JP4505600B1 - 欠陥修正方法及び装置 - Google Patents
欠陥修正方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4505600B1 JP4505600B1 JP2009146036A JP2009146036A JP4505600B1 JP 4505600 B1 JP4505600 B1 JP 4505600B1 JP 2009146036 A JP2009146036 A JP 2009146036A JP 2009146036 A JP2009146036 A JP 2009146036A JP 4505600 B1 JP4505600 B1 JP 4505600B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- tape
- defect
- head
- correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 162
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 108
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 285
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims abstract description 54
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 32
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 25
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B21/00—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/0069—Other grinding machines or devices with means for feeding the work-pieces to the grinding tool, e.g. turntables, transfer means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】突起欠陥53を修正又は除去する欠陥修正装置であり、ワーク13を保持するステージ14と、研磨処理を行う研磨ユニットと、研磨ユニットを、ステージ14のワーク13に対して、研磨テープ42の走行方向と直交する方向に移動させる移動手段とを具える。研磨ユニットは、研磨テープ走行手段44と、研磨ユニットに対してテープ走行方向と直交する方向に移動可能に装着され、研磨テープ42をワーク13表面に対して当接させるヘッドチップ46と、ヘッドチップ46を、研磨ユニットに対してテープ走行方向と直交し、前記方向とは反対向きの方向に相対移動させる移動手段と50、51を有する。研磨処理中、突起欠陥53に対して研磨テープ42だけがテープ走行方向と直交する方向に変位し、ヘッドチップ46は静止状態に維持される。
【選択図】図5
Description
ワークを保持するステージと、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、
研磨ユニットを、ステージ上のワークに対して、研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する第1の方向に相対移動させる第1の移動手段とを具え、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段と、
前記研磨ユニットに対して前記第1の方向に相対移動可能に装着され、前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと、
前記ヘッドチップを、研磨ユニットに対して前記第1の方向に沿って相対移動させる第2の移動手段とを有し、
研磨処理中に、前記研磨ユニットとヘッドチップは、互いに同期して、前記第1の方向に沿って互いに反対向きの方向に相対移動することを特徴とする。
ワークを保持するステージと、
ステージに対して一方向に沿って相対移動するガントリー構造体と、
ガントリー構造体を移動させる第1の移動手段と、
ガントリー構造体に、その移動方向と直交する方向に移動可能に装着された修正ヘッドと、
修正ヘッドを移動させる第2の移動手段とを具え、前記修正ヘッドは、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、ワークに存在する欠陥を観察する光学ヘッドとを有し、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段と、
前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと
前記ヘッドチップを、研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する第1の方向にガイドするガイド手段と、
ヘッドチップを前記ガイド手段に沿って研磨ユニットに対して相対移動させる第3の移動手段とを有し、
研磨処理中に、研磨ユニットは、前記第1の移動手段又は第2の移動手段により研磨テープの走行方向と直交する第1の方向に移動し、前記ヘッドチップは、前記第3の移動手段により、研磨ユニットに対して前記第1の方向に沿って研磨ユニットの移動方向とは反対向きの方向に相対移動し、
研磨処理中、前記研磨ユニットとヘッドチップは、互いに同期して、前記第1の方向に沿って互いに反対向きの方向に相対移動し、前記ヘッドチップは修正されるべき欠陥に対してほぼ静止状態に維持されることを特徴とする。
ワークを保持するステージと、
ステージに対して一方向に相対移動するガントリー構造体と、
ガントリー構造体に対して相対移動可能に装着された修正ヘッドとを具え、前記修正ヘッドは、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、研磨ユニットを第1の方向に沿って移動させる第1の移動機構とを有し、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って走行させる研磨テープ走行手段と、
前記第1の方向に相対移動可能に装着され、前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと
前記ヘッドチップを、第1の方向に沿って研磨ユニットに対して相対移動させる第2の移動機構とを有し、
研磨処理中に、研磨テープは第2の方向に走行し、研磨ユニットとヘッドチップは、互いに同期して、前記第1の方向に沿って互いに反対向きの方向に相対移動し、当該ヘッドチップは、修正されるべき欠陥に対してほぼ静止状態に維持されることを特徴とする。
研磨テープを巻き上げる巻き上げリールと、研磨テープが収納されている供給リールと、前記巻き上げリールを研磨テープを巻き上げる方向に駆動する第1の回転駆動手段と、前記供給リールを巻き上げ方向と反対の巻き戻し方向に駆動する第2の回転駆動手段と、研磨テープをワークの表面に当接させるヘッドチップと、ヘッドチップをテープ走行方向と直交する方向に沿って移動させるヘッドチップ移動手段とを具え、
前記研磨テープが突起欠陥と当接しながら走行する研磨処理中に、前記ヘッドチップは、前記研磨テープの走行と同期して、走行する研磨テープに対してその走行方向と直交する方向に相対移動することを特徴とする。
研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段、研磨テープをワーク表面に存在する突起欠陥に当接させるヘッドチップ、ヘッドチップを研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する第1の方向に移動させるヘッドチップ移動手段が搭載されている研磨ユニットを降下させ、研磨テープを突起欠陥に当接させる工程と、
研磨テープを走行させてワーク表面の突起欠陥を修正する欠陥修正工程と、
欠陥修正処理が終了した後、前記研磨ユニットを所定の位置まで上昇させる工程とを具え、
前記欠陥修正工程中に、前記研磨ユニットとヘッドチップは、互いに同期して、前記第1の方向に沿って互いに反対向きの方向に相対移動することを特徴とする。
11 架台
12 ベースステージ
13 ワーク
14 ワークステージ
15 修正ヘッド
16 ガントリー構造体
18a,18b Y軸レール
19 ボールネジ機構
20 モータ
21 ロータリーエンコーダ
30 固定ベース部材
40 研磨ユニット
41 可動ベース部材
42 研磨テープ
43 供給リール
44 巻き上げリール
45 テープカセット
46 ヘッドチップ
Claims (17)
- 走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正装置であって、
ワークを保持するステージと、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、
研磨ユニットを、ステージ上のワークに対して、研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する第1の方向に相対移動させる第1の移動手段とを具え、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段と、
前記研磨ユニットに対して前記第1の方向に相対移動可能に装着され、前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと、
前記ヘッドチップを、研磨ユニットに対して前記第1の方向に沿って相対移動させる第2の移動手段とを有し、
研磨処理中に、前記研磨ユニットとヘッドチップは、互いに同期して、前記第1の方向に沿って互いに反対向きの方向に相対移動することを特徴とする欠陥修正装置。 - 請求項1に記載の欠陥修正装置において、研磨処理中に、前記第1の移動手段は研磨ユニットを第1の方向に沿ってワークに対して相対移動させ、前記第2の移動手段は、ヘッドチップを前記第1の方向に沿って研磨ユニットに対してその移動方向とは反対向きの方向に相対移動させ、前記ヘッドチップは、前記ワークに対してほぼ静止状態に維持されることを特徴とする欠陥修正装置。
- 請求項1又は2に記載の欠陥修正装置において、さらに、前記ステージ上のワークに対して相対移動するガントリー構造体と、ガントリー構造体を相対移動させる移動手段と、ガントリー構造体に装着された修正ヘッドとを具え、前記研磨ユニットは前記修正ヘッドに設けられ、
前記第1の移動手段として、前記ガントリー構造体を移動させる移動手段を用い、研磨処理中ガントリー構造体の移動により研磨ユニットを前記第1の方向に移動させることを特徴とする欠陥修正装置。 - 請求項1又は2に記載の欠陥修正装置において、さらに、前記ステージ上のワークに対して相対移動するガントリー構造体と、ガントリー構造体に装着され、ワークに対して相対移動可能な修正ヘッドと、修正ヘッドをワークに対して相対移動させる移動手段とを具え、前記研磨ユニットは前記修正ヘッドに設けられ、
前記第1の移動手段として、前記修正ヘッドを相対移動させる移動手段を用い、研磨処理中修正ヘッドの移動により研磨ユニットを第1の方向に移動させることを特徴とする欠陥修正装置。 - 請求項1又は2に記載の欠陥修正装置において、さらに、前記ステージ上のワークに対して相対移動するガントリー構造体と、ガントリー構造体に装着された修正ヘッドとを具え、前記研磨ユニットは、修正ヘッドに対して相対移動可能に支持され、当該研磨ユニットは、修正ヘッドに対する相対移動により前記第1の方向に移動することを特徴とする欠陥修正装置。
- 請求項1から5までのいずれか1項に記載の欠陥修正装置において、前記ヘッドチップは、研磨テープと当接する凸状の湾曲面を有することを特徴とする欠陥修正装置。
- 請求項1から6までのいずれか1項に記載の欠陥修正装置において、前記研磨テープ走行手段は、使用された研磨テープを巻き取る巻き上げリールと、未使用の研磨テープが収納されている供給リールと、巻き上げリールを巻き上げ方向に駆動する第1の回転駆動手段と、供給リールを前記巻き上げ方向とは反対の巻き戻し方向に駆動する第2回転駆動手段とを有し、研磨処理において第1の回転駆動手段の駆動により巻き取られる研磨テープの巻き上げ量をL1とし、研磨処理が終了した後第2の回転駆動手段の駆動により巻き戻される巻き戻し量をL2とした場合に、L1>L2となるように設定されていることを特徴とする欠陥修正装置。
- 請求項1から7までのいずれか1項に記載の欠陥修正装置において、研磨処理が終了した研磨テープの表面には、研磨テープの中心線に対して0°及び90°以外の斜めの角度をなす研磨痕跡が形成されることを特徴とする欠陥修正装置。
- 走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正装置であって、
ワークを保持するステージと、
ステージに対して一方向に沿って相対移動するガントリー構造体と、
ガントリー構造体を移動させる第1の移動手段と、
ガントリー構造体に、その移動方向と直交する方向に移動可能に装着された修正ヘッドと、
修正ヘッドを移動させる第2の移動手段とを具え、前記修正ヘッドは、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、ワークに存在する欠陥を観察する光学ヘッドとを有し、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段と、
前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと
前記ヘッドチップを、研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する第1の方向にガイドするガイド手段と、
ヘッドチップを前記ガイド手段に沿って研磨ユニットに対して相対移動させる第3の移動手段とを有し、
研磨処理中に、研磨ユニットは、前記第1の移動手段又は第2の移動手段により研磨テープの走行方向と直交する第1の方向に移動し、前記ヘッドチップは、前記第3の移動手段により、研磨ユニットに対して前記第1の方向に沿って研磨ユニットの移動方向とは反対向きの方向に相対移動し、
研磨処理中、前記研磨ユニットとヘッドチップは、互いに同期して、前記第1の方向に沿って互いに反対向きの方向に相対移動し、前記ヘッドチップは修正されるべき欠陥に対してほぼ静止状態に維持されることを特徴とする欠陥修正装置。 - 走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正装置であって、
ワークを保持するステージと、
ステージに対して一方向に相対移動するガントリー構造体と、
ガントリー構造体に対して相対移動可能に装着された修正ヘッドとを具え、前記修正ヘッドは、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、研磨ユニットを第1の方向に沿って移動させる第1の移動機構とを有し、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って走行させる研磨テープ走行手段と、
前記第1の方向に相対移動可能に装着され、前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと
前記ヘッドチップを、第1の方向に沿って研磨ユニットに対して相対移動させる第2の移動機構とを有し、
研磨処理中に、研磨テープは第2の方向に走行し、研磨ユニットとヘッドチップは、互いに同期して、前記第1の方向に沿って互いに反対向きの方向に相対移動し、当該ヘッドチップは、修正されるべき欠陥に対してほぼ静止状態に維持されることを特徴とする欠陥修正装置。 - 走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正装置に用いられるテープ研磨装置であって、
研磨テープを巻き上げる巻き上げリールと、研磨テープが収納されている供給リールと、前記巻き上げリールを研磨テープを巻き上げる方向に駆動する第1の回転駆動手段と、前記供給リールを巻き上げ方向と反対の巻き戻し方向に駆動する第2の回転駆動手段と、研磨テープをワークの表面に当接させるヘッドチップと、ヘッドチップをテープ走行方向と直交する方向に沿って移動させるヘッドチップ移動手段とを具え、
前記研磨テープが突起欠陥と当接しながら走行する研磨処理中に、前記ヘッドチップは、前記研磨テープの走行と同期して、走行する研磨テープに対してその走行方向と直交する方向に相対移動することを特徴とするテープ研磨装置。 - 請求項11に記載のテープ研磨装置において、前記ヘッドチップ移動手段は、ヘッドチップを支持すると共にヘッドチップをテープ走行方向と直交する方向にガイドするガイド手段と、ヘッドチップを前記カイド手段に沿って移動させる移動手段とを具えることを特徴とするテープ研磨装置。
- 請求項12に記載のテープ研磨装置において、前記第1の回転駆動手段、第2の回転駆動手段、ガイド手段、及びヘッドチップ移動手段は単一の支持部材に装着され、
前記研磨処理中、前記ヘッドチップは、前記ヘッドチップ移動手段により、前記支持部材に対してテープ走行方向と直交する方向に相対移動することを特徴とするテープ研磨装置。 - 走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正方法であって、
研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段、研磨テープをワーク表面に存在する突起欠陥に当接させるヘッドチップ、ヘッドチップを研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する第1の方向に移動させるヘッドチップ移動手段が搭載されている研磨ユニットを降下させ、研磨テープを突起欠陥に当接させる工程と、
研磨テープを走行させてワーク表面の突起欠陥を修正する欠陥修正工程と、
欠陥修正処理が終了した後、前記研磨ユニットを所定の位置まで上昇させる工程とを具え、
前記欠陥修正工程中に、前記研磨ユニットとヘッドチップは、互いに同期して、前記第1の方向に沿って互いに反対向きの方向に相対移動することを特徴とすることを特徴とする欠陥修正方法。 - 請求項14に記載の欠陥修正方法において、前記研磨処理中に前記ヘッドチップはワークに対してほぼ静止状態に維持されることを特徴とする欠陥修正方法。
- 請求項14又は15に記載の欠陥修正方法において、前記研磨ユニットは、ステージ上に配置されたワークに対して相対移動するガントリー構造体に移動可能に装着された修正ヘッドに装着され、研磨ユニットの第1の方向の移動は、ガントリー構造体のワークに対する相対移動又は修正ヘッドのワークに対する相対移動により行われることを特徴とする欠陥修正方法。
- 請求項14又は15に記載の欠陥修正方法において、前記研磨ユニットは、ステージ上に配置されたワークに対して相対移動するガントリー構造体に相対移動可能に装着された修正ヘッドに設けられ、研磨ユニットは、修正ヘッドに対してテープ走行方向と直交する方向に移動可能に装着され、前記研磨ユニットの第1の方向の移動は、研磨ユニットの修正ヘッドに対する相対移動により行われることを特徴とする欠陥修正方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009146036A JP4505600B1 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 欠陥修正方法及び装置 |
TW099118705A TWI413569B (zh) | 2009-06-19 | 2010-06-09 | Defect correction method and device |
KR1020100057825A KR101206182B1 (ko) | 2009-06-19 | 2010-06-18 | 결함 수정방법 및 장치 |
CN201010208888XA CN101927444B (zh) | 2009-06-19 | 2010-06-18 | 缺陷修正方法以及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009146036A JP4505600B1 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 欠陥修正方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4505600B1 true JP4505600B1 (ja) | 2010-07-21 |
JP2011000678A JP2011000678A (ja) | 2011-01-06 |
Family
ID=42582533
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009146036A Active JP4505600B1 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 欠陥修正方法及び装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4505600B1 (ja) |
KR (1) | KR101206182B1 (ja) |
CN (1) | CN101927444B (ja) |
TW (1) | TWI413569B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102446788A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 修理基板凸起不良的设备和方法 |
CN108098528A (zh) * | 2018-02-12 | 2018-06-01 | 江阴市海达电机冲片有限公司 | 一种电机定子冲片去毛刺装置 |
CN110605643A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 帆宣***科技股份有限公司 | 金属遮罩清洁装置及金属遮罩清洁方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102581731A (zh) * | 2012-03-21 | 2012-07-18 | 应昶均 | 一种针对圆筒底部抛光的自动抛光机 |
CN107443216B (zh) * | 2016-05-31 | 2023-06-23 | 三菱电机上海机电电梯有限公司 | 电梯导轨的修正工装及修正方法 |
CN106475873B (zh) * | 2016-12-15 | 2019-02-01 | 江翠意 | 一种对工件表面磨砂的砂面机床 |
DE102017108191A1 (de) * | 2017-04-18 | 2018-10-18 | Rud. Starcke Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum partiellen Schleifen einer Oberfläche sowie Schleifeinrichtung |
CN108406527B (zh) * | 2018-03-05 | 2020-08-07 | 惠科股份有限公司 | 修复设备的控制方法、修复设备 |
CN109307941A (zh) * | 2018-11-12 | 2019-02-05 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 膜层修补方法以及膜层修补设备 |
CN110170922B (zh) * | 2019-06-03 | 2020-12-04 | 北京石油化工学院 | 自动化打磨方法、装置和设备 |
KR102456181B1 (ko) * | 2020-07-30 | 2022-10-18 | 참엔지니어링(주) | 돌기형 결함 리페어 장치 |
KR102455686B1 (ko) * | 2020-12-01 | 2022-10-18 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 연마용 테이프 케이스 |
KR102480683B1 (ko) * | 2020-12-01 | 2022-12-23 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 연마용 테이프를 이용한 결함 연마장치 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5662844U (ja) * | 1979-10-18 | 1981-05-27 | ||
JPH087266A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-12 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気ディスクのテクスチャ加工装置 |
JPH09267241A (ja) * | 1996-04-03 | 1997-10-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 突起欠陥修正装置 |
JPH10217090A (ja) * | 1997-02-07 | 1998-08-18 | Daihatsu Motor Co Ltd | ペーパラッピング装置 |
JP2001018156A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-23 | Nec Corp | 球面加工装置及び方法並びに研磨テープ |
JP2004122294A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Sanshin Co Ltd | 板状部材研磨方法及びその装置 |
JP2007181886A (ja) * | 2006-01-04 | 2007-07-19 | Ntn Corp | テープ研磨装置 |
JP2008200775A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 超電導体用テープ基材の製造方法及びテープ基材 |
JP2008213049A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | V Technology Co Ltd | 微小突起研磨装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2767351B2 (ja) * | 1992-12-28 | 1998-06-18 | 株式会社サンシン | フィルタ基板異物除去装置 |
DE10239191A1 (de) * | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Heesemann, Jürgen, Dipl.-Ing. | Schleifmaschine und Verfahren zum Schleifen eines Werkstücks |
JP2005310324A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 垂直磁気記録ディスク用ガラス基板及びその製造方法 |
JP4410042B2 (ja) * | 2004-06-28 | 2010-02-03 | Ntn株式会社 | 微細パターン修正装置 |
JP2007253317A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-10-04 | Ntn Corp | テープ研磨方法および装置 |
KR100807089B1 (ko) * | 2006-06-09 | 2008-02-26 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 기판 돌기 제거 장치 |
JP5240972B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2013-07-17 | レーザーテック株式会社 | 突起欠陥補修装置 |
-
2009
- 2009-06-19 JP JP2009146036A patent/JP4505600B1/ja active Active
-
2010
- 2010-06-09 TW TW099118705A patent/TWI413569B/zh active
- 2010-06-18 CN CN201010208888XA patent/CN101927444B/zh active Active
- 2010-06-18 KR KR1020100057825A patent/KR101206182B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5662844U (ja) * | 1979-10-18 | 1981-05-27 | ||
JPH087266A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-12 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気ディスクのテクスチャ加工装置 |
JPH09267241A (ja) * | 1996-04-03 | 1997-10-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 突起欠陥修正装置 |
JPH10217090A (ja) * | 1997-02-07 | 1998-08-18 | Daihatsu Motor Co Ltd | ペーパラッピング装置 |
JP2001018156A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-23 | Nec Corp | 球面加工装置及び方法並びに研磨テープ |
JP2004122294A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Sanshin Co Ltd | 板状部材研磨方法及びその装置 |
JP2007181886A (ja) * | 2006-01-04 | 2007-07-19 | Ntn Corp | テープ研磨装置 |
JP2008200775A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 超電導体用テープ基材の製造方法及びテープ基材 |
JP2008213049A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | V Technology Co Ltd | 微小突起研磨装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102446788A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 修理基板凸起不良的设备和方法 |
CN108098528A (zh) * | 2018-02-12 | 2018-06-01 | 江阴市海达电机冲片有限公司 | 一种电机定子冲片去毛刺装置 |
CN110605643A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 帆宣***科技股份有限公司 | 金属遮罩清洁装置及金属遮罩清洁方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI413569B (zh) | 2013-11-01 |
JP2011000678A (ja) | 2011-01-06 |
CN101927444A (zh) | 2010-12-29 |
CN101927444B (zh) | 2012-12-26 |
KR101206182B1 (ko) | 2012-11-28 |
KR20100136932A (ko) | 2010-12-29 |
TW201105456A (en) | 2011-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4505600B1 (ja) | 欠陥修正方法及び装置 | |
TWI373648B (en) | Fine pattern modification device and modification method of the fine pattern defect | |
JP5007880B2 (ja) | 微小突起研磨装置 | |
TWI495622B (zh) | On - board surface detection method and scribing device | |
WO2016129105A1 (ja) | 実装処理ユニット、実装装置及び実装処理ユニットの制御方法 | |
JP2008137118A (ja) | 欠陥修正装置および欠陥修正方法 | |
JP3844705B2 (ja) | 基板欠陥のリペア装置及び方法 | |
JP2003266292A5 (ja) | ||
JP2008290166A (ja) | テープ研磨装置及びガイド工具 | |
TWI443766B (zh) | 積層基板的圖案化裝置 | |
JP5377899B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
JP4654375B1 (ja) | 欠陥修正装置及び欠陥修正方法 | |
JP6224462B2 (ja) | レーザー加工装置における加工送り機構の作動特性検出方法およびレーザー加工装置 | |
JP2011005611A (ja) | 研磨装置および研磨方法 | |
JP4585080B2 (ja) | 原子力圧力容器のシート面検査装置 | |
JP5442031B2 (ja) | 異物除去装置 | |
JP2010201546A (ja) | 欠陥修正方法及び装置 | |
JP2011218477A (ja) | 加工装置 | |
WO2011001710A1 (ja) | 研磨装置および研磨方法 | |
JP5030058B2 (ja) | 研磨方法および研磨装置 | |
JP4482716B2 (ja) | パターン修正装置及びテープカセット | |
CN102145471A (zh) | 硬质脆性板的倒角装置 | |
JP2013046935A (ja) | 距離測定装置及び研磨ユニット並びに欠陥修正装置 | |
JP2008161956A (ja) | 欠陥修正装置及び欠陥修正方法 | |
WO2011114399A1 (ja) | 異物研磨方法及び異物研磨装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4505600 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S633 | Written request for registration of reclamation of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313633 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |