JP4521641B2 - 集積回路製作におけるデルタジオメトリタイミング予測 - Google Patents
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Description
本出願は、2003年11月6日出願の米国仮特許出願第60/517,648号、2003年11月6日出願の第60/517,664号、2004年4月2日出願の第60/559,267号、及び2004年10月13日出願の第60/618,934号の恩恵を主張し、これらの全ては現在係属中である。
集積回路(「IC」)の製作におけるタイミングドリブン型形状クロージャ用のシステム及び方法を含む統合設計製造工程を以下に説明する。本明細書にて統合設計製造工程(「IDMP」)とも呼ばれるICを製作するためのシステム及び方法は、デルタ−ジオメトリタイミング予測工程及びデルタ−タイミング形状予測工程を含むデルタフローを用いて、IC製作のタイミング及びジオメトリの検証工程の双方の情報をIC設計に統合する。
、又は「デルタ情報」とも呼ばれる。デルタフロー101によるデルタ強調パラメータ情報出力は、例えば、電子設計オートメーション(「EDA」)システムの典型的なIC設計工程に導入することができる。
。設計フローにおいてインクリメンタルデルタ情報を利用すると、特定の回路パラメータの差分情報を効率的に供給することで設計工程のライブラリ及び他の情報に対する依存性が低減される。設計ライブラリ情報に対する依存性の低減は、設計工程中に行われることになるルックアップ操作又はシミュレーション操作の回数が低減されるので、IC設計工程の効率が高くなる。更に、デルタ情報は、1つ又はそれ以上のパラメータを新しいパラメータと置き換えた後で回路全体を再処理するのではなく、パラメータに関連する差分情報だけをインクリメンタル処理することを可能にする。
信号線で互いに接続されたノードを有する循環有向グラフ構造を用いて表すことができる。より高い抽象レベルでは、ジェネリック・ネットリストは、技術独立型プリミティブに基づいて作り出される。IDMP100Bは、ジェネリック・ネットリストを技術指定型ライブラリに従って低レベルの技術指定型ネットリストに翻訳することができる。本明細書において「セルライブラリ」又は「デバイスライブラリ」とも呼ばれる技術指定型ライブラリは、設計のタイミング及び出力パラメータの推定に用いるためのゲート指定型モデルを含む。IDMP100Bシステムは、機械可読媒体内にネットリストを格納し、該ネットリストの情報を処理し検証して、マスク形式の物理的デバイスレイアウトを作り出し、このレイアウトは、シリコン中に構造体を直接インプリメントして物理的ICデバイスを実現するために用いることができる。
」又は「Δd/Δt」と総称される)を含む。一例として、ある実施形態のデルタジオメトリΔd/Δtは、ジオメトリに変動Δd/Δtをもたらす、リソグラフィ及び/又は他の近接度ベースの変化に対応する。ある実施形態の厚み変動情報Δtは、チップの各層の体系的特徴付けデータから得られる、CMP誘起の金属厚み変動を含む。
されない。抽出されたデルタ情報は、例えばデルタキャパシタンス、デルタ抵抗、及び/又はデルタインダクタンスを含むことができるが、IC設計を記述する他のいかなるパラメータのデルタ情報を含んでもよい。InTime工程102はまた、IC設計に違反又は悪影響を及ぼすデルタ情報のソース及び/又は位置を報告するデルタ(又はインクリメンタル)出力を生成する。一例として、デルタキャパシタンスΔC及びデルタ抵抗ΔRは、IC設計の特定の相互接続部に関する設計制約に違反するキャパシタンスC及び抵抗Rのそれぞれの特定値について別個に報告される。
1つ又はそれ以上のネットリストの情報を、パラメータ変動を含む新しい情報と置き換える段階を含むことができる。
て、ICモデルのセル及び相互接続部の間でタイミング変動Δτで示されるスラック時間を分割することによってタイミング変動Δτを分割する。ブロック143において、各セル及び/又は相互接続部に応じて好適な分割されたスラック時間に関する最大及び最小のタイミング変動Δτを含むタイミング変動Δτデータベースが生成される。
ている。通常の設計フローは、デルタ情報を組込む新しい設計特徴パラメータを作り出すためにIC設計の全ての情報を再処理する必要があるので、この情報量の増大は一般的なIC設計工程の効率に著しい悪影響を及ぼす可能性がある。
することができ、ここでルックアップテーブルの項目は、式1〜7の関係を用いてデルタジオメトリΔd/Δtから各相互接続部についてのデルタ情報ΔC、ΔR、及び/又はΔLを計算することにより生成される。
は、この比較情報(両寸法(D0−D1)の差分)を用いて、修正相互接続部に対応する修正特徴パラメータ(キャパシタンス、抵抗、及び/又はインダクタンス)を初期特徴パラメータにより外挿する。修正パラメータは、初期のキャパシタンス、抵抗、及び/又はインダクタンスのパラメータにより外挿及び/又は内挿されるが、別の実施形態では、追加及び/又は代替の初期相互接続部情報を用いて新しいパラメータを導出/外挿することができる。
令を格納するためにバス1801に結合された不揮発性メモリ1806(例えば読取り専用メモリ(「ROM」))を含む。またコンピュータシステム1800は、情報及び命令を格納するためにバス1801に結合された1つ又はそれ以上のオプションの記憶デバイス1808を含むことができる。記憶デバイス又はデータ記憶デバイス1808は、コンピュータ可読メモリである1つ又はそれ以上のリムーバブル磁気又は光学の記憶媒体を含むことができる。揮発性メモリ1804、不揮発性メモリ1806、及び/又は記憶デバイス1808の幾つかの組み合わせは、上記で説明したIDMPの構成要素又は工程を記述するデータ構造を含み、又はこれを格納する。
ンタルタイミング差を用いて回路設計の寸法差を予測する段階と、回路設計における寸法差、インクリメンタルデルタパラメータ、及びインクリメンタルタイミング差の少なくとも1つを統合することにより回路設計を修正する段階との少なくとも1つの段階を含む方法を含む。
ング差の少なくとも1つを用いて回路設計のモデルを生成する手段を更に含む。
を含む。
パラメータとの間で1つ又はそれ以上の関数関係を形成する段階、及び/又はデバイス及び相互接続部の少なくとも1つを特徴付けるパラメータにおける差分を関数関係を用いて寸法差から直接求める段階を更に含む。
タパラメータを抽出する手段であって、該デルタパラメータがデバイス及び相互接続部の少なくとも1つを特徴付ける1つ又はそれ以上のパラメータの差分情報を含む手段と、寸法差及びデルタパラメータの少なくとも1つを用いてデバイス及び相互接続部の少なくとも1つのインクリメンタルタイミング差を予測する手段との少なくとも1つを含むシステムを含む。
数関係を形成する手段、及び/又は関数関係を用いて寸法差からデルタパラメータを直接生成する手段を更に含む。
様に対し、このような追加の請求項を求めるために、本出願を提出した後に追加の請求項を付加する権利を留保する。
12 回路レイアウト工程
14 タイミング解析工程
20 物理的(ジオメトリ)検証工程
22 RET工程
24 製造工程
100A IDMP
101 デルタフロー
102 デルタ−ジオメトリタイミング予測工程
104 デルタ−タイミング形状予測工程
Claims (40)
- デルタパラメータ情報を使用して、コンピューティングデバイスによって、回路設計を特徴付けるためのプログラムされた方法であって、
複数のセル及び相互接続を含む回路設計をコンピューティングデバイスで受けるステップと、
回路設計に関して予め決められたのデルタジオメトリ情報をコンピューティングデバイスで受けるステップと、
回路設計のセルおよび相互接続に対して前記予め決められたデルタジオメトリ情報をコンピューティングデバイスでマッピングするステップと、
前記セル及び相互接続の前記予め決められたデルタジオメトリ情報からデルタパラメータ情報をコンピューティングデバイスで導出するステップと、
を有し、
導出されたデルタパラメータ情報が、セル又は相互接続の少なくとも一方を特徴付ける1またはそれ以上のパラメータの異なる情報を含む、
ことを特徴とする方法。 - 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してインクリメンタルタイミング差をコンピューティングデバイスで計算するステップを更に有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報が、デルタ・キャパシタンス、デルタ・抵抗、デルタ・インダクタンス、デルタ・ゲート−基板キャパシタンス、および、デルタ・ドレイン−基板キャパシタンスを含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報に基づいて回路設計に関する寸法変動ルールをコンピューティングデバイスで生成するステップを更に有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してインクリメンタルタイミング差を計算するステップが、
前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してオリジナルモデルから強調されたモデルを生成するステップと、
前記強調されたモデルでタイミング解析を実行することによりインクリメンタルタイミング差を判断するステップと、
を有することを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記オリジナルモデルが、セルライブラリモデルおよび相互接続モデルを含むことを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してオリジナルモデルから強調されたモデルを生成するステップが、前記導出されたデルタパラメータ情報を、モデル内の1またはそれ以上のネットリストにリンク若しくは追加することによって前記オリジナルモデルを修正することを含む、ことを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記計算されたインクリメンタルタイミング差からスラック時間をコンピューティングデバイスで判断するステップを更に有することを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記セルおよび相互接続の間のスラック時間をコンピューティングデバイスで分割するステップを更に有することを特徴とする請求項8に記載の方法。
- タイミングレポートをコンピューティングデバイスで生成するステップを更に有することを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記タイミングレポートが、計算されたインクリメンタルタイミング差を含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記インクリメンタルタイミング差を計算するステップが、回路設計の信号伝搬遅延を含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記回路設計が、グラフィカルデータ表現及びテキストファイル表現を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- デルタパラメータ情報を使用して、回路設計を特徴付けるために、コンピュータデバイスで利用可能に記録されたプログラムを有するコンピュータ読取可能記憶媒体であって、
複数のセル及び相互接続を含む回路設計を受けることと、
回路設計に関して予め決められたのデルタジオメトリ情報を受けることと、
回路設計のセルおよび相互接続に対して前記予め決められたデルタジオメトリ情報をマッピングすることと、
前記セル及び相互接続の前記予め決められたデルタジオメトリ情報からデルタパラメータ情報を導出することであって、導出されたデルタパラメータ情報が、セル又は相互接続の少なくとも一方を特徴付ける1またはそれ以上のパラメータの異なる情報を含むことを特徴とする、導出することと、
を実行するようにコンピュータデバイスを処理させるように構成された前記プログラムが記録されたコンピュータ読取可能記憶媒体。 - 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してインクリメンタルタイミング差を計算することを更に有することを特徴とする請求項14に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報が、デルタ・キャパシタンス、デルタ・抵抗、デルタ・インダクタンス、デルタ・ゲート−基板キャパシタンス、および、デルタ・ドレイン−基板キャパシタンスを含むことを特徴とする、請求項14に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報に基づいて回路設計に関する寸法変動ルールを生成することを更に有することを特徴とする請求項14に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してインクリメンタルタイミング差を計算することが、
前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してオリジナルモデルから強調されたモデルを生成することと、
前記強調されたモデルでタイミング解析を実行することによりインクリメンタルタイミング差を判断することと、
を有することを特徴とする請求項15に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。 - 前記オリジナルモデルが、セルライブラリモデルおよび相互接続モデルを含むことを特徴とする請求項18に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してオリジナルモデルから強調されたモデルを生成することが、前記導出されたデルタパラメータ情報を、モデル内の1またはそれ以上のネットリストにリンク若しくは追加することによって前記オリジナルモデルを修正することを含む、ことを特徴とする請求項18に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記計算されたインクリメンタルタイミング差からスラック時間を判断することを更に有することを特徴とする請求項15に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記セルおよび相互接続の間のスラック時間を分割することを更に有することを特徴とする請求項21に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- タイミングレポートを生成することを更に有することを特徴とする請求項15に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記タイミングレポートが、計算されたインクリメンタルタイミング差を含むことを特徴とする請求項23に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記インクリメンタルタイミング差を計算することが、回路設計の信号伝搬遅延を含むことを特徴とする請求項15に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- 前記回路設計が、グラフィカルデータ表現及びテキストファイル表現を含むことを特徴とする請求項14に記載のコンピュータ読取可能記憶媒体。
- デルタパラメータ情報を使用して回路設計を特徴付けるためのコンピュータシステムであって、
プロセッサと、
前記プロセッサに伝達するように接続されたメモリと、を有し、
前記プロセッサおよび前記メモリが、
複数のセル及び相互接続を含む回路設計を受け、
回路設計に関して予め決められたのデルタジオメトリ情報を受け、
回路設計のセルおよび相互接続に対して前記予め決められたデルタジオメトリ情報をマッピングし、
前記セル及び相互接続の前記予め決められたデルタジオメトリ情報からデルタパラメータ情報を導出することと、
を有し、
導出されたデルタパラメータ情報が、セル又は相互接続の少なくとも一方を特徴付ける1またはそれ以上のパラメータの異なる情報を含む、
ことを特徴とするコンピュータシステム。 - 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してインクリメンタルタイミング差を計算することを更に有することを特徴とする請求項27に記載のコンピュータシステム。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報が、デルタ・キャパシタンス、デルタ・抵抗、デルタ・インダクタンス、デルタ・ゲート−基板キャパシタンス、および、デルタ・ドレイン−基板キャパシタンスを含むことを特徴とする、請求項27に記載のコンピュータシステム。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報に基づいて回路設計に関する寸法変動ルールを生成することを更に有することを特徴とする請求項27に記載のコンピュータシステム。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してインクリメンタルタイミング差を計算することが、
前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してオリジナルモデルから強調されたモデルを生成することと、
前記強調されたモデルでタイミング解析を実行することによりインクリメンタルタイミング差を判断することと、
を有することを特徴とする請求項28に記載のコンピュータシステム。 - 前記オリジナルモデルが、セルライブラリモデルおよび相互接続モデルを含むことを特徴とする請求項31に記載のコンピュータシステム。
- 前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してオリジナルモデルから強調されたモデルを生成することが、前記導出されたデルタパラメータ情報を、モデル内の1またはそれ以上のネットリストにリンク若しくは追加することによって前記オリジナルモデルを修正することを含む、ことを特徴とする請求項31に記載のコンピュータシステム。
- 前記計算されたインクリメンタルタイミング差からスラック時間を判断することを更に有することを特徴とする請求項28に記載のコンピュータシステム。
- 前記セルおよび相互接続の間のスラック時間を分割することを更に有することを特徴とする請求項34に記載のコンピュータシステム。
- タイミングレポートを生成することを更に有することを特徴とする請求項28に記載のコンピュータシステム。
- 前記タイミングレポートが、計算されたインクリメンタルタイミング差を含むことを特徴とする請求項36に記載のコンピュータシステム。
- 前記インクリメンタルタイミング差を計算することが、回路設計の信号伝搬遅延を含むことを特徴とする請求項28に記載のコンピュータシステム。
- 前記回路設計が、グラフィカルデータ表現及びテキストファイル表現を含むことを特徴とする請求項27に記載のコンピュータシステム。
- デルタパラメータ情報を使用して回路設計を特徴付けるシステムであって、
複数のセル及び相互接続を含む回路設計を受ける手段と、
回路設計に関して予め決められたのデルタジオメトリ情報を受ける手段と、
回路設計のセルおよび相互接続に対して前記予め決められたデルタジオメトリ情報をマッピングする手段と、
前記セル及び相互接続の前記予め決められたデルタジオメトリ情報からデルタパラメータ情報を導出する手段であって、導出されたデルタパラメータ情報が、セル又は相互接続の少なくとも一方を特徴付ける1またはそれ以上のパラメータの異なる情報を含むことを特徴とする手段と、
前記導出されたデルタパラメータ情報を使用してインクリメンタルタイミング差を計算する手段と、
を有することを特徴とするシステム。
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