、前記第１横隔壁１３５ａ_１は、相対的にエッチング速度が遅い第２隔壁層２２０ａを備えることによって、下部幅がｗ_１で広く瓶の首形状に形成される。前記第２横隔壁１３５ａ_２は、前記多重隔壁層２６０ａで形成されることによって、下部幅がｗ_１より狭いｗ_３のサイズを有し、側面に少なくとも２個の屈曲が形成された構造を有する。

前記第１隔壁層２００は、ＺｎＯを３７.４％、ＢａＯを１３.５％、Ｂ_２Ｏ_３を２３.７％、Ｐ_２Ｏ_５を８.４％、Ｌｉ_２Ｏを１.０％、Ｎａ_２Ｏを１.０％、Ａｌ_２Ｏ_３を５.０％、ＺｎＯを１０.０％含有するパウダー７１.９１％と、溶媒としてＣ_１０Ｈ_１８Ｏを２.０１％、及び酢酸ブチルカルビトールを０.８１％と、その他の添加剤を含有する。前記第２隔壁層２２０は、ＺｎＯを３０〜５０％、ＢａＯを２０〜３５％、Ｂ_２Ｏ_３を２０〜４０％、Ｐ_２Ｏ_５を５〜２０％、Ｌｉ_２Ｏを１〜５％、Ｍｎ_２Ｏ_３を１〜１０％、Ｃｒ_２Ｏ_３を１〜５％、Ａｌ_２Ｏ_３を３.０％、ＺｎＯを４.０％含有するパウダー７１.９１％と、溶媒としてＣ_１０Ｈ_１８Ｏを２.０１％、及び酢酸ブチルカルビトールを０.８１％と、残量の添加剤を含有する。前記のように構成された第１隔壁層２００は、エッチング液であるＨＮＯ_３に対して前記第２隔壁層２２０よりさらに速いエッチング速度でエッチングされる。

＜評価例＞
図２２に示されたＰＤＰ１２０の輝度、発光効率、及び色温度を評価した。実験例として前記ＰＤＰ１２０を、比較例として従来のエッチング工法を利用して、蛍光体に関係なく放電空間が同一に形成されたＰＤＰを利用した。

前記表１に表されたように、実験例は、比較例に比べて輝度が１５.５％、発光効率が９.３４％、色温度は１３.５％ほど改善されることが確認できる。

本発明は、図面に示した実施形態を参照して説明されたが、それは、例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるということが分かるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決定されねばならない。

本発明は、ＰＤＰ関連の技術分野に適用可能である。

本発明の一実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 本発明の一実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 本発明の一実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 本発明の一実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 図１に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。 図２に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。 図３に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。 図４に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。 本発明の他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための図面である。 本発明の他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための図面である。 本発明の他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための図面である。 本発明の他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための図面である。 図７に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。 図８に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。 図９に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。 図１０に示された隔壁の形成方法によって形成された隔壁の断面を示す図面である。 本発明のさらなる他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 本発明のさらなる他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 本発明のさらなる他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 本発明のさらなる他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 本発明のさらなる他の実施形態によるＰＤＰの隔壁の形成方法を説明するための斜視図である。 本発明の一実施形態によるＰＤＰを示す斜視図である。 図１８に示されたＰＤＰの断面図である。 図１８に示されたＰＤＰの断面図である。 図１８に示されたＰＤＰの断面図である。 本発明の他の実施形態によるＰＤＰを示す斜視図である。 図２２に示されたＰＤＰの断面図である。 図２２に示されたＰＤＰの断面図である。 図２２に示されたＰＤＰの断面図である。

符号の説明

１００ ＰＤＰ
１１１ 前面基板
１１４ 上部誘電体層
１１５ 保護層
１２１ 背面基板
１２２ アドレス電極
１２５ 下部誘電体層
１２６ａ 赤色蛍光体層
１２６ｂ 緑色蛍光体層
１２６ｃ 青色蛍光体層
１３０ 隔壁
１３０ａ_１，１３５ａ_１ 第１横隔壁
１３０ａ_２，１３５ａ_２ 第２横隔壁
１３０ｂ_１，１３５ｂ_１ 第１縦隔壁
１３０ｂ_２，１３５ｂ_２ 第２縦隔壁
１５０ 前面パネル
１６０ 背面パネル
１８０ａ 赤色放電セル
１８０ｂ 緑色放電セル
１８０ｃ 青色放電セル
２００，２００ａ 第１隔壁層
２２０，２２０ａ 第２隔壁層
２４０ 隔壁層
２６０，２６０ａ 多重隔壁層

Claims (24)

1. アドレス電極が形成された基板上でかつ異なる色の放電セル間に、異なるエッチング速度を有する第１隔壁層及び第２隔壁層を形成するステップと、
   放電セルが形成される前記第１隔壁層の所定領域及び前記第２隔壁層の所定領域を露出するエッチングマスク層を前記第１隔壁層及び前記第２隔壁層上に形成するステップと、
   前記エッチングマスク層を利用して露出された前記第１隔壁層及び第２隔壁層をエッチングするステップと、
   前記エッチングマスク層を除去して非対称隔壁を形成するステップと、を含むプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
2. 前記第１隔壁層は、所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有し、
   前記第２隔壁層は、前記エッチング液に対して前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
3. 前記基板上に第１隔壁層及び第２隔壁層を形成するステップは、
   第１放電セルが形成される前記基板上に前記第１隔壁層を形成し、
   前記第１放電セルと異なる色の光を発光する第２放電セルが形成される前記基板上に、前記第２隔壁層を形成することを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
4. 前記基板上に第１隔壁層及び第２隔壁層を形成するステップは、
   前記第１放電セルが形成される前記基板上に、前記第１隔壁層と前記第１隔壁層上に形成された前記第２隔壁層とを備える多重隔壁層を形成し、
   前記第１放電セルと異なる色の光を発光する第２放電セルが形成される前記基板上に、第２隔壁層を備える単一隔壁層を形成することを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
5. 前記第１放電セルは、緑色を発光する緑色放電セルであることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
6. 前記第１放電セルは、緑色を発光する緑色放電セルであることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
7. 前記第２放電セルは、赤色を発光する赤色放電セルであることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
8. 前記第２放電セルは、赤色を発光する赤色放電セルであることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
9. アドレス電極が形成された基板上でかつ異なる色の第１、第２放電セル間に、隔壁層を形成するステップと、
   前記隔壁層上に第１放電セルが形成される隔壁層の所定領域を露出する第１エッチングマスク層を形成するステップと、
   前記第１エッチングマスク層及び前記隔壁層に対して、第１エッチング速度を有する第１エッチング液を利用して、露出された前記隔壁層をエッチングするステップと、
   前記第１エッチングマスク層を除去するステップと、
   前記第１放電セルと異なる色の光を発光する第２放電セルが形成される隔壁層の所定領域を露出する第２エッチングマスク層を前記隔壁層上に形成するステップと、
   前記第２エッチングマスク層及び前記隔壁層に対して、前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２エッチング液を利用して、露出された前記隔壁層をエッチングするステップと、
   前記第２エッチングマスク層を除去して、非対称隔壁を形成するステップと、を含むプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
10. 前記第１放電セルは、緑色放電セルであることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
11. 前記第２放電セルは、赤色放電セルであることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
12. 背面基板と、
    前記背面基板に離隔されて配置された前面基板と、
    前記前面基板と前記背面基板との間に配置されて放電セルを区画し、かつ異なる色の該放電セル間にて非対称に形成された隔壁と、
    前記前面基板を横切る複数の維持電極対と、
    前記背面基板を横切り、前記維持電極対と交差する複数のアドレス電極と、
    前記放電セル内に配置された蛍光体層と、を備え、
    前記隔壁は、中心軸に対して対応するように、所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有する第１隔壁層と、前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層とを備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
13. 前記隔壁は、中心軸に対して対応するように、
    所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有する第１隔壁層と、前記第１隔壁層上に形成され、前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層とを備える多重隔壁層と、
    前記第２隔壁層から形成される単一隔壁層と、を備えることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
14. 前記多重隔壁層の側面には、少なくとも２個の屈曲が形成されたことを特徴とする請求項１３に記載のプラズマディスプレイパネル。
15. 前記多重隔壁層の側面は、前記単一隔壁層の側面より表面積が広いことを特徴とする請求項１３に記載のプラズマディスプレイパネル。
16. 前記隔壁は、複数の横隔壁及び前記複数の横隔壁と交差する複数の縦隔壁を備えることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
17. 前記横隔壁は、第１横隔壁と前記第１横隔壁より下部幅の狭い第２横隔壁とを備えることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
18. 前記第１横隔壁は、所定のエッチング液に対して第２エッチング速度を有する第２隔壁層を備え、
    前記第２横隔壁は、前記エッチング液に対して前記第２エッチング速度より速い第１エッチング速度を有する第１隔壁層を備えることを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネル。
19. 前記第１横隔壁は、所定のエッチング液に対して第２エッチング速度を有する第２隔壁層から形成される単一隔壁層を備え、
    前記第２横隔壁は、前記エッチング液に対して前記第２エッチング速度より速い第１エッチング速度を有する第１隔壁層、及び前記第１隔壁層上に形成された前記第２隔壁層を備える多重隔壁層を備えることを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネル。
20. 前記第１横隔壁は、赤色放電セルを区画し、
    前記第２横隔壁は、緑色放電セルまたは青色放電セルを区画することを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネル。
21. 前記縦隔壁は、中心軸に対して非対称である第１縦隔壁と、中心軸に対して対称である第２縦隔壁とを備えることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
22. 前記第１縦隔壁は、中心軸に対して対応するように、所定のエッチング液に対して第１エッチング速度を有する第１隔壁層と、前記第１エッチング速度より遅い第２エッチング速度を有する第２隔壁層とを備え、
    前記第２縦隔壁は、前記第１隔壁層を備えることを特徴とする請求項２１に記載のプラズマディスプレイパネル。
23. 前記第１縦隔壁は、中心軸に対して対応するように、
    所定のエッチング液に対して第２エッチング速度を有する第２隔壁層から形成される単一隔壁層と、前記エッチング液に対して前記第２エッチング速度より速い第１エッチング速度を有する第１隔壁層及び前記第１隔壁層上に形成された前記第２隔壁層を備える多重隔壁層と、を備え、
    前記第２縦隔壁は、前記多重隔壁層を備えることを特徴とする請求項２１に記載のプラズマディスプレイパネル。
24. 前記第１縦隔壁は、赤色放電セルと緑色放電セルとを区画し、
    前記第２縦隔壁は、緑色放電セルと青色放電セルとを区画することを特徴とする請求項２１に記載のプラズマディスプレイパネル。

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