JP2005316461A - 露光装置の校正方法及び露光方法並びに露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 CCDカメラ26により感光材料12のアライメントマーク13を撮影するのに先立ち、CCDカメラ26による撮影が可能な位置に、CCDカメラ26の移動方向に沿って所定の間隔で配列された複数の検出用マーク77A、77Bを備える基準板70を配置し、複数の検出用マーク77A、77Bのうちの少なくとも1つを、感光材料12に設けられたアライメントマーク13を撮影する位置に配置したCCDカメラ26で撮影し、その撮影で取得したカメラの光軸位置ずれデータに基づいて校正用データを算出し、その校正用データを基準位置データに反映させることにより露光装置の露光位置合わせ機能を校正する。
【選択図】 図8
Description
なお、露光基準点を1点として説明したが、複数の画素を露光基準点として位置測定することにより、更に高精度に描画像を感光材料上に露光することができる。
12 感光材料
13 アライメントマーク(基準マーク)
14 ステージ(移動手段)
24 スキャナ(露光手段)
26 CCDカメラ(読取手段)
28 コントローラ(制御手段)
30 露光ヘッド(露光手段)
70 基準板(検出手段/校正用部材)
70A ビーム位置検出部(検出手段)
70B カメラ位置検出部(校正用部材)
74 検出用スリット(検出部)
77A 検出用マーク(校正用基準マーク)
77B 検出用マーク(校正用基準マーク)
85 メモリ(データ記憶手段)
95 角度調整装置
Claims (16)
- 露光位置の基準となる基準マークが設けられた感光材料が載置され、その感光材料を走査方向に沿った方向へ移動させる移動手段と、
前記移動手段に載置された前記感光材料の前記基準マークを読み取る読取手段と、
前記移動手段により移動される前記感光材料を画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光手段と、
前記露光手段による露光で、前記読取手段による基準マークの読み取りにより取得された基準位置データに基づいて前記光ビームによる露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させる制御手段と、
を有する露光装置であって、
前記露光装置は更に、
前記読取手段の移動方向に沿って配列された複数の読取手段基準マークを備えると共にその複数の読取手段基準マークを読取手段による読み取りが可能な位置に配置した読取手段位置スケールと、
前記読取手段により基準マークを読み取る際に、前記複数の読取手段基準マークのうちの少なくとも1つを、前記基準マークを読み取る位置に配置した読取手段で読み取り、その読み取りで取得した前記読取手段の位置データを記憶する読取位置データ記憶手段と、
前記光ビームによる露光位置を検出する検出部を備えるビーム位置検出手段を有し、
前記露光手段から出力される所定の光ビームの露光点位置を該ビーム位置検出手段によって検出して得られる露光点位置データを記憶する露光点位置情報記憶手段と、を有し、
前記感光材料に対する露光では、前記制御手段が前記データ記憶手段から読み出された基準位置データと、前記露光点位置情報記憶手段から露光点位置データを読み出し、
前記ビーム位置検出手段の前記読取手段基準マークに対する相対的な位置関係から、前記基準位置データと前記露光点位置データとに基づいて前記画像データを露光する露光装置。
- 前記ビーム位置検出手段と前記読取手段位置スケールが一体的に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 露光位置の基準となる基準マークが設けられた感光材料が載置され、その感光材料を走査方向に沿った方向へ移動させる移動手段と、
前記移動手段に載置された前記感光材料の前記基準マークを読み取る読取手段と、
前記移動手段により移動される前記感光材料を画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光手段と、
前記露光手段による露光で、前記読取手段による基準マークの読み取りにより取得された基準位置データに基づいて前記光ビームによる露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させる制御手段と、
を有する露光装置であって、
前記露光装置は更に、
前記読取手段の移動方向に沿って配列された複数の校正用基準マークを備えると共にその複数の校正用基準マークを読取手段による読み取りが可能な位置に配置した読取位置校正用部材と、
前記複数の校正用基準マークのうちの少なくとも1つを、前記基準マークを読み取る位置に配置した読取手段で読み取り、その読み取りで取得した前記読取手段の位置データに基づいて算出した校正用データを記憶する校正用データ記憶手段と、
前記光ビームによる露光位置を検出する検出部を備えるビーム位置検出手段と、
前記露光手段から出力される所定の光ビームの露光点位置を該ビーム位置検出手段によって検出して得られる露光点位置データを記憶する露光点位置情報記憶手段と、を有し、
前記感光材料に対する露光では、前記制御手段が前記校正用データ記憶手段から前記校正用データを読み出し、その校正用データを前記基準位置データに反映させた基準位置補正データと、前記露光点位置情報記憶手段から露光点位置データを読み出し、
前記ビーム位置検出手段の前記読取手段基準マークに対する相対的な位置関係から、前記基準位置補正データと前記露光点位置データとに基づいて前記画像データを露光する露光装置。
- 前記ビーム位置検出手段と前記読取位置校正用部材が一体的に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記ビーム位置検出手段は前記露光露光手段に対して走査方向に並んでいない複数の測定箇所で前記光ビームの露光点位置を測定し、前記複数の測定箇所で測定された露光点位置から、前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度を検出する角度検出手段を備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の露光装置。
- 前記角度検出手段により検出された前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度に基づいて、露光面上にて露光される画像データを補正する画像データ補正手段を備えたことを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記角度検出手段により検出された前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度に基づいて、前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度を調整する角度調整手段を備えたことを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 露光位置の基準となる基準マークが設けられた感光材料が載置され、前記感光材料を走査方向に沿った方向へ移動させる移動手段と、
前記走査方向と交差する方向へ移動可能とされ、前記移動手段に載置された前記感光材料の前記基準マークを読み取る読取手段と、
前記読取手段による読み取り後に、前記移動手段により移動される前記感光材料を画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光手段と、
前記露光手段による露光で、前記読取手段による読み取りにより取得された基準位置データに基づいて前記光ビームによる露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させる制御手段と
を有する露光装置であって、
前記露光装置は更に、
前記移動手段に設けられ、前記読取手段の移動方向に沿って所定の間隔で配列された複数の校正用基準マークを備えると共にその複数の校正用基準マークを読取手段による読み取りが可能な位置に配置した校正用部材と、
前記複数の校正用基準マークのうちの少なくとも1つを、前記基準マークを読み取る位置に配置した読取手段で読み取り、その読み取りで取得した前記読取手段の位置データに基づいて算出した校正用データを記憶するデータ記憶手段と、
を有し、
前記感光材料に対する露光では、前記制御手段が前記データ記憶手段から前記校正用データを読み出し、その校正用データを前記基準位置データに反映させて前記露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させることを特徴とする露光装置。
- 露光位置の基準となる基準マークが設けられた感光材料が載置され、その感光材料を走査方向に沿った方向へ移動させる移動手段と、
前記移動手段に載置された前記感光材料の前記基準マークを読み取る読取手段と、
前記移動手段により移動される前記感光材料を画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光手段と、
前記露光手段による露光で、前記読取手段による基準マークの読み取りにより取得された基準位置データに基づいて前記光ビームによる露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させる制御手段と、
を用いた露光方法であって、
前記露光方法は更に、
前記読取手段の移動方向に沿って配列された複数の読取手段基準マークを備えると共にその複数の読取手段基準マークを読取手段による読み取りが可能な位置に配置した読取手段位置スケールと、
前記読取手段により基準マークを読み取る際に、前記複数の読取手段基準マークのうちの少なくとも1つを、前記基準マークを読み取る位置に配置した読取手段で読み取り、その読み取りで取得した前記読取手段の位置データを記憶する読取位置データ記憶手段と、
前記光ビームによる露光位置を検出する検出部を備えるビーム位置検出手段を用い、
前記露光手段から出力される所定の光ビームの露光点位置を該ビーム位置検出手段によって検出して得られる露光点位置データを記憶する露光点位置情報記憶手段と、
を用い、
前記感光材料に対する露光では、前記制御手段が前記データ記憶手段から読み出された基準位置データと、前記露光点位置情報記憶手段から露光点位置データを読み出し、
前記ビーム位置検出手段の前記読取手段基準マークに対する相対的な位置関係から、前記基準位置データと前記露光点位置データとに基づいて前記画像データを露光する露光方法。
- 露光位置の基準となる基準マークが設けられた感光材料が載置され、その感光材料を走査方向に沿った方向へ移動させる移動手段と、
前記移動手段に載置された前記感光材料の前記基準マークを読み取る読取手段と、
前記移動手段により移動される前記感光材料を画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光手段と、
前記露光手段による露光で、前記読取手段による基準マークの読み取りにより取得された基準位置データに基づいて前記光ビームによる露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させる制御手段と、
を用いた露光方法であって、
前記露光方法は更に、
前記読取手段の移動方向に沿って配列された複数の校正用基準マークを備えると共にその複数の校正用基準マークを読取手段による読み取りが可能な位置に配置した読取位置校正用部材と、
前記複数の校正用基準マークのうちの少なくとも1つを、前記基準マークを読み取る位置に配置した読取手段で読み取り、その読み取りで取得した前記読取手段の位置データに基づいて算出した校正用データを記憶する校正用データ記憶手段と、
前記光ビームによる露光位置を検出する検出部を備えるビーム位置検出手段と、
前記露光手段から出力される所定の光ビームの露光点位置を該ビーム位置検出手段によって検出して得られる露光点位置データを記憶する露光点位置情報記憶手段と、を用い、
前記感光材料に対する露光では、前記制御手段が前記校正用データ記憶手段から前記校正用データを読み出し、その校正用データを前記基準位置データに反映させた基準位置補正データと、前記露光点位置情報記憶手段から露光点位置データを読み出し、
前記ビーム位置検出手段の前記読取手段基準マークに対する相対的な位置関係から、前記基準位置補正データと前記露光点位置データとに基づいて前記画像データを露光する露光方法。
- 前記ビーム位置検出手段は前記露光露光手段に対して走査方向に並んでいない複数の測定箇所で前記光ビームの露光点位置を測定し、前記複数の測定箇所で測定された露光点位置から、前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度を検出する角度検出手段を用い、
前記角度検出手段により検出された前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度に基づいて、露光面上にて露光される画像データを補正する画像データ補正手段を用いることを特徴とする請求項9乃至請求項10の何れか1項に記載の露光方法。
- 前記ビーム位置検出手段は前記露光露光手段に対して走査方向に並んでいない複数の測定箇所で前記光ビームの露光点位置を測定し、前記複数の測定箇所で測定された露光点位置から、前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度を検出する角度検出手段を用い、
前記角度検出手段により検出された前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度に基づいて、前記ビーム位置検出手段の走査方向に対する角度を調整する角度調整手段を用いることを特徴とする請求項9乃至請求項10の何れか1項に記載の露光方法。
- 露光位置の基準となる基準マークが設けられた感光材料が載置され、前記感光材料を走査方向に沿った方向へ移動させる移動手段と、
前記走査方向と交差する方向へ移動可能とされ、前記移動手段に載置された前記感光材料の前記基準マークを読み取る読取手段と、
前記読取手段による読み取り後に、前記移動手段により移動される前記感光材料を画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光手段と、
前記露光手段による露光で、前記読取手段による読み取りにより取得された基準位置データに基づいて前記光ビームによる露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させる制御手段と
を用いた露光方法であって、
前記露光方法は更に、
前記移動手段に設けられ、前記読取手段の移動方向に沿って所定の間隔で配列された複数の校正用基準マークを備えると共にその複数の校正用基準マークを読取手段による読み取りが可能な位置に配置した校正用部材と、
前記複数の校正用基準マークのうちの少なくとも1つを、前記基準マークを読み取る位置に配置した読取手段で読み取り、その読み取りで取得した前記読取手段の位置データに基づいて算出した校正用データを記憶するデータ記憶手段と、
を用い、
前記感光材料に対する露光では、前記制御手段が前記データ記憶手段から前記校正用データを読み出し、その校正用データを前記基準位置データに反映させて前記露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させることを特徴とする露光方法。
- 感光材料に設けられた露光位置の基準となる基準マークを、前記感光材料の走査方向と交差する方向へ移動可能とされた読取手段により読み取って取得した基準位置データに基づいて感光材料に対する露光位置合わせを行い、その感光材料を移動手段により前記走査方向へ移動させつつ画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光装置の前記露光位置合わせ機能を校正する校正方法であって、
前記読取手段により前記基準マークを読み取るのに先立ち、
前記読取手段による読み取りが可能な位置に、読取手段の移動方向に沿って所定の間隔で配列された複数の校正用基準マークを備える校正用部材を配置し、
前記複数の校正用基準マークのうちの少なくとも1つを、前記基準マークを読み取る位置に配置した読取手段で読み取り、その読み取りで取得した前記読取手段の位置データに基づいて校正用データを算出し、その校正用データを前記基準位置データに反映させることにより前記露光装置の露光位置合わせ機能を校正することを特徴とする露光装置の校正方法。
- 前記露光装置は前記光ビームによる露光位置を検出する検出部を備える検出手段を有し、その検出手段に前記校正用部材を一体的に設けると共に、前記検出手段により検出した光ビームの露光位置データと前記校正用データを演算して求めた補正データを前記基準位置データに反映させることにより前記露光装置の露光位置合わせ機能を校正することを特徴とする請求項14記載の露光装置の校正方法。
- 前記移動手段は前記感光材料が載置されるステージを有し、
前記校正用基準部材は、前記ステージに前記感光材料を載置した状態で前記読取手段による前記校正用基準マークの読み取りが可能なように前記ステージに配設したことを特徴とする請求項14又は請求項15記載の露光装置の校正方法。
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