JP4506365B2 - バリアフィルムの製造方法 - Google Patents
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g/m2/day以下及び/又は酸素透過率が5×10-3cc/m2/day以下、さらには、EL基板に求められる水蒸気透過率1×10-6g/m2/day以下、酸素透過率1×10-3cc/m2/day以下のバリアフィルムを安価に提供するものである。
(a)前記バリア層が、真空成膜により形成され、珪素又はアルミニウムの窒化物又は酸化物又は酸窒化物の膜からなるバリア層を5nm〜100nm厚に形成する工程、
(b)前記保護層が、真空成膜により形成され、両面に珪素又はアルミニウムの窒化物又は酸化物又は酸窒化物からなるバリア層の外側に、アクリレート又はメタクリレート膜からなる保護層を0.1〜3μm厚に形成する工程、
の少なくとも(a)(b)いずれかの工程を含むことを特徴とするバリアフィルムの製造方法である。
(a)前記バリア層が、真空成膜により形成され、酸化珪素膜からなるバリア層を5nm〜100nm厚に形成する工程。
(b)前記保護層が、真空成膜により形成され、アクリレート又はメタクリレート膜からなる保護層を0.1〜3μm厚に形成する工程。
ことにより保護層を形成することができる。また、電子線硬化の替わりに紫外線硬化を用いてもよい。
次に実施例を挙げて本発明をさらに説明する。
2…樹脂フィルム
3…バリア層
4…保護層
5…本発明のバリアフィルムを作製するための巻取式真空成膜装置
5a…バリア層成膜室
5b…保護層成膜室
6a、6b、6c…隔壁
7…コーティングドラム
8a…巻出しローラ、
8b…巻取りローラ
9a、9b、9c、9d…ガイドローラ
10…樹脂フィルムロール
11…CVD電極
12…有機物蒸着装置
13…電子線照射装置
14…有機/無機多層積層膜を作製するためのバッチ式真空成膜装置
14a、14c…無機膜成膜室
14b、14d…有機膜成膜室
15…有機/無機多層積層膜を作製するための巻取式真空成膜装置
15a…無機膜成膜室
15b…有機膜成膜室
Claims (1)
- 厚み200μmのポリエーテルスルホンフィルムの両面に珪素又はアルミニウムの窒化物又は酸化物又は酸窒化物からなるバリア層と、さらにその外側に保護層が形成されたバリアフィルムであって、該バリアフィルムの水蒸気透過率が5×10−3g/m2/day以下及び/又は酸素透過率が1×10−2cc/m2/day以下であるバリアフィルムの製造方法において、
(a)前記バリア層が、真空成膜により形成され、珪素又はアルミニウムの窒化物又は酸化物又は酸窒化物の膜からなるバリア層を5nm〜100nm厚に形成する工程、
(b)前記保護層が、真空成膜により形成され、両面に珪素又はアルミニウムの窒化物又は酸化物又は酸窒化物からなるバリア層の外側に、アクリレート又はメタクリレート膜からなる保護層を0.1〜3μm厚に形成する工程、
の少なくとも(a)(b)いずれかの工程を含むことを特徴とするバリアフィルムの製造方法。
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